JP2006330399A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の質量部21、22を回動させ、これに伴い、第2の弾性連結部28、29を捩り変形させながら、第2の質量部25を回動させるように構成されたアクチュエータであって、第2の弾性連結部28、29は、その途中から分岐した2つの分岐部281、282、291、292を有し、各分岐部281、282、291、292は、第2の質量部25の回動中心軸を介して対向する位置で第2の質量部25に接続され、分岐部281、282、291、292は、その途中に、第2の弾性連結部28、29から第2の質量部25に伝達されるねじりトルクを緩衝させる緩衝部を有する。
【選択図】図1
Description
しかし、このようなポリゴンミラーにおいて、より高解像度で品質のよい印字と高速印刷を達成するには、ポリゴンミラーの回転をさらに高速にしなければならない。現在のポリゴンミラーには高速安定回転を維持するためにエアーベアリングが使用されているが、今以上の高速回転を得るのは困難となっている。また、高速にするためには、大型のモーターが必要であり、危機の小型化の面で不利であるという問題がある。このようなポリゴンミラーを用いると、構造が複雑となり、コストが高くなるといった問題も生じる。
このようなアクチュエータにあっては、反射ミラーが肉薄である場合、各ねじりバネと反射ミラーとが1点で結合していると、反射ミラーが回動(振動)する際に、反射ミラーに生じる慣性力により、S字状に撓みやすい。このような反射ミラーの撓みは、反射ミラーの振れ角が大きいほど顕著となる。そして、反射ミラーの撓みが大きいと、光を正確に走査することができず、その結果、高解像度で品質のよい印字を達成することができない。
しかし、特許文献1では、各ねじりバネをその途中から単に2つに分岐しているため、ねじりバネから2点支持部に伝達される力により、ねじりバネの分岐した部分がS字状に撓み、これに伴って、反射ミラーもS字状に撓んでしまう場合がある。
本発明のアクチュエータは、略板状をなす質量部と、
前記質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して前記質量部を回動可能とするように、前記支持部と前記質量部とを連結する弾性連結部とを有し、
前記弾性連結部を捩り変形させながら、前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記弾性連結部は、その途中から分岐した2つの分岐部を有し、
各分岐部は、前記質量部の回動中心軸を介して対向する位置で前記質量部に接続され、
前記分岐部は、その途中に、前記弾性連結部から前記質量部に伝達される捩りモーメントを緩衝させる緩衝部を有することを特徴とする。
これにより、弾性連結部から質量部へ捩りモーメントが質量部の回動中心軸から離れた位置で伝達されるので、駆動時の弾性連結部の横断面形状の変化に伴う質量部の撓みを抑えるとともに、質量部の慣性力による撓みを抑えることができる。その際、弾性連結部から質量部に伝達される捩りトルクを緩衝部で低減して、駆動時の分岐部の撓みに伴う質量部の撓みも抑えることができる。
これにより、弾性連結部のねじり変形に対する質量部の追従性を良好なものとしつつ、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記質量部は、その板面に光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを光スキャナ、光アッテネータ、光スイッチなどの光デバイスに適用することができる。
これにより、より確実に、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
これにより、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減するとともに、質量部をより高精度に駆動することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部の横断面積が、前記弾性連結部の前記分岐部以外の部分の横断面積よりも小さいことが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
これにより、比較的簡単な構成で、かつ、より確実に、駆動時における質量部の撓みを低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部の厚さが、前記弾性連結部の前記分岐部以外の部分の厚さよりも小さいことが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、駆動時における質量部の撓みを大幅に低減することができる。
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して前記第1の質量部を回動可能とするように、前記支持部と前記第1の質量部とを連結する第1の弾性連結部と、
略板状をなす第2の質量部と、
前記第1の質量部に対して前記第2の質量部を回動可能とするように、前記第1の質量部と前記第2の質量部とを連結する第2の弾性連結部とを有し、
