JP5087283B2 - 温度制御システム、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法にある。
本発明を実施するための最良の形態において、基板処理装置100は、一例として、半導体装置(IC)の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されて
いる。尚、以下の説明では、基板処理装置100として基板に酸化、拡散処理やCVD処理などを行う縦型の装置(以下、単に処理装置という)を適用した場合について述べる。図1は、本発明に適用される基板処理装置100の平面透視図として示されている。また、図2は、図1に示す基板処理装置100の側面透視図である。
ている本発明の基板処理装置100は、筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口103が開設され、この正面メンテナンス口103を開閉する正面メンテナンス扉104、104がそれぞれ建て付けられている。
機密性能を有する筐体(以下、耐圧筐体という。)140が設置されており、この耐圧筐
体140によりボート217を収容可能な容積を有するロードロック方式の待機室であるロードロック室141が形成されている。
図1及び2に示されているように、ポッド110がロードポート114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ロードポート114の上のポッド110はポッド搬送装置118によって筐体111の内部へポッド搬入搬出口112から搬入される。
処理後は、ボートエレベータ115によりボート217が引き出され、さらに、ロードロック室141内部を大気圧に復圧させた後にゲートバルブ143が開かれる。その後は、ノッチ合わせ装置135でのウェーハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウェーハ200及びポッド110は筐体111の外部へ払い出される。
200 ウェーハ
201 処理室
238 温度制御部
240 コントローラ
H ヒータ
Claims (6)
- 少なくともUゾーン及びLゾーンを含む複数のゾーンに縦方向に分割されたヒータと、
少なくとも前記複数のゾーンに設けられる温度センサと、
複数枚の基板を垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持した基板保持具を搬入した状態で、前記温度センサが検出した温度情報に基づき前記ヒータにより加熱された処理室内の温度を制御する制御部と、
を有し、
前記ヒータは、前記Uゾーン及び前記Lゾーンが他のゾーンよりも細かく分割され、前記複数のゾーンの数よりも前記Uゾーン及び前記Lゾーンが細かく分割され、
前記温度センサは、前記Uゾーン及び前記Lゾーンにおいて分割されたゾーン毎にそれぞれ設けられている
ことを特徴とする温度制御システム。 - 複数枚の基板を垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持した基板保持具が搬入され、前記基板を処理する処理室と、
少なくともUゾーン及びLゾーンを含む複数のゾーンに設けられる温度センサと、
この処理室内の基板を前記温度センサが検出した温度情報に基づき加熱し、少なくとも前記複数のゾーンに縦方向に分割されたヒータと、
を有し、
前記ヒータは、前記Uゾーン及び前記Lゾーンが他のゾーンよりも細かく分割され、前記複数のゾーンの数よりも前記Uゾーン及び前記Lゾーンが細かく分割され、
前記温度センサは、前記Uゾーン及び前記Lゾーンにおいて分割されたゾーン毎にそれぞれ設けられ
ていることを特徴とする基板処理装置。 - 少なくともUゾーン及びLゾーンを含む複数のゾーンに縦方向に分割され、前記Uゾーン及び前記Lゾーンが他のゾーンよりも細かく分割され、前記複数のゾーンの数よりも前記Uゾーン及び前記Lゾーンが細かく分割され、前記Uゾーン及び前記Lゾーンにおいて分割されたゾーン毎に温度センサがそれぞれ設けられたヒータにより加熱された処理室内に、複数枚の基板を垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持した基板保持具を搬入する工程と、
前記処理室内で前記温度センサが検出した温度情報に基づき前記ヒータにより基板を加熱して処理する工程と、
処理後の基板を前記処理室から搬出する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 少なくともUゾーン及びLゾーンを含む複数のゾーンに縦方向に分割されたヒータと、
少なくとも前記複数のゾーンに設けられる温度センサと、
複数枚の基板を垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持した基板保持具を搬入した状態で、前記温度センサが検出した温度情報に基づき前記ヒータにより加熱された処理室内の温度を制御する制御部と、
を有し、
前記ヒータは、前記Uゾーン及び前記Lゾーンが他のゾーンよりも細かく分割され、前記Uゾーンよりも前記Lゾーンが細かく分割され、少なくとも前記複数のゾーンの数よりも前記Lゾーンが細かく分割され、
前記温度センサは、前記Uゾーン及び前記Lゾーンにおいて分割されたゾーン毎にそれぞれ設けられている
ことを特徴とする温度制御システム。 - 複数枚の基板を垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持した基板保持具が搬入され、前記基板を処理する処理室と、
少なくともUゾーン及びLゾーンを含む複数のゾーンに設けられる温度センサと、
この処理室内の基板を前記温度センサが検出した温度情報に基づき加熱し、少なくとも前記複数のゾーンに縦方向に分割されたヒータと、
を有し、
前記ヒータは、前記Uゾーン及び前記Lゾーンが他のゾーンよりも細かく分割され、前記Uゾーンよりも前記Lゾーンが細かく分割され、少なくとも前記複数のゾーンの数よりも前記Lゾーンが細かく分割され、
前記温度センサは、前記Uゾーン及び前記Lゾーンにおいて分割されたゾーン毎にそれぞれ設けられ
ていることを特徴とする基板処理装置。 - 少なくともUゾーン及びLゾーンを含む複数のゾーンに縦方向に分割され、前記Uゾーン及び前記Lゾーンが他のゾーンよりも細かく分割され、前記Uゾーンよりも前記Lゾーンが細かく分割され、少なくとも前記複数のゾーンの数よりも前記Lゾーンが細かく分割され、前記Uゾーン及び前記Lゾーンにおいて分割されたゾーン毎に温度センサがそれぞれ設けられたヒータにより加熱された処理室内に、複数枚の基板を垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持した基板保持具を搬入する工程と、
前記処理室内で前記温度センサが検出した温度情報に基づき前記ヒータにより基板を加熱して処理する工程と、
処理後の基板を前記処理室から搬出する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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