JP2006270335A - 音叉型屈曲振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 所定の振動長L及び振動幅Wを有する一対の振動腕部23,24を備え、この振動腕部23,24の少なくとも側面に励振電極31,32を設けた音叉型屈曲振動子21において、前記振動腕部23,24に厚み方向Tの貫通孔25〜28を振動長方向に沿って一または二以上、さらに、振動幅方向に一列または二列以上設けると共に、これら貫通孔25〜28の内側面に励振電極31,32を形成した。
【選択図】 図1
Description
L:振動腕部の長さ(m)
W:振動腕部の幅 (m)
C´22:弾性スチフネス定数(N/m2)
ρ:水晶の密度(kg/m3)
である。
22,42 基部
23,24 振動腕部
25,26,27,28 貫通孔
31,32 励振電極
43,44 振動腕部
45a,46a,47a,48a 貫通孔列
45b,46b,47b,48b 貫通孔列
Claims (9)
- 所定の振動長及び振動幅を有する一対の振動腕部を備え、この振動腕部の少なくとも側面に励振電極を設けた音叉型屈曲振動子において、
前記振動腕部に厚み方向の貫通孔を設け、この貫通孔の内側面に励振電極を設けたことを特徴とする音叉型屈曲振動子。 - 前記貫通孔が、前記振動腕部の振動長方向に沿って一または二以上設けられると共に、振動幅方向には一列または二列以上設けられる請求項1記載の音叉型屈曲振動子。
- 前記貫通孔が、前記振動腕部の振動幅の中心より側面側に偏した位置に設けられる請求項1または2記載の音叉型屈曲振動子。
- 前記貫通孔が、前記振動腕部の振動幅の中心より両方向の側面側に偏した位置にそれぞれ設けられる請求項1または2記載の音叉型屈曲振動子。
- 前記振動腕部の振動幅方向に二列以上設けられた貫通孔が、前記振動腕部の側面側に偏した位置で互いに近接して設けられる請求項1乃至4のいずれかに記載の音叉型屈曲振動子。
- 前記振動腕部の側面側に偏した位置で互いに近接して設けられた貫通孔が、それぞれ振動腕部の振動長方向に沿って二以上設けられ、且つ、それぞれが振動長方向に位置がずれて設けられている請求項5記載の音叉型屈曲振動子。
- 前記貫通孔は、その開口長が前記振動腕部の振動長に対して1/5以下の寸法であり、開口幅が前記振動腕部の振動幅に対して1/5以下の寸法である請求項1乃至6のいずれかに記載の音叉型屈曲振動子。
- 前記貫通孔の内側面に設けられる一対の励振電極のうち、前記振動腕部の側面に近い方の励振電極が、前記振動腕部の側面から5〜20μmの距離内に形成される請求項1記載の音叉型屈曲振動子。
- 前記貫通孔は、開口長が100〜400μm、開口幅が5〜30μmに形成され、5〜100μmの間隔で配列形成される請求項1乃至7のいずれかに記載の音叉型屈曲振動子。
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