JP2006066685A - グリーンシートの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は主として誘電体積層部品を形成するグリーンシートの形成方法に関するものであり、グリーンシートの薄膜化を目的とする。
【解決手段】特に、グリーンシート4の形成方法として支持フィルム3上に非晶質無機誘電体層6をスパッタリング工法で形成し、この非晶質無機誘電体層6に種結晶7を形成したものであり、この構成により、サブミクロン単位の非晶質無機誘電体層を容易に形成できるとともに、種結晶を配置することで異常粒成長を抑制でき、高精度なグリーンシートを提供することが出来る。
【選択図】図4
【解決手段】特に、グリーンシート4の形成方法として支持フィルム3上に非晶質無機誘電体層6をスパッタリング工法で形成し、この非晶質無機誘電体層6に種結晶7を形成したものであり、この構成により、サブミクロン単位の非晶質無機誘電体層を容易に形成できるとともに、種結晶を配置することで異常粒成長を抑制でき、高精度なグリーンシートを提供することが出来る。
【選択図】図4
Description
本発明は、主として誘電体積層部品を形成するグリーンシートの形成方法に関する。
一般に積層セラミックコンデンサのようにセラミック本体の内層部分に電極パターンを配置するようなものは、支持フィルム上に支持された未焼成誘電体層いわゆるグリーンシートの表面に電極パターンを適宜形成し、支持フィルムを除去したグリーンシートを適宜積み重ね焼成することによりセラミック積層体が形成されるものである。
従来このようなグリーンシートは、粉体成形された誘電体に可塑剤やバインダーを加えスラリーを形成し、このスラリーをドクターブレード法などにより支持フィルム上に付着させて形成されていた。
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2002−121075号公報
そして、近年における電子部品の低背化や高付加価値化の要望が強まる中、このようなグリーンシートを用いた積層型電子部品を薄型化するにあたり、グリーンシート自体の薄膜化、具体的にはグリーンシートの厚みが数ミクロン単位からサブミクロン単位への薄膜化の必要性が高まっている。
しかしながら、スラリーを用いたシート成形においてグリーンシートを薄膜化する場合、誘電体の粉体成形において粉体の粒径をより小さくすることや、ドクターブレード法によるグリーンシートの厚みを設定するギャップの高さを小さくすることが考えられるのであるが、前者においては粉体成形により粒径を細かくしすぎると粉体同士がくっついてしまい塊状化してしまい、後者においては数ミクロン単位であれば可能であるがサブミクロン単位になればその加工が非常に困難なものとなってしまい、いずれの場合においてもグリーンシートの薄膜化が困難なものとなっていた。
そこで、本発明はこのような問題を解決しグリーンシートを薄膜化できるグリーンシートの形成方法を提供することを目的とする。
この目的を達成するために本発明は、特にグリーンシートの形成方法として支持フィルム上に非晶質誘電体層をスパッタリング工法で形成し、この非晶質誘電体層に種結晶を形成するものとしたのである。
この方法により、サブミクロン単位の非晶質誘電体層を容易に形成できるとともに、種結晶を配置することで異常粒成長を抑制でき、高精度なグリーンシートを提供することが出来るのである。
以下、本発明の一実施形態について図を用いて説明する。
図1は、積層セラミックコンデンサの断面図である。この積層セラミックコンデンサは無機誘電体の一種である誘電体セラミックからなる積層体1の内層部分に容量形成用の電極2を多数含んだ構成となっており、その成形方法としては図2に示されるように支持フィルム3上に形成されたグリーンシート4に所定の電極2を形成したものを準備し、このグリーンシート4を適宜積み重ねて焼成することにより積層体1を形成しその側面に接続電極5を形成するのである。
そして、この実施形態においては支持フィルム3上にグリーンシート4を形成する際にスパッタリング工法を用いることでグリーンシート4となる非晶質無機誘電体層6の薄膜化を実現している。そもそも薄膜形成技術としてのスパッタリング工法の採用は一般的に行われているものであるが、この非晶質無機誘電体層6の形成にスパッタリング工法を用いた場合、スパッタリングにおいてターゲットとなる無機誘電体が飛散し直接支持フィルム3上に付着し非晶質無機誘電体層6を形成するためその厚みをサブミクロン単位で自在に制御できる上に、従来の可塑剤やバインダーが添加されるスラリーを用いて形成したものと比べグリーンシート4内における不純物の含有量を極力抑えられることから、グリーンシート4の焼成時における添加剤の焼失に伴う積層体1の収縮を抑制できるのである。
また、スパッタリング工法を用いて支持フィルム3に非晶質無機誘電体層6を形成した場合、その粒子配列が不規則な状態となってしまうため、この状態の非晶質無機誘電体層6を焼成すれば、図3に示されるように非晶質無機誘電体層6で形成される誘電体層内での粒成長が不均一となってしまういわゆる異常粒成長が起きやすくなり、この様な誘電体層で形成された積層セラミックコンデンサであれば、電極2間における誘電体層の粒径が局所的に変わることで部分的な誘電率のバラツキや耐電圧などの特性に影響を及ぼすことになる。
そこで、図4に示されるように、スパッタリングにより形成された非晶質無機誘電体層6に対して粒成長の核となる種結晶7を予め非晶質無機誘電体層6内に分散させておくことで、焼成時にこの種結晶7を核として粒成長が起きるようになることから、この種結晶7の分散を非晶質無機誘電体層6内において均一に配置することで、焼成時の異常粒成長が防止され、図5に示されるように誘電体層内での粒径が均一なものとなり、積層部品の特性を安定化することができるのである。
なお、種結晶7を非晶質無機誘電体層6に形成するにあたっては、昇温スピードが早い発熱体を備えた高温型フラットヒータなどにより、約100℃/secのような高速昇温のもとで非晶質無機誘電体層6を局所的に加熱するようなフラッシュアニール工法や赤外線導入加熱システムを使用したラピッドアニールなどにより形成することができる。
