JP2006093200A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
高温プロセスで使用される反応管の変形を減少させ、半導体製造装置のランニングコストを低減する。
【解決手段】
基板を収納して処理する縦型の反応管2と、該反応管を収納して加熱する加熱装置とを具備し、前記反応管の肉厚は、側壁下部>天井部>側壁上部となっている。
【選択図】 図2
高温プロセスで使用される反応管の変形を減少させ、半導体製造装置のランニングコストを低減する。
【解決手段】
基板を収納して処理する縦型の反応管2と、該反応管を収納して加熱する加熱装置とを具備し、前記反応管の肉厚は、側壁下部>天井部>側壁上部となっている。
【選択図】 図2
Description
本発明は、シリコンウェーハ等の基板に酸化膜等の薄膜の生成、不純物の拡散、エッチングなど所要の処理を行い半導体装置を製造する半導体製造装置に関するものである。
半導体製造装置としては、基板を一枚ずつ処理する枚葉式の半導体製造装置、所要枚数の基板を一度に処理するバッチ式の半導体製造装置があり、又バッチ式の半導体製造装置の一例として縦型炉を有する半導体製造装置がある。
図3に於いて、従来の半導体製造装置の縦型炉、例えば酸化・拡散処理炉について説明する。
均熱管1は、例えばSIC等の耐熱性材料から成り、上端が閉塞され、下端に開口を有する円筒状の形態である。例えば石英(SiO2 )等の耐熱性材料から成る反応容器(以下反応管2)は、下端に開口を有する円筒状の形態を有し、前記均熱管1内に同心に配置されている。該均熱管1を収納する様に加熱装置(以下ヒータ10)が同心円状に配置されている。前記反応管2内の温度は温度検出手段(以下熱電対11)により検出され、検出結果に基づき前記反応管2内を所定の処理温度にする様に前記ヒータ10による加熱が制御される。
前記反応管2の下部には、例えば石英から成るガス供給管3とガス排気管4が連結され、前記ガス供給管3と連通する導入口5には細管の導管6が接続され、該導管6は前記反応管2下部から外側面に沿って立上がり、天井部でガス溜め部7に連通する。該ガス溜め部7と前記反応管2内部とは天井部に穿設された分散孔8を介して連通されている。前記ガス排気管4は前記反応管2の下端部に設けられた排気口9に接続される。
前記反応管2の導入口5は前記ガス供給管3により、反応ガスが前記反応管2内に供給される様になっており、反応ガスは前記ガス供給管3から前記導管6、前記ガス溜め部7を経て前記反応管2の天井部から反応管2内部に導入され、反応後のガスは前記ガス排気管4から排気される様になっている。
前記反応管2の下端開口部には、例えば石英から成る円盤状の基座(以下ベース12)が気密シール可能に着脱可能であり、前記ベース12は円盤状の蓋体(以下シールキャップ13)の上に取付けられている。該シールキャップ13には、回転モータ等から成る回転手段14が連結されており、該回転手段14により、保持体(以下石英キャップ15)及び基板保持具(以下ボート16)、該ボート16上に保持されている基板(以下ウェーハ17)を回転させる。
前記シールキャップ13は昇降手段(以下ボートエレベータ18)に連結されていて、該ボートエレベータ18は前記ボート16を昇降させ、該ボート16を前記反応管2内に装入、引出し可能となっている。
以下、基板処理を説明する。
先ず、前記ボートエレベータ18により前記ボート16を下降させ、該ボート16に所定枚数のウェーハ17を装填する。次に、前記ヒータ10により前記反応管2を加熱し、該反応管2内の温度を所定の処理温度にする。前記ボートエレベータ18により、前記ボート16を上昇させて前記反応管2内に装入し、前記熱電対11が検出する温度に基づき前記ヒータ10が制御され前記反応管2の内部温度は所定の処理温度に維持される。
該反応管2内を所定の圧力に保った後、前記回転手段14により、前記ボート16及び該ボート16上に保持されているウェーハ17が回転され、同時に前記ガス供給管3から反応ガスを供給若しくは図示しない水分発生器から水蒸気が供給される。供給された反応ガスは、前記導管6、前記ガス溜め部7を経て前記反応管2を下降し、前記ウェーハ17に対して均等に供給され、該ウェーハ17に酸化・拡散処理が成される。
酸化・拡散処理が終了すると、次のウェーハ17の酸化・拡散処理に移るべく、前記反応管2内の反応ガスを不活性ガスで置換すると共に圧力を常圧にし、その後、前記ボートエレベータ18により前記ボート16を下降させて、該ボート16から処理済のウェーハ17を前記反応管2から払出す。空となったボート16に、未処理のウェーハ17が装填され、再度前述同様にして前記反応管2内に装入され、酸化・拡散処理が成される。
前記基板処理は、プロセスの内容に応じて、例えば酸化膜の処理を行う場合は処理温度は1000℃、或はアニールの処理を行う場合は処理温度1200℃の高温で実施されるが、例えば1200℃は石英の耐熱温度に近い温度であり、石英の強度も1000℃の状態に比べると低下する。1200℃で使用される反応管2では、使用が繰返されることで、図4に示される様に、自重により反応管2の下部が変形していく。この為、1000℃で使用される場合の反応管2に比べ、1200℃で使用される反応管2は頻繁に交換しなければならなかった。
本発明は斯かる実情に鑑み、高温プロセスで使用される反応管の変形を減少させ、半導体製造装置のランニングコストを低減するものである。
本発明は、基板を収納して処理する縦型の反応管と、該反応管を収納して加熱する加熱装置とを具備し、前記反応管の肉厚は、側壁下部>天井部>側壁上部となっている半導体製造装置に係るものである。
