JP2004132726A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004132726A JP2004132726A JP2002295002A JP2002295002A JP2004132726A JP 2004132726 A JP2004132726 A JP 2004132726A JP 2002295002 A JP2002295002 A JP 2002295002A JP 2002295002 A JP2002295002 A JP 2002295002A JP 2004132726 A JP2004132726 A JP 2004132726A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure
- detection chamber
- pressure detection
- corrugate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【課題】コルゲートを有するダイアフラムにより区画された圧力検出室に液体を封入してなる液封式の圧力センサにおいて、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において低圧から高圧に渡る直線性を向上させる。
【解決手段】ケース10、30に形成された凹部としての圧力検出室40には、液体としてのオイル15が封入されるとともに圧力検出素子が設けられている。ケースには、円板状のダイアフラム34がオイル15と接して圧力検出室40を閉鎖するように設けられており、ダイアフラムはその円周部34aにてケースに固定されている。ダイアフラム34には、同心円状且つ断面湾曲形状であるコルゲート34cが設けられており、ダイアフラム34の半径をRとしたとき、コルゲート34cの頂点はダイアフラムの円周部34aから0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラムの中心点34b寄りに位置している。
【選択図】 図2
【解決手段】ケース10、30に形成された凹部としての圧力検出室40には、液体としてのオイル15が封入されるとともに圧力検出素子が設けられている。ケースには、円板状のダイアフラム34がオイル15と接して圧力検出室40を閉鎖するように設けられており、ダイアフラムはその円周部34aにてケースに固定されている。ダイアフラム34には、同心円状且つ断面湾曲形状であるコルゲート34cが設けられており、ダイアフラム34の半径をRとしたとき、コルゲート34cの頂点はダイアフラムの円周部34aから0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラムの中心点34b寄りに位置している。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイアフラムにより閉鎖された圧力検出室に液体を封入し、圧力検出室内に圧力検出素子を配設してなる液封式の圧力センサに関し、特に、圧力検出室の内圧変化を吸収するためのコルゲートがダイアフラムに形成されたものに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の圧力センサとして、圧力検出室を有するケースと、圧力検出室に封入された液体と接してケースに設けられた受圧用の円板状のダイアフラムと、圧力検出室内にて液体の圧力を受ける位置に設けられた圧力検出素子とを備え、ダイアフラムはその円周部にてケースに固定されており、さらにダイアフラムには、ダイアフラムの中心点に対して同心円状且つ断面湾曲形状であるコルゲートが形成されたものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
このようなコルゲートをダイアフラムに形成することにより、コルゲートが無いダイアフラムに比べてコルゲートを形成した分、ダイアフラムの受圧面積が増大し、それによって、温度変化による液体の圧力変化すなわち圧力検出室の内圧変化を吸収できるようになっている。
【0004】
【特許文献1】
特許第2671604号明細書
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の圧力センサにおいては、コルゲートが、ダイアフラムにおけるケースへ固定された端部である固定端(外側)寄りに位置している。すなわちコルゲートがダイアフラムの円周部寄りに位置している。
【0006】
また、本発明者らは、センサの小型化を検討しているが、それに伴ってダイアフラムの径すなわち面積も小型化されたものとなる。このようにダイアフラムの面積を小さくした場合、ダイアフラムに印加される単位面積あたりの液体の圧力(つまり圧力検出室の内圧)も高圧化してくる。
【0007】
本発明者らは、ダイアフラムの円周部寄りにコルゲートを形成した従来の圧力センサにおいて、従来よりもダイアフラムの径を小さくした場合、例えばダイアフラムの半径を従来の7〜8mm程度から6mm程度またはそれ以下まで小さくした場合について、圧力検出室の内圧とこの内圧によるダイアフラムの変位量との関係を調べた。その結果の一例を図6に示す。
【0008】
図6に示すように、センサの使用温度が高温となって液体が膨張し圧力検出室の内圧が大きくなると、当該内圧とダイアフラムの変位量とが非直線的な関係となる。
【0009】
従来では、ダイアフラムの径が大きく、該内圧とダイアフラムの変位量とが直線的な関係である圧力領域にてセンサを使用することが可能であったが、ダイアフラム径を小さくすると、高圧化に伴い非直線的な関係の圧力領域でも使用することになる。
【0010】
センサ特性の点から、上述した直線的な関係の領域であればセンサの出力は、回路によって当該内圧変化によるダイアフラムの変位量分を容易に補正することができるが、非直線的な関係の領域すなわち圧力検出室の内圧が高圧である領域ではそのような補正は難しくなってくる。
【0011】
また、圧力検出室の内圧が上記したような高圧となるのは、高温(例えば140℃程度)となったときである。一般に、圧力センサにおいては、その特性検査は室温→低温(例えば−40℃程度)→高温(例えば120℃程度)の順番で行う。これは、先に高温特性の検査を行うと、そこから低温に冷却するのに時間や手間がかかるためである。
【0012】
そして、このセンサの特性検査において、高温特性すなわち圧力検出室の内圧が高圧となる領域での特性が上述したような非直線的な関係であり、且つセンサ特性に厳しい精度が要求される場合には、不良品と判定される。しかし、室温特性、低温特性の検査を行った後に初めて不良品がわかるのでは、生産性の低下につながる。
【0013】
以上のように、ダイアフラムの小型化を図るにあたっては、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において、低圧から高圧に渡る直線性の向上を図ること、すなわちより高圧側まで当該関係が直線的な関係となることが必要となってくる。
【0014】
そこで本発明は上記問題に鑑み、コルゲートを有するダイアフラムにより区画された圧力検出室に液体を封入し、圧力検出室内に圧力検出素子を配設してなる液封式の圧力センサにおいて、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において低圧から高圧に渡る直線性を向上させることを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記特許文献1に記載されているような従来の圧力センサについて鋭意検討を行った。
【0016】
従来の圧力センサおいては、コルゲートがダイアフラムの円周部寄りすなわち外側寄りに形成されているため、コルゲート部分の受圧面積が大きく、結果、圧力検出室の内圧すなわち液体の圧力変化によるダイアフラムのたわみ(変位)量が大きくなる。
【0017】
そのため、圧力検出室内圧が高圧となっていくときに、ダイアフラムの変位の限界に早く近づいてしまい、この限界付近の高圧領域にてダイアフラムの圧力に対する変位直線性が失われ、圧力検出室内圧とダイアフラム変位量との関係が上述した非直線的な関係となる。
【0018】
そこで、本発明者らは、従来の圧力センサよりも、コルゲートの位置をダイアフラムの中心点寄りに位置させることにより、コルゲート部分の受圧面積を従来よりも小さくすることを考えた。コルゲート部分の受圧面積を小さくすれば、結果、ダイアフラムの受圧面積も小さくでき、多少感度は落ちるが、ダイアフラムの圧力に対する直線的な変位の限界を高圧側に拡げることができる。
【0019】