また、スパッタリング工法は通常、数百度の環境下においてターゲットを支持フィルム3に付着させるものであるが、このようなグリーンシート4に用いられる支持フィルム3はPET等の耐熱性が低い樹脂フィルムが用いられることが一般的であるため、一般的なスパッタリング工法を用いることは困難なものとなるため、この実施形態においては特開2002−173767号公報などで知られている対向ターゲットスパッタリング工法を採用している。
この対向ターゲットスパッタリング工法は図6に示されるごとく、アルゴンガスなどで形成されたプラズマ雰囲気中にターゲット8を対向配置し、ターゲット8間にブラズマイオン9を加速させターゲット8に衝突させることでターゲット8が飛散し、この飛散したタ−ゲット8が支持フィルム3上に薄膜(非晶質無機誘電体層6)として形成される工法であるため、スパッタリング時に支持フィルム3にかかる温度が100℃前後と比較的低温下で行えることから、支持フィルム3として一般的なPETなどの樹脂材料を用いることができるのである。
以下に、実際に対向ターゲットスパッタリング工法を用いて支持フィルム3上に非晶質無機誘電体層6を形成し、その後、非晶質無機誘電体層6に種結晶7を形成したものと形成しなかったものとでの比較検討を示す。
ここでは支持フィルム3としてPETフィルムを用い、このPETフィルム上に(Ba・Sr)TiO3からなるグリーンシート4を0.3μmの厚みで形成した。
この際のスパッタリング温度は約150℃前後であり、この温度で形成された非晶質無機誘電体層6はアモルファス状態となり、種結晶7を形成するものについてはこのアモルファスな非晶質無機誘電体層6の表面からフラッシュアニール法により急速加熱することで、非晶質無機誘電体層6に種結晶7を均一に形成した。
そして、種結晶7を形成した非晶質無機誘電体層6と形成しなかった非晶質無機誘電体層6を、それぞれNiからなる電極2と交互に組み合わせ非晶質無機誘電体層6を積層した5層構造の積層体1を作製し、積層体1をNiが酸化しない雰囲気にH2、H2O、N2流量を調整しながら、1000℃で焼成した。
焼成後、それぞれの断面を観察すると種結晶7を形成していない非晶質無機誘電体層6を用いた積層体1では粒成長が任意に起こり、2μmを超える異常な粒子が観察されたが、種結晶7を形成している非晶質無機誘電体層6を用いた積層体1では0.1〜0.2μm程度の均一な粒子結晶が形成されていた。
そして、両者の電気的特性を比較すると、種結晶7を形成していないものは全数がショートしていたが、種結晶7を形成したものは全てに静電容量を測定することができ、誘電率は400であった。
このことにより、アモルファスな非晶質無機誘電体層6に対して種結晶7を均一に配置することで、焼成時に均一な粒成長が起こり安定した電気的特性を有する積層セラミックコンデンサを作製できることが確認された。
なお、この一実施形態においては積層セラミックコンデンサを挙げてその作用効果を説明したのであるが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、無機誘電体層からなる積層部品の用途として有用なものである。
本発明にかかるグリーンシートの形成方法は、グリーンシートを薄膜化できるという効果を有し、特に無機誘電体層からなる積層型電子部品の用途として有用である。
3 支持フィルム
4 グリーンシート
6 非晶質無機誘電体層
7 種結晶
4 グリーンシート
6 非晶質無機誘電体層
7 種結晶
Claims (2)
- 支持フィルム上に非晶質無機誘電体層を形成するにあたり、支持フィルム上に非晶質無機誘電体層を形成する工程と、この非晶質無機誘電体層に種結晶を形成する工程とを備え、前記非晶質無機誘電体層を形成する工程をスパッタリング工法で行うことを特徴としたグリーンシートの形成方法。
- スパッタリング工法として対向ターゲット型スパッタリング工法を用いたことを特徴とする請求項1に記載のグリーンシートの形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004248053A JP2006066685A (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | グリーンシートの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004248053A JP2006066685A (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | グリーンシートの形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006066685A true JP2006066685A (ja) | 2006-03-09 |
Family
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JP2004248053A Pending JP2006066685A (ja) | 2004-08-27 | 2004-08-27 | グリーンシートの形成方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008027982A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Tdk Corp | Lc複合部品 |
JP2013030753A (ja) * | 2011-07-28 | 2013-02-07 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 積層セラミック電子部品 |
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2004
- 2004-08-27 JP JP2004248053A patent/JP2006066685A/ja active Pending
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