JP2006240867A - 移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構 - Google Patents
移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006240867A JP2006240867A JP2005062531A JP2005062531A JP2006240867A JP 2006240867 A JP2006240867 A JP 2006240867A JP 2005062531 A JP2005062531 A JP 2005062531A JP 2005062531 A JP2005062531 A JP 2005062531A JP 2006240867 A JP2006240867 A JP 2006240867A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- telescopic arm
- arm
- cassette
- transfer machine
- turning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】ストッカー幅を大きくしなくても狭小な空間でのアームの出入りストロークを長くでき、かつ回転モータの負荷を低減できるようにした移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構を提供する。
【解決手段】所要長のアーム片51、52、53を複数本上下に重ねて配設し、互いにスライドして伸縮するように構成した移載機のテレスコピックアーム5において、カセットの旋回機構6をテレスコピックアーム5の最上段のアーム片51に配設して構成する。
【選択図】図5
【解決手段】所要長のアーム片51、52、53を複数本上下に重ねて配設し、互いにスライドして伸縮するように構成した移載機のテレスコピックアーム5において、カセットの旋回機構6をテレスコピックアーム5の最上段のアーム片51に配設して構成する。
【選択図】図5
Description
本発明は、移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構に関し、特に、移載機に搭載した伸縮可能なテレスコピックアームの旋回機構を該アームの最上段に配設することで、ストッカーの幅を大きくしなくても狭小な空間でのアームの出入りストロークを長くでき、かつ回転モータの負荷を低減できるようにした移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構に関するものである。
従来、液晶、有機EL、半導体等の電子部品の製造工場においては、液晶、有機EL、半導体等の電子部品用基板(以下、「基板」という。)を複数枚重積するようにして収納したカセットを、スタッカークレーンの移載機に搭載し、かつ搬送ラインに沿ってスタッカークレーンを走行させたのち、所定のスタッカー保管棚位置で停止させ、該カセットを移載機のテレスコピックアームを伸張させてスタッカークレーン側から所定の保管棚へ移載するようにしている。
また、このストッカーに備えた保管棚列は、搬送ラインに沿って走行するスタッカークレーンの走行方向の左右両側に沿って平行するよう配設し、移載する保管棚列側に移載機、詳しくはテレスコピックアームを旋回させて所定の保管棚列の保管棚に向かって伸張するようにしている。
さらに、スタッカークレーンに搭載されている移載機は、スタッカークレーンのメインマストに対して昇降可能に配設し、かつこれに伸縮性のテレスコピックアーム5を備え、このテレスコピックアーム先端に、例えば、最上段のアームに前記カセット(移載荷)を搭載するように構成し、これによりテレスコピックアームの伸縮にてスタッカークレーン、ストッカー間のカセット移載範囲を大きくしてカセットのスタッカークレーン側からストッカーの所定保管棚へ移載できるようにしている。
また、このストッカーに備えた保管棚列は、搬送ラインに沿って走行するスタッカークレーンの走行方向の左右両側に沿って平行するよう配設し、移載する保管棚列側に移載機、詳しくはテレスコピックアームを旋回させて所定の保管棚列の保管棚に向かって伸張するようにしている。
さらに、スタッカークレーンに搭載されている移載機は、スタッカークレーンのメインマストに対して昇降可能に配設し、かつこれに伸縮性のテレスコピックアーム5を備え、このテレスコピックアーム先端に、例えば、最上段のアームに前記カセット(移載荷)を搭載するように構成し、これによりテレスコピックアームの伸縮にてスタッカークレーン、ストッカー間のカセット移載範囲を大きくしてカセットのスタッカークレーン側からストッカーの所定保管棚へ移載できるようにしている。
