JP2006300887A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 X線画像に基づいてワークの体積を測定するX線検査装置であって、その処理ユニット6が、各透過領域のX線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部62と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部63と、X線透過量相当のデータを処理して、ワークにX線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようX線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部61とを含み、ゼロ点補正部61が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。
【選択図】 図1
Description
[第1の実施の形態]
このような設定が済んだ品種については、図7〜図9に概略の流れを示すような測定制御プログラムが実行され、測定対象のワークWの品種を指定する入力がなされると、必要な選択操作入力の後、X線検査が行われる。
図13に示すように、本実施形態のX線検査装置は、上述実施形態のX線検査装置と同様な構成要素として、ワークWを搬送するベルトコンべアからなる搬送路1と、搬送中のワークWに所定の検査空間内でX線を照射するX線源2と、検査空間内へのワークWの進入を検知する例えば投受光器からなる進入検知センサ3と、検査空間内で搬送路幅員方向に隣り合う複数の透過領域のそれぞれについてワークWを透過したX線を検出することができるX線検出器4と、X線検出器4の検出情報に基づいてワークWを透過したX線の各透過領域における所定時間毎の累積透過量相当の濃度データをX線画像の濃度データPとすて生成する画像入力ユニット5と、画像入力ユニット5からの各透過領域の所定時間毎のX線画像の濃度データPをピクセルデータに対応付けた画像処理を実行することによりディジタルのX線画像を生成する処理ユニット6と、を備えている。
感度補正部65による校正済みの体積測定値Vproofは、Vproof=β・Vで表わされる。
2 X線源
3 進入検知センサ(搬送間隔検出部)
4 X線検出器
5 画像入力ユニット(画像入力手段)
6 処理ユニット
11 搬送路幅員方向中央部(第1領域)
12a 搬送路幅員方向一端部(第2領域)
12b 搬送路幅員方向他端部(第2領域)
61 ゼロ点補正部
62 変換処理部(データ変換処理手段)
62a 直線性補正部
63 体積測定部(体積測定手段)
64 記録・参照部(感度情報記憶部)
65 感度補正部(感度補正手段)
66 質量換算部(換算手段)
66a 質量合否判定部(質量合否判定手段)
67 異物混入判定部(異物検出手段)
69 はみ出し検知部(はみ出し検知手段)
80 質量インジケータ部
K オフセット濃度
Pe1、Pe2 幅員方向両端部のX線画像の濃度値
Claims (20)
- ワークを搬送する搬送路(1)と、
搬送中の前記ワークに所定の検査空間内でX線を照射するX線源(2)と、
前記検査空間内で前記搬送方向と直交する方向で隣り合う複数の透過領域のそれぞれについて前記ワークを透過したX線を検出することができるX線検出器(4)と、
前記X線検出器の検出情報に基づき、前記ワークを透過したX線の前記透過領域毎の透過量相当のデータを処理してディジタルのX線画像を生成する処理ユニット(6)と、を備え、前記X線画像に基づいて前記ワークの体積を測定するX線検査装置であって、
前記処理ユニット(6)が、
前記各透過領域におけるX線画像の濃度データ(P)から前記透過領域のそれぞれにおける前記ワークの厚さに対応する等価厚画像の濃度データ(Q(P))への変換処理を施すデータ変換処理手段(62)と、
前記複数の透過領域のそれぞれに対応する前記等価厚画像の濃度データに基づいて前記複数の透過領域における前記ワークの体積を測定する体積測定手段(63)と、
前記X線透過量相当のデータを処理して、前記ワークに前記X線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするよう前記X線画像の濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部(61)と、を含み、
前記ゼロ点補正部(61)が、前記ワークの体積を測定する周期に応じて、前記ゼロ点補正を実行することを特徴とするX線検査装置。 - 前記体積測定手段で測定された前記透過領域毎の体積測定値を予め設定された換算比(λW)で質量単位の換算値に換算する換算手段(66)を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記データ変換処理手段が、前記ワークに応じて設定される所定範囲内で、前記ワークの厚さに対応する等価厚画像の濃度データの直線性を補正する直線性補正部(62a)を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のX線検査装置。
- 前記データ変換処理手段が、
前記X線画像における背景の濃度値(P0)と、前記X線画像における前景の代表濃度(P1)と、前記等価厚画像の最大濃度(Qmax)とをそれぞれ設定して、前記ワークの厚さに対応する等価厚画像の濃度値(Q(P))への変換処理を、次式〔1〕により実行し、
- 前記データ変換処理手段は、前記補正指数値が1.3±0.2となる範囲内で、前記等価厚画像の濃度データについての補正を行なうことを特徴とする請求項4に記載のX線検査装置。
