JP2011097562A - 振動片、振動子、発振器、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
動片の提供。
【解決手段】振動腕部20,21は、一方の主面22,23に、振動腕部20,21の第
1方向に沿って設けられた第1溝部24,25を有し、他方の主面26,27に、第1溝
部24,25と第2方向に並んで設けられた第2溝部28,29と、第1溝部24,25
と第1方向に並んで設けられ、且つ第1溝部24,25より基部10側に設けられた第3
溝部24’,25’と、を有し、一方の主面22,23に、第2溝部28,29と第1方
向に並んで設けられ、且つ第2溝部28,29より基部10側に設けられた第4溝部28
’,29’を有し、第1溝部24,25の深さと第2溝部28,29の深さとの和、及び
第3溝部24’,25’の深さと第4溝部28’,29’の深さとの和が、一方の主面2
2,23と他方の主面26,27との間の距離よりも大きい。
【選択図】図1
Description
されることが知られている。
詳述すると、圧電振動片は、屈曲振動による弾性変形に伴い、収縮する面の温度が上昇
し、伸張する面の温度が下降することによって内部に温度差が生じる。これにより、圧電
振動片には、この温度差を熱伝導(熱移動)により解消する(温度平衡状態になる)まで
の所要時間(緩和時間)に反比例する緩和振動と呼ばれる振動が発生する。
圧電振動片は、小型化していくと、この緩和振動の周波数と本来の屈曲振動の周波数と
が近づくことから、Q値が小さくなり本来の屈曲振動が阻害される現象が生じる。
この現象は、熱弾性損失や熱弾性効果などと呼ばれ、この改善策として特許文献1では
、圧電振動片の矩形状断面に溝または貫通孔を形成し、収縮する面から伸張する面への熱
移動を抑制することにより、熱弾性損失に起因するQ値の低下の抑制を図っている。
貫通孔を形成すると、振動腕部の剛性が著しく低下してしまうという問題がある。
また、圧電振動片は、特許文献1のように振動腕部に断面形状がH型の溝(以下、溝部
という)を設けても、収縮する面から伸張する面への熱移動の抑制が不十分であることか
ら、熱弾性損失に起因するQ値の低下の抑制に改善の余地がある。
態または適用例として実現することが可能である。
る振動腕部とを備え、前記振動腕部は、一方の主面と、前記一方の主面と対向する他方の
主面とを備え、前記一方の主面に、前記振動腕部の延在方向に沿って形成された第1溝部
を有し、前記他方の主面に、前記第1溝部と平面視で並列に形成された第2溝部を有し、
さらに、前記他方の主面に、前記第1溝部と平面視で直列に且つ前記第1溝部より前記基
部側に形成された第3溝部を有し、前記一方の主面に、前記第2溝部と平面視で直列に且
つ前記第2溝部より前記基部側に形成された第4溝部を有し、前記第1溝部の深さと前記
第2溝部の深さとの和、及び前記第3溝部の深さと前記第4溝部の深さとの和が、前記一
方の主面と前記他方の主面との間の距離よりも大きいことを特徴とする。
部と並列に形成された第2溝部を有している。さらに、圧電振動片は、他方の主面に第1
溝部と直列に且つ第1溝部より基部側に形成された第3溝部を有し、一方の主面に第2溝
部と直列に且つ第2溝部より基部側に形成された第4溝部を有している。
そして、圧電振動片は、第1溝部の深さと第2溝部の深さとの和、及び第3溝部の深さ
と第4溝部の深さとの和が、一方の主面と他方の主面との間の距離よりも大きい。
設けた場合と比較して、屈曲振動における収縮する面である一対の伸縮面の一方から伸張
する面である一対の伸縮面の他方への熱移動の距離が長くなることから、温度平衡状態に
なるまでの緩和時間が長くなる。
この結果、圧電振動片は、緩和振動の周波数を本来の屈曲振動の周波数から遠ざけられ
ることから、熱弾性損失に起因するQ値の低下を抑制できる。したがって、圧電振動片は
、さらなる小型化を図ることができる。
の延在方向と直交する面に沿って切断した第1溝部及び第2溝部を含む断面形状が、一方
の主面と他方の主面とを結ぶ直線の中間点を通り、一方の主面(他方の主面)に沿った直
線である一方の主面と他方の主面との間の中心線を対称軸とした線対称形状にはならない
。
これにより、圧電振動片は、このままでは振動腕部における質量の不均衡が生じ、屈曲
振動が一方の主面に沿った本来の屈曲振動成分と、一方の主面と他方の主面とを結ぶ方向
である厚み方向に振動する面外振動成分とが合成された振動となる。
この結果、圧電振動片は、屈曲振動の振動方向が、規定された振動方向に沿わなくなる
ことから、振動エネルギーの損失が生じて屈曲振動の効率が低下することになる。
の延在方向と直交する面に沿って切断した第3溝部及び第4溝部を含む断面形状が、上記
第1溝部及び第2溝部を含む断面形状を反転させた形状となり、上記と同様に屈曲振動が
一方の主面に沿った本来の屈曲振動成分と、厚み方向に振動する面外振動成分とが合成さ
れた振動となる。
このとき、圧電振動片は、第3溝部及び第4溝部を含む断面形状が、第1溝部及び第2
溝部を含む断面形状を反転させた形状となっていることから、第3溝部及び第4溝部に起
因する面外振動成分の方向と、第1溝部及び第2溝部に起因する面外振動成分の方向とが
逆方向になる。
この結果、圧電振動片は、第1溝部及び第2溝部に起因する面外振動成分と第3溝部及