ところで、従来による移載機のテレスコピックアームの旋回は、図2に示すように、移載機の昇降台と最下段のテレスコピックアームとの間にターンテーブル形式などの旋回機構6を配設して、カセットKはこのテレスコピックアームの全体と共に旋回するようにしている。この場合、図2(A)に示すように、カセットKの旋回径A内に縮小したテレスコピックアームの旋回径(外周円)が一致するようにして縮小したテレスコピックアームの全長Bを設定している。また、スタッカークレーンの幅は、このカセットKの旋回径Aにより定まるようにしている。
これは、テレスコピックアームの全長が長くなると、左右に対向する保管棚列間の空間内でテレスコピックアームを旋回させるに必要な空間が大きくなり、ストッカーの幅方向が大きくなるという問題があるため、カセットKの旋回径A内に縮小したテレスコピックアームの旋回径が一致するように設定し、これによりスタッカークレーンの幅も設定している。
これは、テレスコピックアームの全長が長くなると、左右に対向する保管棚列間の空間内でテレスコピックアームを旋回させるに必要な空間が大きくなり、ストッカーの幅方向が大きくなるという問題があるため、カセットKの旋回径A内に縮小したテレスコピックアームの旋回径が一致するように設定し、これによりスタッカークレーンの幅も設定している。
このようにして、テレスコピックアームの全長が定まると、カセット移載のためのテレスコピックアーム出入りストロークも必然的に定まり、保管棚の奥深く或いは所定位置にカセットを移載することができない。
また、特に近年の如く、カセット内に収納する基板の大きさが大きくなると、必然的に搬送するカセットの大きさも大となり、さらにはカセットを移載するテレスコピックアームの全長も長くなる傾向にある。このテレスコピックアームの全長が長くなると、ストッカー内における左右に対向する保管棚列間において、移載機のテレスコピックアーム旋回に要する空間も大きくなりストッカーの幅方向も大きくなり、これに伴って設備投資が嵩み、不経済であるとともに、このテレスコピックアームの全体をカセット共に旋回駆動させるためにその動力費も大になるという問題があった。
また、特に近年の如く、カセット内に収納する基板の大きさが大きくなると、必然的に搬送するカセットの大きさも大となり、さらにはカセットを移載するテレスコピックアームの全長も長くなる傾向にある。このテレスコピックアームの全長が長くなると、ストッカー内における左右に対向する保管棚列間において、移載機のテレスコピックアーム旋回に要する空間も大きくなりストッカーの幅方向も大きくなり、これに伴って設備投資が嵩み、不経済であるとともに、このテレスコピックアームの全体をカセット共に旋回駆動させるためにその動力費も大になるという問題があった。
本発明は、上記従来の移載機におけるテレスコピックアームの有する問題点に鑑み、ストッカーの幅を大きくしなくても狭小な空間でのアームの出入りストロークを長くでき、かつ回転モータの負荷を低減できるようにした移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構は、所要長のアーム片を複数本上下に重ねて配設し、互いにスライドして伸縮するように構成した移載機のテレスコピックアームにおいて、カセットの旋回機構をテレスコピックアームの最上段のアーム片に配設して構成したことを特徴とする。
この場合において、カセットの旋回機構を、最上段のアーム片に旋回可能にターンテーブルを内蔵して構成することができる。
また、縮小時のテレスコピックアームの全長を、カセット旋回径の直径と等しくなるように設定することができる。
本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構によれば、所要長のアーム片を複数本上下に重ねて配設し、互いにスライドして伸縮するように構成した移載機のテレスコピックアームにおいて、カセットの旋回機構をテレスコピックアームの最上段のアーム片に配設して構成することにより、伸縮するアーム片の全長をカセット旋回径の直径と等しくなるまで延長することができるので、ストッカーの幅を大きくしなくてもテレスコピックアームの出入りストロークを大とすることができ、保管棚へのカセットの移載が円滑に行えるとともに、カセットを旋回させる質量もテレスコピックアーム全体の質量を除いたカセットと旋回機構のみの質量と小となるので、カセットの旋回時の位置制御も迅速に正確に行えるとともに、モータ負荷をへらすことができるので、負荷側イナーシャを大幅に低減することができる。
また、最上段のアーム片に旋回可能にターンテーブルを内蔵してカセットの旋回機構を構成することにより、テレスコピックアーム全体の高さ方向を小さくすることができ、カセットのテレスコピックアーム側から保管棚側への移載及びカセットの旋回もより円滑に行える。