- 前記データ変換処理手段は、
前記ワークの標準となる代表ワークの特定の透過領域におけるX線画像の濃度値Paを基に前記式〔1〕で算出された等価厚画像の濃度値Q(Pa)を次式〔2〕で表わされるQaの値とし、前記算出した等価厚画像の濃度値Q(Pa)および前記代表ワークの特定の透過領域におけるX線画像の濃度値Paを用いて、前記代表ワークのX線画像における前景の代表濃度値である式〔2〕中の濃度値P2の値を予め算出し、
- 前記ゼロ点補正部が、前記搬送路上で前記ワークが載置される第1領域(11)と前記ワークが載置されない第2領域(12a,12b)とのうち前記第2領域内で互いに離間する複数の透過領域について、前記搬送路を透過したX線の透過量を検出し、該第2領域内で互いに離間する複数の透過領域のX線透過量に基づいて、前記ゼロ点補正を実行することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記第2領域内で互いに離間する複数の透過領域が、前記検査空間内で前記搬送路の幅員方向両端部(12a,12b)に離間したことを特徴とする請求項7に記載のX線検査装置。
- 前記搬送路の幅員方向両端部に離間した前記複数の透過領域で前記搬送路を透過したX線の透過量に基づいて、前記搬送路上における前記ワークの所定の載置幅範囲(11)からのはみ出しを検出するはみ出し検出手段を設けたことを特徴とする請求項8に記載のX線検査装置。
- 前記搬送路の幅員方向両端部に離間した前記複数の透過領域を透過したX線の透過量に基づいて、両透過量値に対応する前記搬送路の前記幅員方向両端部のX線画像の濃度値(Pe1,Pe2)を決定し、該両端部のX線画像の濃度値を直線状に結ぶオフセット濃度(K)を設定することで、前記複数の透過領域の透過量データについての傾斜補正を前記ゼロ点補正と共に実行するようにしたことを特徴とする請求項8に記載のX線検査装置。
- 前記ゼロ点補正部が、前記搬送路上での前記ワークの搬送間隔を特定する搬送間隔検出部(3)を含み、該搬送間隔検出部の検出情報に基づいて、該搬送間隔に対応する範囲として前記第2領域を特定することを特徴とする請求項7に記載のX線検査装置。
- 測定感度を設定するための基準ワークについての基準の体積測定値を測定感度に影響する所定の検出パラメータと関連付けた体積測定値テーブルおよび前記体積測定の感度を補正する感度補正係数を記憶する感度情報記憶部(64)を有し、前記基準ワークの体積測定毎に前記所定の検出パラメータを特定して、前記感度情報記憶部に記憶された体積測定値テーブルと前記基準ワークの最新の体積測定値および該測定時における前記所定の検出パラメータとに基づいて、前記感度補正係数を更新し、前記体積測定の感度を一定範囲内に維持する感度補正手段(65)を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記所定の検出パラメータが、少なくとも前記X線源を駆動する電圧の値を含み、前記基準ワークの体積が測定されたとき、前記感度補正手段が、該測定された最新の体積測定値と、前記感度情報記憶部に記憶された前記体積測定値テーブル中の前記体積測定値との比率に基づいて、前記感度補正係数を更新することを特徴とする請求項12に記載のX線検査装置。
- 前記体積測定手段が、前記各透過領域におけるX線画像の濃度データのうち所定のノイズカット閾値を超える濃度データを用いて体積測定の処理を実行することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記換算手段により質量単位の値に換算された前記透過領域毎の体積測定値の換算値が前記ワークに対応する所定の質量許容範囲内にあるか否かで質量測定結果の合否を判定する質量合否判定手段(66a)を設けたことを特徴とする請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記ワークが風袋(C)を含むとき、前記体積測定手段が、前記ワークの等価厚画像の濃度データに基づいて算出したワーク全体の体積測定値(V)から、前記風袋分の体積値(VC)を差し引く風袋引き処理を実行するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記ワークが風袋(C)を含むとき、前記体積測定手段が、前記風袋の質量と体積の換算比(λC)を予め記憶するとともに、該風袋の質量(GC)が設定されたとき、該質量を該風袋の体積に変換して、前記ワークの等価厚画像の濃度データに基づいて算出したワーク全体の体積測定値(V)から前記風袋分の体積値(VC)を差し引く風袋引き処理を実行することを特徴とする請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記X線検出器の検出情報に基づき、前記ワーク中における異物の有無を判定して該異物を検出する異物検出手段(67)を更に備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線検査装置。
- 前記処理ユニットが、前記異物検出手段の検出結果に応じて、前記異物が検出されたとき前記X線透過量相当のデータから該異物を透過したデータを除去するとともに、該異物を透過した領域の周囲の前記透過領域におけるX線画像の濃度データに基づいて、該除去したデータを補間する処理を実行することを特徴とする請求項18に記載のX線検査装置。
- 前記ワークの質量測定値に応じて表示範囲を変化させる質量インジケータ部(80)を有する表示手段を備えたことを特徴とする請求項2に記載のX線検査装置。
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