JP2007095279A - 半導体メモリ装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】メモリ装置の多様な動作モードにおいて、遅延固定回路を適切に制御できる制御回路を備えた半導体メモリ装置を提供すること。
【解決手段】外部からシステムクロックを受信して内部クロックに出力するクロックバッファと、データの出力タイミングが前記システムクロックに同期されるように、前記内部クロックの遅延を制御する遅延固定回路部と、前記遅延固定された内部クロックに同期させてデータを出力させるデータ出力バッファと、前記クロックバッファのオン・オフを制御するためのイネーブル信号を出力し、同じ論理レベルの制御信号に応答し、以前の動作の状態に応じて前記イネーブル信号の互いに異なる論理レベルを得るためのラッチを備えるクロックバッファ制御部を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体集積回路に関し、特に、半導体メモリ装置の遅延固定動作を制御するための回路に関する。
複数の半導体装置から構成されたシステム内において、半導体メモリ装置は、データを格納するために使用される。データ処理装置、例えば、中央処理装置CPU等でデータを要求するようになると、半導体メモリ装置は、データ要求装置から入力されたアドレスに対応する、格納されたデータを出力したり、そのアドレスに対応する位置にデータ要求装置から入力されるデータを格納したりする。
半導体装置から構成されたシステムの動作速度が速くなり、半導体集積回路に関する技術が発達するにつれて、半導体メモリ装置は、より速い速度でデータを出力、又は格納するよう要求されてきた。高速でデータを入出力させるために、システムクロックを受信した後、受信したシステムクロックに同期してデータを入出力させることができる同期式メモリ装置が開発された。同期式メモリ装置でも、要求されるデータの入出力速度を満足させるのは十分ではなく、システムクロックの立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとにそれぞれ対応してデータを入出力するDDR(Double Data Rate)同期式メモリ装置が開発された。
DDR同期式メモリ装置は、システムクロックの立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとにそれぞれデータを入出力させなければならないため、システムクロックの1周期内で2個のデータを処理しなければならない。すなわち、DDR同期式メモリ装置は、クロック信号の立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジにそれぞれデータを出力、又は受信して格納しなければならない。特に、動作マージンが十分でない高速動作において、データの衝突を防止するために、DDRメモリ装置がデータを出力するタイミングは、システムクロックの立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジに正確に同期しなければならない。したがって、DDRメモリ装置の出力バッファは、入力されたシステムクロックの立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとに同期させてデータを出力させる。
しかし、メモリ装置に入力されたシステムクロックは、内部の入力バッファ、クロック信号伝送ライン等により必然的に遅延時間を有して出力バッファに達する。したがって、既に遅延時間を有して伝達されたシステムクロックに同期させてデータを出力しても、半導体メモリ装置の出力データが伝達される外部の装置は、システムクロックの立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとは合わないタイミングでデータが伝達される。
これを解決するために半導体メモリ装置は、クロック信号の遅延を固定させる回路を備えている。遅延固定回路は、システムクロックがメモリ装置に入力されて出力バッファに伝達されるまで、メモリ装置の内部回路により遅延する値を補償するための回路である。遅延固定回路は、システムクロックが半導体メモリ装置のクロック入力バッファ及びクロック信号伝送ライン等により遅延される時間を探し出し、探し出した値に対応し、システムクロックを遅延させて出力バッファに出力する。すなわち、遅延固定回路によってメモリ装置に入力されたシステムクロックは、遅延値が一定の状態を維持したまま出力バッファに伝達される。この時のクロックを遅延固定されたクロックという。出力バッファは、遅延固定されたクロックに同期してデータを出力し、外部では、システムクロックに正確に同期してデータが出力されるものと判断するようになる。
実際の動作は、データが出力されなければならない時点より1周期早い時点で遅延固定回路から出力される遅延固定クロックが出力バッファに伝達され、伝達された遅延固定クロックに同期させてデータを出力する。したがって、システムクロックがメモリ装置の内部回路により遅延する分より、さらに早くデータを出力させることになる。これにより、メモリ装置の外部では、メモリ装置に入力されたシステムクロックの立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとにそれぞれ正確に同期したデータが出力されるようにみえるのである。つまり、遅延固定回路は、データをどれだけより早く出力させれば、メモリ装置の内部でシステムクロックの遅延値を補償できるのかを探さなければならない。
一方、DDRメモリ装置に備えられる遅延固定回路は、システムクロックの遷移タイミングと、内部回路により遅延される値とを続けて比較しなければならないため、遅延固定されるまでは、動作を続けなければならない回路である。したがって、遅延固定回路は、他の回路より多くの電流を消費することになる。
DDRメモリ装置は、消費電流を低減するために、遅延固定回路の動作を続けるのではなく、パワーダウンモード等、実質的にメモリ装置が動作しない間は、遅延固定回路が動作しないように制御する。
DDRメモリ装置の性能の改善が続くにつれ、多様な動作モードが必要となった。例えば、パワーダウンモードにおいても、プリチャージパワーダウンモードやアクティブパワーダウンモード等の動作モードが生じるようになった。したがって、DDRメモリ装置には、それぞれの動作モードに適切に対応する制御回路が必要となった。遅延固定回路をそれぞれの制御状況に合うように適切に動作させるのか動作させないのかについて、半導体メモリ装置内の動作モードを制御する回路が必要となった。
特開2004−171743
本発明は、上記した従来の技術の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、メモリ装置の多様な動作モードにおいて、遅延固定回路を適切に制御できる制御回路を備えた半導体メモリ装置を提供することにある。