本発明によれば、基板を収納して処理する縦型の反応管と、該反応管を収納して加熱する加熱装置とを具備し、前記反応管の肉厚は、側壁下部>天井部>側壁上部となっているので、反応管の自重を増加させることなく、下部の強度を増大させることができ、反応管の変形が集中する下部での変形を抑制することができるという優れた効果を発揮する。
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
先ず、図1に於いて、本発明が実施される半導体製造装置の概略を説明する。
尚、図1中、図3中で示したものと同等のものには同符号を付してある。
ヒータベース21にヒータ10が立設され、該ヒータ10内に均熱管1が同心に収納され、該均熱管1内に反応管2が同心に配設されている。
該反応管2の下端部には導入口5が取付けられ、該導入口5はガス供給管3を介して図示しない処理ガス供給源、或は窒素ガス等の不活性ガス(パージガス)供給源に接続され、前記ガス供給管3には流量制御手段、例えばマスフローコントローラ22が設けられている。又前記反応管2の下端部には排気口9が連通され、該排気口9はガス排気管4を介して図示しない排気装置に接続され、前記ガス排気管4には圧力センサ23、圧力調整器24が設けられている。
前記導入口5には導管6が連通され、該導管6は前記反応管2の外面に沿って上昇し、該反応管2の上端面に設けられたガス溜め部7に連通し、該ガス溜め部7は分散孔8を介して前記反応管2内と連通している。
該反応管2内にはボート16が装入、引出し可能となっており、該ボート16は石英キャップ15、ベース12を介してシールキャップ13に載置され、該シールキャップ13は前記反応管2の下端開放面を気密に閉塞可能である。前記シールキャップ13はボートエレベータ18によって支持され、該ボートエレベータ18は前記シールキャップ13を介して前記石英キャップ15、ボート16を昇降可能であり、昇降によって前記ボート16が前記反応管2内に挿脱可能となっている。
前記石英キャップ15は前記ベース12に対して回転可能であり、前記石英キャップ15は回転手段14によって回転可能となっている。
図1中、25は主制御部を示し、該主制御部25は温度制御部26、ガス流量制御部27、圧力制御部29、駆動制御部28を具備している。
炉内の所要箇所の温度を検出する熱電対11からの検出結果は前記温度制御部26に入力され、該温度制御部26は温度検出結果を基に前記反応管2内が所定温度、例えばプロセス温度となる様に前記ヒータ10を制御する。又、前記ガス流量制御部27は前記導入口5から導入される反応ガスを所定流量に制御し、前記圧力制御部29は、前記圧力センサ23から入力される圧力を基に前記圧力調整器24を制御して前記反応管2内の圧力を所定圧力例えばプロセス圧力に制御する。
前記駆動制御部28は、前記回転手段14を制御して処理中の前記ボート16を所定の回転速度で回転させ、又前記ボートエレベータ18を制御して、前記ボート16の昇降を行わせる。
以下、基板処理の一例、例えば、酸化・拡散処理を説明する。
前記ボートエレベータ18を駆動して、前記ボート16を降下させる。
図示しないウェーハ移載機により前記ボート16にウェーハ17を1バッチ分の所定枚数移載する。前記ヒータ10により前記反応管2が前記均熱管1を介して加熱され、前記熱電対11により検出される前記反応管2内の温度に基づいて、該反応管2内の温度が処理温度、例えば1200℃に制御される。尚、予め前記反応管2内は前記導入口5、前記導管6より不活性ガスが供給され、不活性ガスが充填されている。
未処理ウェーハ17が装填された前記ボート16が前記ボートエレベータ18により前記反応管2に装入される。前記ボート16の装入状態では、前記ベース12が前記反応管2の下端開口部を気密に閉塞する。前記圧力センサ23の検出圧力を基に前記反応管2内の圧力が処理圧、例えば50Paに維持される。
前記回転手段14が駆動され、前記ボート16を介して前記ウェーハ17が回転される。同時に前記ガス供給管3から反応ガス若しくは水分発生器から水蒸気が供給される。供給された反応ガスは、前記ガス溜め部7から前記分散孔8を通って前記反応管2を下降し、前記ウェーハ17に対して均等に供給され、酸化・拡散の所要の処理が成される。酸化・拡散処理中の前記反応管2内は、前記ガス排気管4を介して排気ガスが排気され、所定の圧力になる様前記圧力調整器24により圧力が制御される。
基板処理が完了すると、前記反応管2内が不活性ガスによりガスパージされ、前記ボートエレベータ18により前記ボート16が降下され、処理済のウェーハ17が払出される。
空となったボート16に未処理ウェーハ17が移載され、上記した処理が繰返される。
尚、一例迄、本発明で処理される基板の処理条件は、アニールに於いて、ウェーハ温度は1200℃、ガス種供給量はArガス、10m/min、処理圧力は50Paである。
上記した様に、前記反応管2は処理中高温に加熱される。該反応管2の材質は、石英であり、石英の変形し易くなる温度は1150℃である。処理中、該反応管2を1200℃になる様に使用すると変形し易くなる温度を超え耐熱温度に近い温度となっており、該反応管2の強度も低下している。
該反応管2の側壁には自重による垂直荷重が作用しており、処理中の高温状態で、垂直加重による変形が生じる。変形は処理が繰返されることで蓄積され、ついには使用ができなくなる程度の変形となる。
