JP2007109675A - 単色分光計用の固定ダイヤフラムからなる粒子光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(電流制限及びフィルタによりビームに導入される光収差を回避するため)それにも係わらず、フィルタの適当なアパーチャ調整を行うため、フィルタ部品、特に、フィルタの磁極面又は磁界画成密閉部品(48a)に固定的に連結されたエントランスダイヤフラム(30)が設けられている。
【選択図】図1
Description
以下、実施例を参照して、本発明の上記及び他の面を明らかにし、説明する。
図1は、本発明によるフィルタ組立体からなる電子顕微鏡の適当な部分の光軸を通る面による略断面図であり、
図2は、本発明によるフィルタ組立体のビームパスを表わす図であり、
図3aは、本発明によるフィルタ組立体の略平面図であり、
図3bは、本発明によるフィルタ組立体の光軸を通る面による略断面図である。
4 放出性チップ
6 抽出電極
8 レンズ効果電極
10 単色分光計フィルタ組立体
12 アノード
14 銃スペース
16a,16b 電極
18a,18b 高圧端子
20 壁
22 スペース
24 壁
26 光軸
30 エントランスダイヤフラム
31 1次ビーム
32 アパーチャ
34 磁極片
36 永久磁石
38,40,42 鉄芯回路
44 電極
46 スペース
48a,48b 磁気密閉部品
50 ホルダー
Claims (4)
- 粒子が横切る加速高圧電界を粒子源内に確立する高圧手段(16a,16b)を含む、荷電粒子の1次ビーム(31)を生成する粒子源(2)と、
1次ビームのエネルギー分散よりも少ないエネルギー分散を備えた2次ビームを1次ビームから選択するため、粒子源内の高圧電界の実質的に完全に前方にある単色分光計フィルタ組立体(10)とからなる粒子光学装置であって、
上記単色分光計フィルタ組立体(10)の入り口側に在り、通常の動作条件で単色分光計フィルタ組立体の一部(48a)に固定的に連結されたダイヤフラム(30)が設けられていることを特徴とする粒子光学装置。 - 上記単色分光計フィルタ組立体(10)は、ウィーンフィルタからなる請求項1記載の粒子光学装置。
- 上記フィルタ組立体(10)は、フィルタの磁界を発生させる永久磁石(36)を有する請求項2記載の粒子光学装置。
- ダイヤフラム(30)は、ウィーンフィルタの磁気回路の磁極面又は磁界画成密閉部品(48a)に連結されていることを特徴とする請求項2又は3記載の粒子光学装置。
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