また、縮小時のテレスコピックアームの全長を、カセット旋回径の直径と等しくなるように設定することにより、ストッカーの幅を大きくしなくてもテレスコピックアームの出入りストロークを従来よりも大とすることができるので、カセットの移載がより正確に行え、かつ既設のスタッカークレーンにも簡易に設置することができる。
以下、本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図1〜図5に、本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構の一実施例を示す。
本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構は、図1に示すように、所要長を有する複数本のアーム片51、52、53を、例えば、図示の実施例では同じ長さを有する3本のアーム片51、52、53を上下に重ねるようにして配設し、このアーム片間に直動ベアリング等(LMガイド)を介して互いに円滑にスライドして伸縮出没するように移載機のテレスコピックアーム5を構成し、この最上段のアーム片51の上面側にターンテーブル6を内蔵することによりカセットの旋回機構を構成し、かつ各アーム片51、52、53を縮小した状態のテレスコピックアームの全長Bを、カセット旋回径Aの直径と等しくなるように設定する。
これにより、ストッカーの幅を大きくしなくても狭小な空間でのテレスコピックアームの出入りストロークを長くでき、かつ回転モータの負荷を低減できるようにする。
本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構は、図1に示すように、所要長を有する複数本のアーム片51、52、53を、例えば、図示の実施例では同じ長さを有する3本のアーム片51、52、53を上下に重ねるようにして配設し、このアーム片間に直動ベアリング等(LMガイド)を介して互いに円滑にスライドして伸縮出没するように移載機のテレスコピックアーム5を構成し、この最上段のアーム片51の上面側にターンテーブル6を内蔵することによりカセットの旋回機構を構成し、かつ各アーム片51、52、53を縮小した状態のテレスコピックアームの全長Bを、カセット旋回径Aの直径と等しくなるように設定する。
これにより、ストッカーの幅を大きくしなくても狭小な空間でのテレスコピックアームの出入りストロークを長くでき、かつ回転モータの負荷を低減できるようにする。
内部にスタッカークレーンCを走行可能としたストッカーSは、特に限定されるものではないが、例えば、図3〜図4に示すように、カセットKを収納できる幅間隔に柱P、Pを搬送ラインに沿って配置し、この柱P、P間にカセットを受けるための棚板Sa、Saを対向するように配設して構成し、この保管棚列S1、S2をスタッカークレーンの走行方向の左右両側に沿って平行するようにして配設し、この左右に対向する保管棚列S1、S2間に、搬送ライン、詳しくは敷設したレールRに沿ってスタッカークレーンCを走行可能に配設して構成する。
この場合、スタッカークレーンCの搬送ラインの左右両側に配置される保管棚列S1、S2間の幅Dは、図3に示すように、テレスコピックアーム5と接触或いは衝突しないよう、縮小させたテレスコピックアーム5の全長Aよりも若干大とするようにする。
なお、図3において、太矢印はスタッカークレーンCの走行方向を、細矢印はテレスコピックアームの出入り方向を示す。
この場合、スタッカークレーンCの搬送ラインの左右両側に配置される保管棚列S1、S2間の幅Dは、図3に示すように、テレスコピックアーム5と接触或いは衝突しないよう、縮小させたテレスコピックアーム5の全長Aよりも若干大とするようにする。
なお、図3において、太矢印はスタッカークレーンCの走行方向を、細矢印はテレスコピックアームの出入り方向を示す。
また、ストッカーSは、前記柱P、Pの高さ方向にもカセットを受けるための棚板Sa、Saを複数段上下に配設して構成し、これによりストッカー内に多数のカセットを複数段に収納可能とする。
ストッカーS内を走行するスタッカークレーンCは、図4に示すように、レールRに沿って走行可能とした走行台車1の上部に、所要長、特に限定されるものではないが、例えば、8m〜10m程度の長さを有する高いメインマスト2を取り付け、このメインマスト2に移載機4を昇降可能に取り付けるとともに、該移載機4に出没するように伸縮する移載用のテレスコピックアーム5を搭載して構成する。
ストッカーS内を走行するスタッカークレーンCは、図4に示すように、レールRに沿って走行可能とした走行台車1の上部に、所要長、特に限定されるものではないが、例えば、8m〜10m程度の長さを有する高いメインマスト2を取り付け、このメインマスト2に移載機4を昇降可能に取り付けるとともに、該移載機4に出没するように伸縮する移載用のテレスコピックアーム5を搭載して構成する。