び第4溝部に起因する面外振動成分とが相殺されることから、全体としての屈曲振動の振
動方向が、規定された振動方向である一方の主面に沿った方向に近づくことになる。
これにより、圧電振動片は、振動エネルギーの損失が抑制されることから、屈曲振動の
効率が向上する。
る振動腕部と、を備え、前記振動腕部は、一方の主面と、前記一方の主面に対向する他方
の主面と、を備え、前記一方の主面には、前記振動腕部の前記第1方向に沿って設けられ
た第1溝部を有し、前記他方の主面には、平面視で前記第1方向と直交する第2方向に前
記第1溝部と並んで設けられた第2溝部を有し、前記他方の主面には、平面視で前記第1
方向に前記第1溝部と並んで設けられ、且つ、前記第1溝部より前記基部側に設けられた
第3溝部を有し、前記一方の主面には、平面視で前記第1方向に前記第2溝部と並んで設
けられ、且つ、前記第2溝部より前記基部側に設けられた第4溝部を有し、前記第1溝部
の深さと前記第2溝部の深さとの和、及び前記第3溝部の深さと前記第4溝部の深さとの
和が、前記一方の主面と前記他方の主面との間の距離よりも大きいことを特徴とする。
第2方向に並んで設けられた第2溝部を有している。さらに、振動片は、他方の主面に第
1溝部と第1方向に並んで設けられ且つ第1溝部より基部側に設けられた第3溝部を有し
、一方の主面に第2溝部と第1方向に並んで設けられ且つ第2溝部より基部側に設けられ
た第4溝部を有している。
そして、振動片は、第1溝部の深さと第2溝部の深さとの和、及び第3溝部の深さと第
4溝部の深さとの和が、一方の主面と他方の主面との間の距離よりも大きい。
た場合と比較して、屈曲振動における収縮する面である一対の伸縮面の一方から伸張する
面である一対の伸縮面の他方への熱移動の距離が長くなることから、温度平衡状態になる
までの緩和時間が長くなる。
この結果、振動片は、緩和振動の周波数を本来の屈曲振動の周波数から遠ざけられるこ
とから、熱弾性損失に起因するQ値の低下を抑制できる。したがって、振動片は、さらな
る小型化を図ることができる。
る面に沿って切断した第1溝部及び第2溝部を含む断面形状が、一方の主面と他方の主面
とを結ぶ直線の中間点を通り、一方の主面(他方の主面)に沿った直線である一方の主面
と他方の主面との間の中心線を対称軸とした線対称形状にはならない。
これにより、振動片は、このままでは振動腕部における質量の不均衡が生じ、屈曲振動
が一方の主面に沿った本来の屈曲振動成分と、一方の主面と他方の主面とを結ぶ方向であ
る厚み方向に振動する面外振動成分とが合成された振動となる。
この結果、振動片は、屈曲振動の振動方向が、規定された振動方向に沿わなくなること
から、振動エネルギーの損失が生じて屈曲振動の効率が低下することになる。
る面に沿って切断した第3溝部及び第4溝部を含む断面形状が、上記第1溝部及び第2溝
部を含む断面形状を反転させた形状となり、上記と同様に屈曲振動が一方の主面に沿った
本来の屈曲振動成分と、厚み方向に振動する面外振動成分とが合成された振動となる。
このとき、振動片は、第3溝部及び第4溝部を含む断面形状が、第1溝部及び第2溝部
を含む断面形状を反転させた形状となっていることから、第3溝部及び第4溝部に起因す
る面外振動成分の方向と、第1溝部及び第2溝部に起因する面外振動成分の方向とが逆方
向になる。
この結果、振動片は、第1溝部及び第2溝部に起因する面外振動成分と第3溝部及び第
4溝部に起因する面外振動成分とが相殺されることから、全体としての屈曲振動の振動方
向が、規定された振動方向である一方の主面に沿った方向に近づくことになる。
これにより、振動片は、振動エネルギーの損失が抑制されることから、屈曲振動の効率
が向上する。
記第1方向の長さをRS、前記第3溝部及び前記第4溝部の前記第1方向の長さをSとし
たときに、S:RS=1:(2.2〜2.8)であることが好ましい。
記の第1溝部及び第2溝部に起因する面外振動成分と第3溝部及び第4溝部に起因する面
外振動成分とが殆ど相殺される。
この結果、振動片は、振動エネルギーの損失がより抑制されることから、屈曲振動の効
率がより向上する。
なお、S:RS=1:(2.2〜2.8)は、発明者らがシミュレーション及び実験に
より導出した知見である。
前記第1方向の長さをRS、前記第3溝部及び前記第4溝部の前記第1方向の長さをS、
前記振動腕部の根元から先端までの長さをA、前記RSと前記Sとの和をLとしたときに
、8.8992×(L/A)2−3.3784×(L/A)+1.746≦RS/S≦1
.3102×(L/A)2+3.3784×(L/A)+0.854であることが好まし
い。
)+1.746≦RS/S≦1.3102×(L/A)2+3.3784×(L/A)+
0.854であることから、上記の第1溝部及び第2溝部に起因する面外振動成分と第3
溝部及び第4溝部に起因する面外振動成分とが殆ど相殺される。
この結果、振動片は、振動エネルギーの損失がより抑制されることから、屈曲振動の効
率がより向上する。
なお、8.8992×(L/A)2−3.3784×(L/A)+1.746≦RS/
S≦1.3102×(L/A)2+3.3784×(L/A)+0.854は、発明者ら
がシミュレーション及び実験により導出した知見である。
A)2−9×10-14×(L/A)+1.3であることが好ましい。
