JP2018063183A - 被曝量管理装置及び被曝量管理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
計に依存する裏面部品の被曝量の変動を一切考慮していなかったため、部品ごとの被曝量を正確に把握・管理することが困難であった。
(X線検査システム)
図1は、第1実施形態に係るX線検査システムの構成を模式的に示す図である。
X線検査装置10は、X線源100、X線検出器101、ステージ102、制御部103、検査部104、記憶部105などを有している。X線源100は、検査対象物12に対しX線を照射する手段であり、例えば、コーンビーム型ないしファンビーム型のX線発生器により構成される。X線検出器101は、検査対象物12を透過したX線を検出し、X線透過像のデータを出力する撮像手段であり、例えば、シンチレータと2次元CMOSセンサにより構成される。ステージ102は、検査対象物12を保持・搬送する手段であり、X線源100とX線検出器101からなる撮像系の視野と検査対象物12上の検査対象領域の位置合わせを行う。なお、撮像系の視野を移動する際には、ステージ102を移動してもよいし、撮像系を移動してもよいし、ステージ102と撮像系の両方を移動してもよい。
図2のフローチャートを参照して、X線検査装置10によるX線検査の動作の一例を説明する。
前述したように、部品の被曝量が許容限度を超えると、性能劣化や故障を引き起こすおそれがある。また、一つの部品が、部品メーカでの検査、デバイスメーカでの検査、最終製品メーカでの検査など、複数のX線検査工程を経る場合が多いため、個々の工程での被曝量だけでなく、最終的な累積被曝量の把握を容易にすることが望まれる。そこで、本実施形態のX線検査システム1では、被曝量管理装置11により、X線検査装置10によるX線検査により検査対象物12上の個々の部品31〜37が受ける被曝量の予測、記録、出力を行う。「予測」とは、X線検査を行う前に、検査対象物12が受ける被曝量を見積もる処理である。この予測結果は、例えば、X線照射条件が適切かどうかの検証、検査対象物12のX線検査を実行してよいかどうかの判断などに用いることができる。「記録」とは、X線検査を行った場合に検査対象物12が実際に受けた被曝量を計算し、ログとして保存する処理である。記録されたログデータは、検査対象物12の被曝量を証明するエビデンスとして、後工程、納品先のメーカ、消費者などに開示される。
図1を参照して、被曝量管理装置11の構成を説明する。被曝量管理装置11は、その機能として、データ入力部110、被曝量算出部111、判定部112、情報出力部113を有している。データ入力部110は、被曝量算出に用いる各種のデータを取得する手段である。被曝量算出部111は、検査対象物がX線検査により受ける被曝量を算出する手段である。判定部112は、被曝量が許容量に収まっているか否かを部品ごとに判定する手段である。情報出力部113は、検査対象物の被曝量に関する情報を表示装置114又は外部装置(不図示)に出力する手段である。
図6のフローチャートを参照して、被曝量管理装置11による被曝量の算出処理の一例を説明する。ここでは、図3A及び図3Bに示す両面基板を例にとり、この両面基板に対し図4に示すX線照射条件に従ったX線検査を実施すると仮定した場合に、基板上の複数の部品31〜37が受ける被曝量を予測する。
お、図1では、X線検査装置10の記憶部105からこれらの情報を取得しているが、他の装置(X線検査装置10の上位システム、データを格納するストレージなど)から情報を取得しても構わない。
管電流110uAでの被曝量=管電流100uAでの実測値×補正係数1.1
部品について既定値(固定値)を一律に適用してもよいし、部品種別ごとの被曝許容量をデータベースから取得してもよいし、対象情報として入力された部品種、部品材質、サイズなどの情報に基づいて被曝許容量を算出してもよい。
以上述べた本実施形態の構成によれば、検査対象物の表面(線源側の面)における被曝量の分布と裏面(線源とは反対側の面)における被曝量の分布に基づき各部品の被曝量を算出するので、表面側の部品の被曝量も裏面側の部品の被曝量も精度良く算出することができる。しかも、プリント基板によるX線の吸収や表面の部品によるX線の吸収を考慮するので、裏面に配置された部品の被曝量を精度良く算出可能である。したがって、本実施形態の装置は、片面に部品が実装された片面実装基板は勿論、両面に部品が実装された両面実装基板の被曝量管理に対し、特に好ましく適用できる。
このような情報をユーザに提供することにより、X線検査による各部品の被曝量の把握及び管理が容易になる。
図12及び図13を参照して、本発明の第2実施形態に係るX線検査システムについて説明する。図12は第2実施形態のX線検査システムの構成を示す図であり、図13は第2実施形態の被曝量の算出処理のフローチャートである。上述した第1実施形態では、1回のX線検査での被曝量を算出したのに対し、第2実施形態では、同じ検査対象物に対し過去に行われたX線検査の履歴を参照することで、複数回のX線検査での累積被曝量を算出する。以下では第2実施形態に特有の構成及び処理についてのみ説明を行い、第1実施形態と同じ構成及び処理については説明を省略する。
累積被曝量=今回の被曝量×(過去の検査回数+1)
のように計算できる。あるいは、検査履歴として過去の被曝量が得られる場合であれば、累積被曝量は、
累積被曝量=今回の被曝量+過去の被曝量
のように計算できる。なお、ここで挙げた更新方法は一例であり、他の計算方法により累積被曝量を求めてもよい。
以上述べた本実施形態の構成によれば、第1実施形態と同様の利点に加え、検査対象物が複数回のX線検査を受けている場合に、検査対象物における累積被曝量の分布や部品ごとの累積被曝量を把握・管理することができるという利点がある。
上述した実施形態の構成は本発明の一具体例を示したものにすぎない。本発明の範囲は上記実施形態に限られるものではなく、その技術思想の範囲内で種々の変形が可能である。
Claims (13)
- 検査対象物がX線検査により受ける被曝量を算出する被曝量算出部と、
前記検査対象物の被曝量に関する情報を出力する情報出力部と、を有する被曝量管理装置において、
前記検査対象物は、複数の部品を含んでおり、
前記被曝量算出部は、
前記X線検査における線源と前記検査対象物の間の位置関係、及び、前記線源から照射されるX線の強度に基づいて、前記検査対象物の前記線源側の面である第1面における被曝量の分布と、前記検査対象物の前記線源とは反対側の面である第2面における被曝量の分布とを算出し、
前記第1面及び前記第2面それぞれにおける前記被曝量の分布と前記複数の部品それぞれの配置に基づき、部品ごとの被曝量を算出する
