JP2006041261A - バリ除去方法,ダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フィルム上に複数のベアチップがパッケージ化された被加工物50を,高速回転する切削ブレード22によってフィルム側の面から切削加工して,少なくともフィルム部分を略矩形の複数のチップ53に分割した後に,各チップ53のコーナー部分に生じたバリ81,82を除去するバリ除去方法が提供される。このバリ除去方法は,切削ブレード22と被加工物との対向位置で切削ブレード22の回転方向と逆方向に被加工物を切削ブレード22に対して相対移動させて,切削加工によって形成された切削溝72を切削ブレード22によってなぞることによって,コーナー部分に生じたバリ82を,なぞられた切削溝72に対して直交する他の切削溝71に逃がさないように,切削ブレード22と各チップ53との間に挟み込んで除去することを特徴とする。
【選択図】 図7
Description
まず,図1に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる切削装置の一例として構成されたダイシング装置10の全体構成について説明する。なお,図1は,本実施形態にかかるダイシング装置10を示す全体斜視図である。
次に,本発明の第2の実施形態にかかるダイシング方法について説明する。第2の実施形態にかかるダイシング方法は,上記第1の実施形態にかかるダイシング方法と比べて,(1)ハーフカットではなくフルカットによってフィルムCSP基板50をダイシングする点と,(2)第3および第4の工程がバリ除去専用の工程である点で,相違するのみであり,その他の機能構成は,上記第1の実施形態にかかるダイシング方法と略同一であるので,それらの詳細説明は省略する。
20 : 切削ユニット
22 : 切削ブレード
24 : スピンドル
30 : チャックテーブル
50 : フィルムCSP基板
53 : チップ
54 : フィルム
60 : 装着治具
71 : 第1の切削溝
72 : 第2の切削溝
81,82 : バリ
Claims (3)
- フィルム上に複数のベアチップがパッケージ化された被加工物を,高速回転する切削ブレードによって前記フィルム側の面から切削加工して,少なくとも前記フィルム部分を複数のチップに分割した後に,前記各チップのコーナー部分に生じたバリを除去するバリ除去方法であって:
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と逆方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記切削加工によって形成された切削溝を前記切削ブレードによってなぞることによって,前記コーナー部分に生じたバリを,前記なぞられた切削溝に対して直交する他の切削溝に逃がさないように,前記切削ブレードと前記各チップとの間に挟み込んで除去することを特徴とする,バリ除去方法。 - フィルム上に複数のベアチップがパッケージ化された被加工物を,高速回転する切削ブレードによって前記フィルム側の面から切削加工して,複数のチップに分割するダイシング方法であって:
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と順方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記被加工物の少なくともフィルム部分を第1の方向に所定間隔で切削して,第1の切削溝を形成する第1の工程と;
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と順方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記被加工物の少なくともフィルム部分を,前記第1の方向に対して直交する第2の方向に所定間隔で切削して,第2の切削溝を形成し,少なくとも前記フィルム部分を複数のチップに分割する第2の工程と;
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と逆方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記切削ブレードによって前記第1の切削溝をなぞることにより,前記各チップの前記第2の工程の切削方向後方側の2つのコーナー部分に生じたバリのうちいずれか一方のバリを,前記第2の切削溝に逃がさないように,前記切削ブレードと前記各チップとの間に挟み込んで除去するとともに,前記被加工物の前記第1の切削溝に沿った切り残し部分を切断する第3の工程と;
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と逆方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記切削ブレードによって前記第2の切削溝をなぞることにより,前記2つのコーナー部分のうち他方に生じたバリを,前記第1の切削溝に逃がさないように,前記切削ブレードと前記各チップとの間に挟み込んで除去するとともに,前記被加工物の前記第2の切削溝に沿った切り残し部分を切断して,前記被加工物全体を複数のチップに分割する第4の工程と;
を含むことを特徴とする,ダイシング方法。 - フィルム上に複数のベアチップがパッケージ化された被加工物を,高速回転する切削ブレードによって前記フィルム側の面から切削加工して,複数のチップに分割するダイシング方法であって:
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と順方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記被加工物を第1の方向に所定間隔で切断して,第1の切削溝を形成する第1の工程と;
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と順方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記被加工物を,前記第1の方向に対して直交する第2の方向に所定間隔で切断して,第2の切削溝を形成し,前記被加工物を複数のチップに分割する第2の工程と;
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と逆方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記切削ブレードによって前記第1の切削溝をなぞることにより,前記各チップの前記第2の工程の切削方向後方側の2つのコーナー部分に生じたバリのうちいずれか一方のバリを,前記第2の切削溝に逃がさないように,前記切削ブレードと前記各チップとの間に挟み込んで除去する第3の工程と;
前記切削ブレードと前記被加工物との対向位置で前記切削ブレードの回転方向と逆方向に前記被加工物を前記切削ブレードに対して相対移動させて,前記切削ブレードを前記第2の切削溝に沿って相対移動させることにより,前記2つのコーナー部分のうち他方に生じたバリを,前記第1の切削溝に逃がさないように,前記切削ブレードと前記各チップとの間に挟み込んで除去する第4の工程と;
を含むことを特徴とする,ダイシング方法。
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