JP2007051953A - 磁気エンコーダ - Google Patents

Abstract

【課題】 磁気回転ドラムの着磁方向を厚み方向又は半径方向にするとともに、この着磁方向に基づいてホール素子を磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍又は円周近傍に配置すること。
【解決手段】 磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂは、多極着磁が設けられ、Ｎ極とＳ極の磁極が交互に配置されている。また、磁気センサ３０は、磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂの半径方向の中央側部近傍又は周面近傍に配置され、磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂの磁界を検出する複数個のホール素子を収納したパッケージで構成されている。磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂの着磁方向は、厚さ方向又は半径方向になるように着磁されている。ホール素子は、パッケージ表面に近づけて配置されているとともに、磁気センサ３０は、磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂの着磁方向に向けて配置されている。
【選択図】 図６

Description

本発明は、磁気エンコーダに関し、より詳細には、被検査物の回転（移動）角度、回転（移動）速度、回転（移動）方向などを検出する磁気エンコーダに関する。

近年、回転機械、回転電気機械、メカトロニクス機械や自動車などに用いられる回転角度、回転速度、回転方向などを検出する磁気エンコーダへの期待が高まっている。特に、この種の産業機器の高性能化に伴い、小型で高精度、高信頼性の磁気エンコーダが要求されている。

このような回転機械や回転電気機械の回転角度や回転速度を検出する磁気エンコーダとしては、例えば、特許文献１に提案されている。この特許文献１のものは、図１に示すように、モータ１の回転シャフト２には磁気回転ドラム５が取り付けられ、この磁気回転ドラム５の外周には、磁気信号を記録した磁性体が設けられている。磁気センサ４は、磁気抵抗効果（ＭＲ）素子６（図２参照）で構成され、磁気回転ドラム５の外周面に対向するように、磁気回転ドラム５の外周面から一定の間隙ＳＰを保って、ジグ３によってモータ１に固定されている。

この場合の磁気回転ドラム５の磁化パターンとＭＲ素子６との配置関係は、図２に示されている。磁気センサ４には、記録波長λ（２π）に対して、図２に示すような間隔でＭＲ素子Ｒ１１〜Ｒ１４，Ｒ２１〜Ｒ２４が磁気回転ドラム５の外周面に沿って配置されている。このＭＲ素子Ｒ１１〜Ｒ１４，Ｒ２１〜Ｒ２４により２組のブリッジ回路を構成して各々のブリッジ回路からブリッジ出力を得るようにし、磁気回転ドラム５の回転により、λ／４だけ位相のずれた２相の出力が得られるように構成されている。

この特許文献１に開示されている磁気センサは、複数個のＭＲ素子で構成され、磁気回転ドラムの着磁方向は、図６（ｃ）に示すように、円周方向に沿って磁極の極性が交互に配列されたものである。

また、ホール素子を用いた磁気エンコーダとしては、例えば、特許文献２のものがある。この特許文献２における磁気エンコーダは、図３に示すように、多極着磁磁石１１とホールＩＣ１２とを組み合わせたもので、この多極着磁磁石１１は、回転方向に沿って多数のＮ極１１ａとＳ極１１ｂとを交互に並べた回転体である。また、ホールＩＣ１２は、多極着磁磁石１１の各磁極（Ｎ極１１ａ、Ｓ極１１ｂ）が発生する磁界の強さを検出するように、多極着磁磁石１１に対向して配設したものである。

しかしながら、このような磁気エンコーダにおいては、被測定物の回転数は検出できるものの、回転方向を検出することはできないので、ホールＩＣ１２を２個用い、各ホールＩＣ１２を多極着磁磁石１１の回転方向に沿って適当なピッチだけずらして配設し、各ホールＩＣ１２の出力パルス信号に位相差を生じさせることにより、被測定物の回転方向を検出するように構成することができる。ところが、この場合、多極着磁磁石１１の極数を増やせば増やすほど１つの磁極（Ｎ極１１ａ、Ｓ極１１ｂ）が発生する磁束密度が低下する。このため、ホールＩＣ１２と多極着磁磁石１１との間の間隙を小さくする必要がある。同時に、この間隙は、２個のホールＩＣ１２で同一になるように調整する必要もある。