前記第1の質量部を回動させ、これに伴い、前記第2の弾性連結部を捩り変形させながら、前記第2の質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記第2の弾性連結部は、その途中から分岐した2つの分岐部を有し、
各分岐部は、前記第2の質量部の回動中心軸を介して対向する位置で前記第2の質量部に接続され、
前記分岐部は、その途中に、前記第2の弾性連結部から前記第2の質量部に伝達される捩りモーメントを緩衝させる緩衝部を有することを特徴とする。
これにより、第2の弾性連結部から第2の質量部へ捩りモーメントが第2の質量部の回動中心軸から離れた位置で伝達されるので、駆動時の第2の弾性連結部の横断面形状の変化に伴う第2の質量部の撓みを抑えるとともに、第2の質量部の慣性力による撓みを抑えることができる。その際、第2の弾性連結部から第2の質量部に伝達される捩りトルクを緩衝部で低減して、駆動時の分岐部の撓みに伴う第2の質量部の撓みも抑えることができる。
これにより、第2の弾性連結部の捩り変形に対する第2の質量部の追従性を良好なものとしつつ、駆動時における第2の質量部の撓みを大幅に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記第2の質量部は、その板面に光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを光スキャナ、光アッテネータ、光スイッチなどの光デバイスに適用することができる。
これにより、より確実に、駆動時における第2の質量部の撓みを大幅に低減することができる。
これにより、駆動時における第2の質量部の撓みを大幅に低減するとともに、第2の質量部をより高精度に駆動することができる。
これにより、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部の撓みを大幅に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部の横断面積をAとし、前記第2の弾性連結部の前記分岐部以外の部分の横断面積をBとしたとき、1/4<A/B<1の関係を満たすことが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、かつ、より確実に、駆動時における第2の質量部の撓みを低減することができる。
これにより、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部の撓みを大幅に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部は、複数回折り曲げられたような形状をなしていることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部の撓みを大幅に低減することができる。
<第1実施形態>
まず、本発明のアクチュエータの第1実施形態を説明する。
図1は、本発明のアクチュエータの第1実施形態を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、図1に示すアクチュエータの第2の質量部と第2の弾性連結部との連結状態を説明するための部分拡大斜視図、図4は、図1に示すアクチュエータの電極の配置を示す平面図、図5は、印加する交流電圧の一例を示す図、図6は、印加した交流電圧の周波数と、第1の質量部および第2の質量部の共振曲線を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、図1および図4中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図2中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
基体2は、1対の第1の質量部(駆動部)21、22と、1対の支持部23、24と、第2の質量部(可動部)25と、1対の第1の弾性連結部26、27と、1対の第2の弾性連結部28、29とを備えている。このような基体2にあっては、左右対称な形状となるように、第2の質量部25を中心とし、その左方に、第2の弾性連結部28、第1の質量部21、支持部23が順次配設され、右方に、第2の弾性連結部29、第1の質量部22、支持部24が順次配設されている。
また、1対の質量部21、22の間には、第2の質量部25が設けられており、1対の質量部21、22は、第2の質量部25を中心として、ほぼ左右対称となるように設けられている。
このような第1の質量部21、22および第2の質量部25にあっては、第1の質量部21、22が第1の弾性連結部26、27を介して支持部23、24に接続され、第2の質量部25が第2の弾性連結部28、29を介して第1の質量部21、22に接続されている。
第2の弾性連結部28は、第2の質量部25を第1の質量部21に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部21とを連結している。これと同様に、第2の弾性連結部29は、第2の質量部25を第1の質量部22に対して回動可能とするように、第2の質量部25と第1の質量部22とを連結している。
各分岐部281、282、291、292は、第2の質量部25の回動中心軸を介して対向する位置で第2の質量部25に接続されている。より具体的には、各分岐部281、282、291、292は、第2の質量部25の回動中心軸と該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側で、第2の質量部25に接続されている。