上記特許文献1に記載の圧力センサにおいては、ダイアフラムの半径をRとしたとき、コルゲートの頂点の位置する範囲は、ダイアフラムの円周部(固定端)から最大0.4Rの位置までの範囲が適切とされている。そこで、本発明者らは、この範囲よりもコルゲートの頂点の位置をダイアフラムの中心点寄りに位置させることを考えた。
【0020】
すなわち、請求項1に記載の発明では、圧力検出室(40)を有するケース(10、30)と、圧力検出室に封入された液体(15)と接してケースに設けられた受圧用のダイアフラム(34)と、圧力検出室内にて液体の圧力を受ける位置に設けられた圧力検出素子(20)とを備え、ダイアフラムはその円周部(34a)にてケースに固定された円板状をなすものである圧力センサにおいて、ダイアフラムには、ダイアフラムの中心点(34b)に対して同心円状であり且つ断面が湾曲形状であるコルゲート(34c)が設けられており、ダイアフラムの半径をRとしたとき、コルゲートの頂点は、ダイアフラムの円周部から0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラムの中心点寄りに位置していることを特徴とする。
【0021】
それによれば、従来の圧力センサに比べて、コルゲートの位置をダイアフラムの中心点寄りに位置させたものにできるため、コルゲート部分の受圧面積を小さくでき、ダイアフラムの圧力による変位量の限界を高圧側に拡げることができる。
【0022】
そのため、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において、より高圧側まで直線的な関係を実現でき、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができる。
【0023】
ここで、請求項2に記載の発明のように、コルゲート(34c)の頂点は、ダイアフラム(34)の円周部(34a)から0.5R以上大きい距離だけダイアフラムの中心点(34b)寄りに位置していることが好ましい。
【0024】
さらに、請求項3に記載の発明のように、コルゲート(34c)の頂点は、ダイアフラム(34)の円周部(34a)から0.5Rの位置に略一致していることが好ましい。
【0025】
それによれば、ダイアフラムの中心点(34b)とダイアフラムの円周部(34a)との間の中心点が描く線(34d)上にコルゲート(34c)の頂点が略一致したものなる。この場合、感度の低下を極力抑制しつつ、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができる。
【0026】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図1は液体としてオイルを用いた本実施形態に係る液封式の圧力センサS1の全体概略を示す断面図である。この圧力センサS1は、例えば自動車に搭載され、エアコンの冷媒圧や自動車の燃料噴射系の燃料圧を検出する圧力センサ等に適用できる。
【0028】
本圧力センサS1においてはコネクタケース10とハウジング30とが組み合わされてケースを構成している。コネクタケース10は、本例では、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂を型成形することにより作られ、略円柱状をなしている。このコネクタケース10の一端側の表面(図1中、下方側の端面)には凹部11が形成されている。
【0029】
この凹部11には、圧力検出素子としてのセンサチップ20が配設されている。本例のセンサチップ20は、受圧面としてのダイアフラム(図示せず)を有し、受けた圧力を電気信号に変換しこの電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイアフラム式のものである。
【0030】
そして、センサチップ20は、ガラス等よりなる台座21に陽極接合等により一体化されて、台座21を凹部11の底面に接着することで、コネクタケース10に搭載されている。
【0031】
また、コネクタケース10には、センサチップ20と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル(コネクタピン)12が設けられている。本例では、ターミナル12は黄銅にNiメッキ等のメッキ処理を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース10と一体に成形されることによりコネクタケース10内にて保持されている。
【0032】
各ターミナル12の一端側(図1中、下方端側)の端部は、センサチップ20の搭載領域の周囲において凹部11の底面から突出している。そして、各ターミナル12の突出部の先端面とセンサチップ20とは、金やアルミニウム等のワイヤボンディングにより形成されたワイヤ13を介して結線され電気的に接続されている。
【0033】
また、各ターミナル12の突出部の周囲には、コネクタケース10とターミナル12との隙間を封止するためのシール剤14が設けられている。このシール剤14は例えばシリコン系樹脂よりなるもので、このシール剤14により、もし、ターミナル12が突出する凹部11の底面部分に隙間があってもその隙間は封止される。
【0034】
そして、凹部11内には、センサチップ20、ターミナル12、ワイヤ13及びシール剤14を覆うように液体としてのオイル15が充填されている。このオイル15は、フッ素オイル等よりなり、主として圧力伝達媒体として機能するものである。
【0035】
一方、コネクタケース10の他端側(図1中、上方端側)は、ターミナル12における上記突出部とは反対側の他端側を、例えばワイヤハーネス等の外部配線部材(図示せず)を介して上記外部回路(車両のECU等)に電気的に接続するための接続部16となっている。こうして、センサチップ20と外部との間の信号の伝達は、ワイヤ13及びターミナル12を介して行われるようになっている。
【0036】
次に、ハウジング30は例えばステンレス(SUS)等の金属材料よりなる。このハウジング30は、一端側(図1中の上方端側)に開口部31を有するとともに、他端側(図1中の下方端側)に外部から圧力が導入される圧力導入孔32を有する。この外部からの圧力は例えば上記したエアコンの冷媒や自動車の燃料等の圧力である。
【0037】
また、ハウジング30の他端側の外面には、圧力センサS1を自動車の適所、例えばエアコンの冷媒配管や自動車の燃料配管等の箇所に固定するためのネジ部33が形成されている。
【0038】
そして、ハウジング30には、その開口部31にコネクタケース10の一端側(図1中の下端側)が挿入された状態で、凹部11を覆うようにコネクタケース10に組み付けられている。ここで、ハウジング30の一端側の端部30aがコネクタケース10にかしめ固定されている。
【0039】
更に、ハウジング30の一端側には、金属(例えばSUS等)製円板状をなす受圧用のダイアフラム34と、このダイアフラム34の周辺部に配置された環状金属(例えばSUS等)製の押さえ部材(リングウェルド)35と、が設けられている。
【0040】
本例では、レーザ溶接等により、ダイアフラム34の周辺部を押さえ部材35とともにハウジング30に対して全周溶接し、ダイアフラム34、押さえ部材35及びハウジング30の3者が溶け合った溶接部36を形成している。それにより、この溶接部36は、ハウジング30と押さえ部材35とによりダイアフラム34を固定している。
【0041】
そして、押さえ部材35は、ダイアフラム34をハウジング30との間に挟みつけるように固定している。それにより、ダイアフラム34はその円周部34aがハウジング30に固定された状態となり、オイル15を封止しつつ凹部11と圧力導入孔32とを区画している。ここで、円周部34aはダイアフラム34の固定端でもある。
【0042】
こうして組み合わせられたケース10とハウジング30において、コネクタケース10の凹部11とダイアフラム34との間で、オイル15が封入されている。そして、このオイル15が封入された室が、圧力検出室40として構成されている。
【0043】
このように、本圧力センサS1ではコネクタケース10とハウジング30とからなるケース10、30は圧力検出室40を有し、ダイアフラム34は、圧力検出室40に封入された液体としてのオイル15と接した形でケース10、30に設けられている。そして、圧力検出素子としてのセンサチップ20は、圧力検出室40内にてオイル15の圧力を受ける位置に設けられている。
【0044】
また、圧力検出室40の外周囲には、環状の溝(Oリング溝)41が形成され、この溝41内には、圧力検出室40を気密封止するためのOリング42が配設されている。このOリング42は、例えばシリコンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース10と押さえ部材35との間に介在し支持されている。
【0045】
