JP2006124262A - InSbナノ粒子 - Google Patents
InSbナノ粒子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006124262A JP2006124262A JP2004318510A JP2004318510A JP2006124262A JP 2006124262 A JP2006124262 A JP 2006124262A JP 2004318510 A JP2004318510 A JP 2004318510A JP 2004318510 A JP2004318510 A JP 2004318510A JP 2006124262 A JP2006124262 A JP 2006124262A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insb
- nanoparticles
- nanoparticle
- group
- insb nanoparticles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C12/00—Alloys based on antimony or bismuth
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明は、平均粒径が2nm〜200nmの範囲内であり、分散媒中に分散可能であり、独立分散していることを特徴とするInSbナノ粒子を提供することにより、上記目的を達成するものである。
【選択図】図1
Description
本発明のInSbナノ粒子は独立分散していることから、このようなInSbナノ粒子を用いることにより、移動度の高いInSbの塗膜形成やパターニングを容易に行うことができる。
本発明においては、InSbナノ粒子の表面に所定の有機化合物が付着していることにより、InSbナノ粒子の凝集を防ぐことが可能となる。これにより、独立分散したInSbナノ粒子とすることができるので、移動度の高いInSbの塗膜形成やパターニングを容易に行うことが可能となる。
本発明においては、InSbナノ粒子が分散媒中で独立分散しているので、例えば本発明のInSbナノ粒子分散液を塗布することにより半導体を形成する場合には、均一な塗膜を得ることができるという利点を有する。特に、インクジェット法や印刷法によって半導体をパターニングする場合に有利であり、従来のリソグラフィー法による場合と比較して、パターニングが容易となり、製造工程を簡略化することができる。
本発明のInSbナノ粒子は、二つの実施態様に分けることができる。以下、各実施態様について説明する。
本実施態様のInSbナノ粒子は、平均粒径が2nm〜200nmの範囲内であり、分散媒中に分散可能であり、独立分散していることを特徴とするものである。
なお、InSbナノ粒子が結晶性を有することは、X線回折分析により確認することができる。
本実施態様のInSbナノ粒子は、1分子中に親水基を1残基以上および疎水基を有する有機化合物が表面に付着していることを特徴とするものである。
次に、本発明のInSbナノ粒子分散液について説明する。本発明のInSbナノ粒子分散液は、InSbナノ粒子と分散媒とを含有することを特徴とするものである。
以下、本発明のInSbナノ粒子分散液の各構成について説明する。
本発明に用いられるInSbナノ粒子は、後述する分散媒中で独立分散するものであれば、すなわち所定の時間以上沈降しないものであれば特に限定されるものではないが、表面に1分子中に親水基を1残基以上および疎水基を有する有機化合物が付着したものであることが好ましい。このような有機化合物が表面に付着していることにより、InSbナノ粒子の凝集を効果的に妨げることができるからである。
本発明に用いられる分散媒としては、上記InSbナノ粒子を独立分散させることが可能であれば特に限定されるものではなく、上記InSbナノ粒子が表面に所定の有機化合物が付着したものである場合、あるいはInSbナノ粒子分散液に所定の有機化合物が添加されている場合は、この所定の有機化合物の種類に応じて適宜選択される。
本発明においては、InSbナノ粒子分散液に、InSbナノ粒子の分散性を向上させるための分散性向上剤を添加することができる。分散性向上剤としては、上記「A.InSbナノ粒子」の項に記載したアミノアルカン類、高級脂肪酸および高級アルコール類などを用いることができる。
本発明のInSbナノ粒子分散液は、半導体をパターニングする場合に有利である。例えば、薄膜トランジスタ(TFT)、IC(集積回路)タグ、アクティブマトリックス表示の液晶ディスプレイの薄膜トランジスタ(TFT)等を作製する場合に用いることができる。
次に、本発明のInSbナノ粒子の製造方法について説明する。本発明のInSbナノ粒子の製造方法は、ホットソープ法により、InSbナノ粒子を製造することを特徴とするものである。
以下、本発明のInSbナノ粒子の製造方法の各構成について説明する。
本発明に用いられる前駆体としては、InSbナノ粒子を形成することが可能なものであれば特に限定されるものではないが、通常はインジウム化合物およびアンチモン化合物を用いる。この際、インジウム化合物とアンチモン化合物との混合比としては、化学量論比に基づいて設定すればよい。
また、前駆体が常温で固体または液体である場合は、必要に応じて溶媒に溶解または分散して用いてもよい。用いられる溶媒としては、n−ヘキサン、n−ヘプタン、n−オクタン、イソオクタン、ノナン、デカン等のアルカン類;ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレン等の芳香族炭化水素;ジフェニルエーテル、ジ(n−オクチル)エーテル等のエーテル類;クロロホルム、ジクロロメタン、ジクロロエタン、モノクロロベンゼン、ジクロロベンゼン等のハロゲン系炭化水素;n−ヘキシルアミン、n−オクチルアミン、トリ(n−ヘキシル)アミン、トリ(n−オクチル)アミン等のアミン類;アルコール類;あるいは後述する分散剤に用いられる化合物;等が挙げられる。これらの中でも、ハロゲン系炭化水素、アルコール類、またはアミン類が好ましく用いられる。