(L/A)+1.3であることから、上記の第1溝部及び第2溝部に起因する面外振動成
分と第3溝部及び第4溝部に起因する面外振動成分とが殆どすべて相殺される。
この結果、振動片は、振動エネルギーの損失がさらに抑制されることから、屈曲振動の
効率がさらに向上する。
なお、RS/S=5.1047×(L/A)2−9×10-14×(L/A)+1.3は、
発明者らがシミュレーション及び実験により導出した知見である。
とが好ましい。
−温度特性、加工精度など優れた諸特性を有する振動片を提供できる。
を用いた振動子であって、前記振動片と、前記振動片を収納したパッケージと、を備えた
ことを特徴とする。
ジに収納されていることから、上記適用例のいずれかに記載された効果を奏する振動子を
提供できる。
を用いた発振器であって、前記振動片と、前記振動片を駆動させる回路素子と、を備えた
ことを特徴とする。
子と、を備えたことから、上記適用例のいずれかに記載された効果を奏する発振器を提供
できる。
片を用いたことを特徴とする。
ことから、上記適用例1〜5のいずれかに記載された効果を奏する電子機器を提供できる
。
なお、第1の実施形態では、振動片として圧電体の一種である水晶を含んでなる水晶振
動片を一例に挙げて説明する。そして、第2の実施形態、第3の実施形態、第4の実施形
態では、この水晶振動片を用いた振動子、発振器、及び電子機器として、水晶振動子、水
晶発振器、及び携帯電話を例に挙げて説明する。
説明し、それぞれの軸は、水晶の結晶軸である電気軸としての結晶X軸、機械軸としての
結晶Y軸、および光学軸としての結晶Z軸を示すものとする。
また、以下の実施形態では、図示したZ軸が結晶Z軸に対して1度から5度程度傾斜し
、その傾斜に伴いZ軸とX軸とで規定される平面が傾斜して形成されてもよいものとする
。
図1は、第1の実施形態の水晶振動片の概略構成を示す模式斜視図である。図2は、図
1の模式平面図である。図3は、図2の模式断面図であって、図3(a)は、図2のB−
B線での断面図兼配線図であり、図3(b)は、図2のC−C線での断面図兼配線図であ
る。なお、図1、図2では、便宜的に電極類を省略してある。
方向)に延在し、屈曲振動する一対の振動腕部20,21とを備えている。
水晶振動片1は、基部10と一対の振動腕部20,21とで音叉を構成している。
一対の振動腕部20,21は、角柱状に形成され、基部10の一端側からY軸方向(第
1方向)に互いに平行に延在している。
なお、基部10及び振動腕部20,21は、水晶の原石などから切り出された後、所定
の厚みの平板状に研磨され、エッチングなどにより個別の音叉形状に形成される。
の主面22,23と、一方の主面22,23に対向しX軸方向に沿った他方の主面26,
27と、X軸方向と交差し屈曲振動により交互に伸縮する一対の伸縮面としての一方の面
20c,21cと、他方の面20d,21dとを備えている。
1方向)に沿って設けられた第1溝部24,25を有し、他方の主面26,27に、平面
視で第1方向と直交する第2方向(X軸方向)に沿って第1溝部24,25と並んで設け
られた第2溝部28,29を有している。
さらに、振動腕部20,21は、他方の主面26,27に、平面視で第1方向に沿って
第1溝部24,25と並んで設けられ、且つ、第1溝部24,25より基部10側に設け
られた第3溝部24’,25’を有し、一方の主面22,23に、平面視で第1方向に沿
って第2溝部28,29と並んで設けられ、且つ、第2溝部28,29より基部10側に
設けられた第4溝部28’,29’を有している。
なお、振動腕部20,21の一方の主面22,23は、基部10の一方の主面11と一
体化され、他方の主面26,27は、基部10の他方の主面12と一体化されている。
ら先端側に向かって設けられている。
そして、図2に示すように、第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’と、
第1溝部24,25及び第2溝部28,29との間には、所定の間隔Gが設けられている
。
図2に示すように、水晶振動片1は、第1溝部24,25及び第2溝部28,29の延
在方向(第1方向)の長さをRS、第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’
の延在方向(第1方向)の長さをSとしたときに、S:RS=1:(2.2〜2.8)で
あることが好ましく、S:RS=1:2.5であることがより好ましい(詳細後述)。
との和をLとしたときに、8.8992×(L/A)2−3.3784×(L/A)+1
.746≦RS/S≦1.3102×(L/A)2+3.3784×(L/A)+0.8
54であることが好ましく、RS/S=5.1047×(L/A)2−9×10-14×(L
/A)+1.3であることがより好ましい(詳細後述)。
,25’及び第4溝部28’,29’は、断面形状が略矩形であり、第1溝部24,25
の深さ24a,25aと第2溝部28,29の深さ28a,29aとの和、及び第3溝部
24’,25’の深さ24a’,25a’と第4溝部28’,29’の深さ28a’,2
9a’との和が、一方の主面22,23と他方の主面26,27との間の距離20a,2
1aよりも大きくなるように形成されている((24a+28a)>20a、(25a+
