JP2006004496A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 W/Eテストを簡易な手順で効率よく行う。
【解決手段】 半導体記憶装置は、複数のメモリセルからなるブロックを複数有するメモリセルアレイ1と、カラム選択回路2と、カラムデコーダ3と、ロウデコーダ4と、ブロックデコーダ5と、プロテクトROMデコーダ6と、マルチプレクサ7と、アドレスデコーダ8と、アドレスカウンタ9と、最終アドレス検知回路10と、タイマ11と、電圧生成回路12と、プロテクトROM13と、プロテクト回路14と、ベリファイ回路15と、ベリファイビット・レジスタ16と、制御回路17と、テスト回路18と、センスアンプ19と、データ入力レジスタ20と、入出力バッファ21と、コマンドレジスタ22と、クロック生成回路23と、W/Eテスト判定回路24と、W/Eカウンタ25と、W/Eカウンタ比較器26と、サイクルカウンタ27と、コンフィグROM28と、サイクル比較器29とを備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体記憶装置は、複数のメモリセルからなるブロックを複数有するメモリセルアレイ1と、カラム選択回路2と、カラムデコーダ3と、ロウデコーダ4と、ブロックデコーダ5と、プロテクトROMデコーダ6と、マルチプレクサ7と、アドレスデコーダ8と、アドレスカウンタ9と、最終アドレス検知回路10と、タイマ11と、電圧生成回路12と、プロテクトROM13と、プロテクト回路14と、ベリファイ回路15と、ベリファイビット・レジスタ16と、制御回路17と、テスト回路18と、センスアンプ19と、データ入力レジスタ20と、入出力バッファ21と、コマンドレジスタ22と、クロック生成回路23と、W/Eテスト判定回路24と、W/Eカウンタ25と、W/Eカウンタ比較器26と、サイクルカウンタ27と、コンフィグROM28と、サイクル比較器29とを備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、W/Eテストを実行可能な半導体記憶装置に関し、例えばフラッシュメモリなどを対象とする。
フラッシュメモリは、電気的にデータを書き換え可能な不揮発性メモリであり、各種の電子機器に幅広く利用されている。この種のフラッシュメモリでは、製造段階等でW/E(Write/Enable)テストが行われる。W/Eテストは、複数のメモリセルからなるブロックごとに、例えば"0"を書き込むプリプログラム(Pre Program)と、消去(Erase)と、弱い書き込みを行うウイークプログラム(Weak Program)を行う。
消去の後に弱い書き込みを行う理由は、プリプログラムで0を書き込んで閾値を高くした後に消去を行うと、閾値が低くなりすぎるメモリセルが存在するためであり、ウイークプログラムでは、このような閾値が低くなりすぎたメモリセルに対して弱い書き込みを行って、閾値を引き上げる処理を行う。
従来のW/Eテストは、全ブロックが消去状態になった時点でテストを終了するようにしていた。ところが、製造時に行われるW/Eバーン・イン・テスト(W/E Burn in test)では、W/Eテストを繰り返し行ってフラッシュメモリにストレスをかける必要があるため、同テストを行う検査装置は、W/Eテストが終わるたびに、再度W/Eテストを行うようフラッシュメモリにコマンドを発行する必要があり、検査の手順が面倒であった(例えば、特許文献1参照)。
また、フラッシュメモリに対してW/Eテスト用のコマンドを発行する場合に、従来は、少なくとも30ピン程度の電源ピンや入力ピンなどを必要としたため、同時にW/Eテストを行うチップ数を増やすことが難しかった。
さらに、同時にW/Eテストを行っているすべてのチップのテストが終わらないと、次のコマンドを発行できないため、トータルのW/E時間が長くなるという問題がある。
特開2002−163900公報
本発明の目的は、W/Eテストを簡易な手順で効率よく行うことができる半導体記憶装置を提供することにある。
本発明の一態様によれば、複数のメモリセルからなるブロックごとに、データ書き込みおよびデータ消去を含むW/E(Write/Erase)テストを行うことが可能な半導体記憶装置において、モード判定ピン、タイミング制御ピンおよび電源ピンを用いて、前記W/Eテストを行うか否かを指示するテスト指示手段と、前記W/Eテストの回数を計測する回数計測手段と、前記回数計測手段にて計測された回数が所定回数に達したか否かを判定する回数判定手段と、前記回数計測手段にて計測される回数が所定回数に達するまで、前記W/Eテストを繰り返し実行するW/E制御手段と、を備える。
