JP2007086563A - Liquid crystal panel inspecting apparatus - Google Patents

Liquid crystal panel inspecting apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2007086563A
JP2007086563A JP2005277165A JP2005277165A JP2007086563A JP 2007086563 A JP2007086563 A JP 2007086563A JP 2005277165 A JP2005277165 A JP 2005277165A JP 2005277165 A JP2005277165 A JP 2005277165A JP 2007086563 A JP2007086563 A JP 2007086563A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal panel
backlight
illumination light
dust
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005277165A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4884738B2 (en
Inventor
Kunihiro Mizuno
邦広 水野
Makoto Kikuta
誠 菊田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micronics Japan Co Ltd
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd filed Critical Micronics Japan Co Ltd
Priority to JP2005277165A priority Critical patent/JP4884738B2/en
Priority to TW095127418A priority patent/TW200712467A/en
Priority to KR1020060074117A priority patent/KR100779135B1/en
Publication of JP2007086563A publication Critical patent/JP2007086563A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4884738B2 publication Critical patent/JP4884738B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal panel inspection apparatus capable of discriminating the video of dust sticking to the surfaces on both sides of a liquid crystal panel and the defect inside the liquid crystal panel in an inspection apparatus for inspecting the liquid crystal panel in a state having no polarizing plate by using an imaging apparatus. <P>SOLUTION: A back light switch 36 is turned on and an oblique illumination switch 40 is turned off. A shutter 32 is opened to irradiate the rear side of the liquid crystal panel 12 with the light of the back light device 30 through a light diffusion plate 24 and the first polarizing plate 22, and the rear side of the liquid crystal panel 12 is photographed with a CCD camera 44. At this time, the dust within the liquid crystal panel 12 and the dust (external dust) on the surfaces on both sides are reflected. Next, the shutter 32 is closed and the oblique illumination switch 40 is turned on, and photographing is performed similarly. At this time, the internal dust is not reflected and only the external dust is reflected. The internal dust and the external dust can be discriminated by comparing two videos. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶パネルをバックライトで照らして液晶パネルの内部のゴミなどの欠陥を撮像装置で観察するタイプの液晶パネル検査装置に関するものである。   The present invention relates to a liquid crystal panel inspection apparatus of a type in which a liquid crystal panel is illuminated with a backlight and defects such as dust inside the liquid crystal panel are observed with an imaging device.

液晶パネルをバックライトで照らして液晶パネルの内部のゴミなどの欠陥を撮像装置で観察するタイプの液晶パネル検査装置として，次の特許文献１及び特許文献２が知られている。
特開平１１−３２６１２３号公報 特開平１０−２２７７２１号公報 The following Patent Document 1 and Patent Document 2 are known as a type of liquid crystal panel inspection apparatus that illuminates a liquid crystal panel with a backlight and observes defects such as dust inside the liquid crystal panel with an imaging device.
JP 11-326123 A JP-A-10-227721

特許文献１の液晶パネル検査装置は，液晶パネルの下面に対向するようにバックライトを配置し，液晶パネルの上面に対向するようにセンサカメラを配置している。以下，センサカメラに対向している側をオモテ面と呼び，バックライトに対向している側をウラ面と呼ぶことにする。バックライトを点灯して，液晶パネルを透過してくるバックライト光をカメラで撮影することで，液晶パネルの内部の欠陥を検査している。この場合，液晶パネルの内部の欠陥だけでなく，液晶パネルの第１面における保護フィルムの傷や表面に付着したゴミなども，センサカメラで撮影されることになる。そこで，特許文献１では，内部欠陥と表面ゴミなどとを区別できるように，傾斜照明ランプを用いて，液晶パネルのオモテ面に対して斜め方向から光を当てることができるようにしている。最初に，バックライトを消灯しておいて，傾斜照明光だけを液晶パネルのオモテ面に照射して，その反射光をセンサカメラで撮影する。このときにセンサカメラに映るのは，液晶パネルの表面の傷やゴミなどであり，液晶パネルの内部の欠陥は映らない。次に，傾斜照明ランプを消灯して，バックライトを点灯して，その透過光をカメラで撮影する。このときにセンサカメラに映るのは，液晶パネルの内部の欠陥と，液晶パネルのオモテ面における傷やゴミ，の両方である。最後に，バックライトによる撮影画像情報から傾斜照明光による撮影画像情報を引き算することで，液晶パネルの内部の欠陥だけを得ることができる。   In the liquid crystal panel inspection apparatus of Patent Document 1, a backlight is disposed so as to face the lower surface of the liquid crystal panel, and a sensor camera is disposed so as to face the upper surface of the liquid crystal panel. Hereinafter, the side facing the sensor camera is referred to as the front surface, and the side facing the backlight is referred to as the back surface. The backlight is turned on and the backlight inside the liquid crystal panel is photographed with a camera to inspect defects inside the liquid crystal panel. In this case, not only defects inside the liquid crystal panel but also scratches on the protective film on the first surface of the liquid crystal panel and dust adhering to the surface are photographed by the sensor camera. Therefore, in Patent Document 1, an inclined illumination lamp is used so that light can be applied from an oblique direction to the front surface of the liquid crystal panel so that internal defects and surface dust can be distinguished. First, the backlight is turned off, only the tilted illumination light is irradiated onto the front surface of the liquid crystal panel, and the reflected light is photographed with a sensor camera. At this time, the sensor camera shows scratches and dust on the surface of the liquid crystal panel, and does not show defects inside the liquid crystal panel. Next, the tilt illumination lamp is turned off, the backlight is turned on, and the transmitted light is photographed with a camera. At this time, both the defects inside the liquid crystal panel and the scratches and dust on the front side of the liquid crystal panel are reflected on the sensor camera. Finally, by subtracting the captured image information from the tilted illumination light from the captured image information from the backlight, only the defects inside the liquid crystal panel can be obtained.

特許文献２の液晶パネル検査装置も特許文献１の装置と同様である。すなわち，液晶パネルのオモテ面に対向するようにテレビカメラを配置し，液晶パネルの第２面に対向するようにバックライトを配置している。バックライトによる点灯検査の前または後に，バックライトを消灯しておいて，傾斜照明光だけを液晶パネルのオモテ面に照射して，その反射光をテレビカメラで撮影する。このときにテレビカメラに映るのは，液晶パネルのオモテ面の側の表面の保護シートの傷や保護シート上のゴミなど（以下，表面欠陥という）であり，液晶パネルの内部の欠陥は映らない。一方，点灯検査のときは，傾斜照明ランプを消灯して，バックライトを点灯して，その透過光をカメラで撮影する。このときにテレビカメラに映るのは，液晶パネルの内部の欠陥と，液晶パネルの表面欠陥の両方である。傾斜照明光による撮影画像情報（反射画像情報）と，バックライト光による撮影画像情報（透過画像情報）とを座標位置を合わせて比較して，どちらの撮影画像情報にも映っているものが液晶パネルの表面欠陥であり，バックライト光による撮影画像情報だけに映っているものが液晶パネルの内部の欠陥であると判断できる。   The liquid crystal panel inspection apparatus of Patent Document 2 is the same as the apparatus of Patent Document 1. That is, the television camera is disposed so as to face the front surface of the liquid crystal panel, and the backlight is disposed so as to face the second surface of the liquid crystal panel. Before or after the lighting test with the backlight, the backlight is turned off, only the tilted illumination light is irradiated onto the front surface of the liquid crystal panel, and the reflected light is photographed with a TV camera. At this time, what appears on the TV camera is scratches on the protective sheet on the front side of the liquid crystal panel and dust on the protective sheet (hereinafter referred to as surface defects), and no defects inside the liquid crystal panel are reflected. . On the other hand, in the lighting inspection, the tilt illumination lamp is turned off, the backlight is turned on, and the transmitted light is photographed with a camera. At this time, both the defects inside the liquid crystal panel and the surface defects of the liquid crystal panel are reflected on the TV camera. The captured image information (reflected image information) by tilted illumination light and the captured image information (transmitted image information) by backlight light are compared in the coordinate position, and what is reflected in either captured image information is liquid crystal It can be determined that the surface defect of the panel, which is reflected only in the image information taken by the backlight, is a defect inside the liquid crystal panel.