29a)>21a、(24a’+28a’)>20a、(25a’+29a’)>21a
)。
なお、第1溝部24,25及び第2溝部28,29並びに第3溝部24’,25’及び
第4溝部28’,29’は、エッチング、サンドブラストなどにより形成される。
,25’及び第4溝部28’,29’の外部側となる側壁には、励振電極30,31が設
けられている。
詳述すると、振動腕部20において、励振電極30は、一方の主面22と他方の主面2
6とを繋ぐ一方の面20cと、一方の主面22と他方の主面26とを繋ぐ他方の面20d
とに設けられている。
また、励振電極31は、第1溝部24における一方の面20c側の面24bと、第2溝
部28における他方の面20d側の面28bと、第3溝部24’における一方の面20c
側の面24b’と、第4溝部28’における他方の面20d側の面28b’とに設けられ
ている。
繋ぐ一方の面21cと、一方の主面23と他方の主面27とを繋ぐ他方の面21dとに設
けられている。
また、励振電極30は、第1溝部25における一方の面21c側の面25bと、第2溝
部29における他方の面21d側の面29bと、第3溝部25’における一方の面21c
側の面25b’と、第4溝部29’における他方の面21d側の面29b’とに設けられ
ている。
し電極により基部10まで引き出され、図示しない固定電極と接続されている。
励振電極30と励振電極31との間には、交流電荷が印加される構成となっている。
なお、励振電極30,31は、Cr、Niなどの下地層とAu、Agなどの電極層とを
備えている。各層は蒸着、スパッタなどにより形成されている。
水晶振動片1の振動腕部20,21は、励振電極30,31間に駆動信号として交流電
荷が印加されると、図1に示すように、X軸方向に略沿った矢印D方向及び矢印E方向に
交互に変位する屈曲振動を行う。
すると、一方の面20c,21cがY軸方向に収縮し、他方の面20d,21dがY軸方
向に伸張する。これにより、振動腕部20,21は、矢印D方向に変位する。
一方、励振電極30にマイナス電荷を印加し、励振電極31にプラス電荷を印加すると
、一方の面20c,21cがY軸方向に伸張し、他方の面20d,21dがY軸方向に収
縮する。これにより、振動腕部20,21は、矢印E方向に変位する。
水晶振動片1の振動腕部20,21は、矢印D方向と矢印E方向との変位を交互に繰り
返すことにより、一方の面20c,21cと他方の面20d,21dとが交互に伸縮する
。
2溝部28,29が形成された断面形状((24a+28a)>20a、(25a+29
a)>21a)により、屈曲振動に伴い収縮と伸張とを交互に繰り返す一方の面20c,
21cから他方の面20d,21dまでの熱移動の距離が、従来のような断面形状がH型
の溝部を設けた場合と比較して長くなる。
熱移動の距離について詳述すると、振動腕部20においては、一方の面20cの第1溝
部24の開口側の一端から、断面形状に沿って他方の面20dの第2溝部28の開口側の
一端までの距離であり、振動腕部21においては、一方の面21cの第1溝部25の開口
側の一端から、断面形状に沿って他方の面21dの第2溝部29の開口側の一端までの距
離である。
第4溝部28’,29’が形成された断面形状((24a’+28a’)>20a、(2
5a’+29a’)>21a)により、屈曲振動に伴い収縮と伸張とを交互に繰り返す一
方の面20c,21cから他方の面20d,21dまでの熱移動の距離が、従来のような
断面形状がH型の溝部を設けた場合と比較して長くなる。
れる。
水晶振動片1は、熱移動の距離が従来(H型の溝部)より長くなることから、温度平衡
状態になるまでの緩和時間τが従来(H型の溝部)より長くなる。この結果、水晶振動片
1は、緩和振動の周波数(緩和振動周波数)f0が本来の屈曲振動の周波数fから遠ざか
ることになる。
f0=πk/(2ρCpa2) …(1)
ここで、πは円周率、kは振動腕部の振動方向(屈曲振動方向)の熱伝導率、ρは振動
腕部の質量密度、Cpは振動腕部の熱容量、aは振動腕部の振動方向(屈曲振動方向)の
幅である。
式(1)の熱伝導率k、質量密度ρ、熱容量Cpに振動腕部の材料そのものの定数を入
力した場合、求まる緩和振動周波数f0は、溝部を設けていない場合の振動腕部の緩和振
動周波数となる。
でfmは、振動腕部に溝部を設けていない場合(振動腕部の断面形状が略矩形の場合)の
緩和振動周波数である。図4のグラフの右側に記載されている図形は、振動腕部の断面形
状を模式的に表したものである。
図4において、三角のマーカーは、図3に示した振動腕部の断面形状の場合のプロット
、黒塗りの四角のマーカーは、振動腕部の両主面に溝部を設けることで振動腕部の断面形
状を「H」にしたH型の場合のプロット、白抜きの菱形のマーカーは、振動腕部のいずれ
の主面にも溝部を設けていない平板の場合のプロットである。また、太い実線は三角マー
カーの値の近似直線、破線は四角マーカー間の補間直線、一点鎖線は菱形マーカー間の補
間直線である。
図4に示すように、屈曲振動片においては、振動腕部の断面形状を図3に示した形状に
して、f/fmを0.09より大きい値とすることで、H型の場合よりも高いQ値を得ら
れることが明らかとなった。
さらに、上記屈曲振動片(水晶振動片1に相当)は、f/fmを0.25より大きい値