そこで、上記の目的を達成するために本発明は、(1)外部からシステムクロックを受信して内部クロックとして出力するクロックバッファと、データの出力タイミングが前記システムクロックに同期するように、前記内部クロックの遅延を制御する遅延固定回路部と、前記遅延固定された内部クロックに同期させてデータを出力させるデータ出力バッファと、以前の動作の状態に応じて前記クロックバッファのオン・オフを制御するためのイネーブル信号を出力するクロックバッファ制御部とを備える半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(2)前記クロックバッファ制御部が、同じ論理レベルの制御信号に応答し、以前の動作の状態に応じて前記イネーブル信号の互いに異なる論理レベルを得るためのラッチを備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(3)前記クロックバッファ制御部が、クロックイネーブル信号を受信して内部イネーブル信号を提供する第1のロジック回路部と、前記クロックイネーブル信号と、リフレッシュ区間において活性化状態を維持するリフレッシュ制御信号とを受信し、備えられた前記ラッチを用いて動作モードに対応するレベルを有する動作モード選択信号を出力する第2のロジック回路部と、前記クロックイネーブル信号の活性化状態に応答し、前記動作モード選択信号を前記内部イネーブル信号として出力する第3のロジック回路部と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。さらに、本発明は、(4)前記第1のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と、アイドルモードで活性化されるアイドルモード制御信号と、セルフリフレッシュエミュレーションモードに活性化されるセルフ制御信号とのロジック論理積を行う第1の論理積手段を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(5)前記第1の論理積手段が、前記クロックイネーブル信号と、前記アイドルモード制御信号と、前記セルフ制御信号とを受信するNANDゲートを備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(6)前記第2のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、前記第3の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第5の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、前記第2のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第3の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(7)前記第2の論理積手段が、前記リフレッシュ制御信号と前記クロックイネーブル信号とを受信する第1のNANDゲートと、該第1のNANDゲートの出力を反転して、前記第7の論理積手段に出力する第1のインバータと、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。
また、本発明は、(8)前記第3の論理積手段が、前記リフレッシュ制御信号を反転して伝達する第2のインバータと、前記クロックイネーブル信号と前記第2のインバータの出力とを受信する第2のNANDゲートと、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、前記第3の論理積手段が、前記リフレッシュ制御信号を反転して伝達する第2のインバータと、前記クロックイネーブル信号と前記第1のインバータの出力とを受信する第2のNANDゲートと、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。さらに、本発明は、(9)前記第4の論理積手段が、前記クロックイネーブル信号を反転して伝達する第3のインバータと、前記リフレッシュ制御信号と前記第2のインバータの出力とを受信する第3のNANDゲートと、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、前記第4の論理積手段が、前記クロックイネーブル信号を反転して伝達する第3のインバータと、前記リフレッシュ制御信号と前記第3のインバータの出力とを受信する第3のNANDゲートと、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(10)前記第5の論理積手段が、前記第6の論理積手段の出力と前記第2のNANDゲートの出力とを受信する第4のNANDゲートを備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(11)前記第6の論理積手段が、前記第5の論理積手段の出力と前記第3のNANDゲートの出力とを受信する第5のNANDゲートを備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。さらに、本発明は、(12)前記第7の論理積手段が、前記第1のインバータの出力と前記第4のNANDゲートの出力を受信して、前記動作モード選択信号を出力する第6のNANDゲートを備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、(13)前記第3のロジック回路部が、前記第1のロジック回路部の出力信号と前記第2のロジック回路部の出力信号とのロジック論理積を行う第8の論理積手段を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(14)前記第8の論理積手段が、前記第1のロジック回路部の出力信号と前記第2のロジック回路部の出力信号とを受信して、前記イネーブル信号を出力するNANDゲートを備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。
また、本発明は、(15)速いプリチャージパワーダウンモードとセルフリフレッシュエミュレーションモードとを有する半導体メモリ装置において、外部からシステムクロックを受信して内部クロックとして出力するクロックバッファと、データの出力タイミングが前記システムクロックに同期するように、前記内部クロックの遅延を制御する遅延固定回路部と、前記速いプリチャージパワーダウンモードと前記セルフリフレッシュエミュレーションモードによるパワーダウンモードとにおいてそれぞれ同じ論理レベルを有する制御信号を受信し、前記速いプリチャージパワーダウンモード時には、前記クロックバッファをオンさせ、前記セルフリフレッシュエミュレーションモードのパワーダウンモード時には、前記クロックバッファをオフさせるイネーブル信号を生成するためのラッチを備えるクロックバッファ制御部とを備える半導体メモリ装置を提供する。