上述の特許文献１と特許文献２に記載された液晶パネル検査装置には次の問題点がある。これらの従来技術では，液晶パネルのウラ面の側の表面に付着したゴミと，液晶パネルの内部の欠陥とを区別することができない。すなわち，傾斜照明光を液晶パネルのオモテ面に照射しても，ウラ面の側の表面に付着したゴミはカメラの画像には映らない。一方，バックライト光で撮影すると，液晶パネルのウラ面の側の表面ゴミと，液晶パネルの内部の欠陥が，両方とも，画像として映るので，それらを区別することができない。   The liquid crystal panel inspection apparatuses described in Patent Document 1 and Patent Document 2 described above have the following problems. In these prior arts, it is impossible to distinguish between dust adhering to the surface on the back side of the liquid crystal panel and defects inside the liquid crystal panel. In other words, even if tilted illumination light is applied to the front side of the liquid crystal panel, dust attached to the surface on the back side is not reflected in the camera image. On the other hand, when photographing with backlight, both the surface dust on the back side of the liquid crystal panel and the defects inside the liquid crystal panel appear as images, and thus cannot be distinguished.

また，上述の特許文献１と特許文献２は，偏光板を備えた液晶パネルについての内部ゴミ等の有無を検査するものであり，偏光板を貼付する前の液晶パネルについては何も触れていない。偏光板を貼付する前の段階で，液晶パネルの内部にゴミ等が入り込んでいることが判明すれば，その後の無駄な作業（偏光板の貼り付け作業等）をしなくても済むが，特許文献１と特許文献２では，偏光板が無い状態の液晶パネルについての内部ゴミ等を検査することについて，どのような工夫が必要なのか，何も触れていない。   In addition, Patent Document 1 and Patent Document 2 described above are for inspecting the presence or absence of internal dust or the like for a liquid crystal panel provided with a polarizing plate, and nothing is touched on the liquid crystal panel before the polarizing plate is attached. . If it becomes clear that dust etc. has entered the inside of the liquid crystal panel at the stage before sticking the polarizing plate, there is no need to perform unnecessary work (such as attaching the polarizing plate) afterwards. Document 1 and Patent Document 2 do not mention what kind of contrivance is necessary for inspecting internal dust or the like for a liquid crystal panel without a polarizing plate.

本発明の目的は，偏光板が無い状態の液晶パネルを撮像装置を用いて検査する装置において，液晶パネルの両側の表面に付着したゴミの映像と，液晶パネルの内部の欠陥とを区別できるような液晶パネル検査装置を提供することにある。   It is an object of the present invention to distinguish between images of dust adhering to both surfaces of a liquid crystal panel and defects inside the liquid crystal panel in an apparatus for inspecting a liquid crystal panel without a polarizing plate using an imaging device. It is to provide a liquid crystal panel inspection apparatus.

本発明の液晶パネル検査装置は次の（ア）乃至（キ）を備えている。（ア）偏光板が無い状態の液晶パネルを支持するパネル支持台。（イ）前記液晶パネルの一方の表面に対面するように配置されたバックライト。（ウ）前記液晶パネルの他方の表面に対面するように配置された撮像装置。（エ）前記液晶パネルと前記バックライトの間に配置された第１偏光板。（オ）前記液晶パネルと前記撮像装置の間に配置された第２偏光板。（カ）前記液晶パネルの前記一方の表面に対して所定の傾斜角度で照明光を当てる傾斜照明光源であって，この傾斜照明光源からの照明光が前記第１偏光板を通過することなく前記一方の表面に当たるように配置された傾斜照明光源。（キ）前記バックライトによる液晶パネルの照明と前記傾斜照明光源による液晶パネルの照明とを切り換えるための切換装置。   The liquid crystal panel inspection apparatus of the present invention includes the following (a) to (g). (A) A panel support for supporting a liquid crystal panel without a polarizing plate. (A) A backlight arranged to face one surface of the liquid crystal panel. (C) An imaging device arranged to face the other surface of the liquid crystal panel. (D) A first polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the backlight. (E) A second polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the imaging device. (F) An inclined illumination light source that applies illumination light at a predetermined inclination angle to the one surface of the liquid crystal panel, and the illumination light from the inclined illumination light source passes through the first polarizing plate without passing through the first polarizing plate. A tilted illumination light source arranged to hit one surface. (G) A switching device for switching between illumination of the liquid crystal panel by the backlight and illumination of the liquid crystal panel by the inclined illumination light source.

傾斜照明光源による照明光については，前記液晶パネルの前記一方の表面の任意の地点において，前記傾斜角度を１０〜５０度の範囲内にすることが好ましい。   For illumination light from an inclined illumination light source, it is preferable that the inclination angle is within a range of 10 to 50 degrees at an arbitrary point on the one surface of the liquid crystal panel.

前記切換装置は，液晶パネルとバックライトとの間に配置されたシャッターを含むことができる。このシャッターは，バックライトから液晶パネルの一方の面に向かう照明光を通過させる開放状態と，バックライトから液晶パネルの一方の面に向かう照明光を遮断する閉鎖状態との間で切り換えが可能である。シャッターを設けることにより，バックライトについては，点灯状態のままで，照明の切り換えが可能になる。   The switching device may include a shutter disposed between the liquid crystal panel and the backlight. This shutter can be switched between an open state that allows illumination light from the backlight toward one side of the liquid crystal panel to pass and a closed state that blocks illumination light from the backlight toward one side of the liquid crystal panel. is there. By providing the shutter, it is possible to switch the illumination while the backlight is in a lighting state.

液晶パネルが第１辺と第２辺と第３辺と第４辺とからなる矩形の形状をしていている場合に，前記傾斜照明光源は次の（ａ）乃至（ｄ）を備えることができる。（ａ）前記液晶パネルの前記第１辺に平行な第１サイドランプであって，前記液晶パネルの前記第１辺よりも前記バックライト側にあって，かつ，前記液晶パネルの中心から見て前記第１辺よりも離れた位置にある第１サイドランプ。（ｂ）前記液晶パネルの前記第２辺に平行な第２サイドランプであって，前記液晶パネルの前記第２辺よりも前記バックライト側にあって，かつ，前記液晶パネルの中心から見て前記第２辺よりも離れた位置にある第２サイドランプ。（ｃ）前記液晶パネルの前記第３辺に平行な第３サイドランプであって，前記液晶パネルの前記第３辺よりも前記バックライト側にあって，かつ，前記液晶パネルの中心から見て前記第３辺よりも離れた位置にある第３サイドランプ。（ｄ）前記液晶パネルの前記第４辺に平行な第４サイドランプであって，前記液晶パネルの前記第４辺よりも前記バックライト側にあって，かつ，前記液晶パネルの中心から見て前記第４辺よりも離れた位置にある第４サイドランプ。   When the liquid crystal panel has a rectangular shape including the first side, the second side, the third side, and the fourth side, the inclined illumination light source may include the following (a) to (d): it can. (A) a first side lamp parallel to the first side of the liquid crystal panel, the first side lamp being closer to the backlight than the first side of the liquid crystal panel, and viewed from the center of the liquid crystal panel A first side lamp located at a position away from the first side. (B) a second side lamp parallel to the second side of the liquid crystal panel, the second side lamp being closer to the backlight than the second side of the liquid crystal panel, and viewed from the center of the liquid crystal panel A second side lamp located at a position away from the second side. (C) a third side lamp parallel to the third side of the liquid crystal panel, the third side lamp being closer to the backlight than the third side of the liquid crystal panel, and viewed from the center of the liquid crystal panel A third side lamp located at a position away from the third side. (D) a fourth side lamp parallel to the fourth side of the liquid crystal panel, the fourth side lamp being closer to the backlight than the fourth side of the liquid crystal panel, and viewed from the center of the liquid crystal panel A fourth side lamp located at a position away from the fourth side.

