JP2005532698A - トレンチ型ショットキ・バリア・ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ショットキ・バリア構造の製造方法において、Siエピタキシャル層の表面に直接窒化膜を形成し、続いてSiエピタキシャル層に複数のトレンチを形成する。ついで、トレンチの内壁頂部に鳥のくちばし形状の酸化物が形成されるのを避けるため、犠牲酸化膜を形成することなく、トレンチの内壁に、最終的に使用される酸化膜を沈着させる。末端トレンチには、半導体装置の活性領域に複数のトレンチを形成するのと同じ工程において、エッチングを施す。
Description
12 パッド用酸化膜
14 窒化膜
16 トレンチ
22 Siエピタキシャル層の表面
26 Si3N4層
28,30 トレンチ
44 ゲート酸化膜
48 ポリシリコン層
50 ショットキ・バリア金属層
52 ショットキ接合部
54 メサ領域
56 金属製接触層
60 末端トレンチ
Claims (19)
- 第1の導電型を有するシリコン基板の上に、窒化膜を直に形成する工程と、
前記窒化膜に、互いに離間した複数のウィンドーを区画するため、パターン形成する工程と、
前記ウィンドーを介してエッチングを行い、前記シリコン基板の表面から内部に向かって下方に延びる、互いに離間した複数のトレンチを形成する工程と、
前記トレンチ内壁の頂部に鳥のくちばし形状の酸化物が残存することのないよう、犠牲酸化膜の形成とエッチングを行うことなく、トレンチの内壁を最終的に使用される酸化膜によって被覆する工程とを含むことを特徴とするトレンチ型ショットキ・バリア半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチを、第2の導電型をもつ導電体によって充填する工程と、
表層部に、ショットキ・バリア金属層を形成する工程と、
前記ショットキ・バリア金属層に接触しつつ、これを横断するアノードを形成するとともに、前記シリコン基板の反対側の面にカソードを形成する工程とを含み、
交互に並ぶトレンチとメサを形成するための前記ウィンドーを、前記窒化膜を貫通するエッチングによって形成することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチを、第2の導電型をもつ導電体によって充填する工程は、トレンチを充填しつつ、パターン形成された前記窒化膜を覆うポリシリコン層を沈着させる工程と、トレンチを充填するポリシリコン層に、第2の導電型の不純物をインプラントする工程とを含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン基板において、互いに離間した複数の露出領域を形成するため、前記トレンチの内壁を最終的に使用される酸化膜によって被覆する工程の後に、前記メサを覆う窒化膜を、150℃のリン酸によるエッチングによって除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ショットキ・バリア金属層を、前記シリコン基板の露出領域であるメサ、およびトレンチの上に形成することを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン基板は、厚さが2.5〜4μm、抵抗率が0.3〜0.5Ωcmであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記最終的に使用される酸化膜を、最大で厚さ500Åまで成長させることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ポリシリコン層を、概ね7500Åの厚さまで沈着させることを特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不純物をインプラントする工程は、ホウ素イオンを、3×1016cm-2の密度で、前記トレンチを充填しているポリシリコン層に打ち込む工程と、P型の導電領域を形成することによって、半導体装置が、隣合うメサとトレンチとの間に複数のpn接合を含むように、打ち込まれたホウ素イオンを、1050℃の温度下で、1時間、トレンチ内に拡散させる工程とを含むことを特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ポリシリコン層の全面に対して、必要なエッチング時間よりも5秒間長いプラズマエッチングを施す工程をさらに含むことを特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ショットキ・バリア金属層は、チタン、またはチタン‐タングステンからなり、最大で600Åの厚さまで、スパッタリングによって形成されたものであることを特徴とする請求項5記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ショットキ・バリア金属層に、625℃で30秒間アニーリングを施す工程と、アニーリングを施されたショットキ・バリア金属層の特定の部分をエッチングする工程をさらに含むことを特徴とする請求項11記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン基板は、半導体装置の片面から、前記トレンチよりも下方の位置まで延びるN-型エピタキシャル層と、このN-型エピタキシャル層から半導体装置のもう片方の面まで延びるN+型基底層とを有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の導電型を有するシリコン基板の片面に、窒化膜を形成する工程と、
前記窒化膜に、互いに離間した複数のウィンドーを区画するため、パターン形成する工程と、
前記半導体に交互に並ぶトレンチとメサを形成するため、前記ウィンドーを介してエッチングを行い、複数のトレンチを形成する工程と、
前記窒化膜と半導体基板の界面に、前記メサに沿って、互いに離間した複数の鳥のくちばし形状の酸化物が形成されることのないよう、犠牲酸化膜を形成することなく、トレンチの側壁と底面に酸化膜を形成する工程と、
前記トレンチを充填しつつ、前記窒化膜を覆うポリシリコン層を沈着させる工程と、
前記ポリシリコン層に、第2の導電型の不純物をインプラントして、このポリシリコン層を第2の導電型にする工程と、
前記メサを覆う窒化膜を除去し、半導体基板の一部を露出させる工程と、
前記半導体基板の片面にショットキ・バリア層を形成し、このショットキ・バリア層と前記半導体基板の露出したメサとの界面にショットキ・バリアを形成する工程と、
前記半導体基板のもう片方の面に、金属層を形成し、前記ショットキ・バリア層と合わせて、半導体装置のアノードとカソードを形成する工程とを含むことを特徴とするトレンチ型ショットキ・バリア半導体装置の製造方法。 - 前記互いに離間した複数のトレンチの形成と同時に、末端トレンチを形成する工程を含み、ショットキ・バリア金属層の少なくとも一部を、前記末端トレンチから除去することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- シリコン基板と、このシリコン基板の片面に形成された複数の互いに離間したトレンチと、これらトレンチの間に位置する除去可能な窒化膜とからなるトレンチ型ショットキ・バリア半導体装置であって、各トレンチは、最終的に使用される酸化膜で被覆された内壁を有し、前記最終的に使用される酸化膜は、前記トレンチの内壁を予め被覆する犠牲酸化膜なしで、このトレンチの内壁から直に成長したものであり、前記窒化膜を前記シリコン基板の片面から除去した後に、トレンチ内壁の頂部に盛り上がって残存する酸化物が形成されないようにすることを特徴とするトレンチ型ショットキ・バリア半導体装置。
- 前記末端トレンチは、前記複数のトレンチと同時に形成されたものであり、前記ショットキ・バリア金属層は、この末端トレンチから除去されていることを特徴とする請求項16記載の半導体装置。
- 前記末端トレンチの底面に、二酸化ケイ素の薄膜が形成されており、この二酸化ケイ素の薄膜は、前記末端トレンチの底面と、前記ショットキ・バリア金属層との間に位置することを特徴とする請求項17記載の半導体装置。
- 前記二酸化ケイ素薄膜と、前記ショットキ・バリア金属層との間に、さらにTEOSバリア層が介在していることを特徴とする請求項18記載の半導体装置。
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