本発明によれば、限られた少数のピンを利用してW/Eテストの実行を指示でき、またこの指示により、W/Eテストを繰り返し自動的に実行できるため、W/Eテストの実行指示に要するピン数を削減でき、同時にW/Eテストを実行可能なチップ数を増やせる。また、本発明によれば、W/Eテストが終了するたびに再度同テストを指示しなくて済むことから、W/Eテストの手順を簡略化できる。
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態について説明する。
(第1の実施形態)
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の概略構成を示すブロック図であり、フラッシュメモリの概略構成を示している。図1の半導体記憶装置は、複数のメモリセルからなるブロックを複数有するメモリセルアレイ1と、カラム選択回路2と、カラムデコーダ3と、ロウデコーダ4と、ブロックデコーダ5と、プロテクトROMデコーダ6と、マルチプレクサ7と、アドレスデコーダ8と、アドレスカウンタ9と、最終アドレス検知回路10と、タイマ11と、電圧生成回路12と、プロテクトROM13と、プロテクト回路14と、ベリファイ回路15と、ベリファイビット・レジスタ16と、制御回路17と、テスト回路18と、センスアンプ19と、データ入力レジスタ20と、入出力バッファ21と、コマンドレジスタ22と、クロック生成回路23と、W/Eテスト判定回路24と、W/Eカウンタ25と、W/Eカウンタ比較器26と、サイクルカウンタ27と、コンフィグROM28と、サイクル比較器29とを備えている。
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の概略構成を示すブロック図であり、フラッシュメモリの概略構成を示している。図1の半導体記憶装置は、複数のメモリセルからなるブロックを複数有するメモリセルアレイ1と、カラム選択回路2と、カラムデコーダ3と、ロウデコーダ4と、ブロックデコーダ5と、プロテクトROMデコーダ6と、マルチプレクサ7と、アドレスデコーダ8と、アドレスカウンタ9と、最終アドレス検知回路10と、タイマ11と、電圧生成回路12と、プロテクトROM13と、プロテクト回路14と、ベリファイ回路15と、ベリファイビット・レジスタ16と、制御回路17と、テスト回路18と、センスアンプ19と、データ入力レジスタ20と、入出力バッファ21と、コマンドレジスタ22と、クロック生成回路23と、W/Eテスト判定回路24と、W/Eカウンタ25と、W/Eカウンタ比較器26と、サイクルカウンタ27と、コンフィグROM28と、サイクル比較器29とを備えている。
図1のフラッシュメモリは、1ワードごとにデータの書き込みができるが、消去は複数のメモリセルからなるブロックごとに行う。図1のカラム選択回路2と、カラムデコーダ3と、ロウデコーダ4と、ブロックデコーダ5と、プロテクトROMデコーダ6は、ブロックごとに設けられる。
図1において、外部アドレス信号A0〜Anは、直接またはアドレスレジスタを介して、マルチプレクサ7に入力される。アドレスカウンタ9は、内部アドレス信号を生成する。マルチプレクサ7は、外部アドレス信号および内部アドレス信号のいずれか一方をブロックデコーダ5に供給する。このブロックデコーダ5は、供給されたアドレスをデコードしてブロックアドレスを生成する。このブロックアドレス信号は、ロウデコーダ4およびカラムデコーダ3に供給される。ロウデコーダ4およびカラムデコーダ3により、メモリセルの所定のブロック内のメモリセルが選択される。
ブロックデコーダ5の出力は、プロテクトROMデコーダ6にも供給される。プロテクトROMデコーダ6でデコードされた信号は、プロテクトROM13に供給される。このプロテクトROM13には、メモリセルアレイ1内の書き込み禁止領域のアドレスが記憶される。プロテクト回路14は、プロテクトROM13に記憶された領域のアドレスが供給されると、制御回路17にプロテクト信号を供給する。
入力データは、入出力バッファ21を介して、データ入力レジスタ20とコマンドレジスタ22に供給される。データ入力レジスタ20から出力されたデータは、カラム選択回路2を介して特定のメモリセルに供給される。
コマンドレジスタ22は、アドレスおよびデータからなるコマンドを認識し、そのコマンドに応じて、アドレスレジスタ、マルチプレクサ7、データ入力レジスタ20およびベリファイビット・レジスタ16に制御信号を供給する。