本発明は、偏光板が無い状態の液晶パネルを撮像装置を用いて検査する場合に，液晶パネルの両側の表面に付着したゴミの映像と，液晶パネルの内部の欠陥とを区別できる，という効果を奏する。   The present invention has an effect that, when a liquid crystal panel without a polarizing plate is inspected by using an imaging device, it is possible to distinguish between images of dust adhering to both surfaces of the liquid crystal panel and defects inside the liquid crystal panel. Play.

以下，図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明する。図１は本発明の液晶パネル検査装置の一実施例の構成図であり，機械的な構造部分は正面断面図を示している。パネル支持台１０の上面には，偏光板を貼り付ける前の状態の液晶パネル１２を載せることができる。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of a liquid crystal panel inspection apparatus according to the present invention, and the mechanical structure shows a front sectional view. On the upper surface of the panel support 10, the liquid crystal panel 12 in a state before the polarizing plate is attached can be placed.

パネル支持台１０の内部には傾斜照明光源２０と第１偏光板２２と拡散板２４が配置されている。パネル支持台１０はベース２６に対して支柱２８で固定されている。ベース２６の上面にはバックライト装置３０が固定されている。バックライト装置３０の上方にはシャッター３２が配置されている。シャッター３２はシャッター駆動機構３４により水平方向に（すなわち，矢印３５の方向に）移動できる。このシャッター３２は，バックライト装置３０から液晶パネル１２の下面に向かう照明光を通過させる状態（開放状態）と，バックライト装置３０から液晶パネル１２の下面に向かう照明光を遮断する状態（閉鎖状態）との間で切り換えが可能である。   An inclined illumination light source 20, a first polarizing plate 22, and a diffusion plate 24 are disposed inside the panel support 10. The panel support 10 is fixed to the base 26 with a column 28. A backlight device 30 is fixed to the upper surface of the base 26. A shutter 32 is disposed above the backlight device 30. The shutter 32 can be moved in the horizontal direction (that is, in the direction of the arrow 35) by the shutter drive mechanism 34. The shutter 32 is in a state where illumination light traveling from the backlight device 30 toward the lower surface of the liquid crystal panel 12 is passed (open state), and in a state where illumination light traveling from the backlight device 30 toward the lower surface of the liquid crystal panel 12 is blocked (closed state). ).

バックライト装置３０はバックライトスイッチ３６を介してバックライト電源３８から電力の供給を受ける。また，傾斜照明光源２０は傾斜照明スイッチ４０を介して傾斜照明電源４２から電力の供給を受ける。   The backlight device 30 is supplied with power from the backlight power source 38 via the backlight switch 36. The inclined illumination light source 20 is supplied with electric power from the inclined illumination power source 42 via the inclined illumination switch 40.

パネル支持台１０の上方には撮像装置としてのＣＣＤカメラ４４が配置されている。ＣＣＤカメラ４４と液晶パネル１２の間には第２偏光板４６が配置されている。ＣＣＤカメラ４４の映像は画像処理部４８で処理されて，液晶パネル１２の内部のゴミや，液晶パネル１２の両側の表面に付着したゴミの映像を取得することができる。得られた映像は表示装置４９の画面に映すことができる。   A CCD camera 44 as an imaging device is disposed above the panel support 10. A second polarizing plate 46 is disposed between the CCD camera 44 and the liquid crystal panel 12. The image of the CCD camera 44 is processed by the image processing unit 48, and images of dust inside the liquid crystal panel 12 and dust attached to the surfaces on both sides of the liquid crystal panel 12 can be acquired. The obtained video can be displayed on the screen of the display device 49.

図２はパネル支持台１０の斜視図であり，その一部を切り欠いて示したものである。図３はパネル支持台１０の正面断面図である。図２と図３において，このパネル支持台１０は上板５０と張り出し部５２と垂直部５４と下板５６からなり，これらが一体に形成されている。パネル支持台１０の中央は大きく開口していて，この開口は上下方向に貫通している。上板５０の上面は液晶パネル１２を支持する支持面になっている。上板５０の支持面の外形寸法は，液晶パネルの外形寸法よりもわずかに大きい。張り出し部５２は，上板５０の外周部から下に向かって外側に傾斜するように張り出している。張り出し部５２の内側には光源収容部５７が形成されていて，ここに傾斜照明光源２０が収容される。傾斜照明光源２０は，液晶パネルの各辺に平行な細長い形状をしており，この実施例では発光ダイオードで構成されている。張り出し部５２の四つの辺のそれぞれに傾斜照明光源２０が収容されている。   FIG. 2 is a perspective view of the panel support 10 and a part thereof is cut away. FIG. 3 is a front sectional view of the panel support 10. 2 and 3, the panel support 10 includes an upper plate 50, an overhanging portion 52, a vertical portion 54, and a lower plate 56, which are integrally formed. The center of the panel support 10 has a large opening, and this opening penetrates in the vertical direction. The upper surface of the upper plate 50 is a support surface that supports the liquid crystal panel 12. The outer dimension of the support surface of the upper plate 50 is slightly larger than the outer dimension of the liquid crystal panel. The projecting portion 52 projects from the outer peripheral portion of the upper plate 50 so as to be inclined outward. A light source accommodating portion 57 is formed inside the projecting portion 52, and the inclined illumination light source 20 is accommodated therein. The tilted illumination light source 20 has an elongated shape parallel to each side of the liquid crystal panel, and in this embodiment, is constituted by a light emitting diode. The inclined illumination light source 20 is accommodated in each of the four sides of the overhang portion 52.

垂直部５４は張り出し部５２よりも内側に位置していて，上板５０とほぼ同程度の外形寸法である。図３に明瞭に示すように，垂直部５４の内壁には段部５８が形成されていて，この段部５８のところに，拡散板２４と第１偏光板２２が固定されている。下板５６は垂直部５４の下端から水平方向に外側に張り出している。下板５６の下面は支柱２８で支持されている。   The vertical portion 54 is located on the inner side of the overhanging portion 52 and has an outer dimension substantially the same as that of the upper plate 50. As clearly shown in FIG. 3, a step portion 58 is formed on the inner wall of the vertical portion 54, and the diffusion plate 24 and the first polarizing plate 22 are fixed to the step portion 58. The lower plate 56 projects outward from the lower end of the vertical portion 54 in the horizontal direction. The lower surface of the lower plate 56 is supported by the support column 28.