本発明に用いられる分散剤としては、高温液相において微結晶に配位して安定化する物質であれば特に限定されるものではないが、例えばトリブチルホスフィン、トリヘキシルホスフィン、トリオクチルホスフィン等のトリアルキルホスフィン類;トリブチルホスフィンオキシド、トリヘキシルホスフィンオキシド、トリオクチルホスフィンオキシド、トリデシルホスフィンオキシド等の有機リン化合物;オクチルアミン、デシルアミン、ドデシルアミン、テトラデシルアミン、ヘキサデシルアミン、オクタデシルアミン等のアミノアルカン類;トリ(n−ヘキシル)アミン、トリ(n−オクチル)アミン等の第3級アミン類;ピリジン、ルチジン、コリジン、キノリン類の含窒素芳香族化合物等の有機窒素化合物;ジブチルスルフィド等のジアルキルスルフィド類;ジメチルスルホキシドやジブチルスルホキシド等のジアルキルスルホキシド類;チオフェン等の含硫黄芳香族化合物等の有機硫黄化合物;パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸等の高級脂肪酸;アルコール類;等の有機化合物が挙げられる。
本発明においては、上記分散剤を加熱し、この加熱した分散剤に上記前駆体を注入することにより、InSbナノ粒子を製造することができる。
[実施例1]
ホットソープ法の反応場を、下記の分散剤にて構成した。
<分散剤>
・1,2−ヘキサデカンジオール(ALDRICH製) 1.2g
・オレイン酸(ALDRICH製) 1.2g
・ヘキサデシルアミン(関東化学(株)製) 18g
<前駆体混合液>
・n−ブトキシアンチモン(アヅマックス(株)製) 0.060g
・インジウムアセチルアセトナート(ALDRICH製) 0.090g
・1,2−ジクロロベンゼン(関東化学(株)製) 0.70g
すなわち、黒色沈殿物をクロロホルム3gと混合して分散液とし、この分散液をエタノール12gと混合することにより精製された黒色沈殿物を得た。
このようにして得られた再沈殿液を遠心分離することにより、精製された黒色粉体aを得た。
また、黒色粉体aのX線回折パターンを図2(a)に示す。なお、図2(b)は、InSbのX線回折パターン(JCPDS No.60208)である。図2のX線回折パターンより、黒色粉体aはInSbの結晶構造を有することが確認された。
さらに、黒色粉体aはクロロホルムに分散することを確認し、X線光電子分光分析(XPS)を用いて、炭素と、アミノ基に含有される窒素と、カルボキシル基および水酸基に含有される酸素とが含まれていることを確認した。これにより、黒色粉体aの表面に分散剤が付着していることを確認した。
実施例1で得られた黒色粉体aをクロロホルムと混合して分散液を得た後に、この分散液にエタノールを、沈殿が生じるまで滴下した。得られた黒色沈殿物を遠心分離によって再沈殿液と分離し、黒色粉体bを得た。
透過型電子顕微鏡観察より、得られた黒色粉体bは平均粒径が40nmの粒子であることが観察された。
透過型電子顕微鏡観察より、得られた黒色粉体cは平均粒径が20nmの粒子であることが観察された。
透過型電子顕微鏡観察より、得られた黒色粉体dは平均粒径が10nmの粒子であることが観察された。
実施例1で得られた黒色粉体aを下記の有機化合物とアルゴンガス雰囲気下で混合し、150℃に加熱し、6時間攪拌した。
・黒色粉体a 0.1g
・3−メルカプトプロピオン酸 5.0g
実施例1において、ホットソープ法の反応場を、下記の分散剤にて構成した以外は、実施例1と同様にして黒色粉体eを得た。
<分散剤>
・1,2−ヘキサデカンジオール(ALDRICH製) 0.53g
・オレイン酸(ALDRICH製) 0.16g
・ヘキサデシルアミン(関東化学(株)製) 18g
さらに、上述した方法により、黒色粉体eの表面には、炭素と、アミノ基に含有される窒素と、カルボキシル基および水酸基に含有される酸素とが含まれていることを確認した。これにより、黒色粉体eの表面に分散剤が付着していることを確認した。
実施例1において、前駆体混合液の注入温度を325℃、注入後に30分間保持する温度を310℃にした以外は、実施例1と同様にして黒色粉体fを得た。
得られた黒色粉体fは、透過型電子顕微鏡観察により、粒径2〜50nmの粒子であることが観察された。また、X線回折分析により、黒色粉体fはInSbの結晶構造を有することが確認された。
さらに、上述した方法により、黒色粉体fの表面には、炭素と、アミノ基に含有される窒素と、カルボキシル基および水酸基に含有される酸素とが含まれていることを確認した。これにより、黒色粉体fの表面に分散剤が付着していることを確認した。
実施例1、4、5で得られた黒色粉体a、e、fをクロロホルムと混合して分散液a、e、fを得た。また、実施例3で得られた暗褐色粉体をN,N−ジメチルホルムアミドと混合して分散液gを得た。この分散液a、e、f、gを温度20℃、湿度60%の環境下で静置して、黒色粉体(InSbナノ粒子)の沈降が生じた時間を測定した。結果を表1に示す。
Claims (11)
- 平均粒径が2nm〜200nmの範囲内であり、分散媒中に分散可能であり、独立分散していることを特徴とするInSbナノ粒子。
- 1分子中に親水基を1残基以上および疎水基を有する有機化合物が表面に付着していることを特徴とする請求項1に記載のInSbナノ粒子。
- 1分子中に親水基を1残基以上および疎水基を有する有機化合物が表面に付着していることを特徴とするInSbナノ粒子。
- 前記親水基が、アミノ基、カルボキシル基または水酸基であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のInSbナノ粒子。
- InSbナノ粒子と分散媒とを含有することを特徴とするInSbナノ粒子分散液。
- 前記InSbナノ粒子が、前記分散媒中で独立分散していることを特徴とする請求項5に記載のInSbナノ粒子分散液。
- 前記InSbナノ粒子が、表面に、1分子中に親水基および疎水基を有する有機化合物が付着したものであり、前記分散媒が非極性溶媒であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のInSbナノ粒子分散液。
- 前記InSbナノ粒子が、表面に、1分子中に親水基および疎水基を有し前記疎水基の両末端に前記親水基が結合している有機化合物が付着したものであり、前記分散媒が極性溶媒であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のInSbナノ粒子分散液。
- ホットソープ法により、InSbナノ粒子を製造することを特徴とするInSbナノ粒子の製造方法。
- 前記ホットソープ法にて、アミノアルカン類、高級脂肪酸および高級アルコール類からなる群から選択される少なくとも1種の有機化合物を用いることを特徴とする請求項6に記載のInSbナノ粒子の製造方法。
- 前記ホットソープ法にて、1分子中に長鎖アルキル基を1残基以上および水酸基を2残基以上有する高級アルコール類を用いることを特徴とする請求項9または請求項10に記載のInSbナノ粒子の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004318510A JP2006124262A (ja) | 2004-11-01 | 2004-11-01 | InSbナノ粒子 |