そして、Oリング42は、コネクタケース10と押さえ部材35とにより挟まれて押圧されており、これによって、Oリング42はメタルダイヤフラム34とともに圧力検出室40(つまり、凹部11内のオイル15)を封止する役割を果たしている。
【0046】
なお、本例では、上記溝41内には、Oリング42の外周にバックアップリング43が設けられている。このバックアップリング43は、例えば4フッ化エチレン樹脂等の樹脂材料よりなり、Oリング42が広がったときにOリング42がコネクタケース10と押さえ部材35との隙間に入り込んで損傷するのを防止する等の役割を担うものである。
【0047】
ここで、本実施形態では、ダイアフラム34において次に述べるような独自の構成を採用している。図2は、図1中のダイアフラム34近傍部の拡大構成図であり、(a)は図1に対応した断面図、(b)は(a)の上面図である。なお、図2(a)では上方が圧力導入孔32側、下方がオイル15側(つまり圧力検出室40側)である。
【0048】
円板状のダイアフラム34は、その円周部34aにてケース10、30に固定されているが、図2に示すように、このダイアフラム34には、ダイアフラム34の中心点34bに対して同心円状であり且つ断面が湾曲形状であるコルゲート34cが1個設けられている。
【0049】
そして、このコルゲート34cにおいては、ダイアフラム34の半径をRとしたとき、コルゲート34cの頂点が、ダイアフラム34の円周部34aから0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置している。また、コルゲート34cの高さhは例えば0.04R程度にできる。
【0050】
また、望ましくは、コルゲート34cの頂点は、ダイアフラム34の円周部34aから0.5R以上大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置していることが好ましい。
【0051】
より望ましくは、コルゲート34cの頂点は、ダイアフラム34の円周部34aから0.5Rの位置に略一致していることが好ましい。つまり、ダイアフラム34の中心点34bとダイアフラム34の円周部34aとの間の中心点が描く線34d上にコルゲート34cの頂点が略一致していることが好ましい。図2では、このようになっている。
【0052】
本実施形態のダイアフラム34は一例を挙げると、ダイアフラム34の半径Rが6mm(つまりダイアフラム34の直径はφ12mm)、ダイアフラム34の厚さ(肉厚)が50μmにすることができる。このようなダイアフラム34はステンレス等の金属薄膜にプレス加工する等により形成できる。
【0053】
なお、図2では、コルゲート34cはダイアフラム34の受圧面(つまり圧力導入孔32側の面)側に凸となったものであるが、オイル15側(圧力検出室40側)に凸となったものでも良い。
【0054】
次に、上記圧力センサS1の製造方法について述べる。ターミナル12がインサート成形されたコネクタケース10を用意する。シリコン系樹脂等よりなる接着剤を用いて、コネクタケース10の凹部11内へセンサチップ20を台座21を介し接着固定する。
【0055】
そして、凹部11内へシール剤14を注入し、シール剤14を各ターミナル12の周囲へ行き渡らせた後、硬化させる。次に、ワイヤボンディングを行って、各ターミナル12の突出部の先端面とセンサチップ20とをワイヤ13で結線する。
【0056】
そして、センサチップ20側を上にしてコネクタケース10を配置し、コネクタケース10の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイル15を、凹部11へ一定量注入する。
【0057】
続いて、一端側にダイアフラム34及び押さえ部材35が全周溶接されたハウジング30を用意し、このハウジング30を上から水平を保ったまま、ハウジング30の開口部31をコネクタケース10に嵌合するように降ろす。この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い圧力検出室40内の余分な空気を除去する。
【0058】
その後、コネクタケース10と押さえ部材35とが十分接するまで押さえ、ダイアフラム34とOリング42によりシールされた圧力検出室40を形成する。次に、ハウジング30の端部30aをコネクタケース10にかしめることにより、ハウジング30とコネクタケース10と一体化する。こうして、コネクタケース10とハウジング30との組合せ固定がなされ、図1に示す圧力センサS1が完成する。
【0059】
かかる圧力センサS1の基本的な圧力検出動作について述べる。圧力センサS1は、例えば、ハウジング30のネジ部33を介して、車両の適所に取り付けられる。そして、外部からの圧力(上記したエアコンの冷媒や自動車の燃料等の圧力)が、ハウジング30の圧力導入孔32を介して圧力センサS1内に導入される。
【0060】
すると、導入された圧力がダイアフラム34に印加され、ダイアフラム34には応力(歪み応力)が発生する。この応力は、圧力検出室40内のオイル15を介して、センサチップ20へ伝達され、センサチップ20の受圧面に印加される。
【0061】
そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサチップ20から出力される。このセンサ信号は、センサチップ20からワイヤ13、ターミナル12を介して、上記外部回路へ伝達される。以上が、圧力センサS1における基本的な圧力検出動作である。
【0062】
ところで、本実施形態の圧力センサS1では、ダイアフラム34には、ダイアフラム34の中心点34bに対して同心円状であり且つ断面が湾曲形状であるコルゲート34cが設けられており、ダイアフラム34の半径Rに対して、コルゲート34cの頂点は、ダイアフラム34の円周部34aから0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置していることを特徴としている。
【0063】
上述したように、従来の圧力センサにおいては、ダイアフラム半径Rに対し、コルゲートの頂点の位置する範囲は、ダイアフラムの円周部から最大0.4Rの位置までの範囲が適切とされている。
【0064】
それに対して、本実施形態によれば、従来の圧力センサに比べて、コルゲート34cの位置をダイアフラム34の中心点34b寄りに位置させたものにできる。このことから、コルゲート34c部分の受圧面積を小さくでき、ダイアフラム34の圧力による変位量の限界を高圧側に拡げることができ、当該変位量の直線性の限界点を高圧側に拡げることができる。
【0065】
そのため、オイル15の圧力すなわち圧力検出室40の内圧とダイアフラム34の圧力による変位量との関係において、圧力検出室40の内圧がより高圧となる領域まで直線的な関係を実現でき、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができる。
【0066】
ここで、コルゲート34の頂点を、ダイアフラム34の円周部34aから0.5R以上大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置させれば、コルゲート34cをよりダイアフラム34の中心点34a寄りにできるため、好ましい。
【0067】
これらのコルゲート34cの位置による効果について、具体的に調べた例を図3を参照して述べる。図3において(a)はダイアフラム34の種々の位置にコルゲート34cを形成した場合のコルゲートの位置を示す図である。
【0068】
また、図3の(b)は(a)に示す各位置にそれぞれコルゲート34cを形成したときのダイアフラム34における圧力(kPa)と変位量(μm)との関係について、FEMによるシミュレーション解析にて求めた結果を示す図である。ここで、圧力は圧力検出室40の内圧すなわちオイル15の圧力であり、温度上昇とともにオイル15が膨張して高圧となっていく。
【0069】
図3(a)では、コルゲート34cの位置は、ダイアフラム34の円周部34aから0.3R、0.5R、0.7Rの場合を示してある。0.3Rの場合は上記図6にも示したもので比較例である。この比較例を比較例1とする。この比較例1の場合、図3(b)に示すように、高圧側で圧力と変位量との関係が非直線的なものとなっている。
【0070】
それに対して、本実施形態である0.5R、0.7Rの場合は、上記比較例1に比べて高圧側まで直線的な関係を実現でき、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができている。
【0071】
圧力検出においては、実際にはセンサチップ20には、ダイアフラム34に印加された圧力と圧力検出室40の内圧との総計の圧力が加わる。そして、センサチップ20により当該総計の圧力に基づいた信号が出力され、図示しない回路によってこの信号から圧力検出室40の内圧分を差し引くという補正を行うことにより、測定対象であるダイアフラム34に印加された圧力が求められる。
