JP2006029887A - 圧力センサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一端側の凹部30内に圧力検出素子1が設けられ圧力伝達媒体としてのオイル11が注入された第1のケース3と、一端側にダイアフラム8を有する第2のケース7とを接合することにより、検出室10を形成する圧力センサの製造方法において、圧力検出素子1における電気信号の出力の温度特性を測定した後、この温度特性に基づいて圧力検出素子1の機能調整を行い、第2のケース7の一端側にダイアフラム8を取り付けた後、ダイアフラム8における検出室10とは反対側の面が負圧となるようにダイアフラム8に圧力を印加し、この圧力とダイアフラム8の変位量との関係を求め、この関係に基づいてオイル11を凹部30内に注入する。
【選択図】 図1
Description
Claims (2)
- 一端側に凹部(30)が形成され前記凹部(30)内には印加圧力に応じたレベルの電気信号を出力する圧力検出素子(1)が設けられた第1のケース(3)と、
一端側に圧力印加により歪み可能なダイアフラム(8)を有する第2のケース(7)とを用意し、
前記凹部(30)内に圧力伝達媒体としての液体(11)を注入した後、前記第1のケース(3)の一端側と前記第2のケース(7)の一端側とを接合することにより、前記凹部(30)および前記ダイアフラム(8)にて閉塞され前記液体(11)が封入されてなる圧力検出用の検出室(10)を形成するようにした圧力センサの製造方法において、
前記圧力検出素子(1)における電気信号の出力の温度特性を測定した後、この温度特性に基づいて前記圧力検出素子(1)の機能調整を行い、
前記第2のケース(7)の一端側に前記ダイアフラム(8)を取り付けた後、前記ダイアフラム(8)における前記検出室(10)とは反対側の面が負圧となるように前記ダイアフラム(8)に圧力を印加し、この圧力と前記ダイアフラム(8)の変位量との関係を求め、この関係に基づいて前記液体(11)を前記凹部(30)内に注入することを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 前記液体(11)はオイルであることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサの製造方法。
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JP2008070191A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Denso Corp | 圧力センサ |
CN107907262A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-04-13 | 深圳瑞德感知科技有限公司 | 一种用于负压测量的mems充油压力传感器 |
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