本発明では、基板処理中での前記反応管2の側壁の変形を減少させる為、側壁の肉厚を厚くし、側壁の強度を増大させ、側壁の変形量を減少させている。即ち、前記反応管2の肉厚を側壁下部>天井部>側壁上部の関係が成立する様にしている。
天井部は前記反応管2の頂部であり、側壁下部の様に、天井部と側壁上部の重量を荷う必要がなく、側壁下部よりも肉厚を薄くできるが、側壁下部よりも荷う重量が軽いものの、然し天井部の平面又は曲面が重力に対して水平方向に配されるので、垂下り易くなる為、側壁下部よりも肉厚を厚くしなければならない。
上記本発明の最適な状態を実現する為、本発明者等は確認実験を行った。
実験の結果を要約すると、反応管2の全体に亘り肉厚を厚くすると、該反応管2上部の自重が増大し、やはり下部に変形が発生する。又、側壁の下から2/3部分の肉厚を増大させた場合、変形量は減少するが、下部に変形が発生する。更に、前記反応管2の下端部のみ(全長の1/5)の肉厚を厚くした場合は、強度の向上はなく、変形を減少させる効果は見られなかった。
次に、前記反応管2の下から全高の約2/5の範囲の肉厚を厚くした場合、強度と自重のバランスがよく、変形量が最も少ないという結果が得られた。尚、該反応管2の下から1/3〜1/4の範囲で肉厚を厚くすると、該反応管2下部の変形が減少する効果が得られることが分った。尚、肉厚の増大については、例えば本実施の形態では肉厚の増大比が2/1としてある。尚、肉厚の増大比は、反応管2の形状により適宜選択され、3/1〜1.5/1の範囲で選択される。
次にウェーハ処理条件として、温度管理が挙げられるが、前記反応管2の側壁の肉厚を変化させた場合、該反応管2内に収納されるウェーハ17の加熱(均熱制御)に影響が生じる。この為、肉厚を変化させる範囲は、処理対象のウェーハ17が収納される範囲(反応管2内の均熱領域)と重ならない様にすることが好ましい。従って、実際に側壁の肉厚が厚くされる範囲は、均熱領域と重ならないことが好ましい。
以下、上記実験を考慮して本発明を実施した反応管2を図2に示す。
図示される様に、該反応管2の側壁の下部Lの範囲で、肉厚が厚くなっている。又、肉厚が変化する境界部は、熱応力が集中しない様にテーパ仕上げされるか、R仕上げされる。
尚、本発明は反応管に実施した場合を示したが、均熱管等高温で使用される管に実施可能であるとは言う迄もない。
1 均熱管
2 反応管
10 ヒータ
16 ボート
17 ウェーハ
18 ボートエレベータ
25 主制御部
2 反応管
10 ヒータ
16 ボート
17 ウェーハ
18 ボートエレベータ
25 主制御部
Claims (1)
- 基板を収納して処理する縦型の反応管と、該反応管を収納して加熱する加熱装置とを具備し、前記反応管の肉厚は、側壁下部>天井部>側壁上部となっていることを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004273215A JP2006093200A (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004273215A JP2006093200A (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006093200A true JP2006093200A (ja) | 2006-04-06 |
Family
ID=36233909
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004273215A Pending JP2006093200A (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006093200A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016125626A1 (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-11 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および反応管 |
-
2004
- 2004-09-21 JP JP2004273215A patent/JP2006093200A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2016125626A1 (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-11 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および反応管 |
JPWO2016125626A1 (ja) * | 2015-02-04 | 2017-11-02 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および反応管 |
US10351951B2 (en) | 2015-02-04 | 2019-07-16 | Kokusai Electric Corporation | Substrate treatment apparatus including reaction tube with opened lower end, furnace opening member, and flange configured to cover upper surface of the furnace opening member |
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