とすることで、H型及び平板のいずれの場合よりも高いQ値を得ることができ、f/fm
を1より大きくすれば、H型及び平板のいずれの場合よりも格段に高いQ値を得ることが
できる。
面22,23と直交し、且つ振動腕部20,21の延在方向(第1方向)と直交する面に
沿って切断した第1溝部24,25及び第2溝部28,29を含む断面形状が、一方の主
面22,23と他方の主面26,27とを結ぶ直線の中間点を通り、一方の主面22,2
3(他方の主面26,27)に沿った直線である一方の主面22,23と他方の主面26
,27との間の中心線F,F1を対称軸とした線対称形状にはならない。
が生じ、図3(a)に示すように、振動腕部20の屈曲振動の変位Uが、一方の主面22
,23(他方の主面26,27)に沿ったX軸方向に振動する本来の屈曲振動の変位成分
Uxと、Z軸方向のモーメントによって、一方の主面22,23と他方の主面26,27
とを結ぶ方向であるZ軸方向に振動する面外振動の変位成分Uzとが合成された変位とな
る。
位成分U1xと、Z軸方向のモーメントによって、Z軸方向に振動する面外振動の変位成
分U1zとが合成された変位となる。
このとき、変位成分Uzと変位成分U1zとは、同一方向の変位成分となる。
沿わなくなる(X軸方向に沿わなくなる)ことから、振動エネルギーの損失が生じ、屈曲
振動の効率が低下する虞がある。
なお、図3(a)では、便宜的に屈曲振動の一方の方向(図1の矢印D方向相当)の変
位U,U1について示しているが反対方向(図1の矢印E方向相当)の変位についても同
様である。
の主面22,23と直交し、且つ振動腕部20,21の延在方向(第1方向)と直交する
面に沿って切断した第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’を含む断面形状
が、第1溝部24,25及び第2溝部28,29を含む断面形状を反転させた形状となっ
ている。
これにより、水晶振動片1は、第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’に
おいて、屈曲振動の変位U’,U1’が、上記と同様に一方の主面22,23に沿った本
来の屈曲振動の変位成分Ux’,U1x’と、Z軸方向に振動する面外振動の変位成分U
z’,U1z’とが合成された変位となる。
む断面形状が、第1溝部24,25及び第2溝部28,29を含む断面形状を反転させた
形状となっていることから、第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’におけ
る面外振動の変位成分Uz’,U1z’の方向と、第1溝部24,25及び第2溝部28
,29における面外振動の変位成分Uz,U1zの方向とが逆方向になる。
振動の変位成分Uz,U1zと、第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’に
おける面外振動の変位成分Uz’,U1z’とが相殺されることから、全体としての屈曲
振動の変位の方向が、規定された振動方向としてのX軸方向(一方の主面に沿った方向)
に近づくことになる。
これにより、水晶振動片1は、Z軸方向のモーメントが低減することによって、振動エ
ネルギーの損失が抑制されることから、屈曲振動の効率が向上する。
図5は、第1溝部24,25及び第2溝部28,29の延在方向の長さRSと第3溝部
24’,25’及び第4溝部28’,29’の延在方向の長さSとの比(以下、単にRS
/Sともいう)と、水晶振動片1全体としての屈曲振動における面外振動(Z軸方向の振
動)の変位成分UZと、本来の規定された振動方向としてのX軸方向の変位成分UXとの
比(以下、単にUZ/UXともいう)との相関関係を示すグラフである。
振動腕部20,21の根元から先端までの長さAとの比(以下、単にL/Aともいう)と
、そのときの振動エネルギーの損失が許容範囲内となるRS/Sとの相関関係を示すグラ
フである。
なお、図5、図6は、発明者らがシミュレーション及び実験により導出したデータに基
づいている。
:(2.2〜2.8)であるときに、UZ/UXが小さくなることから、屈曲振動におけ
る振動エネルギーの損失の、一つの尺度としての振動漏れΔf(基部10をワイヤーで吊
るす、あるいは、柔らかい導電性接着剤で固定した場合の周波数と、基部10をハンダや
硬い導電性接着剤で固定した場合の周波数とのシフト量)の値が小さくなる。具体的には
、振動漏れΔfが約500ppm以下の量産適合レベルになる。
さらに、水晶振動片1は、RS/S=2.5、つまりS:RS=1:2.5であるとき
に、UZ/UXが略0となることから、振動漏れΔfの値が最も小さくなる(略0ppm
)。
なお、UZ/UXのマイナス符号は、面外振動の変位方向が逆になる(Z軸のプラス方
向からZ軸のマイナス方向になる)ことを表している。
4×(L/A)+1.746(紙面一番下のライン)≦RS/S≦1.3102×(L/
A)2+3.3784×(L/A)+0.854(紙面一番上のライン)であるときに、
UZ/UXが小さくなることから、振動漏れΔfの値が小さくなる。具体的には、約50
0ppm以下の量産適合レベルになる。
さらに、水晶振動片1は、RS/S=5.1047×(L/A)2−9×10-14×(L