さらに、本発明は、(16)前記制御信号が、コマンドデコーダ及びモードレジストから提供されることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、(17)前記クロックバッファ制御部が、クロックイネーブル信号を受信して内部イネーブル信号を提供する第1のロジック回路部と、前記クロックイネーブル信号とリフレッシュ区間において活性化状態を維持するリフレッシュ制御信号とを受信し、備えられた前記ラッチを用いて動作モードに対応するレベルを有する動作モード選択信号を出力する第2のロジック回路部と、前記クロックイネーブル信号の活性化状態に応答し、前記動作モード選択信号を前記内部イネーブル信号として出力する第3のロジック回路部と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(18)前記第1のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と、アイドルモードで活性化されるアイドルモード制御信号と、セルフリフレッシュエミュレーションモードに活性化されるセルフ制御信号とのロジック論理積を行う第1の論理積手段を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、(19)前記第2のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、前記第3の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第5の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、(19)前記第2のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第3の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(20)前記第3のロジック回路部が、前記第1のロジック回路部の出力信号と前記第2のロジック回路部の出力信号とのロジック論理積を行う第8の論理積手段を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。
なお、本発明は、(21)コマンドデコーダ及びモードレジスタと、クロックバッファを備える遅延固定回路と、前記クロックバッファのオン・オフを制御して、前記遅延固定回路から出力される遅延固定されたクロック信号をアップデートするか否かを決定するためのイネーブル信号を出力するクロックバッファ制御部とを備え、該クロックバッファ制御部が、前記コマンドデコーダ及び前記モードレジスタから同じ論理レベルの入力信号を受信しても、以前のメモリ動作に応じて互いに異なるパワーダウンモードで互いに異なる論理レベルの前記イネーブル信号を提供するためのラッチを備える半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(22)前記クロックバッファ制御部が、クロックイネーブル信号を受信して内部イネーブル信号を提供する第1のロジック回路部と、前記クロックイネーブル信号とリフレッシュ区間において活性化状態を維持するリフレッシュ制御信号とを受信し、備えられた前記ラッチを用いて動作モードに対応するレベルを有する動作モード選択信号を出力する第2のロジック回路部と、前記クロックイネーブル信号の活性化状態に応答し、前記動作モード選択信号を前記内部イネーブル信号として出力する第3のロジック回路部と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。さらに、本発明は、(23)前記第1のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と、アイドルモードで活性化されるアイドルモード制御信号と、セルフリフレッシュエミュレーションモードに活性化されるセルフ制御信号とのロジック論理積を行う第1の論理積手段を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、(24)前記第2のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、前記第3の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第5の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。本発明は、前記第2のロジック回路部が、前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第3の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、前記第2の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(25)前記第3のロジック回路部が、前記第1のロジック回路部の出力信号と前記第2のロジック回路部の出力信号とのロジック論理積を行う第8の論理積手段を備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。
さらに、本発明は、(26)半導体メモリ装置において、外部からシステムクロックを受信して内部クロックとして出力するクロックバッファと、データの出力タイミングが前記システムクロックに同期するように、前記内部クロックの遅延を制御する遅延固定回路部と、複数の動作モードに応じてクロックバッファのオン・オフを制御するクロックバッファ制御部とを備える半導体メモリ装置を提供する。本発明は、(27)前記動作モードには、スロープリチャージパワーダウンモード、ファーストプリチャージパワーダウンモード、アクティブパワーダウンモード、及びセルフリフレッシュエミュレーションモードがあることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。また、本発明は、(28)前記クロックバッファ制御部が、前記ファーストプリチャージパワーダウンモードと前記セルフリフレッシュエミュレーションモードによるパワーダウンモードとにおいてそれぞれ同じ論理レベルを有する制御信号を受信し、前記ファーストプリチャージパワーダウンモード時には、前記クロックバッファをオンさせ、前記セルフリフレッシュエミュレーションモードのパワーダウンモード時には、前記クロックバッファをオフさせるイネーブル信号を生成するためのラッチを備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。さらに、本発明は、(29)前記遅延固定回路部から出力された遅延固定された内部クロックに同期させてデータを出力させるデータ出力バッファをさらに備えることを特徴とする半導体メモリ装置を提供する。
本発明によってスロープリチャージパワーダウンモードIDD2PSと、ファーストプリチャージパワーダウンモードIDD2PFと、アクティブパワーダウンモードIDD3Pとによる遅延固定回路の遅延固定動作を行うように、適切に制御できるようになった。また、ファーストプリチャージパワーダウンモードとセルフリフレッシュエミュレーションモードとにおけるパワーダウンモードを行うときの制御信号が同じ場合でも、それぞれの状況に合うように遅延固定回路の遅延固定動作を適切に制御できるようになった。すなわち、前者は、遅延固定動作を行い、後者は、遅延固定動作を行わないように制御できるようになった。
したがって、本発明により高速で動作する半導体メモリ装置が各動作モードに適するように遅延固定動作を選択的に行えるようになった。そのため、不要な電流は節約し、かつ、必要な時に遅延固定動作を行い、それによって、データの入出力を信頼性のあるように行うことができるようになった。
以下、添付された図面を参照して本発明の好ましい実施形態をさらに詳細に説明する。
図1は、本発明の好ましい実施形態に係る半導体メモリ装置を示したブロック図である。
同図に示すように、本実施形態に係る半導体メモリ装置は、クロックバッファ110A、110B、110Cと、ディバイダー120と、位相比較器130と、遅延制御部140と、ダミー遅延ライン150と、レプリカモデル160と、遅延ライン170A、170Bと、出力バッファ190と、クロックバッファ110A、110B、110Cを制御するクロックバッファ制御部200とを備える。遅延固定回路は、多様な回路を備えることができるが、ここでは、ディバイダー120と、位相比較器130と、遅延制御部140と、ダミー遅延ライン150と、レプリカモデル160と、遅延ライン170A、170B等の回路が遅延固定回路の回路をなすようになる。また、遅延ライン170A、170Bと出力バッファ190との間にはクロック信号伝送ライン180A、180Bが配置される。