これらの問題点を解決するために、図４に示すホールＩＣ２２は、単一のパッケージ２２ａ内に２個のホール素子を、間隔ｄを隔てて配設してある。つまり、パッケージ２２ａ内にはＩＣチップ２２ｂが内蔵されており、強磁性体である集磁材２２ｃ、２２ｄに内蔵されたホール素子が、周辺回路とともにＩＣチップ２２ｂに実装されている。このように、２個のホール素子をパッケージ２２ａ内に収納・固定することにより、所定位置への高精度の位置決めを行い、両ホール素子間の間隔及び両ホール素子と多極着磁磁石１１との間の間隙を高精度に確保することができる。

この特許文献２に開示されている磁気センサは、複数個のホール素子で構成され、多極着磁磁石の着磁方向は、図６（ｂ）に示すように、半径方向に着磁されたものである。

さらに、ホール素子を用いた磁気エンコーダとしては、例えば、特許文献３のものがある。この特許文献３のものは、多極着磁が施されていて円周方向に沿って磁極の極性が交互に変化する磁気ドラムと、２個以上のホール素子を備え、このホール素子を磁気ドラムと空隙を一定に保って配置したものである。

この特許文献３に開示されている磁気センサは、複数個のホール素子で構成され、磁気ドラムの着磁方向は、図６（ｂ）に示すように、半径方向に着磁されたものである。

特開２０００−１０５１３４号公報 特開２００３−７５１９５号公報 特開平１１−２７１０９３号公報

上述した特許文献１に開示されている磁気エンコーダは、磁気センサとして磁気抵抗効果（ＭＲ）素子を用いており、磁気回転ドラムの着磁方向は、図６（ｃ）に示すように円周方向である。この磁気回転ドラムは、図２に示すように円周方向に沿ってＮＳＳＮＮＳ・・・と、磁極の極性が同じものが２回続けて発生するように着磁されている関係上、着磁ピッチが大きくなる。ＭＲ素子は、その着磁ピッチに合わせて配置しなければならず、結局、ＭＲ素子のサイズが大きくなってしまうという問題点がある。また、円周方向に沿って磁極の極性が同じものが２回続けて発生するように着磁されているため、磁気回転ドラムに設けられる極数に制限が生じ、磁気回転ドラムの１回転あたりのパルス数が稼げないという問題点がある。

また、特許文献２及び３に開示されている磁気エンコーダは、磁気センサとして複数個のホール素子を用いている。しかしながら、一般的にホール素子はＭＲ素子と比較して低感度なセンサであるため、磁気回転ドラムの着磁ピッチを大きくしないと信号が得られないという問題点がある。また、上述した理由により、磁気回転ドラムに設けられる磁極を大きくする必要が生じ、磁気回転ドラムの１回転あたりのパルス数が稼げないという問題点がある。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、磁気回転ドラムの着磁方向を厚み方向又は半径方向にして磁極数を増やすとともに、この着磁方向に基づいて、狭ピッチの磁極から発生する磁束密度を検出可能なホール素子を備えた磁気センサを磁気回転ドラムの円周近傍に配置することにより、小型で高分解能の磁気エンコーダを提供することにある。

本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、多極着磁が設けられ、Ｎ極とＳ極の磁極が交互に配置された磁気回転ドラムと、該磁気回転ドラムの周面近傍に配置され、該磁気回転ドラムの磁界を検出する複数個のホール素子を有する磁気センサを備えた磁気エンコーダにおいて、前記磁気回転ドラムは、その着磁方向が、該磁気回転ドラムの厚さ方向又は半径方向になるように着磁されており、前記複数個のホール素子の感磁部は、前記磁気センサのパッケージ表面に近づけて配置されているとともに、前記磁気センサは、前記磁気回転ドラムの着磁方向に向けて配置されていることを特徴とする。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記磁気回転ドラムの着磁方向が厚さ方向の場合には、前記磁気センサが前記磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍で、かつ前記厚さ方向の延長上に配置されていることを特徴とする。