なお、この走行台車1には、下部に複数の走行車輪Wとガイド車輪W1、W2を備える。これは、特に限定されるものではないが、例えば、図4に示すように、走行台車1の左右前後位置において、レールRの頂面にて走行台車1に掛かる全荷重を支持するようにし、かつ駆動装置としての電動モータにて回転駆動するようにした走行車輪Wを転動可能に支持し、かつガイド車輪W1、W2にてレールRの両側面を挟むようし、さらには必要に応じてメインマスト2の上部をガイド装置3にて支持し、これにより、走行台車1が搬送行路となるように配設したレールRに沿って安定して、かつ高速で走行できるようにする。
このメインマスト2は、特に限定されるものではないが、例えば、図4示すように、1本柱の形状とすることもでき、或いはフレーム状のものとすることもる。これは移載するカセット全体の荷重などにより適宜設定するようにする。
このメインマスト2は、特に限定されるものではないが、例えば、図4示すように、1本柱の形状とすることもでき、或いはフレーム状のものとすることもる。これは移載するカセット全体の荷重などにより適宜設定するようにする。
移載機4におけるテレスコピックアーム5は、特に限定されるものではないが、例えば、図5に示すように、最下段に配設した移載機4の固定フレーム41の上に、下段側のアーム片53を直動ベアリング54を介して配設し、この上に中段のアーム片52を直動ベアリング55を介して、さらにこの上に最上段のアーム片53を直動ベアリング56を介して配設し、これにより同じ長さを有する3本のアーム片51、52、53が互いにスライドして伸縮出没するように構成する。
なお、図5においては、テレスコピックアーム5の伸縮方向の駆動機構は省略したが、各アーム片間に特に限定されるものではないが、例えば、ラック、ピニオンよりなる駆動機構を配設して各アーム片は同時に伸縮するようにすることができる。
なお、図5においては、テレスコピックアーム5の伸縮方向の駆動機構は省略したが、各アーム片間に特に限定されるものではないが、例えば、ラック、ピニオンよりなる駆動機構を配設して各アーム片は同時に伸縮するようにすることができる。
また、最上段のアーム片53の表面には、カセットを支持し、かつ必要に応じて旋回させるためのターンテーブル6を内蔵する。このターンテーブル6はアーム片53の表面に形成した窪み53a内に、かつターンテーブル6の表面がアーム片53の表面より少し突出するようにして嵌挿し、これにより最上段のアーム片53の表面上に載置されるカセットをターンテーブル6の表面にて支持し、旋回可能とする。このため、窪み53aの内底面とターンテーブル6の下面間にスラストベアリング61を配設し、ターンテーブル6が円滑に旋回できるようにする。
なお、該ターンテーブル6の旋回は、特に限定されるものではないが、例えば、図5(B)に示すように、ターンテーブル6の外周面に形成した歯車62に、最上段のアーム片53側に配設した駆動モータ(図示省略)にて駆動されるピニオン63を噛合して行うことができる。
なお、該ターンテーブル6の旋回は、特に限定されるものではないが、例えば、図5(B)に示すように、ターンテーブル6の外周面に形成した歯車62に、最上段のアーム片53側に配設した駆動モータ(図示省略)にて駆動されるピニオン63を噛合して行うことができる。
次に、本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構の作用について説明する。
移載機4のターンテーブル6上に所要のカセットKを搭載し、レールRに沿って走行してきたスタッカークレーンCは、所定位置にて停止すると、移載機4をメインマスト2に沿って所定の保管棚、例えば、図4に示すように、2段目の保管棚まで昇降させて停止させる。次にカセットKを保管する側の保管棚列側に向かってテレスコピックアーム5を突出させる。これは駆動機構を駆動することで、テレスコピックアーム5の3本のアーム片51、52、53が、アーム片間に互いに配設した直動ベアリングを介して円滑にスライドするようにして伸張突出する。
移載機4のターンテーブル6上に所要のカセットKを搭載し、レールRに沿って走行してきたスタッカークレーンCは、所定位置にて停止すると、移載機4をメインマスト2に沿って所定の保管棚、例えば、図4に示すように、2段目の保管棚まで昇降させて停止させる。次にカセットKを保管する側の保管棚列側に向かってテレスコピックアーム5を突出させる。これは駆動機構を駆動することで、テレスコピックアーム5の3本のアーム片51、52、53が、アーム片間に互いに配設した直動ベアリングを介して円滑にスライドするようにして伸張突出する。