電圧生成回路12は、動作モードに対応した各種の電圧を生成する。電圧生成回路12により生成された電圧は、メモリセルのコントロールビットとビット線に供給される。
ベリファイ回路15は、データ入力レジスタ20とセンスアンプ19から供給される信号に応じて、選択されたメモリセルに対するデータの書き込みまたは消去が確実に行われたか否かを判定する。このベリファイ回路15は、ベリファイを実行するたびに、その結果を示す信号をベリファイビットレジスタ16を介して制御回路17に供給する。
最終アドレス検知回路10は、メモリセルアレイ1の各ブロック内の最終アドレスが検知されたか否かを示す検知信号を出力するとともに、メモリセルアレイ1の最終ブロックが検知されたか否かを示す検知信号を出力する。
タイマ11は、選択されたメモリセルに対するデータの書き込みまたは消去が何回実行されたかをカウントする。また、タイマ11は、選択されたメモリセルに対するデータの書き込みまたは消去を所定回数行った場合に、タイムアウト信号を制御回路17に出力する。
クロック生成回路23は、ライトイネーブル信号、チップイネーブル信号およびアウトプットイネーブル信号などに基づいて、フラッシュメモリの内部動作を制御するクロックを生成する。
ブロックデコーダ5には消去レジスタが設けられている。この消去レジスタは、自動消去時に、選択されたブロックの消去動作を制御する。
本実施形態では、電源ピンVDD,VSS,VACC(W/E加速用)と、モード検出ピン/MODE(本明細書では、図面で記号の上にバーがある信号を、記号の前に”/”を付けて表す)と、タイミング制御ピン/ENABLEの計5ピンでW/E(Write/Enable)テストのモードを指定する。W/Eテストのモードには、プリプログラム(PreProgram)と、イレース(Erase)プログラムと、ウイークプログラム(Weak Program)がある。W/Eテストは、各ブロックごとに行われ、各ブロックごとにプリプログラム、イレースプログラムおよびウイークプログラムが実行される。
全ブロックの消去動作が終了すると、W/Eカウンタ25を1だけカウントアップし、規定の回数に達すればW/Eテストを終了する。規定の回数未満であれば、再度アドレスカウンタ9をリセットして、最初のブロックからW/Eテストを繰り返す。
サイクルカウンタ27は、対象メモリセルに対して、プリプログラム、イレースプログラムまたはウイークプログラムを行った回数をカウントする。サイクル比較器29は、サイクルカウンタ27のカウント値を、コンフィグROM28に格納された制限値と比較する。
図2は第1の実施形態におけるW/Eテストの処理手順の一例を示すフローチャートである。まず、ブロックとアドレスを初期値に設定する(ステップS1)。ここでは、ブロックをLとし、アドレスも0番地とする。次に、各種のフラグPVOK, EVOK, OEVOKを設定する(ステップS2)。ここで、フラグPVOKは、対象ブロックの最後のアドレスまでプリプログラムを実行したか否かを示すフラグである。フラグEVOKは、対象ブロックの最後のアドレスまで消去を行ったか否かを示すフラグである。フラグOEVOKは、対象ブロックの最後のアドレスまでウイークプログラムを実行したか否かを示すフラグである。
次に、現在のブロックがW/Eテストの対象ブロックであり、かつ該ブロックがプロテクトされていないか否かを判定する(ステップS3)。
次に、現在のブロックに対してプリプログラムを行う(ステップS4)。このプリプログラムの詳細手順については後述する。このプリプログラムでは、対象ブロック内の全セルに0を書き込んで閾値を引き上げる処理を行う。対象ブロック内の最終アドレスまで0を書き込んだ場合は、フラグPVOK=1となる。
次に、アドレスを0に初期化する(ステップS5)。次に、イレースプログラムを実行する(ステップS6)。イレースプログラムの詳細手順については後述する。このイレースプログラムでは、対象ブロック内の全セルに1を書き込んで閾値を引き下げる処理を行う。対象ブロック内の最終アドレスまで1を書き込んだ場合は、フラグEVOK=1となる。
次に、アドレスを0に初期化する(ステップS7)。次に、フラグOEVOKがHか否かを判定する(ステップS8)。OEVOKがLの場合は、いずれかのメモリセルに対して消去動作(1書き込み)を行ったことを示しており、この場合はウイークプログラムを実行する(ステップS9)。ウイークプログラムの詳細手順については後述する。ウイークプログラムでは、過消去を行ったメモリセルに対して、弱く0を書き込む処理を行う。