【0072】
そのため、測定範囲において、ダイアフラム34における圧力検出室40の内圧による変位が当該内圧に対して直線性を持つものであれば、上記の補正は容易なものとなる。
【0073】
そして、本実施形態では、従来よりも圧力検出室40の内圧が高圧である領域すなわち高温でのセンサ特性においても上記直線性が良好に維持される。そのため、圧力センサにおいて特性検査を、室温→低温→高温の順に行っても、高温特性検査での不良発生が低減されることから、生産性の低下につながる。
【0074】
また、図3(b)から、0.5Rの場合と0.7Rの場合とを比べると、0.5Rの方が圧力−変位量のグラフ線の傾きが大きく、圧力検出室40の内圧変化に対する感度が大きいことがわかる。これは、コルゲート34cの頂点が、ダイアフラム34の中心点34bに近づくと、コルゲート部分の受圧面積が小さくなり、当該内圧変化に対する感度が落ちるためである。
【0075】
よって、感度の低下を極力抑制しつつ、圧力検出室40の内圧と当該内圧によるダイアフラム34の変位量との関係において低圧から高圧に渡る直線性を向上させるためには、コルゲート34cの頂点が、ダイアフラム34の円周部34aから0.5Rの位置に略一致していることが好ましい。
【0076】
さらに、本実施形態では、従来の圧力センサに比べて、コルゲート34cの位置をダイアフラム34の中心点34b寄りに位置させているが、その場合でも、さらに、従来のようにダイアフラム34の円周部34a寄りに別途コルゲートを設けた場合は好ましくない。
【0077】
図4は、本実施形態のコルゲート34cが形成されたダイアフラム34に対して、さらにダイアフラム34の円周部34a寄りに別途コルゲートを設けた比較例を示す断面図である。この比較例を比較例2とする。図4には、上記図3(a)に示した0.5Rの場合のダイアフラム34すなわち本実施形態のダイアフラム34も破線にて示してある。
【0078】
そして、図5は、この図4に示す比較例2および本実施形態のダイアフラム、さらに上記図3(a)に示した0.3Rの場合のダイアフラムすなわち比較例1のダイアフラムについて、圧力(kPa)と変位量(μm)との関係について、FEMによるシミュレーション解析にて求めた結果を示す図である。このときの圧力も圧力検出室40の内圧である。
【0079】
図5からわかるように、本実施形態であるコルゲート34cが従来よりもダイアフラム34の中心点34b寄りに形成されていても、他のコルゲート34cが従来のような円周部34a寄りにある比較例2では、従来と同様、高圧側で圧力と変位量との関係が非直線的なものとなってしまう。
【0080】
以上のように、本実施形態では、ダイアフラム34の半径Rに対して、コルゲート34cの頂点を、ダイアフラム34の円周部34aから0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置させ、当該円周部34aから0.4R以下の領域に形成しないことが必要である。
【0081】
それによって、従来に比べて、ダイアフラムを小型化しても、圧力検出室40の内圧とダイアフラム変位量との関係において、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態に係る圧力センサの全体概略断面図である。
【図2】図1中のダイアフラム近傍部の拡大構成図である。
【図3】ダイアフラムの種々の位置にコルゲートを形成した場合における圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係を示す図である。
【図4】上記実施形態の他の比較例を示す断面図である。
【図5】上記図4に示す比較例と上記実施形態とで圧力とダイアフラム変位量との関係を示す図である。
【図6】従来の圧力センサにおいてダイアフラムを小型化した場合における圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係を示す図である。
【符号の説明】
10…コネクタケース、15…オイル、20…センサチップ、
30…ハウジング、34…ダイアフラム、34a…ダイアフラムの円周部、
34b…ダイアフラムの中心点、34c…コルゲート、40…圧力検出室。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイアフラムにより閉鎖された圧力検出室に液体を封入し、圧力検出室内に圧力検出素子を配設してなる液封式の圧力センサに関し、特に、圧力検出室の内圧変化を吸収するためのコルゲートがダイアフラムに形成されたものに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の圧力センサとして、圧力検出室を有するケースと、圧力検出室に封入された液体と接してケースに設けられた受圧用の円板状のダイアフラムと、圧力検出室内にて液体の圧力を受ける位置に設けられた圧力検出素子とを備え、ダイアフラムはその円周部にてケースに固定されており、さらにダイアフラムには、ダイアフラムの中心点に対して同心円状且つ断面湾曲形状であるコルゲートが形成されたものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
このようなコルゲートをダイアフラムに形成することにより、コルゲートが無いダイアフラムに比べてコルゲートを形成した分、ダイアフラムの受圧面積が増大し、それによって、温度変化による液体の圧力変化すなわち圧力検出室の内圧変化を吸収できるようになっている。
【0004】
【特許文献1】
特許第2671604号明細書
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の圧力センサにおいては、コルゲートが、ダイアフラムにおけるケースへ固定された端部である固定端(外側)寄りに位置している。すなわちコルゲートがダイアフラムの円周部寄りに位置している。
【0006】
また、本発明者らは、センサの小型化を検討しているが、それに伴ってダイアフラムの径すなわち面積も小型化されたものとなる。このようにダイアフラムの面積を小さくした場合、ダイアフラムに印加される単位面積あたりの液体の圧力(つまり圧力検出室の内圧)も高圧化してくる。
【0007】
本発明者らは、ダイアフラムの円周部寄りにコルゲートを形成した従来の圧力センサにおいて、従来よりもダイアフラムの径を小さくした場合、例えばダイアフラムの半径を従来の7〜8mm程度から6mm程度またはそれ以下まで小さくした場合について、圧力検出室の内圧とこの内圧によるダイアフラムの変位量との関係を調べた。その結果の一例を図6に示す。
【0008】
図6に示すように、センサの使用温度が高温となって液体が膨張し圧力検出室の内圧が大きくなると、当該内圧とダイアフラムの変位量とが非直線的な関係となる。
【0009】
従来では、ダイアフラムの径が大きく、該内圧とダイアフラムの変位量とが直線的な関係である圧力領域にてセンサを使用することが可能であったが、ダイアフラム径を小さくすると、高圧化に伴い非直線的な関係の圧力領域でも使用することになる。
【0010】
センサ特性の点から、上述した直線的な関係の領域であればセンサの出力は、回路によって当該内圧変化によるダイアフラムの変位量分を容易に補正することができるが、非直線的な関係の領域すなわち圧力検出室の内圧が高圧である領域ではそのような補正は難しくなってくる。
【0011】
また、圧力検出室の内圧が上記したような高圧となるのは、高温(例えば140℃程度)となったときである。一般に、圧力センサにおいては、その特性検査は室温→低温(例えば−40℃程度)→高温(例えば120℃程度)の順番で行う。これは、先に高温特性の検査を行うと、そこから低温に冷却するのに時間や手間がかかるためである。
【0012】
そして、このセンサの特性検査において、高温特性すなわち圧力検出室の内圧が高圧となる領域での特性が上述したような非直線的な関係であり、且つセンサ特性に厳しい精度が要求される場合には、不良品と判定される。しかし、室温特性、低温特性の検査を行った後に初めて不良品がわかるのでは、生産性の低下につながる。
【0013】
以上のように、ダイアフラムの小型化を図るにあたっては、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において、低圧から高圧に渡る直線性の向上を図ること、すなわちより高圧側まで当該関係が直線的な関係となることが必要となってくる。
【0014】
