JP2005347544A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. レチクルが載置され、かつ第１のマークを有するレチクルステージと、ウェハが載置され、かつ第２のマークを有するウェハステージとを有し、前記第１のマークと前記第２のマークとを位置合わせすることによって、前記レチクルと前記ウェハとを位置合わせし、前記レチクルを介して前記ウェハを露光する露光装置であって、
   第１のマーク及び第２のマークは、互いに相似の形状を有し、かつ位置合わせ用の検出光を透過又は反射する複数のパターンをそれぞれ含み、前記複数のパターンの幅および間隔の少なくとも一方は、互いに異なる、ことを特徴とする露光装置。
2. 前記複数のパターンの配列は擬似ランダム雑音（ＰＮ）符号に従ったものであることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 前記複数のパターンは、３つ以上のパターンを含むことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
4. 前記複数のパターンは、互いに直交する２つの方向それぞれに配列されていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
5. 前記複数のパターンは、互いに高さの異なる２つの面それぞれに配列されていることを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の露光装置。
6. 請求項１乃至５のうちいずれか一項記載の露光装置を用いてウェハを露光するステップと、
   該露光されたウェハを現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。