この際、ターンテーブル6上のカセットKの向きを調整する必要がある場合、テレスコピックアーム5を伸張突出させる前に、ピニオン63を駆動して該ピニオン63と噛合している歯車62介してターンテーブル6が、予め設定しておいた角度、例えば、180度旋回して停止する。これにより、カセットKの向きを調整した後、テレスコピックアーム5を伸張突出させ、カセットを移載機側から保管棚側S1又はS2へ移載するようにする。この場合、テレスコピックアーム5の3本のアーム片51、52、53が縮小した状態で、アーム片の長さをカセットの旋回径Aと一致するようにしているから、ストッカーの幅を大きくすることなく、従来の方法と比べてテレスコピックアーム5の出入りストロークが大となり、保管棚の所定位置に円滑に移載することができる。
また、このテレスコピックアーム5の出入りさせるモータは、負荷に対するイナーシャを押さえる必要がある。これはイナーシャ比が大きすぎるとテレスコピックアーム5に揺れが発生するためである。従来では、この負荷側イナーシャをテレスコピックアーム5の出状態で選定計算しなければならず、その計算が複雑であったが、本発明では、テレスコピックアーム5の出入りが関係なくなるので負荷側イナーシャを大幅に低減することができる。
また、このテレスコピックアーム5の出入りさせるモータは、負荷に対するイナーシャを押さえる必要がある。これはイナーシャ比が大きすぎるとテレスコピックアーム5に揺れが発生するためである。従来では、この負荷側イナーシャをテレスコピックアーム5の出状態で選定計算しなければならず、その計算が複雑であったが、本発明では、テレスコピックアーム5の出入りが関係なくなるので負荷側イナーシャを大幅に低減することができる。
以上、本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
本発明の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構は、伸縮するテレスコピックアームの最上段に設置した旋回機構にてカセットを旋回させるという特性を有していることから、移載機におけるテレスコピックアームの用途に好適に用いることができるほか、例えば、アームを伸縮させる機構を備えた搬送機、稼働橋、その他の受渡装置の用途にも用いることができる。
K カセット
A カセット旋回径(外周円)
B 縮小状態のテレスコピックアームの全長
C スタッカークレーン
D 保管棚列間の幅
S ストッカー
S1 保管棚列
S2 保管棚列
R レール
1 スタッカークレーンの走行台車
2 メインマスト
3 ガイド装置
4 移載機
5 テレスコピックアーム
51 アーム片
52 アーム片
53 アーム片
6 ターンテーブル(旋回機構)
A カセット旋回径(外周円)
B 縮小状態のテレスコピックアームの全長
C スタッカークレーン
D 保管棚列間の幅
S ストッカー
S1 保管棚列
S2 保管棚列
R レール
1 スタッカークレーンの走行台車
2 メインマスト
3 ガイド装置
4 移載機
5 テレスコピックアーム
51 アーム片
52 アーム片
53 アーム片
6 ターンテーブル(旋回機構)
Claims (3)
- 所要長のアーム片を複数本上下に重ねて配設し、互いにスライドして伸縮するように構成した移載機のテレスコピックアームにおいて、カセットの旋回機構をテレスコピックアームの最上段のアーム片に配設して構成したことを特徴とする移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構。
- カセットの旋回機構を、最上段のアーム片に旋回可能にターンテーブルを内蔵して構成したことを特徴とする請求項1記載の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構。
- 縮小時のテレスコピックアームの全長を、カセット旋回径の直径と等しくなるように設定したことを特徴とする請求項1又は2記載の移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005062531A JP2006240867A (ja) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005062531A JP2006240867A (ja) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006240867A true JP2006240867A (ja) | 2006-09-14 |
Family
ID=37047651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005062531A Pending JP2006240867A (ja) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006240867A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101576543B1 (ko) | 2013-12-20 | 2015-12-10 | 주식회사 에스에프에이 | 이송대차 시스템 및 이송대차를 이용한 대상물 이적재방법 |