US11/262,357 US20060094860A1 (en) | 2004-11-01 | 2005-10-28 | InSb nanoparticle |
US12/108,601 US20090007726A1 (en) | 2004-11-01 | 2008-04-24 | InSb NANOPARTICLE |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004318510A JP2006124262A (ja) | 2004-11-01 | 2004-11-01 | InSbナノ粒子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006124262A true JP2006124262A (ja) | 2006-05-18 |
Family
ID=36262937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004318510A Pending JP2006124262A (ja) | 2004-11-01 | 2004-11-01 | InSbナノ粒子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20060094860A1 (ja) |
JP (1) | JP2006124262A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008083550A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 非線形光学材料およびその製造方法 |
JP2008258050A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Ulvac Japan Ltd | 透明導電膜形成用塗布液、透明導電膜の形成方法及び透明電極 |
JP2009215645A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-09-24 | Air Products & Chemicals Inc | Ald/cvdプロセスにおけるgst膜のためのアンチモン前駆体 |
JP2010514918A (ja) * | 2006-11-02 | 2010-05-06 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | 金属薄膜のcvd/aldに有用なアンチモンおよびゲルマニウム錯体 |
US8617972B2 (en) | 2009-05-22 | 2013-12-31 | Advanced Technology Materials, Inc. | Low temperature GST process |
US8674127B2 (en) | 2008-05-02 | 2014-03-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Antimony compounds useful for deposition of antimony-containing materials |
US8679894B2 (en) | 2006-05-12 | 2014-03-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Low temperature deposition of phase change memory materials |
US9012876B2 (en) | 2010-03-26 | 2015-04-21 | Entegris, Inc. | Germanium antimony telluride materials and devices incorporating same |
US9190609B2 (en) | 2010-05-21 | 2015-11-17 | Entegris, Inc. | Germanium antimony telluride materials and devices incorporating same |
US9385310B2 (en) | 2012-04-30 | 2016-07-05 | Entegris, Inc. | Phase change memory structure comprising phase change alloy center-filled with dielectric material |
US9537095B2 (en) | 2008-02-24 | 2017-01-03 | Entegris, Inc. | Tellurium compounds useful for deposition of tellurium containing materials |
US9640757B2 (en) | 2012-10-30 | 2017-05-02 | Entegris, Inc. | Double self-aligned phase change memory device structure |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003062783A2 (en) * | 2001-07-20 | 2003-07-31 | North Carolina State University | Light addressable electrochemical detection of duplex structures |
US20040180369A1 (en) * | 2003-01-16 | 2004-09-16 | North Carolina State University | Photothermal detection of nucleic acid hybridization |
WO2005042783A1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | North Carolina State University | Temperature-jump enhanced electrochemical detection of nucleic acid hybridization |
WO2005042785A1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | North Carolina State University | Electrochemical detection of nucleic acid hybridization |