すなわち、各分岐部281、282、291、292は、その途中に、第2の弾性連結部28、29から第2の質量部25に伝達されるねじりトルクを緩衝させる緩衝部を有する。この緩衝部は、第2の弾性連結部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されている。
なお、分岐部281、282、291、292の途中が前述したような緩衝部を構成することができれば、緩衝部(肉薄部)の幅と、第2の弾性連結部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の幅とは、異なっていてもよい。
このように、基体2は、第1の質量部21、22と第1の弾性連結部26、27とで構成された第1の振動系と、第2の質量部25と第2の弾性連結部28、29とで構成された第2の振動系とを有する。すなわち、基体2は、第1の振動系および第2の振動系からなる2自由度振動系を有する。
このような基体2は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、第1の質量部21、22と、第2の質量部25と、支持部23、24と、第1の弾性連結部26、27と、第2の弾性連結部28、29とが一体的に形成されている。
対向基板3の上面には、図2および図4に示すように、第2の質量部25に対応する部分に開口部31が形成されている。
この開口部31は、第2の質量部25が回動(振動)する際に、対向基板3に接触するのを防止する逃げ部を構成する。開口部(逃げ部)31を設けることにより、アクチュエータ1全体の大型化を防止しつつ、第2の質量部25の振れ角(振幅)をより大きく設定することができる。
なお、第1の質量部21、22は、各電極32と対向する面に、それぞれ、絶縁膜(図示せず)が設けられている。これにより、第1の質量部21、22と各電極32との間での短絡が発生するのが好適に防止される。
以上のような構成のアクチュエータ1は、次のようにして駆動する。
そして、この第1の質量部21、22の振動(駆動)に伴って、第2の弾性連結部28、29を介して連結されている第2の質量部25も、第2の弾性連結部28、29を軸に、対向基板3の板面(図1における紙面)に対して傾斜するように振動(回動)する。
特に、本実施形態では、緩衝部(肉薄部)の厚さが、第2の弾性連結部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の厚さよりも小さくなっているので、比較的簡単な構成で、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。
その際、緩衝部の横断面積をAとし、第2の弾性連結部28、29の分岐部281、282、291、292以外の部分の横断面積をBとしたとき、1/4<A/B<1の関係を満たすのが好ましく、1/4<A/B<1/2の関係を満たすのがより好ましい。これにより、比較的簡単な構成で、かつ、より確実に、駆動時における第2の質量部25の撓みを低減することができる。
また、第2の弾性連結部28、29は、第2の質量部25を介して、その両側に1対設けられ、1対の第2の弾性連結部28、29がそれぞれ分岐部を有しているので、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減するとともに、第2の質量部25をより高精度に駆動することができる。
ここで、第1の質量部21、22および第2の質量部25の寸法は、それぞれ、L1<L3かつL2<L3なる関係を満足するよう設定されるのが好ましい。
この場合、第2の質量部25の最大回転角度が、20°以上となるように構成されるのが好ましい。
これらによって、第1の質量部21、22の低電圧駆動と、第2の質量部25の大回転角度での振動(回動)とを実現することができる。
このため、このようなアクチュエータ1を、例えばレーザープリンタや、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の装置に用いられる光スキャナに適用した場合には、より容易に装置を小型化することができる。
ところで、このような質量部21、22、25よりなる振動系(2自由度振動系)では、第1の質量部21、22および第2の質量部25の振幅(振れ角)と、印加する交流電圧の周波数との間に、図6に示すような周波数特性が存在している。
この振動系では、第1の質量部21、22と電極32との間に印加する交流電圧の周波数Fが、2つの共振周波数のうち低いもの、すなわち、fm1とほぼ等しくなるように設定するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振幅を抑制しつつ、第2の質量部25の振れ角(回転角度)を大きくすることができる。
なお、本明細書中では、F[kHz]とfm1[kHz]とがほぼ等しいとは、(fm1−1)≦F≦(fm1+1)の条件を満足することを意味する。
第2の質量部25の平均厚さは、1〜1500μmであるのが好ましく、10〜300μmであるのがより好ましい。
第1の弾性連結部26、27のばね定数k1は、1×10−4〜1×104Nm/radであるのが好ましく、1×10−2〜1×103Nm/radであるのがより好ましく、1×10−1〜1×102Nm/radであるのがさらに好ましい。これにより、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