次に、アドレスを0番地に初期化する(ステップS10)。次に、フラグEVOKがHか否かを判定する(ステップS11)。フラグEVOKがLの場合は、いずれかのメモリセルに対してウイークプログラムを実行したことを示しており、この場合はステップS6に戻って再度イレースプログラムを実行する。
一方、ステップS8でNoと判定された場合と、ステップS10でYesと判定された場合は、最後のブロックに到達したか否かを判定し(ステップS12)、Noと判定されると、次のブロックを指定して(ステップS13)、ステップS2以降の処理を行う。また、Yesと判定されると、W/Eテストの回数をカウントするW/Eカウンタ25の値W/Ecutを1カウントアップする(ステップS14)。次に、W/Ecutが所定の制限値に達したか否かを判定し(ステップS15)、達していなければステップS1に戻り、達した場合には通常の読み出し動作モードを設定し(ステップS16)、処理を終了する。
図3は図2のステップS4におけるプリプログラムの詳細な処理手順を示すフローチャートである。まず、初期設定を行い(ステップS21)、次に、プリプログラム後のベリファイのためのセットアップを行う(ステップS22)。次に、プリプログラムを行ったメモリセルのベリファイ結果をベリファイ回路15から読み出す(ステップS23)。次に、プリプログラムのベリファイがOKか否かを判定する(ステップS24)。OKでなければ、プリプログラムを行った回数Cycleが制限回数N1に達したか否かを判定する(ステップS25)。
制限回数N1に達していなければ、図4の論理表に従ってプリプログラムのためのプログラムデータを生成する(ステップS26)。図4の論理表では、対象となるメモリセルから読み出したデータが0であれば、改めて0を書き込む必要はないことから、書き込みパルスを出力しないことを示す1になる。一方、対象となるメモリセルから読み出したデータが1であれば、0を書き込む必要があることから、書き込みパルスを出力することを示す0になる。
続いて、ステップS26で生成したプログラムデータに基づいて、対象となるメモリセルにプログラムを行う(ステップS27)。次に、書き込み回数を示す変数Cycleを1カウントアップした後(ステップS28)、ステップS23に戻る。
ステップS24でYesと判定されると、Cycle=0とし(ステップS29)、対象ブロックの最終アドレスに達したか否かを判定する(ステップS30)。最終アドレスに達していなければ、アドレスを1カウントアップし(ステップS31)、ステップS22に戻る。最終アドレスに達した場合には、フラグPVOKをHに設定する。
図5は図2のステップS6のイレースプログラムの詳細な処理手順を示すフローチャートである。まず、初期設定を行い(ステップS41)、次に、イレース後のベリファイのためのセットアップを行う(ステップS42)。次に、イレースを行ったメモリセルのベリファイ結果をベリファイ回路15から読み出す(ステップS43)。次に、イレースのベリファイがOKか否かを判定する(ステップS44)。OKでなければ、イレースを行った回数Cycleが制限回数N2に達したか否かを判定する(ステップS45)。
制限回数N2に達していなければ、イレースのセットアップを行い(ステップS46)、対象となるメモリセルを消去する(ステップS47)。具体的には、1を書き込む。
次に、イレース回数Cycleを1カウントアップし(ステップS48)、フラグOEVOK=1とした後(ステップS49)、ステップS42に戻る。
ステップS44でYesと判定されると、イレース回数Cycleを0に初期化し(ステップS50)、ブロック内の最後のアドレスに達したか否かを判定する(ステップS51)。最後のアドレスに達していなければ、アドレスを1増やして、ステップS42に戻る。最後のアドレスに達した場合には、フラグEVOKをHにする(ステップS53)。
図6は図2のステップS9のウイークプログラムの詳細な処理手順を示すフローチャートである。まず、初期設定を行い(ステップS61)、次に、ウイークプログラム後のベリファイのためのセットアップを行う(ステップS62)。次に、過消去を行ったメモリセルのベリファイ結果をベリファイ回路15から読み出す(ステップS63)。次に、ベリファイ結果がOKか否かを判定する(ステップS64)。OKでなければ、過消去を行った回数Cycleが制限回数N3に達したか否かを判定する(ステップS65)。