そこで本発明は上記問題に鑑み、コルゲートを有するダイアフラムにより区画された圧力検出室に液体を封入し、圧力検出室内に圧力検出素子を配設してなる液封式の圧力センサにおいて、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において低圧から高圧に渡る直線性を向上させることを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記特許文献1に記載されているような従来の圧力センサについて鋭意検討を行った。
【0016】
従来の圧力センサおいては、コルゲートがダイアフラムの円周部寄りすなわち外側寄りに形成されているため、コルゲート部分の受圧面積が大きく、結果、圧力検出室の内圧すなわち液体の圧力変化によるダイアフラムのたわみ(変位)量が大きくなる。
【0017】
そのため、圧力検出室内圧が高圧となっていくときに、ダイアフラムの変位の限界に早く近づいてしまい、この限界付近の高圧領域にてダイアフラムの圧力に対する変位直線性が失われ、圧力検出室内圧とダイアフラム変位量との関係が上述した非直線的な関係となる。
【0018】
そこで、本発明者らは、従来の圧力センサよりも、コルゲートの位置をダイアフラムの中心点寄りに位置させることにより、コルゲート部分の受圧面積を従来よりも小さくすることを考えた。コルゲート部分の受圧面積を小さくすれば、結果、ダイアフラムの受圧面積も小さくでき、多少感度は落ちるが、ダイアフラムの圧力に対する直線的な変位の限界を高圧側に拡げることができる。
【0019】
上記特許文献1に記載の圧力センサにおいては、ダイアフラムの半径をRとしたとき、コルゲートの頂点の位置する範囲は、ダイアフラムの円周部(固定端)から最大0.4Rの位置までの範囲が適切とされている。そこで、本発明者らは、この範囲よりもコルゲートの頂点の位置をダイアフラムの中心点寄りに位置させることを考えた。
【0020】
すなわち、請求項1に記載の発明では、圧力検出室(40)を有するケース(10、30)と、圧力検出室に封入された液体(15)と接してケースに設けられた受圧用のダイアフラム(34)と、圧力検出室内にて液体の圧力を受ける位置に設けられた圧力検出素子(20)とを備え、ダイアフラムはその円周部(34a)にてケースに固定された円板状をなすものである圧力センサにおいて、ダイアフラムには、ダイアフラムの中心点(34b)に対して同心円状であり且つ断面が湾曲形状であるコルゲート(34c)が設けられており、ダイアフラムの半径をRとしたとき、コルゲートの頂点は、ダイアフラムの円周部から0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラムの中心点寄りに位置していることを特徴とする。
【0021】
それによれば、従来の圧力センサに比べて、コルゲートの位置をダイアフラムの中心点寄りに位置させたものにできるため、コルゲート部分の受圧面積を小さくでき、ダイアフラムの圧力による変位量の限界を高圧側に拡げることができる。
【0022】
そのため、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において、より高圧側まで直線的な関係を実現でき、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができる。
【0023】
ここで、請求項2に記載の発明のように、コルゲート(34c)の頂点は、ダイアフラム(34)の円周部(34a)から0.5R以上大きい距離だけダイアフラムの中心点(34b)寄りに位置していることが好ましい。
【0024】
さらに、請求項3に記載の発明のように、コルゲート(34c)の頂点は、ダイアフラム(34)の円周部(34a)から0.5Rの位置に略一致していることが好ましい。
【0025】
それによれば、ダイアフラムの中心点(34b)とダイアフラムの円周部(34a)との間の中心点が描く線(34d)上にコルゲート(34c)の頂点が略一致したものなる。この場合、感度の低下を極力抑制しつつ、圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係において、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができる。
【0026】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図1は液体としてオイルを用いた本実施形態に係る液封式の圧力センサS1の全体概略を示す断面図である。この圧力センサS1は、例えば自動車に搭載され、エアコンの冷媒圧や自動車の燃料噴射系の燃料圧を検出する圧力センサ等に適用できる。
【0028】
本圧力センサS1においてはコネクタケース10とハウジング30とが組み合わされてケースを構成している。コネクタケース10は、本例では、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂を型成形することにより作られ、略円柱状をなしている。このコネクタケース10の一端側の表面(図1中、下方側の端面)には凹部11が形成されている。
【0029】
この凹部11には、圧力検出素子としてのセンサチップ20が配設されている。本例のセンサチップ20は、受圧面としてのダイアフラム(図示せず)を有し、受けた圧力を電気信号に変換しこの電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイアフラム式のものである。
【0030】
そして、センサチップ20は、ガラス等よりなる台座21に陽極接合等により一体化されて、台座21を凹部11の底面に接着することで、コネクタケース10に搭載されている。
【0031】
また、コネクタケース10には、センサチップ20と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル(コネクタピン)12が設けられている。本例では、ターミナル12は黄銅にNiメッキ等のメッキ処理を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース10と一体に成形されることによりコネクタケース10内にて保持されている。
【0032】
各ターミナル12の一端側(図1中、下方端側)の端部は、センサチップ20の搭載領域の周囲において凹部11の底面から突出している。そして、各ターミナル12の突出部の先端面とセンサチップ20とは、金やアルミニウム等のワイヤボンディングにより形成されたワイヤ13を介して結線され電気的に接続されている。
【0033】
また、各ターミナル12の突出部の周囲には、コネクタケース10とターミナル12との隙間を封止するためのシール剤14が設けられている。このシール剤14は例えばシリコン系樹脂よりなるもので、このシール剤14により、もし、ターミナル12が突出する凹部11の底面部分に隙間があってもその隙間は封止される。
【0034】
そして、凹部11内には、センサチップ20、ターミナル12、ワイヤ13及びシール剤14を覆うように液体としてのオイル15が充填されている。このオイル15は、フッ素オイル等よりなり、主として圧力伝達媒体として機能するものである。
【0035】
一方、コネクタケース10の他端側(図1中、上方端側)は、ターミナル12における上記突出部とは反対側の他端側を、例えばワイヤハーネス等の外部配線部材(図示せず)を介して上記外部回路(車両のECU等)に電気的に接続するための接続部16となっている。こうして、センサチップ20と外部との間の信号の伝達は、ワイヤ13及びターミナル12を介して行われるようになっている。
【0036】
次に、ハウジング30は例えばステンレス(SUS)等の金属材料よりなる。このハウジング30は、一端側(図1中の上方端側)に開口部31を有するとともに、他端側(図1中の下方端側)に外部から圧力が導入される圧力導入孔32を有する。この外部からの圧力は例えば上記したエアコンの冷媒や自動車の燃料等の圧力である。
【0037】
また、ハウジング30の他端側の外面には、圧力センサS1を自動車の適所、例えばエアコンの冷媒配管や自動車の燃料配管等の箇所に固定するためのネジ部33が形成されている。
【0038】
そして、ハウジング30には、その開口部31にコネクタケース10の一端側(図1中の下端側)が挿入された状態で、凹部11を覆うようにコネクタケース10に組み付けられている。ここで、ハウジング30の一端側の端部30aがコネクタケース10にかしめ固定されている。
【0039】
更に、ハウジング30の一端側には、金属(例えばSUS等)製円板状をなす受圧用のダイアフラム34と、このダイアフラム34の周辺部に配置された環状金属(例えばSUS等)製の押さえ部材(リングウェルド)35と、が設けられている。
【0040】
本例では、レーザ溶接等により、ダイアフラム34の周辺部を押さえ部材35とともにハウジング30に対して全周溶接し、ダイアフラム34、押さえ部材35及びハウジング30の3者が溶け合った溶接部36を形成している。それにより、この溶接部36は、ハウジング30と押さえ部材35とによりダイアフラム34を固定している。