ことを特徴とする被曝量管理装置。 - 前記検査対象物は、プリント基板と、前記プリント基板の前記第1面に配置された部品と、前記プリント基板の前記第2面に配置された部品と、を有する両面実装基板を含む
ことを特徴とする請求項1に記載の被曝量管理装置。 - 前記被曝量算出部は、前記プリント基板によるX線の吸収を考慮して、前記第2面における被曝量の分布を算出する
ことを特徴とする請求項2に記載の被曝量管理装置。 - 前記被曝量算出部は、前記第1面に配置された部品によるX線の吸収を考慮して、前記第2面における被曝量の分布を算出する
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の被曝量管理装置。 - 1回のX線検査において複数回のX線照射が行われる場合に、前記被曝量算出部は、それぞれのX線照射による被曝量を算出し、それらを累積加算することにより、1回のX線検査による被曝量の分布を算出する
ことを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1項に記載の被曝量管理装置。 - 前記被曝量算出部により算出された部品ごとの被曝量に基づいて、許容量に収まっているか否かを部品ごとに判定する判定部をさらに有する
ことを特徴とする請求項1〜5のうちいずれか1項に記載の被曝量管理装置。 - 前記検査対象物に対し過去に行われたX線検査の履歴を記憶する検査履歴記憶部と、
前記履歴に基づいて、前記被曝量算出部によって算出された前記被曝量の分布及び/又は部品ごとの被曝量に、過去に行われたX線検査による被曝量を累積する被曝量更新部と、をさらに有する
ことを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1項に記載の被曝量管理装置。 - 前記情報出力部は、被曝量の分布を示す被曝量マップを表示装置に出力する
ことを特徴とする請求項1〜7のうちいずれか1項に記載の被曝量管理装置。 - 前記情報出力部は、部品ごとの被曝量を示す情報を表示装置に出力する
ことを特徴とする請求項1〜8のうちいずれか1項に記載の被曝量管理装置。 - 前記情報出力部は、部品ごとの被曝量が許容量であるか否かを示す情報を表示装置に出力する
ことを特徴とする請求項1〜9のうちいずれか1項に記載の被曝量管理装置。 - 検査対象物のX線検査を行うX線検査装置と、
前記検査対象物が前記X線検査により受ける被曝量に関する情報を出力する、請求項1〜10のうちいずれか1項に記載の被曝量管理装置と、
を有するX線検査システム。 - 検査対象物がX線検査により受ける被曝量を算出する被曝量算出ステップと、
前記検査対象物の被曝量に関する情報を出力する情報出力ステップと、を有する被曝量管理方法において、
前記検査対象物は、複数の部品を含んでおり、
前記被曝量算出ステップは、
前記X線検査における線源と前記検査対象物の間の位置関係、及び、前記線源から照射されるX線の強度に基づいて、前記検査対象物の前記線源側の面である第1面における被曝量の分布と、前記検査対象物の前記線源とは反対側の面である第2面における被曝量の分布とを算出するステップと、
前記第1面及び前記第2面それぞれにおける前記被曝量の分布と前記複数の部品それぞれの配置に基づき、部品ごとの被曝量を算出するステップと、を含む
ことを特徴とする被曝量管理方法。 - 請求項12に記載の被曝量管理方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのプログラム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021162523A (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-11 | 株式会社サキコーポレーション | 検査装置 |
DE102020205996A1 (de) * | 2020-05-13 | 2021-11-18 | Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg | Dosisschätzung für die Bestrahlung eines Objekts |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5812629A (en) * | 1997-04-30 | 1998-09-22 | Clauser; John F. | Ultrahigh resolution interferometric x-ray imaging |
JPH1119082A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-26 | Toshiba Corp | 画像再構成装置 |
US20010038681A1 (en) * | 2000-02-11 | 2001-11-08 | Brandeis University | Method and system for low-dose three-dimensional imaging of a scene |
JP2005058653A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | X線ct装置、情報処理方法ならびに記憶媒体、プログラム |
JP2006300888A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 濃度データ変換方法および装置並びにx線検査システム |
JP2006300887A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線検査装置 |
JP2008145110A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Jeol Ltd | 試料検査方法及び試料検査装置 |
JP2008224606A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Omron Corp | X線検査装置およびx線検査装置を用いたx線検査方法 |
US7453980B1 (en) * | 2007-06-25 | 2008-11-18 | Gilevich Alexander I | Apparatus and method for acquiring an image of an object |
JP2008284294A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Toshiba Corp | 照射管理装置及び同装置が適用された医用画像診断装置 |