制限回数N3に達していなければ、ウイークプログラム用のデータを生成する(ステップS66)。ここでは、上述した図4の論理表に従って、データを生成する。次に、生成したデータに基づいて、対象メモリセルに対してウイークプログラムを実行する(ステップS67)。具体的には、弱い0書き込みを行う。次に、過消去を行った回数Cycleを1カウントアップし(ステップS68)、フラグEVOKをLにセットして(ステップS69)、ステップS62に戻る。
ステップS64でYesと判定されると、過消去を行った回数Cycleを0に初期化し(ステップS70)、最後のアドレスに達したか否かを判定する(ステップS71)。最後のアドレスに達していなければ、アドレスを1増やして(ステップS72)、ステップS62に戻る。最後のアドレスに達した場合は、フラグOEVOKをHに設定する(ステップS73)。
このように、第1の実施形態では、限られた数のピン(例えば5ピン)でW/Eテストを指示できるため、同時にW/Eテストを実行するチップ数を増やせる。また、本実施形態では、W/Eテストを指示すると、W/Eテストを規定の回数だけ自動的に実行できるため、半導体記憶装置にストレスを与えるW/Eバーンインテストを簡易かつ迅速に行うことができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態は、W/Eテストの終了時に、同テストが正常に終了したことを示す履歴情報を記録するものである。
第2の実施形態は、W/Eテストの終了時に、同テストが正常に終了したことを示す履歴情報を記録するものである。
図7は本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置の概略構成を示すブロック図である。図7の半導体記憶装置は、図1の構成に加えて、W/Eテストが正常に終了したか否かを示す情報を記憶するメモリ(例えば、EEPROM)が設けられている。このメモリに記憶された情報は、入出力バッファ21を介して外部に読み出し可能である。
図8は第2の実施形態の処理手順を示すフローチャートである。図8のフローチャートは、図2のステップS16の後に、テスト終了フラグをメモリに記憶する処理が追加されている(ステップS17)。メモリには、W/Eテストを行うたびに、W/Eテストが正常に終了したか否かを示す履歴情報が記憶される。
このように、第2の実施形態では、メモリ内にW/Eテストの履歴情報を記憶し、そのメモリの内容を外部から参照できるようにしたため、メモリが動作履歴を外部から容易に検出できる。
(第3の実施形態)
第3の実施形態は、W/Eテストで不良になったメモリセルを、ブロック単位で冗長セルと置き換えるものである。
第3の実施形態は、W/Eテストで不良になったメモリセルを、ブロック単位で冗長セルと置き換えるものである。
図9は本発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置の概略構成を示すブロック図である。図9の半導体記憶装置は、図1の構成に加えて、リダンダンシー用のメモリセルアレイ31と、カラム選択回路32と、カラムデコーダ33と、ロウデコーダ34と、ブロックデコーダ35と、不良アドレス記憶部36と、アドレス比較部37とを有する。
不良アドレスは、制御回路17からの指示により、不良アドレス記憶部36に格納される。アドレス比較部37は、メモリセルアレイ1に対するアドレスが発行されたときに、そのアドレスを不良アドレス記憶部36に記憶されているアドレスと比較する。両者が一致していれば、ブロックデコーダ35が選択されて、ブロックデコーダ5は非選択になる。これにより、メモリセルアレイ31に対するアクセスが行われる。一方、両者が一致していなければ、ブロックデコーダ5が選択されてメモリセルアレイ1へのアクセスが行われる。
図2の処理を行った結果、W/Eテストが不良になった場合、制御回路17はブロック単位でメモリセルをリダンダンシー用のメモリセルに置き換える。これにより、不良時に自動的にリダンダンシーを行うことができ、信頼性向上と歩留まり向上が図れる。
(第4の実施形態)
図1の半導体記憶装置は、ブロック単位でメモリセルをプロテクトする機能を持っている。したがって、例えば、W/Eテストが不良になった場合には、ブロック単位でメモリセルをプロテクトしてもよい。これにより、一部のメモリセルが不良のためにW/Eテストが中断するおそれがなくなる。
図1の半導体記憶装置は、ブロック単位でメモリセルをプロテクトする機能を持っている。したがって、例えば、W/Eテストが不良になった場合には、ブロック単位でメモリセルをプロテクトしてもよい。これにより、一部のメモリセルが不良のためにW/Eテストが中断するおそれがなくなる。