/A)+1.3(紙面中央のライン)であるときに、UZ/UXが略0となることから、
振動漏れΔfの値が最も小さくなる(略0ppm)。
端までの長さA=約1650μm、振動腕部20,21のX軸方向の幅W=約100μm
のサンプルを用いて、間隔G=約20μmで固定し、RS、S、Lの値をRS=約200
μm〜約1100μm、S=約100μm〜約600μm、L=約400μm〜約120
0μmの範囲で適宜設定して評価した。
,25aと第2溝部28,29の深さ28a,29aとの和、及び第3溝部24’,25
’の深さ24a’,25a’と第4溝部28’,29’の深さ28a’,29a’との和
が、一方の主面22,23と他方の主面26,27との間の距離20a,21aよりも大
きい((24a+28a)>20a、(25a+29a)>21a、(24a’+28a
’)>20a、(25a’+29a’)>21a)。
H型の溝部を設けた場合と比較して、屈曲振動における収縮する面から伸張する面への熱
移動の距離(一方の面20c,21cから他方の面20d,21dまでの熱移動の距離)
が長くなることから、温度平衡状態になるまでの緩和時間τが長くなる。
この結果、水晶振動片1は、緩和振動周波数f0を本来の屈曲振動の周波数fから遠ざ
けられることから、熱弾性損失に起因するQ値の低下を抑制できる。したがって、水晶振
動片1は、さらなる小型化を図ることができる。
動腕部20,21の延在方向(第1方向)と直交する面に沿って切断した第3溝部24’
,25’及び第4溝部28’,29’を含む断面形状が、同様に切断した第1溝部24,
25及び第2溝部28,29を含む断面形状を反転させた形状となっている。
このことから、水晶振動片1は、屈曲振動における第1溝部24,25及び第2溝部2
8,29に起因する面外振動の変位成分Uz,U1zの方向と、第3溝部24’,25’
及び第4溝部28’,29’に起因する面外振動の変位成分Uz’,U1z’の方向とが
逆方向になる。
外振動の変位成分Uz,U1zと、第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’
に起因する面外振動の変位成分Uz’,U1z’とが相殺されることから、全体としての
屈曲振動の振動方向が、規定された振動方向であるX軸方向(一方の主面22,23に沿
った方向)に近づくことになる。
これにより、水晶振動片1は、屈曲振動における振動エネルギーの損失が抑制されるこ
とから、CI(クリスタルインピーダンス)値などが低下し、屈曲振動の効率が向上する
。
25及び第2溝部28,29に起因する面外振動の変位成分Uz,U1zと、第3溝部2
4’,25’及び第4溝部28’,29’に起因する面外振動の変位成分Uz’,U1z
’とが殆ど相殺される。
この結果、水晶振動片1は、UZ/UXが小さくなることから、振動エネルギーの損失
としての振動漏れΔfの値がより小さくなり(約500ppm以下)、屈曲振動の効率が
より向上する。
2溝部28,29に起因する面外振動の変位成分Uz,U1zと、第3溝部24’,25
’及び第4溝部28’,29’に起因する面外振動の変位成分Uz’,U1z’とが殆ど
すべて相殺される。
この結果、水晶振動片1は、UZ/UXが略0となることから、振動漏れΔfの値が極
小(略0ppm)となり、屈曲振動の効率がさらに向上する。
.746≦RS/S≦1.3102×(L/A)2+3.3784×(L/A)+0.8
54であれば、第1溝部24,25及び第2溝部28,29に起因する面外振動の変位成
分Uz,U1zと、第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’に起因する面外
振動の変位成分Uz’,U1z’とが殆ど相殺される。
この結果、水晶振動片1は、UZ/UXが小さくなることから、振動漏れΔfの値がよ
り小さくなり(約500ppm以下)、屈曲振動の効率がより向上する。
/A)+1.3であれば、第1溝部24,25及び第2溝部28,29に起因する面外振
動の変位成分Uz,U1zと、第3溝部24’,25’及び第4溝部28’,29’に起
因する面外振動の変位成分Uz’,U1z’とがさらに相殺される。
この結果、水晶振動片1は、UZ/UXが略0となることから、振動漏れΔfの値が極
小(略0ppm)となり、屈曲振動の効率がさらに向上する。
性、周波数のエージング特性、加工精度など優れた諸特性を有する振動片として提供する
ことができる。
以下、第1の実施形態の水晶振動片の変形例について説明する。
図7は、第1の実施形態の変形例の水晶振動片を示す模式平面図である。なお、第1の
実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第1の実施形態と異
なる部分を中心に説明する。
2溝部29並びに第3溝部25’及び第4溝部29’の配列が、上記実施形態の水晶振動
片1の振動腕部21と比較して逆になっている。換言すれば、水晶振動片101は、各溝
部の配列が振動腕部20と振動腕部121とで同じになっている。
水晶振動片101は、この配列において、第1の実施形態と同様の作用により第1の実
施形態と同様の効果を奏することができる。
に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、例えば、1本の振動腕部を有する棒
