JP4694296B2 - 蛍光x線三次元分析装置 - Google Patents
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- 試料を載置するための移動ステージと、
X線源及び前記X線源から照射されるX線を前記試料内部において集光点に集光する照射側集光光学部とを有するX線照射集光手段と、
前記移動ステージに載置される前記試料から発生する蛍光X線を集光する検出側集光光学部及び前記検出側集光光学部により集光される蛍光X線を受けてその検出を行う検出器とを有する蛍光X線検出手段と、
前記移動ステージを三次元に移動させる駆動手段と、
前記検出側集光光学部の焦点と、前記照射側集光光学部の前記集光点とを前記試料内部において一致させる調整手段とを備え、
前記照射側集光光学部と前記検出側集光光学部との中心軸の成す角度が調整可能とされている、
蛍光X線三次元分析装置。 - 前記検出側集光光学部をウォルターミラーとしたことを特徴とする請求項1に記載の蛍光X線三次元分析装置。
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