また、図3のプリプログラム、図5のイレースプログラムまたは図6のウイークプログラムの処理中に、それぞれベリファイを行っているが、制限回数だけ繰り返してもベリファイに失敗した場合には、強制的にベリファイをOKとしてもよい。これにより、不良セルが存在しても、W/Eテストが中断しなくなる。
上述した実施形態では、プリプログラム、イレースプログラムおよびウイークプログラムの順に実行しているが、ウイークプログラムを省略してもよい。また、プリプログラム、イレースプログラムおよびウイークプログラムの中でのベリファイチェックを省略してもよい。これにより、W/Eテストが確実に中断しなくなる。
このように、第4の実施形態では、ブロック単位でメモリセルをプロテクトできるようにしたため、一部のメモリセルが不良であっても、W/Eテストが中断しなくなり、効率的にW/Eテストを行うことができる。
(第5の実施形態)
W/Eテストを行った回数、ベリファイチェックを行った否かを示す情報、ウイークプログラムを行ったか否かを示す情報などを、図7に示したメモリに記憶しておき、そのメモリに記憶された情報を外部から読み出せるようにしてもよい。また、外部からもW/Eテストの各種条件をメモリに設定できるようにしてもよい。例えば、W/Eテストを無制限に繰り返す旨の設定を外部から行えるようにしてもよい。チップの針当たり解析を行う場合は、W/Eテストを連続して行っておく必要があるため、W/Eテストを無制限に行う旨の設定を行うことは有意義である。W/Eテストの各種条件についての外部からの読み出しと、各種条件についての外部からの設定は、図7や図9の入出力バッファ21を介して行えばよい。
W/Eテストを行った回数、ベリファイチェックを行った否かを示す情報、ウイークプログラムを行ったか否かを示す情報などを、図7に示したメモリに記憶しておき、そのメモリに記憶された情報を外部から読み出せるようにしてもよい。また、外部からもW/Eテストの各種条件をメモリに設定できるようにしてもよい。例えば、W/Eテストを無制限に繰り返す旨の設定を外部から行えるようにしてもよい。チップの針当たり解析を行う場合は、W/Eテストを連続して行っておく必要があるため、W/Eテストを無制限に行う旨の設定を行うことは有意義である。W/Eテストの各種条件についての外部からの読み出しと、各種条件についての外部からの設定は、図7や図9の入出力バッファ21を介して行えばよい。
このように、W/Eテストの各種条件を外部から読み出したら、外部から設定できるようにすることで、メモリが正常か否かを正確かつ簡易に検出できる。
上述した実施形態において、W/Eテスト判定回路24は例えばテスト指示手段に対応し、W/Eカウンタ比較器26は例えば回数判定手段に対応し、制御回路17は例えばW/E制御手段に対応し、メモリ30は例えばテスト結果記憶手段に対応し、入出力バッファ21は例えばインタフェース手段に対応し、プロテクトROM13は例えばプロテクト情報記憶手段に対応し、メモリセルアレイ31は例えば冗長セルアレイに対応し、制御回路17は例えば冗長制御手段に対応する。
1 メモリセルアレイ
2 カラム選択回路
3 カラムデコーダ
4 ロウデコーダ
5 ブロックデコーダ
6 プロテクトROMデコーダ
7 マルチプレクサ
8 アドレスデコーダ
9 アドレスカウンタ
10 最終アドレス検知回路
11 タイマ
12 電圧生成回路
13 プロテクトROM
14 プロテクト回路
15 ベリファイ回路
16 ベリファイビット・レジスタ
17 制御回路
18 テスト回路
19 センスアンプ
20 データ入力レジスタ
21 入出力バッファ
22 コマンドレジスタ
23 クロック生成回路
24 W/Eテスト判定回路
25 W/Eカウンタ
26 W/Eカウンタ比較器
27 サイクルカウンタ
28 コンフィグROM
29 サイクル比較器
30 メモリ
31 メモリセルアレイ
32 カラム選択回路
33 カラムデコーダ
34 ロウデコーダ
35 ブロックデコーダ
36 プロテクトROMデコーダ
2 カラム選択回路
3 カラムデコーダ
4 ロウデコーダ
5 ブロックデコーダ
6 プロテクトROMデコーダ
7 マルチプレクサ
8 アドレスデコーダ
9 アドレスカウンタ
10 最終アドレス検知回路
11 タイマ
12 電圧生成回路
13 プロテクトROM
14 プロテクト回路
15 ベリファイ回路
16 ベリファイビット・レジスタ
17 制御回路
18 テスト回路
19 センスアンプ
20 データ入力レジスタ