図３において，液晶パネル１２の形状は矩形であって，第１辺と第２辺と第３辺と第４辺を備えている。そして，傾斜照明光源２０も，液晶パネルの各辺に対応して，合計で４個のサイドランプを備えている。例えば，第１のサイドランプ２０ａは，液晶パネル１２の第１辺１３ａの近傍にあり，第１辺１３ａよりもバックライト側に位置していて，かつ，液晶パネル１２の中心から見て第１辺１３ａよりも離れた位置（図３では，第１辺１３ａよりも左側の位置）にある。サイドランプをこのように配置することにより，サイドランプからの照明光は，所定の傾斜角度をもった傾斜照明となる。第２，第３及び第４のサイドランプについても同様である。   In FIG. 3, the shape of the liquid crystal panel 12 is rectangular, and includes a first side, a second side, a third side, and a fourth side. The inclined illumination light source 20 is also provided with a total of four side lamps corresponding to each side of the liquid crystal panel. For example, the first side lamp 20a is in the vicinity of the first side 13a of the liquid crystal panel 12, is located on the backlight side of the first side 13a, and is the first side when viewed from the center of the liquid crystal panel 12. It is in a position farther than the side 13a (in FIG. 3, a position on the left side of the first side 13a). By arranging the side lamps in this way, the illumination light from the side lamps becomes inclined illumination with a predetermined inclination angle. The same applies to the second, third, and fourth side lamps.

次に，液晶パネル１２と，内部ゴミ検査用の二つの偏光板２２，４６との関係を説明する。以下の説明では，液晶パネルがＴＮ型であると仮定して説明する。この液晶パネルは，上下の電極に電圧をかけないときには，一方のガラス板から他方のガラス板に向かって，液晶分子の軸が９０度だけねじれた状態にある。第１偏光板２２の偏光軸は，下側のガラス板の内面の配向方向に平行になっている。第２偏光板４６の偏光軸は，第１偏光板２２の偏光軸に平行である。したがって，二つの偏光板２２，４６に液晶パネル１２が挟まれた状態の液晶装置を考えると，電圧をかけない状態では，この液晶装置は，光を通過させないモード（遮光モード）にある。   Next, the relationship between the liquid crystal panel 12 and the two polarizing plates 22 and 46 for internal dust inspection will be described. In the following description, it is assumed that the liquid crystal panel is a TN type. In this liquid crystal panel, when no voltage is applied to the upper and lower electrodes, the axis of liquid crystal molecules is twisted by 90 degrees from one glass plate to the other glass plate. The polarization axis of the first polarizing plate 22 is parallel to the orientation direction of the inner surface of the lower glass plate. The polarization axis of the second polarizing plate 46 is parallel to the polarization axis of the first polarizing plate 22. Therefore, considering a liquid crystal device in which the liquid crystal panel 12 is sandwiched between the two polarizing plates 22 and 46, the liquid crystal device is in a mode that does not allow light to pass through (the light blocking mode) when no voltage is applied.

図４は図１の装置における照明系と撮像系だけを示す正面断面図である。下方のバックライト装置３０と上方のＣＣＤカメラ４４との間には，下から順番に，シャッター３２，拡散板２４，第１偏光板２２，傾斜照明光源２０，液晶パネル１２，及び，第２偏光板４６が配置されている。この図４では，シャッター３２を開放状態にして，バックライト装置３０の光６８が液晶パネル１２の下面に向かうことができる状態を示している。このとき，傾斜照明光源２０は消灯している。バックライト装置３０の光６８は，拡散板２４を通過することで一様になり，さらに，第１偏光板２２を通過して，液晶パネル１２の下面に到達する。このバックライト光は，液晶パネル１２の両側の表面のゴミも，液晶パネル１２の内部のゴミも，両方，映し出す。この点を以下に詳しく説明する。   4 is a front sectional view showing only the illumination system and the imaging system in the apparatus of FIG. Between the lower backlight device 30 and the upper CCD camera 44, the shutter 32, the diffusion plate 24, the first polarizing plate 22, the tilted illumination light source 20, the liquid crystal panel 12, and the second polarized light are sequentially arranged from the bottom. A plate 46 is arranged. FIG. 4 shows a state where the shutter 32 is opened and the light 68 of the backlight device 30 can go to the lower surface of the liquid crystal panel 12. At this time, the inclined illumination light source 20 is turned off. The light 68 of the backlight device 30 becomes uniform by passing through the diffusion plate 24, and further passes through the first polarizing plate 22 and reaches the lower surface of the liquid crystal panel 12. This backlight light projects both dust on both surfaces of the liquid crystal panel 12 and dust inside the liquid crystal panel 12. This point will be described in detail below.

図５は，図４の状態における，ゴミによる光の乱反射の状態を模式的に示している。液晶パネル１２は，その電極に何も信号が入力されない状態である。二つの偏光板２２，４６と液晶パネル１２とからなる液晶装置を考えると，この液晶装置は，光の通過を遮断するモード（遮光モード）にある。このとき，バックライト光６８で液晶パネル１２を照射すると，ＣＣＤカメラ４４から見た場合，液晶パネル１２は，その全体が暗く見える。その理由は次のとおりである。バックライト光６８が拡散板２４と第１偏光板２２を通過すると，一方向のみに振動する直線偏光７６になる。この直線偏光７６は，液晶パネル１２によって，その偏光軸が９０度だけ回転する。このように偏光軸が回転した直線偏光は，第２偏光板４６を通過できない。したがって，液晶装置全体として見れば，遮光モードとなっている。   FIG. 5 schematically shows a state of irregular reflection of light by dust in the state of FIG. The liquid crystal panel 12 is in a state where no signal is input to its electrodes. Considering a liquid crystal device composed of two polarizing plates 22 and 46 and the liquid crystal panel 12, this liquid crystal device is in a mode for blocking the passage of light (light shielding mode). At this time, when the liquid crystal panel 12 is irradiated with the backlight 68, the entire liquid crystal panel 12 looks dark when viewed from the CCD camera 44. The reason is as follows. When the backlight 68 passes through the diffusion plate 24 and the first polarizing plate 22, it becomes linearly polarized light 76 that vibrates only in one direction. The polarization axis of the linearly polarized light 76 is rotated by 90 degrees by the liquid crystal panel 12. Thus, the linearly polarized light whose polarization axis is rotated cannot pass through the second polarizing plate 46. Therefore, when viewed as a whole liquid crystal device, the light shielding mode is set.

ところで，上述の直線偏光７６が，液晶パネル１２の内部のゴミ７８，すなわち，２枚のガラス板８０，８２に挟まれた空間に存在するゴミ７８，に当たると，光が乱反射して，偏光状態が変化する。したがって，ゴミ７８からの散乱光８４の一部は第２偏光板４６を通過でき，これがＣＣＤカメラ４４に到達する。その結果，ゴミ７８が輝点として映像に映る。また，液晶パネル１２のウラ側の表面に付着したゴミ８６についても，同様に，ここで光が散乱して，その散乱光９２が輝点として映る。液晶パネル１２のオモテ側の表面に付着したゴミ８８についても，その散乱光９４が輝点として映る。このようにして，液晶パネル１２の内部ゴミ７８と表面に付着したゴミ８６，８８の両方が，ＣＣＤカメラ４４の映像に輝点として映る。   By the way, when the above-mentioned linearly polarized light 76 hits the dust 78 inside the liquid crystal panel 12, that is, the dust 78 present in the space between the two glass plates 80 and 82, the light is irregularly reflected, and the polarization state Changes. Therefore, a part of the scattered light 84 from the dust 78 can pass through the second polarizing plate 46 and reaches the CCD camera 44. As a result, dust 78 appears on the video as a bright spot. Similarly, the dust 86 adhering to the back surface of the liquid crystal panel 12 is also scattered here, and the scattered light 92 appears as a bright spot. The scattered light 94 also appears as a bright spot on the dust 88 attached to the front side surface of the liquid crystal panel 12. In this way, both the internal dust 78 of the liquid crystal panel 12 and the dusts 86 and 88 attached to the surface appear as bright spots on the image of the CCD camera 44.

