JP2006337122A - X線分光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料上のほぼ点とみなせる微小領域から放出されるX線をマルチキャピラリX線レンズで平行化し、互いに平行に配置した第1及び第2平板分光結晶51,52で分光及び反射させることにより、出射X線55が常に入射X線54に平行になるようにする。これにより、X線検出器56は入射・出射X線54,55に垂直な方向に直線的に移動するだけでよいようになる。第1及び第2平板分光結晶51,52は、平行四辺形リンクAEFDを用いることにより、常に上記関係を維持して分光のための回転・移動を行うことができる。
【選択図】 図5
Description
試料上のほぼ点とみなせる微小領域から放出されるX線を波長分散するX線分光装置であって、
試料に向いた入射端面側で点焦点を有し、出射端面側で略平行光を出射するマルチキャピラリX線レンズと、
マルチキャピラリX線レンズの出射X線光路上に配置された第1平板分光結晶と、
第1平板分光結晶と同一の格子定数を持ち、第1平板分光結晶により反射されたX線の光路上に、第1平板分光結晶に平行となるように配置された第2平板分光結晶と、
X線照射面を中心に第1平板分光結晶を回転させるとともに、第1平板分光結晶に対する平行関係を保ちつつ第2平板分光結晶を移動させる駆動機構と、
を備えることを特徴とする。
32、52、62…第2平板分光結晶
33、53…第1平板分光結晶の回転中心線
34、54…入射X線
35、55…出射X線
36、56、66…X線検出器
61a…第1平板分光結晶回転用第1駆動部
62a…第2平板分光結晶回転・移動用第2駆動部
66a…X線検出器移動用第3駆動部
67…制御部
68…ソーラースリット
Claims (4)
- 試料上のほぼ点とみなせる微小領域から放出されるX線を波長分散するX線分光装置であって、
試料に向いた入射端面側で点焦点を有し、出射端面側で略平行光を出射するマルチキャピラリX線レンズと、
マルチキャピラリX線レンズの出射X線光路上に配置された第1平板分光結晶と、
第1平板分光結晶と同一の格子定数を持ち、第1平板分光結晶により反射されたX線の光路上に、第1平板分光結晶に平行となるように配置された第2平板分光結晶と、
X線照射面を中心に第1平板分光結晶を回転させるとともに、第1平板分光結晶に対する平行関係を保ちつつ第2平板分光結晶を移動させる駆動機構と、
を備えることを特徴とするX線分光装置。 - 前記駆動機構において、第1平板分光結晶と第2平板分光結晶が互いに平行な状態で固定されていることを特徴とする請求項1に記載のX線分光装置。
- 第2平板分光結晶が第1平板分光結晶よりも長く形成されていることを特徴とする請求項2に記載のX線分光装置。
- 前記駆動機構において、第1平板分光結晶と第2平板分光結晶が平行四辺形リンクにより連結されていることを特徴とする請求項1に記載のX線分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005160801A JP2006337122A (ja) | 2005-06-01 | 2005-06-01 | X線分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005160801A JP2006337122A (ja) | 2005-06-01 | 2005-06-01 | X線分光装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006337122A true JP2006337122A (ja) | 2006-12-14 |
Family
ID=37557811
Family Applications (1)
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---|---|
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008164503A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Horiba Ltd | X線集光装置及びx線分析装置 |
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-
2005
- 2005-06-01 JP JP2005160801A patent/JP2006337122A/ja active Pending
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