【0041】
そして、押さえ部材35は、ダイアフラム34をハウジング30との間に挟みつけるように固定している。それにより、ダイアフラム34はその円周部34aがハウジング30に固定された状態となり、オイル15を封止しつつ凹部11と圧力導入孔32とを区画している。ここで、円周部34aはダイアフラム34の固定端でもある。
【0042】
こうして組み合わせられたケース10とハウジング30において、コネクタケース10の凹部11とダイアフラム34との間で、オイル15が封入されている。そして、このオイル15が封入された室が、圧力検出室40として構成されている。
【0043】
このように、本圧力センサS1ではコネクタケース10とハウジング30とからなるケース10、30は圧力検出室40を有し、ダイアフラム34は、圧力検出室40に封入された液体としてのオイル15と接した形でケース10、30に設けられている。そして、圧力検出素子としてのセンサチップ20は、圧力検出室40内にてオイル15の圧力を受ける位置に設けられている。
【0044】
また、圧力検出室40の外周囲には、環状の溝(Oリング溝)41が形成され、この溝41内には、圧力検出室40を気密封止するためのOリング42が配設されている。このOリング42は、例えばシリコンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース10と押さえ部材35との間に介在し支持されている。
【0045】
そして、Oリング42は、コネクタケース10と押さえ部材35とにより挟まれて押圧されており、これによって、Oリング42はメタルダイヤフラム34とともに圧力検出室40(つまり、凹部11内のオイル15)を封止する役割を果たしている。
【0046】
なお、本例では、上記溝41内には、Oリング42の外周にバックアップリング43が設けられている。このバックアップリング43は、例えば4フッ化エチレン樹脂等の樹脂材料よりなり、Oリング42が広がったときにOリング42がコネクタケース10と押さえ部材35との隙間に入り込んで損傷するのを防止する等の役割を担うものである。
【0047】
ここで、本実施形態では、ダイアフラム34において次に述べるような独自の構成を採用している。図2は、図1中のダイアフラム34近傍部の拡大構成図であり、(a)は図1に対応した断面図、(b)は(a)の上面図である。なお、図2(a)では上方が圧力導入孔32側、下方がオイル15側(つまり圧力検出室40側)である。
【0048】
円板状のダイアフラム34は、その円周部34aにてケース10、30に固定されているが、図2に示すように、このダイアフラム34には、ダイアフラム34の中心点34bに対して同心円状であり且つ断面が湾曲形状であるコルゲート34cが1個設けられている。
【0049】
そして、このコルゲート34cにおいては、ダイアフラム34の半径をRとしたとき、コルゲート34cの頂点が、ダイアフラム34の円周部34aから0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置している。また、コルゲート34cの高さhは例えば0.04R程度にできる。
【0050】
また、望ましくは、コルゲート34cの頂点は、ダイアフラム34の円周部34aから0.5R以上大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置していることが好ましい。
【0051】
より望ましくは、コルゲート34cの頂点は、ダイアフラム34の円周部34aから0.5Rの位置に略一致していることが好ましい。つまり、ダイアフラム34の中心点34bとダイアフラム34の円周部34aとの間の中心点が描く線34d上にコルゲート34cの頂点が略一致していることが好ましい。図2では、このようになっている。
【0052】
本実施形態のダイアフラム34は一例を挙げると、ダイアフラム34の半径Rが6mm(つまりダイアフラム34の直径はφ12mm)、ダイアフラム34の厚さ(肉厚)が50μmにすることができる。このようなダイアフラム34はステンレス等の金属薄膜にプレス加工する等により形成できる。
【0053】
なお、図2では、コルゲート34cはダイアフラム34の受圧面(つまり圧力導入孔32側の面)側に凸となったものであるが、オイル15側(圧力検出室40側)に凸となったものでも良い。
【0054】
次に、上記圧力センサS1の製造方法について述べる。ターミナル12がインサート成形されたコネクタケース10を用意する。シリコン系樹脂等よりなる接着剤を用いて、コネクタケース10の凹部11内へセンサチップ20を台座21を介し接着固定する。
【0055】
そして、凹部11内へシール剤14を注入し、シール剤14を各ターミナル12の周囲へ行き渡らせた後、硬化させる。次に、ワイヤボンディングを行って、各ターミナル12の突出部の先端面とセンサチップ20とをワイヤ13で結線する。
【0056】
そして、センサチップ20側を上にしてコネクタケース10を配置し、コネクタケース10の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイル15を、凹部11へ一定量注入する。
【0057】
続いて、一端側にダイアフラム34及び押さえ部材35が全周溶接されたハウジング30を用意し、このハウジング30を上から水平を保ったまま、ハウジング30の開口部31をコネクタケース10に嵌合するように降ろす。この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い圧力検出室40内の余分な空気を除去する。
【0058】
その後、コネクタケース10と押さえ部材35とが十分接するまで押さえ、ダイアフラム34とOリング42によりシールされた圧力検出室40を形成する。次に、ハウジング30の端部30aをコネクタケース10にかしめることにより、ハウジング30とコネクタケース10と一体化する。こうして、コネクタケース10とハウジング30との組合せ固定がなされ、図1に示す圧力センサS1が完成する。
【0059】
かかる圧力センサS1の基本的な圧力検出動作について述べる。圧力センサS1は、例えば、ハウジング30のネジ部33を介して、車両の適所に取り付けられる。そして、外部からの圧力(上記したエアコンの冷媒や自動車の燃料等の圧力)が、ハウジング30の圧力導入孔32を介して圧力センサS1内に導入される。
【0060】
すると、導入された圧力がダイアフラム34に印加され、ダイアフラム34には応力(歪み応力)が発生する。この応力は、圧力検出室40内のオイル15を介して、センサチップ20へ伝達され、センサチップ20の受圧面に印加される。
【0061】
そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサチップ20から出力される。このセンサ信号は、センサチップ20からワイヤ13、ターミナル12を介して、上記外部回路へ伝達される。以上が、圧力センサS1における基本的な圧力検出動作である。
【0062】
ところで、本実施形態の圧力センサS1では、ダイアフラム34には、ダイアフラム34の中心点34bに対して同心円状であり且つ断面が湾曲形状であるコルゲート34cが設けられており、ダイアフラム34の半径Rに対して、コルゲート34cの頂点は、ダイアフラム34の円周部34aから0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置していることを特徴としている。
【0063】
上述したように、従来の圧力センサにおいては、ダイアフラム半径Rに対し、コルゲートの頂点の位置する範囲は、ダイアフラムの円周部から最大0.4Rの位置までの範囲が適切とされている。
【0064】
それに対して、本実施形態によれば、従来の圧力センサに比べて、コルゲート34cの位置をダイアフラム34の中心点34b寄りに位置させたものにできる。このことから、コルゲート34c部分の受圧面積を小さくでき、ダイアフラム34の圧力による変位量の限界を高圧側に拡げることができ、当該変位量の直線性の限界点を高圧側に拡げることができる。
【0065】
そのため、オイル15の圧力すなわち圧力検出室40の内圧とダイアフラム34の圧力による変位量との関係において、圧力検出室40の内圧がより高圧となる領域まで直線的な関係を実現でき、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができる。
【0066】
ここで、コルゲート34の頂点を、ダイアフラム34の円周部34aから0.5R以上大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置させれば、コルゲート34cをよりダイアフラム34の中心点34a寄りにできるため、好ましい。