また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記磁気回転ドラムの着磁方向が半径方向の場合には、前記磁気センサが前記磁気回転ドラムの周面近傍で、かつ前記半径方向の延長上に配置されていることを特徴とする。

また、請求項４に記載の発明は、請求項２又は３に記載の発明において、前記磁気センサを複数個設け、該各々の磁気センサは、前記ホール素子による検出信号の位相がそれぞれ異なるように前記磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍又は周面近傍に配置されていることを特徴とする。

また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記複数個の磁気センサは、前記磁気回転ドラムに対して同一の間隙で配置されていることを特徴とする。

また、請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明において、前記磁気センサは、複数個のホール素子を単一のパッケージ内に収納したものであることを特徴とする。

また、請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明において、前記磁気センサのパッケージ表面から前記複数個のホール素子の感磁部までの距離が、１μｍ以上、２００μｍ以下であることを特徴とする。

また、請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７のいずれかに記載の発明において、前記磁気センサが、前記複数個のホール素子の出力信号を処理・変換するＩＣを有することを特徴とする。

また、請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の発明において、前記複数個のホール素子と前記ＩＣが、シリコンからなることを特徴とする。

また、請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９のいずれかに記載の発明において、前記磁気回転ドラムに磁気ヨークを設けたことを特徴とする。

本発明によれば、磁気回転ドラムは、その着磁方向が、この磁気回転ドラムの厚さ方向又は半径方向になるように着磁されており、複数個のホール素子は、磁気センサのパッケージ表面に近づけて配置されているとともに、磁気センサは、磁気回転ドラムの着磁方向に向けて配置されているので、小型で高分解能の磁気エンコーダを提供することが可能である。

また、磁気回転ドラムに設けられる着磁方向を厚み方向又は半径方向に変更することにより、極数を増やすことができるとともに、磁極ピッチを狭くすることができ、その結果、小型化と高分解能化が容易になる。さらに、ホール素子を３個以上単一のパッケージに収納することにより、従来、磁気回転ドラムの着磁極数が分解能の限界であったが、その極数以上の分解能を得ることができるようになる。

以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。

図５（ａ），（ｂ）は、本発明に係る磁気エンコーダの実施例１における磁気センサの外観図で、図５（ａ）は上面図、図５（ｂ）は側面図で、図６（ａ），（ｂ）は、本発明における磁気回転ドラムの着磁方向を示す図で、図６（ａ）は厚さ方向（（ａ１）は正面図、（ａ２）は側面図）、図６（ｂ）は半径方向を示す図である。図中符号３０は磁気センサ、３１はパッケージ、３２ａ，３２ｂはホール素子、３３は信号処理ＩＣ、３４は電極端子、３５ａ，３５ｂは磁気回転ドラムを示している。なお、磁気エンコーダの全体構成図は、図１に示したものと同じである。

本発明の磁気エンコーダにおける磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂは、多極着磁が設けられ、Ｎ極とＳ極の磁極が交互に配置されている。また、磁気センサ３０は、磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂの半径方向の中央側部近傍又は周面近傍に配置され、磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂの磁界を検出する複数個のホール素子３２ａ，３２ｂを収納したパッケージ３１で構成されている。また、この磁気センサ３０は、複数個のホール素子３２ａ，３２ｂの出力信号を処理・変換する信号処理ＩＣ３３を有し、この複数個のホール素子３２ａ，３２ｂは、ＩｎＳｂを集磁材で挟持されたものであり、信号処理ＩＣ３３はシリコンからなっている。

磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂの着磁方向は、図６（ａ），（ｂ）及び図７（ａ），（ｂ）に示すように、厚さ方向（図６（ａ）及び図７（ａ）に示す磁気回転ドラム３５ａ）又は半径方向（図６（ｂ）及び図７（ｂ）に示す磁気回転ドラム３５ｂ）になるように着磁されている。

