JP2006216920A5 - - Google Patents
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Priority Applications (7)
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JP2005031111A JP4887628B2 (ja) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 半導体製造装置、コンピュータプログラム及び記憶媒体 |
KR1020077014655A KR101208295B1 (ko) | 2004-12-28 | 2005-12-22 | 반도체 제조 장치, 당해 반도체 제조 장치에 있어서의 이상을 검출하는 방법, 및 당해 방법을 실시하기 위한 컴퓨터 프로그램을 기록한 기억 매체 |
DE602005017310T DE602005017310D1 (de) | 2004-12-28 | 2005-12-22 | Halbleiter-herstellungsvorrichtung, abnormitätsdetektion in einer solchen halbleiter-herstellungsvorrichtung, verfahren zum spezifizieren der abnormitätsursache oder zur vorhersage von abnormität und aufzeichnungsmedium, worauf ein computerprogramm zist |
US11/794,374 US7751921B2 (en) | 2004-12-28 | 2005-12-22 | Semiconductor manufacturing apparatus, method of detecting abnormality, identifying cause of abnormality, or predicting abnormality in the semiconductor manufacturing apparatus, and storage medium storing computer program for performing the method |
EP05820365A EP1845553B1 (en) | 2004-12-28 | 2005-12-22 | Semiconductor manufacturing apparatus, abnormality detection in such semiconductor manufacturing apparatus, method for specifying abnormality cause or predicting abnormality, and recording medium wherein computer program for executing such method is recorded |
PCT/JP2005/023617 WO2006070689A1 (ja) | 2004-12-28 | 2005-12-22 | 半導体製造装置、当該半導体製造装置における異常の検出、異常の原因の特定或いは異常の予測を行う方法、並びに当該方法を実施するためのコンピュータプログラムを記録した記憶媒体 |
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Family Applications (1)
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