US7850777B2 (en) * | 2006-06-15 | 2010-12-14 | Evident Technologies | Method of preparing semiconductor nanocrystal compositions |
US20120317234A1 (en) * | 2011-06-09 | 2012-12-13 | International Business Machines Corporation | Managing data access in mobile devices |
FR2987356B1 (fr) * | 2012-02-29 | 2015-03-06 | Commissariat Energie Atomique | Formation de nanoparticules d'antimoniures a partir du trihydrure d'antimoine comme source d'antimoine. |
CN103441181A (zh) * | 2013-08-30 | 2013-12-11 | 中国科学院半导体研究所 | InSb/GaSb量子点结构器件及生长方法 |
WO2016164791A1 (en) * | 2015-04-10 | 2016-10-13 | Stc.Unm | Metal phosphide nanomaterials prepared from single source metal amides |
KR101997203B1 (ko) * | 2015-07-21 | 2019-07-05 | 주식회사 엘지화학 | 화합물 반도체 열전 재료 및 그 제조방법 |
CN105965027B (zh) * | 2016-04-29 | 2018-03-06 | 中国科学技术大学 | 一种锑化铟纳米线的溶液相合成方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07144917A (ja) * | 1993-11-19 | 1995-06-06 | Nissan Chem Ind Ltd | 導電性酸化物粒子及びその製造方法 |
JP2002201470A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-19 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体超微粒子の製造方法 |
JP2003064278A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Mitsubishi Chemicals Corp | コアシェル型半導体ナノ粒子 |
WO2003030227A2 (en) * | 2001-10-02 | 2003-04-10 | Quantum Dot Corporation | Method of semiconductor nanoparticle synthesis |
JP2003160336A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-06-03 | Mitsubishi Chemicals Corp | 化合物半導体超微粒子の製造方法 |
JP2004515441A (ja) * | 2000-12-08 | 2004-05-27 | マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー | ナノクリスタライトの調製 |
JP2004243507A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-09-02 | Hitachi Software Eng Co Ltd | 半導体ナノ粒子及びその製造方法 |
JP2004352594A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Hitachi Software Eng Co Ltd | ナノ粒子製造方法及びこの方法によって製造されたナノ粒子 |
JP2005523231A (ja) * | 2002-09-06 | 2005-08-04 | 正和 小林 | 化合物半導体粒子およびその製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050059031A1 (en) * | 2000-10-06 | 2005-03-17 | Quantum Dot Corporation | Method for enhancing transport of semiconductor nanocrystals across biological membranes |
US6951666B2 (en) * | 2001-10-05 | 2005-10-04 | Cabot Corporation | Precursor compositions for the deposition of electrically conductive features |
US7939170B2 (en) * | 2002-08-15 | 2011-05-10 | The Rockefeller University | Water soluble metal and semiconductor nanoparticle complexes |
US6872450B2 (en) * | 2002-10-23 | 2005-03-29 | Evident Technologies | Water-stable photoluminescent semiconductor nanocrystal complexes and method of making same |
US8003010B2 (en) * | 2004-05-10 | 2011-08-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Water-stable III-V semiconductor nanocrystal complexes and methods of making same |
JP4747512B2 (ja) * | 2004-05-14 | 2011-08-17 | 大日本印刷株式会社 | 熱電変換材料およびその製造方法 |
JP4555055B2 (ja) * | 2004-11-12 | 2010-09-29 | 日立ソフトウエアエンジニアリング株式会社 | 高発光特性を有する半導体ナノ粒子 |