21 入出力バッファ
22 コマンドレジスタ
23 クロック生成回路
24 W/Eテスト判定回路
25 W/Eカウンタ
26 W/Eカウンタ比較器
27 サイクルカウンタ
28 コンフィグROM
29 サイクル比較器
30 メモリ
31 メモリセルアレイ
32 カラム選択回路
33 カラムデコーダ
34 ロウデコーダ
35 ブロックデコーダ
36 プロテクトROMデコーダ
Claims (5)
- 複数のメモリセルからなるブロックごとに、データ書き込みおよびデータ消去を含むW/E(Write/Erase)テストを行うことが可能な半導体記憶装置において、
モード判定ピン、タイミング制御ピンおよび電源ピンを用いて、前記W/Eテストを行うか否かを指示するテスト指示手段と、
このテスト指示手段からの指示により実行される前記W/Eテストの回数を計測する回数計測手段と、
前記回数計測手段にて計測された回数が所定回数に達したか否かを判定する回数判定手段と、
前記回数計測手段にて計測される回数が所定回数に達するまで、前記W/Eテストを繰り返し実行するW/E制御手段と、を備えることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記W/Eテストが正常に終了したか否かを示す結果情報を記憶するテスト結果記憶手段と、
前記テスト結果記憶手段に記憶された前記W/Eテストの結果情報を外部に読み出すインタフェース手段と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - ブロックごとにメモリセルを置き換え可能な複数のメモリセルからなる冗長セルアレイと、
前記W/Eテストが正常に終了しなかったブロックを、前記冗長セルアレイに置き換える制御を行う冗長制御手段と、を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体記憶装置。 - 前記W/Eテストが正常に終了しなかったブロックについては、以降の前記W/Eテストを省略する旨の情報を記憶するプロテクト情報記憶手段を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体記憶装置。
- 前記W/Eテストの各種条件を記憶するテスト条件記憶手段と、
前記テスト条件記憶手段に記憶された各種条件を外部から読み出すことが可能で、かつ外部から前記テスト条件記憶手段に各種条件を設定可能な記憶制御手段と、を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体記憶装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004178492A JP2006004496A (ja) | 2004-06-16 | 2004-06-16 | 半導体記憶装置 |
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JP2004178492A JP2006004496A (ja) | 2004-06-16 | 2004-06-16 | 半導体記憶装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004178492A Pending JP2006004496A (ja) | 2004-06-16 | 2004-06-16 | 半導体記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006004496A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107369475A (zh) * | 2017-07-18 | 2017-11-21 | 上海市共进通信技术有限公司 | Flash连续擦除与编程的自动化测试方法 |
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2004
- 2004-06-16 JP JP2004178492A patent/JP2006004496A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107369475A (zh) * | 2017-07-18 | 2017-11-21 | 上海市共进通信技术有限公司 | Flash连续擦除与编程的自动化测试方法 |
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