次に，傾斜照明に切り換える。図６は，シャッター３２を閉じて，傾斜照明光源２０を点灯した状態を示している。バックライト装置３０は点灯したままであるが，シャッター３２が閉じているので，バックライト装置３０の光は，シャッター３２に遮られて，液晶パネル１２のウラ面には到達しない。   Next, switch to tilted illumination. FIG. 6 shows a state where the shutter 32 is closed and the inclined illumination light source 20 is turned on. Although the backlight device 30 remains lit, the shutter 32 is closed, so that the light from the backlight device 30 is blocked by the shutter 32 and does not reach the back surface of the liquid crystal panel 12.

傾斜照明光源２０の光は液晶パネル１２のウラ面に対して所定の傾斜角で照射される。図６の左側に位置する傾斜照明光源２０を考えると，液晶パネル１２の四つの辺のうち，傾斜照明光源２０に最も近い辺６０に向かう光６２と，液晶パネル１２のウラ面とのなす角度はθ１である。また，この傾斜照明光源２０に最も遠い辺６４に向かう光６６と，液晶パネル１２のウラ面とのなす角度はθ２である。ゆえに，液晶パネル１２のウラ面の任意の位置において，傾斜照明光源２０から照射される光と，液晶パネル１２のウラ面とのなす角度θは，θ１からθ２までの範囲内にある。液晶パネルの内部欠陥を映さずに，液晶パネルの両側の表面のゴミだけを映すには，角度θは１０〜５０度の範囲内が好ましい。この実施例では，θ１＝４５度，θ２＝１５度である。四つの傾斜照明光源２０のどれについても，液晶パネルとの位置関係は同様である。   The light from the inclined illumination light source 20 is applied to the back surface of the liquid crystal panel 12 at a predetermined inclination angle. Considering the tilted illumination light source 20 located on the left side of FIG. 6, the angle formed by the light 62 toward the side 60 closest to the tilted illumination light source 20 among the four sides of the liquid crystal panel 12 and the back surface of the liquid crystal panel 12. Is θ1. The angle formed between the light 66 traveling toward the side 64 farthest from the inclined illumination light source 20 and the back surface of the liquid crystal panel 12 is θ2. Therefore, at an arbitrary position on the back surface of the liquid crystal panel 12, the angle θ between the light emitted from the inclined illumination light source 20 and the back surface of the liquid crystal panel 12 is in the range from θ1 to θ2. In order to project only the dust on the surfaces on both sides of the liquid crystal panel without reflecting internal defects of the liquid crystal panel, the angle θ is preferably within a range of 10 to 50 degrees. In this embodiment, θ1 = 45 degrees and θ2 = 15 degrees. The positional relationship between the four inclined illumination light sources 20 and the liquid crystal panel is the same.

図７は，図６の状態における，ゴミによる光の乱反射の状態を模式的に示している。傾斜照明光源２０によって，液晶パネル１２のウラ面に対して，斜め方向から光を照射すると，内部ゴミ７８による乱反射光９０の強度は弱くなり，ＣＣＤカメラ４４に映る輝点の強度は弱くなる。その理由は次のとおりである。２枚のガラス板８０，８２の間のギャップＧは，例えば５μｍ程度であり，内部ゴミ７８の最大厚さも５μｍ程度である。このような薄いゴミ７８は，斜めから光を照射した場合に，ＣＣＤカメラ４４の方向に乱反射する光９０の強度は弱くなる。一方，液晶パネル１２のウラ面またはオモテ面のゴミ８６，８８は，例えば，数十μｍ程度のサイズがあり，かつ，立体的である。このようなゴミ８６，８８で乱反射した光９２，９４は，ＣＣＤカメラ４４の映像に輝点として映る。   FIG. 7 schematically shows a state of irregular reflection of light by dust in the state of FIG. When the oblique illumination light source 20 irradiates light on the back surface of the liquid crystal panel 12 from an oblique direction, the intensity of the irregularly reflected light 90 by the internal dust 78 becomes weak and the intensity of the bright spot reflected on the CCD camera 44 becomes weak. The reason is as follows. The gap G between the two glass plates 80 and 82 is, for example, about 5 μm, and the maximum thickness of the internal dust 78 is also about 5 μm. When such thin dust 78 is irradiated with light from an oblique direction, the intensity of light 90 diffusely reflected in the direction of the CCD camera 44 becomes weak. On the other hand, the dust 86, 88 on the back surface or the front surface of the liquid crystal panel 12 has a size of, for example, about several tens of μm and is three-dimensional. The light 92 and 94 irregularly reflected by the dust 86 and 88 is reflected as a bright spot on the image of the CCD camera 44.

傾斜照明光源２０の光は，液晶パネル１２のウラ面に対して斜めに照射されるので，液晶パネル１２を透過した光が，そのまま，第２偏光板４６を通過して（通過するとしても，特定の偏光方向に合致する一部の光だけであるが），ＣＣＤカメラ４４に到達することはない。ゴミ７８，８６，８８による乱反射光のうち，特定の偏光方向に合致する光が，第２偏光板４６を通過して，ＣＣＤカメラ４４に到達することになる。   Since the light from the inclined illumination light source 20 is irradiated obliquely to the back surface of the liquid crystal panel 12, the light transmitted through the liquid crystal panel 12 passes through the second polarizing plate 46 as it is (even if it passes through). Only a portion of the light that matches the specific polarization direction), but does not reach the CCD camera 44. Of the irregularly reflected light from the dusts 78, 86, and 88, light that matches a specific polarization direction passes through the second polarizing plate 46 and reaches the CCD camera 44.

ＣＣＤカメラ４４の映像を画像処理部４８（図１を参照）で処理する際に，所定の閾値を設定して，その閾値よりも大きな検出強度の画素データだけを輝点として取り出すようにすると，図７の状態では，強度の弱い内部ゴミ７８による乱反射光９０は，画像処理部４８の出力からは消失して，表面のゴミ８６，８８による乱反射光９２，９４だけが輝点として取り出される。したがって，バックライト光による輝点位置のデータから，傾斜照明光源による輝点位置のデータを取り除くと，内部ゴミによる輝点位置のデータだけが残ることになり，内部ゴミと表面ゴミの切り分けが可能になる。   When the image of the CCD camera 44 is processed by the image processing unit 48 (see FIG. 1), a predetermined threshold value is set, and only pixel data having a detection intensity larger than the threshold value is extracted as a bright spot. In the state of FIG. 7, the irregularly reflected light 90 due to the low-intensity internal dust 78 disappears from the output of the image processing unit 48, and only the irregularly reflected lights 92 and 94 due to the dusts 86 and 88 on the surface are extracted as bright spots. Therefore, if the data of the bright spot position by the inclined illumination light source is removed from the bright spot position data by the backlight, only the bright spot position data by the internal dust remains, and the internal dust and the surface dust can be separated. become.