US20070065359A1 (en) * | 2005-03-14 | 2007-03-22 | Shiladitya Sengupta | Nanocells for diagnosis and treatment of diseases and disorders |
US7226752B1 (en) * | 2006-01-19 | 2007-06-05 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Methods for detecting an analyte in a sample |
-
2004
- 2004-11-01 JP JP2004318510A patent/JP2006124262A/ja active Pending
-
2005
- 2005-10-28 US US11/262,357 patent/US20060094860A1/en not_active Abandoned
-
2008
- 2008-04-24 US US12/108,601 patent/US20090007726A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07144917A (ja) * | 1993-11-19 | 1995-06-06 | Nissan Chem Ind Ltd | 導電性酸化物粒子及びその製造方法 |
JP2004515441A (ja) * | 2000-12-08 | 2004-05-27 | マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー | ナノクリスタライトの調製 |
JP2002201470A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-19 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体超微粒子の製造方法 |
JP2003064278A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Mitsubishi Chemicals Corp | コアシェル型半導体ナノ粒子 |
WO2003030227A2 (en) * | 2001-10-02 | 2003-04-10 | Quantum Dot Corporation | Method of semiconductor nanoparticle synthesis |
JP2003160336A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-06-03 | Mitsubishi Chemicals Corp | 化合物半導体超微粒子の製造方法 |
JP2005523231A (ja) * | 2002-09-06 | 2005-08-04 | 正和 小林 | 化合物半導体粒子およびその製造方法 |
JP2004243507A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-09-02 | Hitachi Software Eng Co Ltd | 半導体ナノ粒子及びその製造方法 |
JP2004352594A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Hitachi Software Eng Co Ltd | ナノ粒子製造方法及びこの方法によって製造されたナノ粒子 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8679894B2 (en) | 2006-05-12 | 2014-03-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Low temperature deposition of phase change memory materials |
JP2008083550A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 非線形光学材料およびその製造方法 |
US9219232B2 (en) | 2006-11-02 | 2015-12-22 | Entegris, Inc. | Antimony and germanium complexes useful for CVD/ALD of metal thin films |
JP2010514918A (ja) * | 2006-11-02 | 2010-05-06 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | 金属薄膜のcvd/aldに有用なアンチモンおよびゲルマニウム錯体 |
JP2013144851A (ja) * | 2006-11-02 | 2013-07-25 | Advanced Technology Materials Inc | 金属薄膜のcvd/aldに有用なアンチモンおよびゲルマニウム錯体 |
US8709863B2 (en) | 2006-11-02 | 2014-04-29 | Advanced Technology Materials, Inc. | Antimony and germanium complexes useful for CVD/ALD of metal thin films |
JP2008258050A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Ulvac Japan Ltd | 透明導電膜形成用塗布液、透明導電膜の形成方法及び透明電極 |
US8318252B2 (en) | 2008-01-28 | 2012-11-27 | Air Products And Chemicals, Inc. | Antimony precursors for GST films in ALD/CVD processes |
JP2009215645A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-09-24 | Air Products & Chemicals Inc | Ald/cvdプロセスにおけるgst膜のためのアンチモン前駆体 |
US9537095B2 (en) | 2008-02-24 | 2017-01-03 | Entegris, Inc. | Tellurium compounds useful for deposition of tellurium containing materials |