複数のクロックバッファ110A、110B、110Cは、外部から入力されるシステムクロックCLKを受信して複数の内部クロックRCLK、FCLK、DCLKをそれぞれ出力する装置である。
クロックバッファ110A、110Bは、それぞれシステムクロックCLKと、その反転されたシステムクロックCLKBを入力するためのバッファである。クロックバッファ110Cは、システムクロックを受信するためのクロックバッファであり、遅延固定回路の遅延固定動作のために、別途に備えられるバッファである。
ディバイダー120は、内部クロックDCLKを所定値に分周した基準クロックRCをダミー遅延ライン150に出力する。ディバイダー120は、内部クロックDCLKの周波数を1/N(Nは正数、普通は8ないし4の値を有する。)に分周するようになる。ここで、ディバイダー120が内部クロックDCLKを分周して出力する理由は、遅延固定動作の回数を最大限低減するためである。遅延固定回路の遅延固定動作は、ディバイダー120に出力された、分周された基準クロックRCの遷移時点ごとになされる。したがって、分周されたクロックを用いて遅延固定動作を行うと、内部クロックDCLKを使用して遅延固定動作を行うときより、遅延固定動作に消費される電流が減少する。
位相比較器130は、ディバイダー120から出力される基準クロックRCとフィードバッククロックFCとの位相を比較する。
遅延制御部140は、位相比較器130から提供される基準クロックRCとフィードバッククロックFCとの位相を比較した結果に応答して、ダミー遅延ライン150と遅延ライン170A、170Bとで遅延される値を調節するように制御する。
ダミー遅延ライン150は、遅延制御部140の制御に対応する遅延値の分、ディバイダーの出力である基準クロックRCを遅延させ、遅延されたクロックDCをレプリカモデル160に出力する。
レプリカモデル160は、システムクロックCLKが入力されて出力バッファに伝達されるまでの遅延値をモデリングするためのものである。特に、クロックバッファ110A、110Bによる遅延時間とクロック信号伝送ライン180A、180Bにより、システムクロックの伝達が遅延される程度をモデリングするようになる。レプリカモデル160は、モデリングにより決められた遅延値の分、ダミー遅延ライン150から出力される遅延されたクロックDCを遅延させてフィードバッククロックFCに出力する。レプリカモデル160においてモデリングする遅延値は、その正確性によって遅延固定回路で遅延固定されたクロックの正確性が決定される重要な値である。したがって、レプリカモデル160は、モデリングする回路と同様の回路を備えるか、又は、モデリングする対象回路を一定割合に減らした回路を備えるようになる。
遅延ライン170A、170Bは、それぞれ内部クロックRCLK、FCLKを受信して遅延制御部140の制御に対応する遅延値の分、遅延させて出力する。ここで、出力された信号は、伝送ライン180A、180Bを介して出力バッファ190に出力される。
位相比較器130は、入力される2つの信号RC、FCの位相を比較し、どちらの信号が位相が早い信号であるかを、遅延制御部140に出力する。遅延制御部140は、位相比較器130から出力される信号に応答して、遅延ライン170A、170Bとダミー遅延ライン150との遅延値を調整する。具体的に、遅延ライン170A、170Bとダミー遅延ライン150との遅延値を増加、又は減少させる。
位相比較器130は、入力される2つの信号RC、FCの位相が同じようになると、遅延制御部140は、遅延ライン170A、170Bとダミー遅延ライン150との遅延値を変化させずに、固定するようにする。
出力バッファ190は、伝送ライン180A、180Bにより伝達された内部クロックRCLK、FCLKに応答して、メモリコア領域から伝達されたデータDATA_BUSを外部に出力する。
一方、クロックバッファ制御部200は、制御信号SAPD、RASIDLE、CKEB、REFLAGBを受信して、クロックバッファ110A、110B、110Cを活性化させるためのイネーブル信号CB_ENBを出力する。クロックバッファ110A、110B、110Cは、イネーブル信号CB_ENBが活性化されると、システムクロックCLK、CLKBを受信して内部クロックRCLK、FCLK、DCLKを出力する。
クロックバッファ110A、110B、110Cにおいて、内部クロックRCLK、FCLK、DCLKを出力しなければ遅延固定動作が行われない。したがって、クロックバッファ制御部200は、メモリ装置が動作しないときは、不要な電流消費を防止するために、イネーブル信号CB_ENBを不活性化させ、メモリ装置が動作する間にのみ、イネーブル信号CB_ENBを活性化させて出力する。
より効果的にデータを入出力させるために、DDRメモリ装置は、特定のスペックで動作するように製造されるが、そのステップ別にDDR、DDR2、DDR3に分けられる。
図2Aは、DDR2スペックを支援する半導体メモリ装置の動作モードテーブルであり、図2Bは、DDR3スペックを支援する半導体メモリ装置の動作モードテーブルである。
ここで、制御信号SAPDは、スローパワーダウンモードではロジックハイレベル、アクティブパワーダウンモードではロジックローレベルを維持する信号である。クロックイネーブル信号CKEBは、メモリ装置の動作中にはシステムクロックをメモリ装置の内部に伝達し、メモリ装置が動作中でないときには、システムクロックをメモリ装置の内部に伝達することを防ぐ信号である。制御信号REFLAGBは、メモリ装置がリフレッシュ動作しているときは、ロジックローレベルにイネーブルされる信号である。制御信号RASIDLEは、アイドルモードにおいてロジックハイレベルを維持し、アクティブモードにおいてロジックローレベルを維持する信号である。
まず、DDR2スペックを支援するメモリ装置は、プリチャージパワーダウンモード、すなわち、IDD2P状況では、モードレジスタセットMRSから出力される信号である制御信号SAPDのロジックハイレベル又はロジックローレベルに関わらず、遅延固定動作がアップデートされない。すなわち、イネーブル信号CB_ENBは、ロジックハイレベルにならなければならない。
ここで、プリチャージパワーダウンモードであるIDD2Pは、大きく2つに分けられ、スロープリチャージパワーダウンモードであるIDD2PSとファーストプリチャージパワーダウンモードであるIDD2PFとがある。
一方、DDR3スペックを支援するメモリ装置は、IDD2P状況では、制御信号SAPDがハイレベルのときは、スロープリチャージパワーダウンモードとなって遅延固定回路がアップデートされず、制御信号SAPDがローレベルのときは、ファーストプリチャージパワーダウンモードとなって遅延固定動作がアップデートされる。遅延固定動作がアップデートされるとは、遅延固定動作が実行され続けていることいい、遅延固定動作がアップデートされないとは、遅延固定動作を実行されないことをいう。すなわち、アップデートされるとは、位相比較器が動作を続け、遅延固定されるべきクロックの追跡を続けることをいい、アップデートされないとは、以前の遅延固定された状態を維持し続け、維持された情報によるクロックが出力されることをいう。パワーダウンモードを脱出した直後にアップデートされなければ、以前の遅延固定されたクロックが直ちに出力バッファに提供される。