さらに、第1の質量部21、22の慣性モーメントをJ1とし、第2の質量部25の慣性モーメントをJ2としたとき、J1とJ2とは、J1≦J2なる関係を満足することが好ましく、J1<J2なる関係を満足することがより好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
このようにして求められる第1の振動系の固有振動数ω1と第2の振動系の固有振動数ω2とは、ω1>ω2なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第1の質量部21、22の振れ角を抑制しつつ、第2の質量部25の回転角度(振れ角)をより大きくすることができる。
図7、図8は、それぞれ、第1実施形態のアクチュエータの製造方法を説明するための図(縦断面図)である。なお、以下では、説明の便宜上、図7、図8中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
次に、シリコン基板5の一方の面に、図7(b)に示すように、支持部23、24と各質量部21、22、25と各弾性連結部26、27、28、29との形状(平面視形状)に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスク6を形成する。
そして、図7(c)に示すように、シリコン基板5の他方の面に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行う。これにより、図7(c)に示すように、支持部23、24の形状に対応するように、レジストマスク7を形成する。なお、レジストマスク7の形成は、金属マスク6の形成よりも先に行ってもよい。
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
そして、シリコン基板5の分岐部281、282、291、292の肉薄部に対応する部分をシリコン基板5の前記他方の面側からエッチングやレーザ加工等により肉薄化する。
なお、ここで、シリコン基板5に対しエッチングを行った後、金属マスク6は除去してもよく、除去せずに残存させてもよい。金属マスク6を除去しない場合、第2の質量部25上に残存した金属マスク6は光反射部251として用いることができる。
以上の工程により、図7(e)に示すように、支持部23、24と各質量部21、22、25と各弾性連結部26、27、28、29とが一体的に形成された構造体、すなわち基体2が得られる。
そして、シリコン基板9の一方の面に、開口部31を形成する領域を除いた部分に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスクを形成する。
次に、この金属マスクを介して、シリコン基板9の一方の面側をエッチングした後、図8(g)に示すように、金属マスクを除去する。
電極32は、シリコン基板9に金属膜を成膜し、電極32の形状に対応するマスクを介して金属膜をエッチングを行った後、マスクを除去することにより形成することができる。
以上のようにして、第1実施形態のアクチュエータ1が製造される。
次に、本発明のアクチュエータの第2実施形態について説明する。
図9は、本発明のアクチュエータの第2実施形態を示す平面図、図10は、図9に示すアクチュエータの第2の質量部と第2の弾性連結部との連結状態を説明するための部分拡大斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、図9中の紙面に対し手前側を「上」、紙面に対し奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」、図10中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
第2実施形態のアクチュエータ1Aは、図9および図10に示すように、第2の弾性連結部28、29に代えて第2の弾性連結部28A、29Aを有していて、第2の弾性連結部の構成が異なる以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
各分岐部281A、282A、291A、292Aは、図9および図10に示すように、その途中に、矩形に複数回折れ曲がった部分を有し、この部分が、第2の弾性連結部28A、29Aから第2の質量部25に伝達されるねじりトルクを緩衝させる緩衝部を構成する。このような緩衝部によっても、駆動時における第2の質量部25の撓みを大幅に低減することができる。
次に、本発明のアクチュエータの第3実施形態について説明する。
図11は、本発明のアクチュエータの第3実施形態を示す平面図、図12は、図11におけるA−A線断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図11中の紙面に対し手前側を「上」、紙面に対し奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」、図12中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
第3実施形態のアクチュエータ1Bは、1自由度振動系のアクチュエータである以外は、第1実施形態のアクチュエータ1とほぼ同様である。