WO2011033002A1 (fr) * | 2009-09-16 | 2011-03-24 | Jacret | Composition pour adhesif structural |
JP2011179936A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP2012163352A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Yamaha Motor Co Ltd | X線被爆量管理システム |
JP2012161553A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出装置及び放射線画像検出装置に用いられるゲイン設定方法 |
JP2014113478A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-06-26 | Toshiba Corp | 被曝線量管理システム |
JP2014236798A (ja) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | 株式会社東芝 | X線診断装置、被曝管理装置、散乱線線量分布形成方法、および散乱線線量分布形成プログラム |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2778662B1 (en) * | 2011-11-09 | 2015-09-23 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | X-ray inspection method and device |
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Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5812629A (en) * | 1997-04-30 | 1998-09-22 | Clauser; John F. | Ultrahigh resolution interferometric x-ray imaging |
JPH1119082A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-26 | Toshiba Corp | 画像再構成装置 |
US20010038681A1 (en) * | 2000-02-11 | 2001-11-08 | Brandeis University | Method and system for low-dose three-dimensional imaging of a scene |
JP2005058653A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | X線ct装置、情報処理方法ならびに記憶媒体、プログラム |
JP2006300888A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 濃度データ変換方法および装置並びにx線検査システム |
JP2006300887A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線検査装置 |
JP2008145110A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Jeol Ltd | 試料検査方法及び試料検査装置 |
JP2008224606A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Omron Corp | X線検査装置およびx線検査装置を用いたx線検査方法 |
JP2008284294A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Toshiba Corp | 照射管理装置及び同装置が適用された医用画像診断装置 |
US7453980B1 (en) * | 2007-06-25 | 2008-11-18 | Gilevich Alexander I | Apparatus and method for acquiring an image of an object |
WO2011033002A1 (fr) * | 2009-09-16 | 2011-03-24 | Jacret | Composition pour adhesif structural |
JP2011179936A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP2012163352A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Yamaha Motor Co Ltd | X線被爆量管理システム |
JP2012161553A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出装置及び放射線画像検出装置に用いられるゲイン設定方法 |
JP2014113478A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-06-26 | Toshiba Corp | 被曝線量管理システム |
JP2014236798A (ja) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | 株式会社東芝 | X線診断装置、被曝管理装置、散乱線線量分布形成方法、および散乱線線量分布形成プログラム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7501167B2 (ja) | 2020-07-03 | 2024-06-18 | オムロン株式会社 | X線検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107941826B (zh) | 2020-06-02 |
CN107941826A (zh) | 2018-04-20 |
DE102017216671A1 (de) | 2018-04-19 |
JP6468270B2 (ja) | 2019-02-13 |
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