また、DDR2スペックを支援するメモリ装置は、アクティブパワーダウンモードであるIDD3P状況のときは、制御信号SAPDがハイレベル(スロープリチャージパワーダウンモードの場合)か、又は、ローレベル(ファーストプリチャージパワーダウンモードの場合)かに応じて遅延固定動作のアップデート可否を決定する。それに対して、DDR3スペックを支援するメモリ装置では、制御信号SAPDがハイレベル又はローレベルに関わらず、すなわち、スロープリチャージパワーダウンモードか又はファーストプリチャージパワーダウンモードかに関わらず、アクティブパワー状況では、遅延固定動作がアップデートされなければならない。すなわち、イネーブル信号CB_ENBは、ロジックローレベルにならなければならない。
なお、DDR2スペックを支援するメモリ装置とDDR3スペックを支援するメモリ装置は、共にセルフリフレッシュエミュレーションモードSREMを支援しなければならない。この時、DDR3スペックを支援するメモリ装置は、制御信号SAPDがローレベルのとき、IDD2PF動作モードとセルフリフレッシュエミュレーションモードSREMとが動作を行った後のアクティブパワーダウンモードに進入する制御信号の組み合わせが同じである。しかし、イネーブル信号CB_ENBは、IDD2PF状況のときは、ローレベルを維持して遅延固定動作のアップデートが生じるようにしなければならない。セルフリフレッシュエミュレーションモードSREM動作を行った後、アクティブパワーダウンモードに進入する状況のときは、制御信号CB_ENBがロジックハイレベルになって、遅延固定動作のアップデートが発生しないようにしなければならない。遅延固定動作のアップデートが生じなければこそ遅延固定回路による電流消費を低減することができる。
図3は、図1に示されたクロックバッファ制御部の第1の実施形態に係る回路図である。
同図は、図2Aに示された動作モードを説明するテーブルの通りにメモリ素子を動作させるためのクロックバッファ制御部200の内部回路図である。
同図に示すように、制御信号SAPD、REFLAGBとクロックイネーブル信号CKEBとを受信するNANDゲートND1と、制御信号REFLAGB、RASIDLEとクロックイネーブル信号CKEBとを受信するNANDゲートND2と、NANDゲートND1、ND2の出力を受信してイネーブル信号CB_ENBを出力するNANDゲートND3とを備える。
また、図4A及び図4Bは、図3のクロックバッファ制御部の動作を示したタイミングチャートである。
図4Aには、制御信号SAPDがハイレベルの場合のクロックイネーブル信号CKEB及び制御信号RASIDLE、REFLAGBの状態に応じてクロックバッファ制御部200から出力されるイネーブル信号CB_ENBのイネーブルの可否に対する波形が示されている。
なお、図4Bには、制御信号SAPDがローレベルの場合のクロックイネーブル信号CKEB及び制御信号RASIDLE、REFLAGBの状態に応じてクロックバッファ制御部200から出力されるイネーブル信号CB_ENBのイネーブルの可否に対する波形が示されている。
図5は、図1に示されたクロックバッファ制御部の第2の実施形態に係る回路図である。
同図に示すように、第2の実施形態に係るクロックバッファ制御部200は、クロックバッファ110A、110B、110Cのオン・オフを制御するイネーブル信号CB_ENBを出力し、同じ論理レベルの制御信号CKEB、REFLAGBに応答し、以前の動作の状態に応じてイネーブル信号CB_ENBの互いに異なる論理レベルを得るためのラッチ221を備える。
クロックバッファ制御部200は、クロックイネーブル信号CKEBを受信して内部イネーブル信号を提供する第1のロジック回路部210と、クロックイネーブル信号CKEBと、リフレッシュ区間において活性化状態を維持するリフレッシュ制御信号REFLAGBとを受信し、備えられたラッチ221を用いて動作モードに対応するレベルを有する動作モード選択信号Qを出力する第2のロジック回路部220と、クロックイネーブル信号CKEBの活性化状態に応答し、動作モード選択信号Qを内部イネーブル信号CB_ENBとして出力する第3のロジック回路部230とを備える。
第1のロジック回路部210は、クロックイネーブル信号CKEBと、アイドルモードIDLEで活性化されるアイドルモード制御信号RASIDLEと、セルフリフレッシュエミュレーションモードSREMに活性化されるセルフ制御信号SAPDとのロジック論理積を行う第1の論理積部を備える。第1の論理積部は、クロックイネーブル信号CKEBと、アイドルモード制御信号RASIDLEと、セルフ制御信号SAPDとを受信するNANDゲートNA4を備える。
第2のロジック回路部220は、クロックイネーブル信号CKEBとリフレッシュ制御信号REFLAGBとのロジック論理積を行う第2の論理積部221と、クロックイネーブル信号CKEBと反転されたリフレッシュ制御信号REFLAGBとのロジック論理積を行う第3の論理積部222と、反転されたクロックイネーブル信号CKEBとリフレッシュ制御信号REFLAGBとのロジック論理積を行う第4の論理積部223と、第3の論理積部222の出力と第4の論理積部223の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が相互の他側入力として受信されて、ラッチLAをなす第5の論理積部及び第6の論理積部224、225と、第2の論理積部221の出力と第5の論理積部224の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積部226とを備える。
第2のロジック回路部220は、クロックイネーブル信号CKEBとリフレッシュ制御信号REFLAGBとのロジック論理積を行う第2の論理積部221と、クロックイネーブル信号CKEBと反転されたリフレッシュ制御信号REFLAGBとのロジック論理積を行う第3の論理積部222と、反転されたクロックイネーブル信号CKEBとリフレッシュ制御信号REFLAGBとのロジック論理積を行う第4の論理積部223と、第2の論理積部221の出力と第3の論理積部222の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が相互の他側入力として受信されて、ラッチLAをなす第5の論理積部及び第6の論理積部224、225と、第2の論理積部221の出力と第4の論理積部223の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積部226とを備える。
第2の論理積部221は、リフレッシュ制御信号REFLAGBとクロックイネーブル信号CKEBとを受信するNANDゲートND5と、NANDゲートND5の出力を反転して第7の論理積部226に出力するためのインバータI1とを備える。
第3の論理積部222は、リフレッシュ制御信号REFLAGBを反転して伝達するインバータI2と、クロックイネーブル信号CKEBとインバータI2の出力とを受信するNANDゲートND6とを備える。
第4の論理積部223は、クロックイネーブル信号CKEBを反転して伝達するインバータI3と、リフレッシュ制御信号REFLAGBとインバータI3の出力とを受信するNANDゲートND7とを備える。
第5の論理積部224は、第6の論理積部225の出力とNANDゲートND6の出力とを受信するNANDゲートND8を備える。