次に，液晶パネルの内部ゴミを検出する手順を説明する。図１において，バックライトスイッチ３６をオンにしてバックライト装置３０を点灯させる。シャッター３２は閉じておく。傾斜照明スイッチ４０はオフにする。パネル支持台１０に，偏光板を貼り付ける前の液晶パネル１２を載せる。シャッター３２を開いて，バックライト装置３０の光を，拡散板２４と第１偏光板２２を通して，液晶パネル１２のウラ面に照射する。そして，ＣＣＤカメラ４４で液晶パネル１２を撮影する。これが図５に示した状態である。   Next, a procedure for detecting dust inside the liquid crystal panel will be described. In FIG. 1, the backlight switch 36 is turned on to turn on the backlight device 30. The shutter 32 is closed. The tilt illumination switch 40 is turned off. The liquid crystal panel 12 prior to attaching the polarizing plate is placed on the panel support 10. The shutter 32 is opened, and the light of the backlight device 30 is irradiated on the back surface of the liquid crystal panel 12 through the diffusion plate 24 and the first polarizing plate 22. Then, the liquid crystal panel 12 is photographed by the CCD camera 44. This is the state shown in FIG.

次に，シャッター３２を閉じて，バックライト装置３０の光が液晶パネル１２のウラ面に向かうのを遮断する。バックライトスイッチ３６はオンのままにしておく。そして，傾斜照明スイッチ４０をオンにする。バックライト装置３０を消灯しない理由は次のとおりである。バックライト装置３０として蛍光灯を使った場合，バックライト装置３０が点灯して定常状態になるまでに，ある程度の時間がかかるので，複数の液晶パネルを検査するときのサイクルタイムを短縮するために，バックライト装置３０は点灯状態のままにしておくのが好ましい。傾斜照明のときは，シャッター３２が閉じているので，バックライト光は液晶パネルには当たらない。傾斜照明光源２０の光は，液晶パネル１２のウラ面に対して斜めに照射される。そして，ＣＣＤカメラ４４で液晶パネル１２を撮影する。これが図７に示した状態である。   Next, the shutter 32 is closed to block the light from the backlight device 30 from traveling toward the back surface of the liquid crystal panel 12. The backlight switch 36 is left on. Then, the tilt illumination switch 40 is turned on. The reason why the backlight device 30 is not turned off is as follows. When a fluorescent lamp is used as the backlight device 30, it takes a certain amount of time for the backlight device 30 to turn on and reach a steady state, so that the cycle time when inspecting a plurality of liquid crystal panels is shortened. The backlight device 30 is preferably left lit. In the case of inclined illumination, the backlight 32 does not hit the liquid crystal panel because the shutter 32 is closed. The light from the inclined illumination light source 20 is applied obliquely to the back surface of the liquid crystal panel 12. Then, the liquid crystal panel 12 is photographed by the CCD camera 44. This is the state shown in FIG.

図８は，そのようにして撮影した液晶パネルの映像の一部を拡大して示した模式図である。上下方向と左右方向に延びる線はゲート線７０とデータ線７２である。隣り合う２本のゲート線７０と，隣り合う２本のデータ線７２とに囲まれた領域が，ひとつの画素である。図８（Ａ）はバックライト光で撮影したものである。液晶パネルの内部にある内部ゴミが輝点９６として映り，液晶パネルのオモテ側またはウラ側の表面に付いた外部ゴミも輝点９８（この例では，３個ある）として映る。図８（Ｂ）は傾斜照明光源で撮影したものである。液晶パネルの内部にある内部ゴミについての輝点９６は消失し，液晶パネルのオモテ側またはウラ側の表面に付いた外部ゴミの輝点９８だけが映る。内部ゴミによる輝点９６は，完全には消失しないかもしれないが，所定の閾値以上の光の強度だけを意味のあるデータとして取り出すことで，内部ゴミによる輝点９６はデータ的に消失する。   FIG. 8 is a schematic diagram showing an enlarged part of the image of the liquid crystal panel taken in this way. The lines extending in the vertical direction and the horizontal direction are the gate line 70 and the data line 72. A region surrounded by two adjacent gate lines 70 and two adjacent data lines 72 is one pixel. FIG. 8A is a photograph taken with backlight. Internal dust inside the liquid crystal panel appears as bright spots 96, and external dust attached to the front or back surface of the liquid crystal panel also appears as bright spots 98 (in this example, there are three). FIG. 8B is an image taken with an inclined illumination light source. The bright spot 96 for the internal dust inside the liquid crystal panel disappears, and only the bright spot 98 of the external dust attached to the front or back surface of the liquid crystal panel is shown. The bright spot 96 due to the internal dust may not completely disappear, but the bright spot 96 due to the internal dust disappears in terms of data by taking out only the intensity of light that exceeds a predetermined threshold as meaningful data.

画像処理部４８（図１を参照）は，図８（Ａ）の画像における輝点の座標位置データと，図８（Ｂ）の画像における輝点の座標位置データとを記憶しており，前者のデータと後者のデータとの共通部分（これは，外部ゴミによる輝点の座標位置データである）をデータ的に削除することができる。残ったものが，内部ゴミによる輝点の座標位置データである。これにより，内部ゴミの有無，及び，その位置を把握することができる。   The image processing unit 48 (see FIG. 1) stores bright spot coordinate position data in the image of FIG. 8A and bright spot coordinate position data in the image of FIG. And the latter data can be deleted in terms of data (this is the coordinate position data of bright spots due to external dust). What remains is the coordinate position data of bright spots due to internal dust. As a result, it is possible to grasp the presence and location of internal dust.

上述の実施例では，シャッターを用いてバックライト光を遮断していたが，シャッターを無くすこともできる。その場合は，傾斜照明をするときは，バックライトを消灯する。   In the above-described embodiment, the backlight is blocked using the shutter, but the shutter can be eliminated. In that case, turn off the backlight when performing tilted illumination.

本発明の液晶パネル検査装置の一実施例の構成図である。It is a block diagram of one Example of the liquid crystal panel test | inspection apparatus of this invention. パネル支持台の斜視図である。It is a perspective view of a panel support stand. パネル支持台の正面断面図である。It is front sectional drawing of a panel support stand. 照明系と撮像系だけを示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows only an illumination system and an imaging system. 図４の状態における，ゴミによる光の乱反射の状態を模式的に示した正面断面図である。FIG. 5 is a front sectional view schematically showing a state of irregular reflection of light by dust in the state of FIG. 4. シャッターを閉じて傾斜照明光源を点灯した状態における図４と同様の正面断面図である。FIG. 5 is a front cross-sectional view similar to FIG. 4 in a state where the shutter is closed and the inclined illumination light source is turned on. 図６の状態における，ゴミによる光の乱反射の状態を模式的に示した，図５と同様の正面断面図である。FIG. 6 is a front cross-sectional view similar to FIG. 5, schematically showing a state of irregular reflection of light by dust in the state of FIG. 6. 液晶パネルの映像の一部を拡大して示した模式図である。It is the schematic diagram which expanded and showed a part of image | video of a liquid crystal panel.