CN106103011A (zh) * | 2014-01-17 | 2016-11-09 | 布鲁克斯自动化公司 | 衬底运输设备 |
CN114769553A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-07-22 | 嘉兴立石科技股份有限公司 | 一种大型自动化压铸单元铸件缓存站 |
-
2005
- 2005-03-07 JP JP2005062531A patent/JP2006240867A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101576543B1 (ko) | 2013-12-20 | 2015-12-10 | 주식회사 에스에프에이 | 이송대차 시스템 및 이송대차를 이용한 대상물 이적재방법 |
CN106103011A (zh) * | 2014-01-17 | 2016-11-09 | 布鲁克斯自动化公司 | 衬底运输设备 |
JP2017504492A (ja) * | 2014-01-17 | 2017-02-09 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送装置 |
CN113270350A (zh) * | 2014-01-17 | 2021-08-17 | 布鲁克斯自动化公司 | 衬底运输设备 |
US11273558B2 (en) | 2014-01-17 | 2022-03-15 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus |
CN114769553A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-07-22 | 嘉兴立石科技股份有限公司 | 一种大型自动化压铸单元铸件缓存站 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4967318B2 (ja) | ストッカ | |
JP4767641B2 (ja) | 基板処理装置および基板搬送方法 | |
KR101495574B1 (ko) | 반송 장치, 반송 시스템 및 신장 기구 | |
JP4844824B2 (ja) | 物品保管設備 | |
US20070224026A1 (en) | Transferring system | |
WO2010041562A1 (ja) | 基板搬送ロボットおよびシステム | |
KR20160007946A (ko) | 스토커 컨베이어용 대차 | |
JP5287227B2 (ja) | 搬送台車 | |
JP3194272U (ja) | 無人搬送車 | |
JP2012020382A (ja) | 産業用ロボット | |
JP4828137B2 (ja) | 移載機におけるテレスコピックアームの支持構造 | |
JP2006240867A (ja) | 移載機におけるテレスコピックアームの旋回機構 | |
JPH10270528A (ja) | 基板の搬送装置及びそれに用いられるカセット並びに基板の搬送方法 | |
JP4941627B2 (ja) | ワーク収納装置 | |
JP7489435B2 (ja) | タワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送方法 | |
JP5332337B2 (ja) | 搬送装置及び自動倉庫 | |
KR20180077734A (ko) | 기판이송장치 | |
KR102299106B1 (ko) | 멀티 암 반송 로봇 | |
WO2020157952A1 (ja) | パレット搬送装置、部品実装機、パレット搬送方法 | |
JP5665417B2 (ja) | 産業用ロボット | |
KR20150039482A (ko) | 케이블 베어 및 이를 포함하는 기판 이송장치 | |
JP4597810B2 (ja) | 基板処理装置および基板搬送方法 | |
KR102687829B1 (ko) | 이재장치 | |
JP4203760B2 (ja) | 自動倉庫 | |
JP5474328B2 (ja) | 基板搬送ロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20060620 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 |