第6の論理積部225は、第5の論理積部224の出力とNANDゲートND7の出力とを受信するNANDゲートND9を備える。
第7の論理積部226は、インバータI1の出力とNANDゲートND8の出力とを受信して動作モード選択信号Qを出力するNANDゲートND10を備える。
第3のロジック回路部230は、第1のロジック回路部210の出力信号と第2のロジック回路部220の出力信号とのロジック論理積を行う第8の論理積部を備える。第8の論理積部は、第1のロジック回路部210の出力信号と第2のロジック回路部220の出力信号とを受信してイネーブル信号CB_ENBを出力するNANDゲートND11を備える。
本実施形態に係る半導体メモリ装置は、前述したようなクロックバッファ制御部を具備し、DDR3スペックを支援するために、スロープリチャージパワーダウンモードIDD2PS、ファーストプリチャージパワーダウンモードIDD2PF、セルフリフレッシュエミュレーションモードSREM、アクティブパワーダウンモードIDD3Pを支援する。すなわち、クロックバッファ制御部200が、前記4つの動作モードに応じてクロックバッファを適切に制御する。
図6A及び図6Bは、図3のクロックバッファ制御部の動作を示したタイミングチャートである。図7は、図1の半導体メモリ装置のセルフリフレッシュエミュレーションモードSREMを示したタイミングチャートである。
以下では、図5、図6A、図6B及び図7を参照し、本実施形態に係る半導体メモリ装置の動作に対して説明する。
最初に、スロープリチャージパワーダウンモードであるIDD2PSの場合、モードレジスタセットに格納されたコードによる制御信号SAPDはハイレベルでセットされ、クロックイネーブル信号CKEBはローレベルであり、制御信号RASIDLEはプリチャージパワーダウンモードであるからハイレベル、制御信号REFLAGBはリフレッシュ動作を行う途中でないためハイレベルである。この信号の組み合わせにより、クロックバッファ制御部200の出力信号であるイネーブル信号CB_ENBは、ハイレベルにディセーブルされた状態で出力される。したがって、クロックバッファ110A、110B、110Cから内部クロックが出力されず、それにより、遅延固定回路の遅延固定動作は行われない。
一方、ファーストプリチャージパワーダウンモードであるIDD2PFの場合は、制御信号SAPDがローレベルでセットされ、残りの信号は同じであるため、クロックバッファ制御部200の出力信号であるイネーブル信号CB_ENBは、ローレベルにイネーブルされた状態で出力される。したがって、クロックバッファ110A、110B、110Cから内部クロックが出力され、それにより、遅延固定回路の遅延固定動作が行われる。
第2に、アクティブパワーダウンモードであるIDD3Pの場合、制御信号RASIDLEは、アクティブ状況ではローレベルを維持し、制御信号REFLAGBはハイレベルを維持し、制御信号SAPDはハイレベルかローレベルかに関わらず、イネーブル信号CB_ENBがローレベルになって遅延固定ループの遅延固定動作が行われる。
第3に、セルフリフレッシュエミュレーションモードの場合について説明する。まず、セルフリフレッシュエミュレーションモードについて説明する。このモードは、図7によく示されている。このモードは、DDR2スペックやDDR3スペックを実現するためのものである。このモードは、ユーザUSERがセルフリフレッシュ動作モードを使用する代りに、メモリ装置に対するアクセスが不要な場合に、メモリ装置が動作モードをパワーダウンモードに変化させた後、リフレッシュが必要な時点でのみ、クロックイネーブル信号CKEBをハイレベルに活性化させ、オートリフレッシュ命令を利用したリフレッシュを行うようにする動作モードをいう。この場合、外部のチップセット等のメモリ装置に命令語を提供する装置において、tREFi(7.8us)ごとにオートリフレッシュ命令を印加することができ、外部装置のリフレッシュ制御動作が簡便になるという長所がある。
また、ローパワーモードからのリカバリータイム、すなわち、読み出し命令語を印加し、次に、読み出し命令語を印加できるタイミングを約6tck程度に、最小限に減少することができる。参考に、セルフリフレッシュを使用すると、セルフリフレッシュモードを脱出した後、約200tckのリカバリータイムが必要となる。
このような長所を有したセルフリフレッシュエミュレーションモードは、ローパワーダウンモードに留まることができるタイミング制約があまりない。すなわち、パワーダウンモードに留まる最小限の時間が非常に小さくなる。したがって、セルフリフレッシュエミュレーションモードで一定の時間が過ぎた後、そのモードを脱出した後、直ちに読み出し命令を行ったときには、遅延固定回路の遅延固定された情報が以前の値と異なるようになる。これは、遅延固定された値を探す時間が十分でないためである。そのため、tACスペックに抜け出た状態でメモリ装置が動作できる。この問題を解決するために、セルフリフレッシュエミュレーションモードで動作するときは、メモリ装置の内部に遅延固定された情報を周期的にアップデートする必要がある。
このときの動作を説明すれば、クロックイネーブル信号をハイレベルからローレベルにパワーダウンモードで進入させる。このとき、オートリフレッシュ命令を印加すれば、制御信号RASIDLEは、内部的にオートリフレッシュが終わるまでローレベル状態となり、制御信号REFLAGBもローレベル状態となりながらイネーブル信号CB_ENBはローレベルになって遅延固定回路のアップデート動作が行われる。すなわち、tREFi(7.8us)ごとに遅延固定回路のアップデート動作をするようになる。この時、遅延固定回路の遅延固定情報アップデータ時間は、メモリ装置の内部オートリフレッシュ時間より長くすることが必要となるため、制御信号REFLAGBは、遅延固定回路が十分に遅延固定動作を行い、かつ、アップデートする時間を稼ぐことができるようにする。すなわち、図7に示すように、△Tの分、制御信号REFLAGBは、制御信号RASIDLEより更に長い間、ローレベルの状態でいるようになる。
この時、DDR3スペックの動作モードを説明すれば(図2を参照)、IDD2PFとSREM動作の際のパワーダウンモード信号とが同じようになる。すなわち、制御信号SAPDはローレベル、制御信号REFLAGBはハイレベル、クロックイネーブル信号CKEBはローレベルであり、制御信号RASIDLEはハイレベルであって、同じである。しかし、イネーブル信号CB_ENBは、IDD2PFの場合には、ローレベルとなって遅延固定回路の遅延固定動作が行われなければならず、セルフリフレッシュエミュレーションモードでは、イネーブル信号CB_ENBは、ハイレベルとなって遅延固定回路の遅延固定動作が行われてはいけない。
このような問題を解決するために、図5のNANDゲートから構成されたラッチLA回路が挿入された。IDD2PFの場合には、ラッチLAの出力値がローレベルの状態で、動作モード選択信号Qのレベルはハイレベルになり、イネーブル信号CB_ENBはローレベルになる。したがって、遅延固定回路の遅延固定動作は行われる。
それに対して、セルフリフレッシュエミュレーションモードでは、制御信号REFLAGBがローレベルになるので、ラッチの出力信号が以前の値であるハイレベルを記憶しており、動作モード選択信号Qはローレベルになり、そのため、イネーブル信号CB_ENBをハイレベルで出力させる。したがって、遅延固定回路の遅延固定動作は行われない。よって、遅延固定回路により消費される電流を低減することができるようになる。