状の水晶振動片でもよく、3本以上の振動腕部を有する音叉型の水晶振動片でもよい。
以下、第2の実施形態の振動子としての水晶振動子を一例に挙げて説明する。
図8は、第2の実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式平面図である。図9は、図
8のJ−J線での模式断面図である。なお、図8では便宜的に蓋体を省略してある。
また、第1の実施形態との共通部分には、同一符号を付して説明を省略する。
水晶振動片を用いた水晶振動子である。ここでは、第1の実施形態の水晶振動片1を用い
て説明する。
図8、図9に示すように、水晶振動子80は、パッケージ51内に水晶振動片1を収納
している。具体的には、水晶振動子80は、図9に示すように、第1基板54と、この第
1基板54に積層された第2基板55と第3基板56とを含むパッケージ51の内部空間
Sに水晶振動片1を収納している。
57を備えている。パッケージ51は、第2基板55がパッケージ51内に延長された延
長部55aを有しており、延長部55aに電極部52が2個形成されている。
水晶振動子80は、導電性接着剤53などを用いて水晶振動片1の図示しない固定電極
が電極部52に固定され、固定電極を介して励振電極30,31(図3参照)と電極部5
2とが電気的に接続されている。なお、導電性接着剤53としては、所定の合成樹脂から
なるバインダー成分に、銀粒子などの導電粒子を添加したものを使用することができる。
れている。特に、好ましい材料としては、水晶振動片1や蓋体57と同一または近似する
線膨張係数を有するものが選択される。
本実施形態では、例えば、セラミックのグリーンシートが用いられている。グリーンシ
ートは、例えば、所定の溶液中にセラミックパウダーを分散させ、バインダーを添加して
生成される混練物を長尺のシート状に成形し、これを所定の長さにカットして得られるも
のである。
ートを積層し、焼結して形成することができる。第1基板54は、パッケージ51の底部
を構成し、これに重ねられる第2基板55と第3基板56とは、枠状に形成され、内部空
間Sを第1基板54、蓋体57などとともに形成している。
第3基板56には、セラミックやガラスあるいはコバールなどの金属で形成された蓋体
57が、コバールリング、低融点ガラスなどの接合材58を介して接合されている。これ
により、パッケージ51の内部空間Sは、気密に封止されている。
ライズなどの導電ペーストなどを用いて、図示しない導電パターンを形成後に、第1基板
54と第2基板55と第3基板56との焼結をした後で、Ni,AuまたはAgなどを順
次メッキして、上述した電極部52が形成されている。
電極部52は、図示しない導電パターンにより、パッケージ51の外底面に形成された
実装端子59と電気的に接続されている。
極を介して水晶振動片1の励振電極30,31間に交流電荷が印加される(図3参照)。
これにより、水晶振動片1は、図1に示すような屈曲振動を行う。
納され、パッケージ51の内部空間Sが気密に封止されていることから、第1の実施形態
と同様の効果を奏する振動子を提供できる。
なお、水晶振動子80は、水晶振動片1に代えて、第1の実施形態の変形例の水晶振動
片101を用いても、第1の実施形態と同様の効果を奏する振動子を提供できる。
、第2基板55及び第3基板56を省略してもよい。これによれば、水晶振動子80は、
構成要素が少なくなることから、パッケージ51の製造が容易になる。
以下、第3の実施形態の発振器としての水晶発振器を一例に挙げて説明する。
図10は、第3の実施形態の水晶発振器の概略構成を示す模式断面図である。
第3の実施形態の水晶発振器90は、第1の実施形態または第1の実施形態の変形例の
水晶振動片を用いた水晶発振器である。ここでは、第1の実施形態の水晶振動片1を用い
て説明する。なお、第3の実施形態の水晶発振器90は、第2の実施形態の水晶振動子8
0に、水晶振動片1を駆動させる回路素子としてのICチップ87を備えたものである。
なお、第1の実施形態及び第2の実施形態との共通部分には、同一符号を付し説明を省
略する。
などからなる内部接続端子89が形成されている。
発振回路を内蔵するICチップ87は、パッケージ51の内部空間Sに収納され、第1
基板54上面に接着剤などを用いて固定されている。そして、ICチップ87の上面には
、AuなどからなるIC接続パッド82が形成されている。
内部接続端子89は、図示しない導電パターンを経由して、パッケージ51の外底面に
形成された実装端子59や電極部52に接続されている。なお、ICチップ87と内部接
続端子89との接続には、金属ワイヤー88による接続方法以外に、フリップチップ実装
による接続方法などを用いてもよい。
なお、パッケージ51の内部空間Sは、気密に封止されている。
ない固定電極を介して水晶振動片1の励振電極30,31間に交流電荷が印加される(図
3参照)。
これにより、水晶振動片1は、図1に示すような屈曲振動を行う。水晶発振器90は、
この屈曲振動によって得られる発振信号をICチップ87、実装端子59を介して外部に
出力する。
7とがパッケージ51の内部空間Sに収納され、パッケージ51の内部空間Sが気密に封
止されていることから、第1の実施形態と同様の効果を奏する発振器を提供できる。