US8674127B2 (en) | 2008-05-02 | 2014-03-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Antimony compounds useful for deposition of antimony-containing materials |
US9034688B2 (en) | 2008-05-02 | 2015-05-19 | Entegris, Inc. | Antimony compounds useful for deposition of antimony-containing materials |
US8617972B2 (en) | 2009-05-22 | 2013-12-31 | Advanced Technology Materials, Inc. | Low temperature GST process |
US9070875B2 (en) | 2009-05-22 | 2015-06-30 | Entegris, Inc. | Low temperature GST process |
US9012876B2 (en) | 2010-03-26 | 2015-04-21 | Entegris, Inc. | Germanium antimony telluride materials and devices incorporating same |
US9190609B2 (en) | 2010-05-21 | 2015-11-17 | Entegris, Inc. | Germanium antimony telluride materials and devices incorporating same |
US9385310B2 (en) | 2012-04-30 | 2016-07-05 | Entegris, Inc. | Phase change memory structure comprising phase change alloy center-filled with dielectric material |
US9640757B2 (en) | 2012-10-30 | 2017-05-02 | Entegris, Inc. | Double self-aligned phase change memory device structure |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060094860A1 (en) | 2006-05-04 |
US20090007726A1 (en) | 2009-01-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006124262A (ja) | InSbナノ粒子 | |
JP4830383B2 (ja) | コアシェル型ナノ粒子および熱電変換材料 | |
JP5490703B2 (ja) | ナノ結晶の形成方法 | |
CN108751248B (zh) | 自分子簇化合物合成金属氧化物半导体纳米粒子 | |
US7563430B2 (en) | Inorganic metal chalcogen cluster precursors and methods for forming colloidal metal chalcogenide nanoparticles using the same | |
US7255922B2 (en) | Inorganic nanoparticle and method for producing the same | |
JP6531071B2 (ja) | セレン化13族ナノ粒子 | |
US8277894B2 (en) | Selenium ink and methods of making and using same | |
US9493351B2 (en) | Methods of producing cadmium selenide multi-pod nanocrystals | |
JP2010082776A (ja) | 有機溶媒ソノケミストリーによるナノ粒子合成法 | |
US20130029034A1 (en) | Process for producing silver nanoparticles | |
KR20140037043A (ko) | 피복 금속 미립자와 그 제조 방법 | |
JP2009270146A (ja) | 銀超微粒子の製造方法 | |
AU2007293765A1 (en) | Methods of forming nanoparticles | |
JP2020512427A (ja) | アミン‐金属錯体と硫黄徐放性前駆体を使用した発光2d層状材料の合成 | |
TW201523874A (zh) | 膠態半導體金屬硫族化合物奈米結構 | |
US11306000B2 (en) | Graphene-based compound, preparation method thereof, and single-phase composition for preparing graphene-based compound and graphene quantum dot | |
WO2023100919A1 (ja) | カルコゲナイドペロブスカイト及び液相合成によるカルコゲナイドペロブスカイトの製造方法 | |
WO2019081401A1 (en) | QUANTUM POINTS WITH HIGH ABSORPTION | |
JP2008083550A (ja) | 非線形光学材料およびその製造方法 | |
JP4246590B2 (ja) | フラーレン誘導体細線とその製造方法 | |
Malik et al. | Organometallic and metallo-organic precursors for nanoparticles | |
WO2024075699A1 (ja) | カルコゲナイドペロブスカイト | |
WO2024075697A1 (ja) | カルコゲナイドペロブスカイト | |
Fang et al. | Pattern shape-controlled self-assembly of Bi 0.90 Si 0.10 nanocrystallites |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070906 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120117 |