【0067】
これらのコルゲート34cの位置による効果について、具体的に調べた例を図3を参照して述べる。図3において(a)はダイアフラム34の種々の位置にコルゲート34cを形成した場合のコルゲートの位置を示す図である。
【0068】
また、図3の(b)は(a)に示す各位置にそれぞれコルゲート34cを形成したときのダイアフラム34における圧力(kPa)と変位量(μm)との関係について、FEMによるシミュレーション解析にて求めた結果を示す図である。ここで、圧力は圧力検出室40の内圧すなわちオイル15の圧力であり、温度上昇とともにオイル15が膨張して高圧となっていく。
【0069】
図3(a)では、コルゲート34cの位置は、ダイアフラム34の円周部34aから0.3R、0.5R、0.7Rの場合を示してある。0.3Rの場合は上記図6にも示したもので比較例である。この比較例を比較例1とする。この比較例1の場合、図3(b)に示すように、高圧側で圧力と変位量との関係が非直線的なものとなっている。
【0070】
それに対して、本実施形態である0.5R、0.7Rの場合は、上記比較例1に比べて高圧側まで直線的な関係を実現でき、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができている。
【0071】
圧力検出においては、実際にはセンサチップ20には、ダイアフラム34に印加された圧力と圧力検出室40の内圧との総計の圧力が加わる。そして、センサチップ20により当該総計の圧力に基づいた信号が出力され、図示しない回路によってこの信号から圧力検出室40の内圧分を差し引くという補正を行うことにより、測定対象であるダイアフラム34に印加された圧力が求められる。
【0072】
そのため、測定範囲において、ダイアフラム34における圧力検出室40の内圧による変位が当該内圧に対して直線性を持つものであれば、上記の補正は容易なものとなる。
【0073】
そして、本実施形態では、従来よりも圧力検出室40の内圧が高圧である領域すなわち高温でのセンサ特性においても上記直線性が良好に維持される。そのため、圧力センサにおいて特性検査を、室温→低温→高温の順に行っても、高温特性検査での不良発生が低減されることから、生産性の低下につながる。
【0074】
また、図3(b)から、0.5Rの場合と0.7Rの場合とを比べると、0.5Rの方が圧力−変位量のグラフ線の傾きが大きく、圧力検出室40の内圧変化に対する感度が大きいことがわかる。これは、コルゲート34cの頂点が、ダイアフラム34の中心点34bに近づくと、コルゲート部分の受圧面積が小さくなり、当該内圧変化に対する感度が落ちるためである。
【0075】
よって、感度の低下を極力抑制しつつ、圧力検出室40の内圧と当該内圧によるダイアフラム34の変位量との関係において低圧から高圧に渡る直線性を向上させるためには、コルゲート34cの頂点が、ダイアフラム34の円周部34aから0.5Rの位置に略一致していることが好ましい。
【0076】
さらに、本実施形態では、従来の圧力センサに比べて、コルゲート34cの位置をダイアフラム34の中心点34b寄りに位置させているが、その場合でも、さらに、従来のようにダイアフラム34の円周部34a寄りに別途コルゲートを設けた場合は好ましくない。
【0077】
図4は、本実施形態のコルゲート34cが形成されたダイアフラム34に対して、さらにダイアフラム34の円周部34a寄りに別途コルゲートを設けた比較例を示す断面図である。この比較例を比較例2とする。図4には、上記図3(a)に示した0.5Rの場合のダイアフラム34すなわち本実施形態のダイアフラム34も破線にて示してある。
【0078】
そして、図5は、この図4に示す比較例2および本実施形態のダイアフラム、さらに上記図3(a)に示した0.3Rの場合のダイアフラムすなわち比較例1のダイアフラムについて、圧力(kPa)と変位量(μm)との関係について、FEMによるシミュレーション解析にて求めた結果を示す図である。このときの圧力も圧力検出室40の内圧である。
【0079】
図5からわかるように、本実施形態であるコルゲート34cが従来よりもダイアフラム34の中心点34b寄りに形成されていても、他のコルゲート34cが従来のような円周部34a寄りにある比較例2では、従来と同様、高圧側で圧力と変位量との関係が非直線的なものとなってしまう。
【0080】
以上のように、本実施形態では、ダイアフラム34の半径Rに対して、コルゲート34cの頂点を、ダイアフラム34の円周部34aから0.4Rよりも大きい距離だけダイアフラム34の中心点34b寄りに位置させ、当該円周部34aから0.4R以下の領域に形成しないことが必要である。
【0081】
それによって、従来に比べて、ダイアフラムを小型化しても、圧力検出室40の内圧とダイアフラム変位量との関係において、低圧から高圧に渡る直線性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態に係る圧力センサの全体概略断面図である。
【図2】図1中のダイアフラム近傍部の拡大構成図である。
【図3】ダイアフラムの種々の位置にコルゲートを形成した場合における圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係を示す図である。
【図4】上記実施形態の他の比較例を示す断面図である。
【図5】上記図4に示す比較例と上記実施形態とで圧力とダイアフラム変位量との関係を示す図である。
【図6】従来の圧力センサにおいてダイアフラムを小型化した場合における圧力検出室の内圧とダイアフラムの変位量との関係を示す図である。
【符号の説明】
10…コネクタケース、15…オイル、20…センサチップ、
30…ハウジング、34…ダイアフラム、34a…ダイアフラムの円周部、
34b…ダイアフラムの中心点、34c…コルゲート、40…圧力検出室。
Claims (3)
- 圧力検出室(40)を有するケース(10、30)と、
前記圧力検出室に封入された液体(15)と接して前記ケースに設けられた受圧用のダイアフラム(34)と、
前記圧力検出室内にて前記液体の圧力を受ける位置に設けられた圧力検出素子(20)とを備え、
前記ダイアフラムはその円周部(34a)にて前記ケースに固定された円板状をなすものである圧力センサにおいて、
前記ダイアフラムには、前記ダイアフラムの中心点(34b)に対して同心円状であり且つ断面が湾曲形状であるコルゲート(34c)が設けられており、
前記ダイアフラムの半径をRとしたとき、前記コルゲートの頂点は、前記ダイアフラムの前記円周部から0.4Rよりも大きい距離だけ前記ダイアフラムの中心点寄りに位置していることを特徴とする圧力センサ。 - 前記コルゲート(34c)の頂点は、前記ダイアフラム(34)の前記円周部(34a)から0.5R以上大きい距離だけ前記ダイアフラムの中心点(34b)寄りに位置していることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記コルゲート(34c)の頂点は、前記ダイアフラム(34)の前記円周部(34a)から0.5Rの位置に略一致していることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002295002A JP2004132726A (ja) | 2002-10-08 | 2002-10-08 | 圧力センサ |
US10/680,142 US6955089B2 (en) | 2002-10-08 | 2003-10-08 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002295002A JP2004132726A (ja) | 2002-10-08 | 2002-10-08 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004132726A true JP2004132726A (ja) | 2004-04-30 |
Family
ID=32064103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002295002A Pending JP2004132726A (ja) | 2002-10-08 | 2002-10-08 | 圧力センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6955089B2 (ja) |
JP (1) | JP2004132726A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006170650A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Kawamoto Densan Kk | 圧力センサおよび圧力式水位計 |