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。
本発明の好ましい実施形態に係る半導体装置を示したブロック図である。 図1に示された半導体装置の動作モードを示したテーブル図である。 図1に示された半導体装置の動作モードを示したテーブル図である。 図1に示されたクロックバッファ制御部の第1の実施形態に係る回路図である。 図3のクロックバッファ制御部の動作を示したタイミングチャートである。 図3のクロックバッファ制御部の動作を示したタイミングチャートである。 図1に示されたクロックバッファ制御部の第2の実施形態に係る回路図である。 図3のクロックバッファ制御部の動作を示したタイミングチャートである。 図3のクロックバッファ制御部の動作を示したタイミングチャートである。 図1の半導体装置のSREMモードを示したタイミングチャートである。
符号の説明
200 クロックバッファ制御部
110A、110B、110C クロックバッファ
120 ディバイダー
130 位相比較器
140 遅延制御部
150 ダミー遅延ライン
160 レプリカモデル
170A、170B 遅延ライン
180A、180B クロック信号伝送ライン
190 出力バッファ

Claims (29)

  1. 外部からシステムクロックを受信して内部クロックに出力するクロックバッファと、
    データの出力タイミングが前記システムクロックに同期するように、前記内部クロックの遅延を制御する遅延固定回路部と、
    前記遅延固定された内部クロックに同期させてデータを出力するデータ出力バッファと、
    以前の動作の状態に応じて前記クロックバッファのオン・オフを制御するためのイネーブル信号を出力するクロックバッファ制御部と、
    を備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
  2. 前記クロックバッファ制御部が、
    同じ論理レベルの制御信号に応答し、以前の動作の状態に応じて前記イネーブル信号の互いに異なる論理レベルを得るためのラッチを備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  3. 前記クロックバッファ制御部が、
    クロックイネーブル信号を受信して内部イネーブル信号を提供する第1のロジック回路部と、
    前記クロックイネーブル信号と、リフレッシュ区間において活性化状態を維持するリフレッシュ制御信号とを受信し、備えられた前記ラッチを用いて動作モードに対応するレベルを有する動作モード選択信号を出力する第2のロジック回路部と、
    前記クロックイネーブル信号の活性化状態に応答し、前記動作モード選択信号を前記内部イネーブル信号として出力する第3のロジック回路部と、
    を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
  4. 前記第1のロジック回路部が、
    前記クロックイネーブル信号と、アイドルモードで活性化されるアイドルモード制御信号と、セルフリフレッシュエミュレーションモードに活性化されるセルフ制御信号とのロジック論理積を行う第1の論理積手段を備えることを特徴とする請求項3に記載の半導体メモリ装置。
  5. 前記第1の論理積手段が、
    前記クロックイネーブル信号と、前記アイドルモード制御信号と、前記セルフ制御信号とを受信するNANDゲートを備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ装置。
  6. 前記第2のロジック回路部が、
    前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、
    前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、
    反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、
    前記第3の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、
    前記第2の論理積手段の出力と前記第5の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、
    を備えることを特徴とする請求項5に記載の半導体メモリ装置。
  7. 前記第2の論理積手段が、
    前記リフレッシュ制御信号と前記クロックイネーブル信号とを受信する第1のNANDゲートと、
    該第1のNANDゲートの出力を反転して、前記第7の論理積手段に出力する第1のインバータと、
    を備えることを特徴とする請求項6に記載の半導体メモリ装置。
  8. 前記第3の論理積手段が、
    前記リフレッシュ制御信号を反転して伝達する第2のインバータと、
    前記クロックイネーブル信号と前記第2のインバータの出力とを受信する第2のNANDゲートと、
    を備えることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ装置。
  9. 前記第4の論理積手段が、
    前記クロックイネーブル信号を反転して伝達する第3のインバータと、
    前記リフレッシュ制御信号と前記第3のインバータの出力とを受信する第3のNANDゲートと、
    を備えることを特徴とする請求項8に記載の半導体メモリ装置。
  10. 前記第5の論理積手段が、
    前記第6の論理積手段の出力と前記第2のNANDゲートの出力とを受信する第4のNANDゲートを備えることを特徴とする請求項9に記載の半導体メモリ装置。
  11. 前記第6の論理積手段が、
    前記第5の論理積手段の出力と前記第3のNANDゲートの出力とを受信する第5のNANDゲートを備えることを特徴とする請求項10に記載の半導体メモリ装置。
  12. 前記第7の論理積手段が、
    前記第1のインバータの出力と前記第4のNANDゲートの出力を受信して、前記動作モード選択信号を出力する第6のNANDゲートを備えることを特徴とする請求項11に記載の半導体メモリ装置。
  13. 前記第3のロジック回路部が、
    前記第1のロジック回路部の出力信号と前記第2のロジック回路部の出力信号とのロジック論理積を行う第8の論理積手段を備えることを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置。
  14. 前記第8の論理積手段が、
    前記第1のロジック回路部の出力信号と前記第2のロジック回路部の出力信号とを受信して、前記イネーブル信号を出力するNANDゲートを備えることを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置。
  15. 速いプリチャージパワーダウンモードとセルフリフレッシュエミュレーションモードとを有する半導体メモリ装置において、
    外部からシステムクロックを受信して内部クロックとして出力するクロックバッファと、
    データの出力タイミングが前記システムクロックに同期するように、前記内部クロックの遅延を制御する遅延固定回路部と、