符号の説明Explanation of symbols

１０ パネル支持台
１２ 液晶パネル
２０ 傾斜照明光源
２２ 第１偏光板
２４ 拡散板
３０ バックライト装置
３２ シャッター
３４ シャッター駆動機構
３６ バックライトスイッチ
３８ バックライト電源
４０ 傾斜照明スイッチ
４２ 傾斜照明電源
４４ ＣＣＤカメラ
４６ 第２偏光板
４８ 画像処理部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Panel support stand 12 Liquid crystal panel 20 Inclined illumination light source 22 1st polarizing plate 24 Diffusion plate 30 Backlight apparatus 32 Shutter 34 Shutter drive mechanism 36 Backlight switch 38 Backlight power supply 40 Inclined illumination switch 42 Inclined illumination power supply 44 CCD camera 46 First Two polarizing plates 48 Image processing section

Claims (4)

次の構成を備える液晶パネル検査装置。
（ア）偏光板が無い状態の液晶パネルを支持するパネル支持台。
（イ）前記液晶パネルの一方の表面に対面するように配置されたバックライト。
（ウ）前記液晶パネルの他方の表面に対面するように配置された撮像装置。
（エ）前記液晶パネルと前記バックライトの間に配置された第１偏光板。
（オ）前記液晶パネルと前記撮像装置の間に配置された第２偏光板。
（カ）前記液晶パネルの前記一方の表面に対して所定の傾斜角度で照明光を当てる傾斜照明光源であって，この傾斜照明光源からの照明光が前記第１偏光板を通過することなく前記一方の表面に当たるように配置された傾斜照明光源。
（キ）前記バックライトによる液晶パネルの照明と前記傾斜照明光源による液晶パネルの照明とを切り換えるための切換装置。 A liquid crystal panel inspection apparatus having the following configuration.
(A) A panel support for supporting a liquid crystal panel without a polarizing plate.
(A) A backlight arranged to face one surface of the liquid crystal panel.
(C) An imaging device arranged to face the other surface of the liquid crystal panel.
(D) A first polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the backlight.
(E) A second polarizing plate disposed between the liquid crystal panel and the imaging device.
(F) An inclined illumination light source that applies illumination light at a predetermined inclination angle to the one surface of the liquid crystal panel, and the illumination light from the inclined illumination light source passes through the first polarizing plate without passing through the first polarizing plate. A tilted illumination light source arranged to hit one surface.
(G) A switching device for switching between illumination of the liquid crystal panel by the backlight and illumination of the liquid crystal panel by the inclined illumination light source. 請求項１に記載の液晶パネル検査装置において，前記液晶パネルの前記一方の表面の任意の地点において前記傾斜角度が１０〜５０度の範囲内であることを特徴とする液晶パネル検査装置。   2. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the tilt angle is within a range of 10 to 50 degrees at an arbitrary point on the one surface of the liquid crystal panel. 請求項１または２に記載の液晶パネル検査装置において，前記切換装置は，前記液晶パネルと前記バックライトとの間に配置されたシャッターを含み，前記シャッターは，前記バックライトから前記液晶パネルの前記一方の面に向かう照明光を通過させる開放状態と，前記バックライトから前記液晶パネルの前記一方の面に向かう照明光を遮断する閉鎖状態との間で切り換え可能であることを特徴とする液晶パネル検査装置。   3. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the switching device includes a shutter disposed between the liquid crystal panel and the backlight, and the shutter extends from the backlight to the liquid crystal panel. A liquid crystal panel characterized in that it can be switched between an open state in which illumination light directed to one surface is allowed to pass and a closed state in which illumination light directed from the backlight toward the one surface of the liquid crystal panel is blocked. Inspection device. 請求項１から３までのいずれか１項に記載の液晶パネル検査装置において，前記液晶パネルは第１辺と第２辺と第３辺と第４辺とからなる矩形の形状をしていて，前記傾斜照明光源は次の（ａ）乃至（ｄ）を備えることを特徴とする液晶パネル検査装置。
（ａ）前記液晶パネルの前記第１辺に平行な第１サイドランプであって，前記液晶パネルよりも前記バックライト側にあって，かつ，前記液晶パネルの中心から見て前記第１辺よりも離れた位置にある第１サイドランプ。
（ｂ）前記液晶パネルの前記第２辺に平行な第２サイドランプであって，前記液晶パネルよりも前記バックライト側にあって，かつ，前記液晶パネルの中心から見て前記第２辺よりも離れた位置にある第２サイドランプ。
（ｃ）前記液晶パネルの前記第３辺に平行な第３サイドランプであって，前記液晶パネルよりも前記バックライト側にあって，かつ，前記液晶パネルの中心から見て前記第３辺よりも離れた位置にある第３サイドランプ。
（ｄ）前記液晶パネルの前記第４辺に平行な第４サイドランプであって，前記液晶パネルよりも前記バックライト側にあって，かつ，前記液晶パネルの中心から見て前記第４辺よりも離れた位置にある第４サイドランプ。 4. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the liquid crystal panel has a rectangular shape including a first side, a second side, a third side, and a fourth side, The tilted illumination light source includes the following (a) to (d): A liquid crystal panel inspection apparatus, wherein
(A) a first side lamp that is parallel to the first side of the liquid crystal panel, is closer to the backlight than the liquid crystal panel, and is closer to the first side when viewed from the center of the liquid crystal panel. The 1st side lamp in the position which is also far.
(B) a second side lamp parallel to the second side of the liquid crystal panel, located closer to the backlight than the liquid crystal panel, and viewed from the center of the liquid crystal panel from the second side The second side lamp located at a distance.
(C) a third side lamp parallel to the third side of the liquid crystal panel, which is closer to the backlight side than the liquid crystal panel, and from the third side when viewed from the center of the liquid crystal panel. A third side lamp located at a distance.
(D) a fourth side lamp that is parallel to the fourth side of the liquid crystal panel, is on the backlight side of the liquid crystal panel, and is seen from the fourth side when viewed from the center of the liquid crystal panel. The 4th side lamp which is in a position far away.
JP2005277165A 2005-09-26 2005-09-26 LCD panel inspection equipment Active JP4884738B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005277165A JP4884738B2 (en) 2005-09-26 2005-09-26 LCD panel inspection equipment
TW095127418A TW200712467A (en) 2005-09-26 2006-07-27 Liquid crystal panel inspection device
KR1020060074117A KR100779135B1 (en) 2005-09-26 2006-08-07 Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005277165A JP4884738B2 (en) 2005-09-26 2005-09-26 LCD panel inspection equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007086563A true JP2007086563A (en) 2007-04-05
JP4884738B2 JP4884738B2 (en) 2012-02-29

Family

ID=37973583

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005277165A Active JP4884738B2 (en) 2005-09-26 2005-09-26 LCD panel inspection equipment

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP4884738B2 (en)
KR (1) KR100779135B1 (en)
TW (1) TW200712467A (en)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008020588A (en) * 2006-07-12 2008-01-31 Micronics Japan Co Ltd Liquid crystal panel inspection method and image processor
JP2008299021A (en) * 2007-05-30 2008-12-11 Micronics Japan Co Ltd Method and device for inspecting liquid crystal panel
JP2011039244A (en) * 2009-08-10 2011-02-24 Micronics Japan Co Ltd Worktable for display panel and inspection device
WO2011086634A1 (en) * 2010-01-14 2011-07-21 シャープ株式会社 Liquid crystal panel inspection method and device
CN103217436A (en) * 2013-03-06 2013-07-24 京东方科技集团股份有限公司 Backlight module group defect detection method and equipment
JP2014202779A (en) * 2013-04-01 2014-10-27 株式会社日本マイクロニクス Liquid crystal panel inspection apparatus
CN105092209A (en) * 2014-05-08 2015-11-25 由田新技股份有限公司 Bright spot detection equipment and method for filtering foreign matter noise
CN110108713A (en) * 2019-04-26 2019-08-09 武汉精立电子技术有限公司 A kind of Superficial Foreign Body defect fast filtering method and system
CN111257335A (en) * 2020-01-09 2020-06-09 Oppo（重庆）智能科技有限公司 Method for detecting dust points in electronic equipment
CN113008898A (en) * 2021-02-25 2021-06-22 四川兆纪光电科技有限公司 Detection device and detection method for backlight source module
JP2022541602A (en) * 2019-07-23 2022-09-26 ケーエルエー コーポレイション Imaging of internal cracks in semiconductor devices using a combination of transmitted and reflected light