JP2011524015A (ja) * | 2008-06-12 | 2011-08-25 | ローズマウント インコーポレイテッド | プロセス圧力測定用の改善されたアイソレーション・システム |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007132697A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Denso Corp | 圧力センサ |
US8117920B2 (en) * | 2006-11-22 | 2012-02-21 | Danfoss A/S | Pressure sensor |
TW201331564A (zh) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | sen-mu Gao | 以空氣壓力感測元件感測液體壓力之結構 |
DE102015106881B4 (de) * | 2015-05-04 | 2016-12-29 | Rofa Laboratory & Process Analyzers | Verfahren zur Bestimmung einer die Klopffestigkeit charakterisierenden Kenngröße eines Kraftstoffs sowie entsprechende Prüfanordnung |
US10598559B2 (en) | 2017-06-29 | 2020-03-24 | Rosemount Inc. | Pressure sensor assembly |
US11262771B2 (en) * | 2019-09-23 | 2022-03-01 | Rosemount Inc. | High pressure capsule and header for process fluid pressure transmitter |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63243830A (ja) | 1987-03-31 | 1988-10-11 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体圧力検出装置 |
US5116457A (en) * | 1989-04-07 | 1992-05-26 | I C Sensors, Inc. | Semiconductor transducer or actuator utilizing corrugated supports |
US5064165A (en) * | 1989-04-07 | 1991-11-12 | Ic Sensors, Inc. | Semiconductor transducer or actuator utilizing corrugated supports |
US5177579A (en) * | 1989-04-07 | 1993-01-05 | Ic Sensors, Inc. | Semiconductor transducer or actuator utilizing corrugated supports |
US5209118A (en) * | 1989-04-07 | 1993-05-11 | Ic Sensors | Semiconductor transducer or actuator utilizing corrugated supports |
US5565629A (en) * | 1992-12-11 | 1996-10-15 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor-type pressure sensor with isolation diaphragm with flat portion between corrugations |
JPH08159900A (ja) | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Fuji Electric Co Ltd | 圧力センサ用感圧ダイアフラムの製造方法 |
US6820487B2 (en) * | 2000-03-07 | 2004-11-23 | Masayoshi Esahi | Reflective moveable diaphragm unit and pressure sensor containing same |
JP2004069555A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Omron Corp | 圧力センサおよびその製造方法 |
-
2002
- 2002-10-08 JP JP2002295002A patent/JP2004132726A/ja active Pending
-
2003
- 2003-10-08 US US10/680,142 patent/US6955089B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006170650A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Kawamoto Densan Kk | 圧力センサおよび圧力式水位計 |
JP2011524015A (ja) * | 2008-06-12 | 2011-08-25 | ローズマウント インコーポレイテッド | プロセス圧力測定用の改善されたアイソレーション・システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6955089B2 (en) | 2005-10-18 |
US20040069068A1 (en) | 2004-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7213463B2 (en) | Pressure sensor having liquid in a pressure sensing chamber | |
JPH07243926A (ja) | 半導体圧力検出器の製造方法 | |
JP4453729B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2000356561A (ja) | 半導体歪みセンサ | |
JPH07209115A (ja) | 半導体圧力検出器及びその製造方法 | |
JP2004132726A (ja) | 圧力センサ | |
JP2001033335A (ja) | 圧力検出装置およびその製造方法 | |
JP3603772B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP5929631B2 (ja) | 物理量センサおよびその製造方法 | |
JP3509627B2 (ja) | 圧力検出装置 | |
JP2003294564A (ja) | 圧力センサの製造方法 | |
JP3567877B2 (ja) | センサ装置 | |
JP3835317B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2006208088A (ja) | 圧力センサおよびその製造方法 | |
JP2002098552A (ja) | センサ装置 | |
JP2013242157A (ja) | 圧力センサ | |
JP3976014B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4254638B2 (ja) | 圧力センサの製造方法 | |
JP4848909B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2005207875A (ja) | 圧力センサ | |
JP2005188958A (ja) | 圧力センサ | |
JP2002098607A (ja) | 圧力センサ | |
JP5251498B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4155204B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3617441B2 (ja) | センサ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061226 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070508 |