すなわち、図11及び図12に示すアクチュエータ1Bは、図1にて、前述の第1実施形態のアクチュエータ1の第1の質量部21、22および第1の弾性連結部26、27を省略し、第2の質量部25を第2の弾性連結部28、29を介して支持部23、24に接続したような構成となっている。
基体2Bは、1対の支持部23、24と、質量部(可動部)25Bと、1対の弾性連結部28B、29Bとを備えている。このような基体2Bにあっては、左右対称な形状となるように、質量部25Bを中心とし、その左方に、弾性連結部28B、支持部23が順次配設され、右方に、弾性連結部29B、支持部24が順次配設されている。
このような質量部25Bは、弾性連結部28B、29Bを介して支持部23、24に接続されている。
本発明にかかるアクチュエータ1Bでは、弾性連結部28B、29Bは、弾性連結部28Bは、その途中から分岐した2つの分岐部281B、282Bを有している。これと同様に、第2の弾性連結部29Bは、その途中から分岐した2つの分岐部291B、292Bを有している。
各分岐部281B、282B、291B、292Bは、図12に示すように、前述した第1実施形態の各分岐部281、282、291、292と同様、その途中に弾性連結部28B、29Bよりも肉薄な肉薄部を有し、この肉薄部が、弾性連結部28B、29Bから質量部25Bに伝達されるねじりトルクを緩衝させる緩衝部を構成する。
このような1自由度振動系は、基体2Bの全体の厚さよりも薄く形成されているとともに、図12にて上下方向で基体2Bの上部に位置している。
前述したような基体2に接合した対向基板3は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。
質量部25Bと各電極32Bとは、図示しない電源に接続されており、質量部25Bと各電極32Bとの間に交流電圧(駆動電圧)を印加できるよう構成されている。
なお、質量部25Bは、各電極32Bと対向する面に、絶縁膜(図示せず)が設けられている。これにより、質量部25と各電極32Bとの間での短絡が発生するのが好適に防止される。
すなわち、質量部25Bと各電極32Bとの間に、例えば、正弦波(交流電圧)等を印加する。具体的には、例えば、質量部25Bをアースしておき、図11中上側の電極32Bに、図5(a)に示すような波形の電圧を印加し、図11中下側の電極32Bに、図5(b)に示すような波形の電圧を印加する。すると、質量部25Bと各電極32Bとの間に静電気力(クーロン力)が生じる。
このとき、弾性連結部28B、29Bから質量部25Bへ捩りトルクが質量部25Bの回動中心軸から離れた位置で伝達されるので、駆動時の弾性連結部28B、29Bの横断面形状変化にともなう質量部25Bの撓みを抑えるとともに、質量部25Bの慣性力による撓みを抑えることができる。その際、弾性連結部28B、29Bから質量部25Bに伝達されるねじりモーメントを分岐部281B、282B、291B、292Bの緩衝部で低減して、分岐部281B、282B、291B、292Bの撓みに伴う質量部25Bの駆動時における撓みを抑えることができる。
また、緩衝部(肉薄部)の横断面積が、弾性連結部28B、29Bの分岐部281B、282B、291B、292B以外の部分の横断面積よりも小さくなっているので、この点でも、比較的簡単な構成で、駆動時における質量部25Bの撓みを大幅に低減することができる。
また、各分岐部281B、282B、291B、292Bは、質量部25Bの回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側で、質量部25Bに接続されているので、より確実に、駆動時における質量部25Bの撓みを大幅に低減することができる。
上述したようなアクチュエータ1〜1Bは、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
以上、本発明のアクチュエータについて、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータでは、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、前述した第1、2実施形態では、第2の弾性連結部を1対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、2対以上であってもよい。
また、前述した第3実施形態では、弾性連結部を1対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、2対以上であってもよい。
また、前述した実施形態では静電駆動方式により駆動するものについて説明したが、これに限定されない。例えば、2自由度振動系を有するアクチュエータの駆動方式としては、第1の質量部を回動させ、これに伴い、第2の弾性連結部を捩り変形させながら、第2の質量部を回動させることができるものであれば、前述したものに限定されず、例えば、圧電素子を用いた駆動方式であってもよい。また、1自由度振動系を有するアクチュエータの駆動方式としては、弾性連結部を捩り変形させながら、質量部を回動させることができるものであれば、前述したものに限定されず、例えば、圧電素子を用いた駆動方式であってもよい。
Claims (17)
- 略板状をなす質量部と、