着磁方向が厚さ方向の場合には、図６（ａ）（ａ１）（ａ２）及び図７（ａ）に示すように、厚さ方向に一対のＮ極とＳ極が形成され、それが周面に沿って磁極の極性が交互に変化するように配置されている。この場合のホール素子３２ａ，３２ｂの配置は、パッケージ３１の表面に近づけて配置されているとともに、磁気回転ドラム３５ａの着磁方向の磁束密度を検出するように配置されている。つまり、パッケージ３１に収納された２個のホール素子３２ａ，３２ｂは、磁気回転ドラム３５ａの半径方向の中央側部近傍で、かつ厚さ方向の延長上（図６（ａ）（ａ１）の矢印方向）に配置されている。

また、着磁方向が半径方向の場合には、図６（ｂ）及び図７（ｂ）に示すように、半径方向に一対のＮ極とＳ極が形成され、周面に現れたＮ極又はＳ極がその周面に沿って磁極の極性が交互に変化するように配置されている。この場合のホール素子３２ａ，３２ｂの配置は、厚さ方向の場合と同様に、パッケージ３１の表面に近づけて配置されているとともに、磁気回転ドラム３５ｂの着磁方向の磁束密度を検出するように配置されている。つまり、磁気回転ドラム３５ｂの周面近傍で、かつ半径方向の延長上（図６（ｂ）の矢印方向）に配置されている。

本実施例１における磁気エンコーダの具体例としては、磁気回転ドラムの直径を１０〜４０ｍｍ程度、磁極のピッチを０．３〜１．０ｍｍ程度にすることが可能である。また、磁気回転ドラムとして、フェライトのボンド磁石やネオジのボンド磁石を使用することが可能である。また、着磁ピッチを小さくするために、インデックス着磁したものを用いてもよい。さらに、着磁ピッチを小さくしても、外部に発生する磁束密度を大きくするため、磁気回転ドラムに磁性体からなる着磁ヨークを設けてもよい。

また、本実施例１の磁気センサでは、パッケージ表面とホール素子の感磁部との間隔を０．１ｍｍとした。一般に、磁気回転ドラムの着磁ピッチを小さくすると、外部に発生する磁束密度が小さくなる。また、磁石から発生する磁束密度は磁石からの距離に対して指数関数的に減少することがわかっている。逆に言えば、磁石近傍（着磁ピッチ以下の距離）では、着磁ピッチが小さくてもホール素子で検出可能な磁束密度が発生している。

したがって、本実施例１では、ホール素子の感磁部が磁石にできるだけ近づくように、磁気センサのパッケージ表面から、わずか０．１ｍｍのところにホール素子の感磁部を配置している。また、本実施例１では、この間隔を０．１ｍｍとしたが、この値が小さければ小さいほど、磁気回転ドラムの着磁ピッチを小さくでき、結果として、小型で高分解能な磁気エンコーダを得ることができるのは言うまでもない。

また、この間隔は、ホール素子の感磁部がフェライトなどの集磁材で挟持されている構成のものを使用する場合には、フェライト表面が感磁部と同等の磁束密度の値をとりうるので、フェライト表面とパッケージ表面との距離とも言える。フェライトなどの集磁材を用いていないような場合には、感磁部とパッケージ表面との距離になる。なお、磁気センサのパッケージ表面から複数個のホール素子の感磁部までの距離が、１μｍ以上、４００μｍ以下であることが望ましい。さらに望ましくは、磁気センサのパッケージ表面から複数個のホール素子の感磁部までの距離を１μｍ以上、２００μｍ以下にするとよい。

また、磁気回転ドラムと磁気センサの間隔は、０．１〜０．５ｍｍ程度に設定することが望ましい。また、本実施例１では、図５に示す磁気センサを用いたが、パッケージ形状はこれに限らず種々変更させることができる。

このように、磁気回転ドラムの着磁方向を厚み方向又は半径方向にするとともに、この着磁方向に基づいて複数個のホール素子からなる磁気センサを磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍又は円周近傍に配置するようにした。さらに、ホール素子の感磁部を磁気センサのパッケージ表面に近づけて配置しているので、小型で高分解能の磁気エンコーダを提供することができる。

また、磁気回転ドラムに設けられる着磁方向を厚み方向又は半径方向に変更することにより、極数を増やすことができるばかりでなく、ホール素子の感磁部を磁気センサのパッケージ表面に近づけて配置しているので、磁極ピッチを狭くすることができ、その結果、更なる小型化が容易になる。