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101068364B1 (en) 2007-07-11 2011-09-28 엘지디스플레이 주식회사 inspection equipment of LCD and method for inspecting the same
CN105486689B (en) * 2015-12-23 2018-01-23 苏州精濑光电有限公司 Optical detector
CN110741245B (en) * 2017-07-28 2022-12-13 杉金光电(苏州)有限公司 Apparatus and method for detecting defect of optical film
KR102091930B1 (en) * 2018-07-30 2020-03-23 우순 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 Panel member inclination angle measuring device and method
CN109001228B (en) * 2018-09-18 2024-02-27 华侨大学 Rotary workbench with backlight illumination for detecting substrate defects

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07151919A (en) * 1993-11-29 1995-06-16 Mitsutoyo Corp Illuminator for image processing type measuring machine
JPH10160628A (en) * 1996-11-29 1998-06-19 Advantest Corp Image quality inspection device for lcd panel
JPH11224515A (en) * 1998-02-06 1999-08-17 Mitsubishi Rayon Co Ltd Lighting system and defect inspecting device using it
JPH11326123A (en) * 1998-05-21 1999-11-26 Minato Electronics Kk Method for inspecting display screen of displaying element provided with method for extracting surface defect of displaying element and inspecting device used for implementing the method
JP2000275596A (en) * 1999-03-26 2000-10-06 Ricoh Co Ltd Cell inspection apparatus and cell inspection method
JP2004170495A (en) * 2002-11-18 2004-06-17 Micronics Japan Co Ltd Method and device for inspecting substrate for display
JP2006078317A (en) * 2004-09-09 2006-03-23 Seiko Epson Corp Inspection method for body under inspection and its device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10227721A (en) * 1997-02-18 1998-08-25 Micronics Japan Co Ltd Liquid crystal display panel inspection method and device
JP2001305075A (en) * 2000-04-21 2001-10-31 Sharp Corp Appearance inspecting device
JP2003270155A (en) * 2002-03-15 2003-09-25 Olympus Optical Co Ltd Substrate holding device and inspection device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07151919A (en) * 1993-11-29 1995-06-16 Mitsutoyo Corp Illuminator for image processing type measuring machine
JPH10160628A (en) * 1996-11-29 1998-06-19 Advantest Corp Image quality inspection device for lcd panel
JPH11224515A (en) * 1998-02-06 1999-08-17 Mitsubishi Rayon Co Ltd Lighting system and defect inspecting device using it
JPH11326123A (en) * 1998-05-21 1999-11-26 Minato Electronics Kk Method for inspecting display screen of displaying element provided with method for extracting surface defect of displaying element and inspecting device used for implementing the method
JP2000275596A (en) * 1999-03-26 2000-10-06 Ricoh Co Ltd Cell inspection apparatus and cell inspection method
JP2004170495A (en) * 2002-11-18 2004-06-17 Micronics Japan Co Ltd Method and device for inspecting substrate for display
JP2006078317A (en) * 2004-09-09 2006-03-23 Seiko Epson Corp Inspection method for body under inspection and its device

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008020588A (en) * 2006-07-12 2008-01-31 Micronics Japan Co Ltd Liquid crystal panel inspection method and image processor
JP2008299021A (en) * 2007-05-30 2008-12-11 Micronics Japan Co Ltd Method and device for inspecting liquid crystal panel
KR101431238B1 (en) * 2007-05-30 2014-08-25 가부시끼가이샤 니혼 마이크로닉스 Method and apparatus for testing liquid crystal panel
JP2011039244A (en) * 2009-08-10 2011-02-24 Micronics Japan Co Ltd Worktable for display panel and inspection device
WO2011086634A1 (en) * 2010-01-14 2011-07-21 シャープ株式会社 Liquid crystal panel inspection method and device
CN103217436A (en) * 2013-03-06 2013-07-24 京东方科技集团股份有限公司 Backlight module group defect detection method and equipment
JP2014202779A (en) * 2013-04-01 2014-10-27 株式会社日本マイクロニクス Liquid crystal panel inspection apparatus
CN105092209A (en) * 2014-05-08 2015-11-25 由田新技股份有限公司 Bright spot detection equipment and method for filtering foreign matter noise
CN110108713A (en) * 2019-04-26 2019-08-09 武汉精立电子技术有限公司 A kind of Superficial Foreign Body defect fast filtering method and system
JP2022541602A (en) * 2019-07-23 2022-09-26 ケーエルエー コーポレイション Imaging of internal cracks in semiconductor devices using a combination of transmitted and reflected light
CN111257335A (en) * 2020-01-09 2020-06-09 Oppo（重庆）智能科技有限公司 Method for detecting dust points in electronic equipment
CN111257335B (en) * 2020-01-09 2023-01-24 Oppo（重庆）智能科技有限公司 Method for detecting dust points in electronic equipment
CN113008898A (en) * 2021-02-25 2021-06-22 四川兆纪光电科技有限公司 Detection device and detection method for backlight source module

Also Published As

Publication number Publication date
TWI321650B (en) 2010-03-11
KR100779135B1 (en) 2007-11-23
TW200712467A (en) 2007-04-01
KR20070034928A (en) 2007-03-29
JP4884738B2 (en) 2012-02-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4884738B2 (en) LCD panel inspection equipment
JP4909672B2 (en) Liquid crystal panel inspection method and apparatus
TWI518404B (en) Liquid crystal panel inspection apparatus
TW200408800A (en) Method and apparatus for inspecting display panel
JP2006337074A (en) Visual inspection device
KR101445126B1 (en) Back light unit inspecting apparatus and method
KR101006983B1 (en) detecting apparatus for panel
KR101391312B1 (en) Camera assembly for back light unit inspecting apparatus
JP2007333449A (en) Inspection system
JP2014085220A (en) Appearance inspection device
JP4383047B2 (en) Light projection device for visual inspection and visual inspection device
JP2005241586A (en) Inspection device and method for optical film
JP2019028023A (en) Appearance inspection device
JP2002341345A (en) Method for manufacturing flat display device and method for inspecting backlight therefor
KR20080019395A (en) A defect detecting apparatus for flat panel display
JP2008070272A (en) Sheet inspection device
JP2005241370A (en) Visual examination method
JP5938981B2 (en) Projection system
JP5040227B2 (en) Color filter inspection apparatus and color filter inspection method
JP2007033240A (en) Flaw detecting method of sheet and flaw detector
JPH10227721A (en) Liquid crystal display panel inspection method and device
KR20140139929A (en) Display Panel Inspection Apparatus and Its Method
CN217767102U (en) Appearance detection device of liquid crystal display
KR102563511B1 (en) Multi-faceted inspection device using camera and inspection method thereof
JP2002014058A (en) Method and apparatus for checking

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080707

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110420

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110506

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111205

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111207

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4884738

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250