前記質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して前記質量部を回動可能とするように、前記支持部と前記質量部とを連結する弾性連結部とを有し、
前記弾性連結部を捩り変形させながら、前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記弾性連結部は、その途中から分岐した2つの分岐部を有し、
各分岐部は、前記質量部の回動中心軸を介して対向する位置で前記質量部に接続され、
前記分岐部は、その途中に、前記弾性連結部から前記質量部に伝達される捩りモーメントを緩衝させる緩衝部を有することを特徴とするアクチュエータ。 - 前記緩衝部は、前記弾性連結部の前記分岐部以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されている請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記質量部は、その板面に光反射部が設けられている請求項1または2に記載のアクチュエータ。
- 各分岐部は、前記質量部の回動中心軸と該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側で、前記質量部に接続されている請求項1ないし3のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記弾性連結部は、前記質量部を介して、その両側に1対設けられ、前記1対の弾性連結部がそれぞれ前記分岐部を有する請求項1ないし4のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部の横断面積が、前記弾性連結部の前記分岐部以外の部分の横断面積よりも小さい請求項1ないし5のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部の横断面積をAとし、前記弾性連結部の前記分岐部以外の部分の横断面積をBとしたとき、1/4<A/B<1の関係を満たす請求項6に記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部の厚さが、前記弾性連結部の前記分岐部以外の部分の厚さよりも小さい請求項1ないし7のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 第1の質量部と、
前記第1の質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して前記第1の質量部を回動可能とするように、前記支持部と前記第1の質量部とを連結する第1の弾性連結部と、
略板状をなす第2の質量部と、
前記第1の質量部に対して前記第2の質量部を回動可能とするように、前記第1の質量部と前記第2の質量部とを連結する第2の弾性連結部とを有し、
前記第1の質量部を回動させ、これに伴い、前記第2の弾性連結部を捩り変形させながら、前記第2の質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記第2の弾性連結部は、その途中から分岐した2つの分岐部を有し、
各分岐部は、前記第2の質量部の回動中心軸を介して対向する位置で前記第2の質量部に接続され、
前記分岐部は、その途中に、前記第2の弾性連結部から前記第2の質量部に伝達される捩りモーメントを緩衝させる緩衝部を有することを特徴とするアクチュエータ。 - 前記緩衝部は、前記第2の弾性連結部の前記分岐部以外の部分のバネ定数よりも低いバネ定数の低バネ定数部で構成されている請求項9に記載のアクチュエータ。
- 前記第2の質量部は、その板面に光反射部が設けられている請求項9または10に記載のアクチュエータ。
- 各分岐部は、前記第2の質量部の回動中心軸と該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側で、前記第2の質量部に接続されている請求項9ないし11のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記第2の弾性連結部は、前記第2の質量部を介して、その両側に1対設けられ、前記1対の第2の弾性連結部がそれぞれ前記分岐部を有する請求項9ないし12のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部の横断面積が、前記第2の弾性連結部の前記分岐部以外の部分の横断面積よりも小さい請求項9ないし13のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部の横断面積をAとし、前記第2の弾性連結部の前記分岐部以外の部分の横断面積をBとしたとき、1/4<A/B<1の関係を満たす請求項14に記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部の厚さが、前記第2の弾性連結部の前記分岐部以外の部分の厚さよりも小さい請求項9ないし15のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記緩衝部は、複数回折り曲げられたような形状をなしている請求項1ないし16のいずれかに記載のアクチュエータ。
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