図８（ａ），（ｂ）は、本発明に係る磁気エンコーダの実施例２における磁気回転ドラムと磁気センサの配置図で、実施例１に示された２個のホール素子を収納した磁気センサを２個用いて磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍又は周面近傍に配置したものである。また、複数個の磁気センサは、磁気回転ドラム３５ａ，３５ｂに対して同一の間隙で配置されている。

つまり、図８（ａ）に示すように、着磁方向が厚さ方向の場合には、磁気回転ドラム３５ａの厚さ方向の延長上で、かつ半径方向の中央側部に沿って磁気センサ３０ａ，３０ｂを２個並べたものである。この場合には、一方の磁気センサ３０ａの２個のホール素子３２ａ，３２ｂを０°、９０°、他方の磁気センサ３０ｂの２個のホール素子３２ｃ，３２ｄを４５°、１３５°となるように、各ホール素子による検出信号の位相がそれぞれ異なるように磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍に配置されている。

また、図８（ｂ）に示す半径方向の場合には、磁気回転ドラム３５ｂの半径方向の延長上で、かつ周面上に沿って磁気センサ３０ａ，３０ｂを２個並べたものである。この場合の厚さ方向の場合と同様に、一方の磁気センサ３０ａの２個のホール素子３２ａ，３２ｂを０°、９０°、他方の磁気センサ３０ｂの２個のホール素子３２ｃ，３２ｄを４５°、１３５°となるように、各ホール素子による検出信号の位相がそれぞれ異なるように磁気ドラムの周面近傍に配置されている。

このときのホール素子の出力波形は、図９に示したようになる。つまり、Ｅａは０°配置のホール素子の出力波形であり、Ｅｂは４５°配置の波形、Ｅｃは９０°配置の波形、Ｅｄは１３５°配置の波形を各々示し、４５°位相をずらした４つの信号を得ることができる。さらにこれらＥａ〜Ｅｄまでの４信号の排他的論理和をＥａとＥｃ及びＥｂとＥｄを取ることにより、周期が原信号の１／２で９０°位相差を持つ信号が得られる。このように磁気センサを所定の間隔を置いて配置し、その排他的論理和を取ることにより原信号の信号周期を変えずに（磁気回転ドラムの着磁ピッチを変更せずに）、高分解能化を図ることができる。

本実施例２は、２個のホール素子を収納した磁気センサ２個を用いて、２倍の分解能を得ることが可能になることを説明したが、磁気センサを３個以上用いると、さらに磁気エンコーダを高分解能化できることは言うまでもない。

また、このようにしてホール素子の数を増やしていくと、磁気センサの配置誤差などが原因で、期待通りの高分解能化が図れないおそれがある。上述したような場合は、磁気エンコーダの信号処理ＩＣで用いられるシリコン基板上に、複数個のホール素子を同時に形成することで高分解能化を図ることができる。また、ＩＣ作製時に同時にホール素子を形成するので、ＩＣ作製時に用いるマスクの分解能（１μｍ以下）の精度でホール素子の位置決めが可能になり、飛躍的な高分解能化が可能になる。

図１０（ａ），（ｂ）は、本発明に係る磁気エンコーダの実施例３における磁気センサの他の外観図で、図１０（ａ）は上面図、図１０（ｂ）は側面図である。パッケージに収納されるホール素子３２ａ，３２ｂ，３２ｅを３個にした場合の図である。これにより磁気回転ドラムの磁極数以上の分解能を得ることができる。この場合においても、各ホール素子の感磁部がパッケージ表面に近づけて配置されることは明らかであり、磁気回転ドラムの着磁方向に対して図７に示した配置と同様に配置されることも明らかである。また、３個のホール素子を収納したパッケージを２個用いて図８（ａ），（ｂ）に示すように配置することも可能である。

このようにパッケージに収納されるホール素子を３個にしたので、磁気センサの小型化が可能になり、かつ高分解能が得られる。なお、パッケージに３個以上のホール素子を収納することも当然可能である。