    前記速いプリチャージパワーダウンモードと前記セルフリフレッシュエミュレーションモードによるパワーダウンモードとにおいて、それぞれ同じ論理レベルを有する制御信号が印加され、前記速いプリチャージパワーダウンモード時には、前記クロックバッファをオンさせ、前記セルフリフレッシュエミュレーションモードのパワーダウンモード時には、前記クロックバッファをオフさせるイネーブル信号を生成するためのラッチを備えるクロックバッファ制御部と、
    を備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
  16. 前記制御信号が、コマンドデコーダ及びモードレジストから提供されることを特徴とする請求項15に記載の半導体メモリ装置。
  17. 前記クロックバッファ制御部が、
    クロックイネーブル信号を受信して内部イネーブル信号を提供する第1のロジック回路部と、
    前記クロックイネーブル信号とリフレッシュ区間において活性化状態を維持するリフレッシュ制御信号とを受信し、備えられた前記ラッチを用いて動作モードに対応するレベルを有する動作モード選択信号を出力する第2のロジック回路部と、
    前記クロックイネーブル信号の活性化状態に応答し、前記動作モード選択信号を前記内部イネーブル信号として出力する第3のロジック回路部と、
    を備えることを特徴とする請求項15に記載の半導体メモリ装置。
  18. 前記第1のロジック回路部が、
    前記クロックイネーブル信号と、アイドルモードで活性化されるアイドルモード制御信号と、セルフリフレッシュエミュレーションモードに活性化されるセルフ制御信号とのロジック論理積を行う第1の論理積手段を備えることを特徴とする請求項17に記載の半導体メモリ装置。
  19. 前記第2のロジック回路部が、
    前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、
    前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、
    反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、
    前記第3の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、
    前記第2の論理積手段の出力と前記第5の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、
    を備えることを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリ装置。
  20. 前記第3のロジック回路部が、
    前記第1のロジック回路部の出力信号と前記第2のロジック回路部の出力信号とのロジック論理積を行う第8の論理積手段を備えることを特徴とする請求項19に記載の半導体メモリ装置。
  21. コマンドデコーダ及びモードレジスタと、
    クロックバッファを備える遅延固定回路と、
    前記クロックバッファのオン・オフを制御して、前記遅延固定回路から出力される遅延固定されたクロック信号をアップデートするか否かを決定するためのイネーブル信号を出力するクロックバッファ制御部と、
    を備え、
    該クロックバッファ制御部が、前記コマンドデコーダ及び前記モードレジスタから同じ論理レベルの入力信号が受信されても、以前のメモリ動作に応じて互いに異なるパワーダウンモードにおいて、互いに異なる論理レベルの前記イネーブル信号を提供するためのラッチを備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
  22. 前記クロックバッファ制御部が、
    クロックイネーブル信号を受信して内部イネーブル信号を提供する第1のロジック回路部と、
    前記クロックイネーブル信号とリフレッシュ区間において活性化状態を維持するリフレッシュ制御信号とを受信し、備えられた前記ラッチを用いて動作モードに対応するレベルを有する動作モード選択信号を出力する第2のロジック回路部と、
    前記クロックイネーブル信号の活性化状態に応答し、前記動作モード選択信号を前記内部イネーブル信号として出力する第3のロジック回路部と、
    を備えることを特徴とする請求項21に記載の半導体メモリ装置。
  23. 前記第1のロジック回路部が、
    前記クロックイネーブル信号と、アイドルモードで活性化されるアイドルモード制御信号と、セルフリフレッシュエミュレーションモードに活性化されるセルフ制御信号とのロジック論理積を行う第1の論理積手段を備えることを特徴とする請求項22に記載の半導体メモリ装置。
  24. 前記第2のロジック回路部が、
    前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第2の論理積手段と、
    前記クロックイネーブル信号と反転された前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第3の論理積手段と、
    反転された前記クロックイネーブル信号と前記リフレッシュ制御信号とのロジック論理積を行う第4の論理積手段と、
    前記第3の論理積手段の出力と前記第4の論理積手段の出力とをそれぞれ一側で受信し、それぞれの出力が互いの他側入力として受信されて、前記ラッチをなす第5の論理積手段及び第6の論理積手段と、
    前記第2の論理積手段の出力と前記第5の論理積手段の出力とのロジック論理積を行う第7の論理積手段と、
    を備えることを特徴とする請求項23に記載の半導体メモリ装置。
  25. 前記第3のロジック回路部が、
    前記第1のロジック回路部の出力信号と前記第2のロジック回路部の出力信号とのロジック論理積を行う第8の論理積手段を備えることを特徴とする請求項24に記載の半導体メモリ装置。
  26. 半導体メモリ装置において、
    外部からシステムクロックを受信して内部クロックとして出力するクロックバッファと、
    データの出力タイミングが前記システムクロックに同期するように、前記内部クロックの遅延を制御する遅延固定回路部と、
    複数の動作モードに応じてクロックバッファのオン・オフを制御するクロックバッファ制御部と、
    を備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
  27. 前記動作モードには、スロープリチャージパワーダウンモード、ファーストプリチャージパワーダウンモード、アクティブパワーダウンモード、及びセルフリフレッシュエミュレーションモードがあることを特徴とする請求項26に記載の半導体メモリ装置。
  28. 前記クロックバッファ制御部が、
    前記ファーストプリチャージパワーダウンモードと前記セルフリフレッシュエミュレーションモードによるパワーダウンモードとにおいてそれぞれ同じ論理レベルを有する制御信号を受信し、前記ファーストプリチャージパワーダウンモード時には、前記クロックバッファをオンさせ、前記セルフリフレッシュエミュレーションモードのパワーダウンモード時には、前記クロックバッファをオフさせるイネーブル信号を生成するためのラッチを備えることを特徴とする請求項27に記載の半導体メモリ装置。
  29. 前記遅延固定回路部から出力された遅延固定された内部クロックに同期させてデータを出力させるデータ出力バッファをさらに備えることを特徴とする請求項26に記載の半導体メモリ装置。
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