なお、水晶発振器90は、水晶振動片1に代えて、第1の実施形態の変形例の水晶振動
片101を用いても、第1の実施形態と同様の効果を奏する発振器を提供できる。
なお、水晶発振器90は、ICチップ87がパッケージ51の外部に取り付けられてい
る構成(モジュール構造)としてもよい。
のではなく、例えば、ICチップ87に検出回路などをさらに備えた圧力センサー、ジャ
イロセンサーなどでもよい。
以下、第4の実施形態の電子機器としての携帯電話を一例に挙げて説明する。
図11は、第4の実施形態の携帯電話を示す模式斜視図である。
第4の実施形態の携帯電話700は、第1の実施形態または第1の実施形態の変形例の
水晶振動片を用いた携帯電話である。
図11に示す携帯電話700は、上述した水晶振動片1(101)を、例えば、基準ク
ロック発振源として用い、更に液晶表示装置701、複数の操作ボタン702、受話口7
03、及び送話口704を備えて構成されている。
コンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、
カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークス
テーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器などの基準クロック発
振源などとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態および変形例で
説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。
iTaO3)、四ホウ酸リチウム(Li2B4O7)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、
チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)な
どの圧電体、または酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)などの圧電体を被
膜として備えたシリコンなどの半導体であってもよい。
、20c…一方の面、20d…他方の面、21…振動腕部、21c…伸縮面としての一方
の面、21d…伸縮面としての他方の面、22,23…一方の主面、24,25…第1溝
部、24',25'…第3溝部、26,27…他方の主面、28,29…第2溝部、28'
,29'…第4溝部。
Claims (8)
- 基部と、前記基部から第1方向に延在し屈曲振動する振動腕部と、を備え、
前記振動腕部は、一方の主面と、前記一方の主面に対向する他方の主面と、を備え、
前記一方の主面には、前記振動腕部の前記第1方向に沿って設けられた第1溝部を有し
、
前記他方の主面には、平面視で前記第1方向と直交する第2方向に前記第1溝部と並ん
で設けられた第2溝部を有し、
前記他方の主面には、平面視で前記第1方向に前記第1溝部と並んで設けられ、且つ、
前記第1溝部より前記基部側に設けられた第3溝部を有し、
前記一方の主面には、平面視で前記第1方向に前記第2溝部と並んで設けられ、且つ、
前記第2溝部より前記基部側に設けられた第4溝部を有し、
前記第1溝部の深さと前記第2溝部の深さとの和、及び前記第3溝部の深さと前記第4
溝部の深さとの和が、前記一方の主面と前記他方の主面との間の距離よりも大きいことを
特徴とする振動片。 - 請求項1に記載の振動片において、前記第1溝部及び前記第2溝部の前記第1方向の長
さをRS、前記第3溝部及び前記第4溝部の前記第1方向の長さをSとしたときに、
S:RS=1:(2.2〜2.8)であることを特徴とする振動片。 - 請求項1に記載の振動片において、前記第1溝部及び前記第2溝部の前記第1方向の長
さをRS、前記第3溝部及び前記第4溝部の前記第1方向の長さをS、前記振動腕部の根
元から先端までの長さをA、前記RSと前記Sとの和をLとしたときに、
8.8992×(L/A)2−3.3784×(L/A)+1.746≦RS/S≦1
.3102×(L/A)2+3.3784×(L/A)+0.854
であることを特徴とする振動片。 - 請求項3に記載の振動片において、
RS/S=5.1047×(L/A)2−9×10-14×(L/A)+1.3
であることを特徴とする振動片。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の振動片において、前記振動片は、水晶を含んでな
ることを特徴とする振動片。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の振動片を用いた振動子であって、
前記振動片と、
前記振動片を収納したパッケージと、を備えたことを特徴とする振動子。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の振動片を用いた発振器であって、
前記振動片と、
前記振動片を駆動させる回路素子と、を備えたことを特徴とする発振器。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の振動片を用いたことを特徴とする電子機器。
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