また、上述した実施例においては、複数個のホール素子の感磁部を磁気センサのパッケージ表面に近づけて配置したものであるが、パッケージ表面とホール素子の感磁部が同一表面になるように配置することも可能である。

従来の磁気エンコーダの構成図である。 図１の磁気エンコーダに用いられる磁気回転ドラムとＭＲ素子の配置展開図である。 従来の他の磁気エンコーダの構成図である。 図３の磁気エンコーダに用いられる多極着磁磁石とホール素子の配置展開図である。 本発明に係る磁気エンコーダの実施例１における磁気センサの外観図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図である。 磁気回転ドラムの着磁方向を示す図で、（ａ）（ａ１）（ａ２）は本発明における厚さ方向、（ｂ）は本発明における半径方向、（ｃ）は従来の円周方向を示す図である。 本発明における磁気回転ドラムと磁気センサの配置展開図で、（ａ）は着磁方向が厚さ方向の場合で、（ｂ）は着磁方向が半径方向の場合を示す図である。 本発明に係る磁気エンコーダの実施例２における磁気回転ドラムと磁気センサの配置展開図で、（ａ）は着磁方向が厚さ方向の場合で、（ｂ）は着磁方向が半径方向の場合を示す図である。 図８における複数個のホール素子の出力波形を示す図である。 本発明に係る磁気エンコーダの実施例３における磁気センサの外観図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図である。

符号の説明

１ モータ
２ 回転シャフト
３ ジグ
４ 磁気センサ
５ 磁気回転ドラム
６ 磁気抵抗効果（ＭＲ）素子
１１ 多極着磁磁石
１１ａ Ｎ極
１１ｂ Ｓ極
１２ ホール素子
２２ ホールＩＣ
２２ａ パッケージ
２２ｂ ＩＣチップ
２２ｃ，２２ｄ 集磁材
３０ 磁気センサ
３１ パッケージ
３２ａ〜３２ｅ ホール素子
３３ 信号処理ＩＣ
３４ 電極端子
３５ａ，３５ｂ 磁気回転ドラム

Claims (10)

1. 多極着磁が設けられ、Ｎ極とＳ極の磁極が交互に配置された磁気回転ドラムと、該磁気回転ドラムの周面近傍に配置され、該磁気回転ドラムの磁界を検出する複数個のホール素子を有する磁気センサを備えた磁気エンコーダにおいて、
   前記磁気回転ドラムは、その着磁方向が、該磁気回転ドラムの厚さ方向又は半径方向になるように着磁されており、前記複数個のホール素子の感磁部は、前記磁気センサのパッケージ表面に近づけて配置されているとともに、前記磁気センサは、前記磁気回転ドラムの着磁方向に向けて配置されていることを特徴とする磁気エンコーダ。
2. 前記磁気回転ドラムの着磁方向が厚さ方向の場合には、前記磁気センサが前記磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍で、かつ前記厚さ方向の延長上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気エンコーダ。
3. 前記磁気回転ドラムの着磁方向が半径方向の場合には、前記磁気センサが前記磁気回転ドラムの周面近傍で、かつ前記半径方向の延長上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気エンコーダ。
4. 前記磁気センサを複数個設け、該各々の磁気センサは、前記ホール素子による検出信号の位相がそれぞれ異なるように前記磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍又は周面近傍に配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の磁気エンコーダ。
5. 前記複数個の磁気センサは、前記磁気回転ドラムに対して同一の間隙で配置されていることを特徴とする請求項４に記載の磁気エンコーダ。
6. 前記磁気センサは、複数個のホール素子を単一のパッケージ内に収納したものであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
7. 前記磁気センサのパッケージ表面から前記複数個のホール素子の感磁部までの距離が、１μｍ以上、２００μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
8. 前記磁気センサが、前記複数個のホール素子の出力信号を処理・変換するＩＣを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
9. 前記複数個のホール素子と前記ＩＣが、シリコンからなることを特徴とする請求項８に記載の磁気エンコーダ。
10. 前記磁気回転ドラムに磁気ヨークを設けたことを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
    

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