JP2006130638A - 容器入り研磨材粒子分散液 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】容器内の壁面の全面積に対する研磨材粒子分散液の接液面積の比(接液面積)/(容器内の全壁面面積)が0.85以上である容器入り研磨材粒子分散液、並びに該容器入り研磨材粒子分散液と酸及び/又はその塩とから構成される研磨液キット。
【選択図】なし
Description
このような要求に対して、表面平滑性の向上を目的に、被研磨物の表面に生じる傷(スクラッチ等)の低減を図るべく、コロイダルシリカを含有した研磨液が提案されている(特許文献1)が、その容器、保存条件等には何ら言及されていない。
そこで、さらに検討を進めたところ、研磨材粒子分散液の容器内の充填状態を特定のものに調整することで、研磨材粒子分散液の物性、特に作用特性を長期間保持できることを見出し、本発明を完成した。
即ち、本発明の要旨は、
〔1〕容器内の壁面の全面積に対する研磨材粒子分散液の接液面積の比
(接液面積)/(容器内の全壁面面積)
が0.85以上である容器入り研磨材粒子分散液、並びに
〔2〕前記〔1〕記載の容器入り研磨材粒子分散液と酸及び/又はその塩とから構成される研磨液キット
に関する。
中でも、研磨材粒子がコロイド粒子であることが好ましい。コロイド粒子とは、数平均粒径100nm以下の研磨材粒子をさす。コロイド粒子としては、コロイダルシリカ、コロイダルアルミナ、コロイダルセリア等が挙げられる。ナノスクラッチ低減の観点から、コロイダルシリカが好ましい。コロイダルシリカは、例えば珪酸水溶液から生成させる製法によって得ることができる。なお、これらの研磨材粒子の分散状態としては、特に限定はなく、流動性を有していればよい。
また、前記研磨材粒子は、2種以上を混合して用いることができる。また、これら粒子を官能基で表面修飾あるいは表面改質したもの、界面活性剤や他の研磨材で複合粒子化したもの等も用いることができる。
なお、接触角は、例えば、協和界面科学製、接触角測定器により測定することができる。
研磨材粒子分散液として、コロイダルシリカ分散液(デュポン社製、一次粒子の平均粒径22nm、シリカ粒子濃度40重量%)を必要に応じて精密フィルターに通した後、容器内に入れた。適宜、エアー抜きをした後、所定の接液面積/容器内の全壁面面積の比になるよう調整して容器入りコロイダルシリカ分散液を得た。これを室温で1ヶ月保存後、容器入りコロイダルシリカ分散液と水とを1:6(体積比)の割合で希釈し、さらに硫酸(和光純薬工業社製特級)を0.4重量%となるように添加して、研磨液組成物を調製した(pH1.5)。
得られた研磨液組成物を用いて以下の方法に基づいて被研磨基板を研磨し、そのナノスクラッチの有無について評価した。
なお、表1に、使用した容器の種類、精密フィルター処理の有無、エアー抜きの有無及び接液面積/容器内の全壁面面積の比、コロイダルシリカ分散液のpH、容器材質、接触角、およびナノスクラッチの結果を示す。
・研磨試験機:スピードファム社製、両面9B研磨機
・研磨パッド:フジボウ社製、ウレタン製仕上げ研磨用パッド
・上定盤回転数:32.5r/min
・研磨液組成物供給量:100mL/min
・本研磨時間:4min
・本研磨荷重:7.8kPa
・投入した被研磨基板の枚数:10枚
アルミナ研磨材を含有する研磨液であらかじめ粗研磨し、AFM−Ra10Åとした、厚さ1.27mmの外径95mmφで内径25mmφのNi−Pメッキされたアルミニウム合金基板を被研磨基板として用いた。
・測定機器:VISION PSYTEC社製、「MicroMax VMX−2100CSP」
・光源:2Sλ(250W)及び3Pλ(250W)共に100%
・チルト角:−6度
・倍率:最大(視野範囲:全面積の120分の1)
・観察領域:全面積(外周95mmφで内周25mmの基板)
・アイリス:notch
・評価:研磨試験機に投入した基板の中、無作為に4枚を選択し、その4枚の基板の各々両面にあるナノスクラッチ数(本)の合計を8で除して、基板面当たりのナノスクラッチ数を算出した。
実験例1と同じ容器入りコロイダルシリカ分散液を表2に示す温度に設定された恒温槽内で1ヶ月保管した後、実験例1と同じ方法で研磨を行いナノスクラッチ評価を行った。その結果を表2に示す。
Claims (7)
- 容器内の壁面の全面積に対する研磨材粒子分散液の接液面積の比
(接液面積)/(容器内の全壁面面積)
が0.85以上である容器入り研磨材粒子分散液。 - 研磨材粒子がコロイド粒子である請求項1記載の容器入り研磨材粒子分散液。
- pHが7以上である請求項1又は2記載の容器入り研磨材粒子分散液。
- 容器内の壁面部分の材質が有機高分子である請求項1〜3いずれか記載の容器入り研磨材粒子分散液。
- 容器内の壁面部分の材質と該容器に充填する研磨材粒子分散液との接触角が80度以上のものである請求項1〜4いずれか記載の容器入り研磨材粒子分散液。
- 酸及び/又はその塩と共に用いられる請求項1〜5いずれか記載の容器入り研磨材粒子分散液。
- 請求項1〜6いずれか記載の容器入り研磨材粒子分散液と酸及び/又はその塩とから構成される研磨液キット。
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2004
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