JP2005320986A - 緊急遮断弁装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 設備を稼働させた状態で、弁体が正常に作動するか否かを実際に確認しうるようにする。
【解決手段】 エアシリンダ２における加圧シリンダ８の周壁に、空気の排気孔２１を、ピストン１１が弁体を全開している位置から閉弁方向に移動し、弁体が予め定めた一定の開度となったとき、ピストン１１の外周面により閉塞されるようにして設け、かつ加圧シリンダ８に空気を供給するエアパイプ２０と、排気孔２１に接続した排気パイプ２２とを、加圧シリンダ８への空気の供給を停止するとともに、排気パイプ２２と排気孔２１を開放し、ピストン１１が排気孔２１を閉じるまで、加圧シリンダ８の空気を排出可能な電磁切換弁２９、３０に接続する。
【選択図】 図５

Description

本発明は、石油精製プラント等における流体の流路や、ガス等のパイプラインなどの途中に設けられる緊急遮断弁装置に係り、特に、プラント等の設備を稼働させながら、弁体の作動を確認しうるようにした緊急遮断弁装置に関する。
この種の緊急遮断弁装置は、プラント等の設備が正常に稼働されているときには、弁体は開かれ、地震等により、設備に異常が発生するなどした際には、弁体を閉弁側に作動させて、事故等を未然に防止するものである。
そのため、緊急遮断弁装置が正常に作動するか否かの確認を、定期的に点検することが行われているが、信頼性を向上するために、設備の稼働中にも点検することが要求されている。
しかし、例えば特許文献１に記載されているようなウエイト式の緊急遮断弁においては、弁体の開度を、全開と全閉との２つの動作しか選択し得ないため、設備の稼働中に、弁体の作動確認を行うことはできない。
この問題を解決しうるものとして、例えば特許文献２に記載されているもののように、プラント等の設備の稼働中でも緊急遮断動作を確認しうるようにした緊急遮断弁装置もある。
特開２００２−７１０３９号公報 特開平１０−６１８１２号公報
上記特許文献２に記載されている緊急遮断弁装置は、緊急遮断弁駆動用シリンダに圧油を供給する逆止弁や電磁切換弁を実際に動かして、それらの作動のみを確認するものであり、弁体自身が正常に作動するか否かを確認することはできないものである。
そのため、流体の性質等により、万一、弁体もしくは弁ケースの内部が錆付いたり、腐食するなどして、弁体の移動が不円滑になっていると、緊急時に流路を閉鎖することができなくなる恐れがある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、設備を稼働させた状態で、弁体を、設備の稼働に支障を来さない一定の開度まで動かし、弁体が正常に作動するか否かを、実際に確認しうるようにした緊急遮断弁装置を提供することを目的としている。
本発明によると、上記課題は、次のようにして解決される。
(１) パイプライン等に接続されたバルブ本体と、このバルブ本体内の弁体の弁軸に連係されたピストンを有する単動式流体圧シリンダとを備え、通常時には、前記ピストンの側方のシリンダ室に圧力流体を供給し、ピストンを復帰手段に抗して一側方に押動させることにより、前記弁体を全開し、かつ緊急時には、前記シリンダ室の圧力流体を排出して、前記ピストンを他側方に移動させることにより、前記弁体を全閉するようにした緊急遮断弁装置において、前記流体圧シリンダにおけるシリンダ室の周壁に、流体の排出孔を、前記ピストンが弁体を全開している位置から閉弁方向に移動し、弁体が予め定めた一定の開度となったとき、ピストンの外周面により閉塞されるようにして設け、かつ前記シリンダ室に圧力流体を供給する供給回路と、前記排出孔に接続した排出回路とを、シリンダ室への圧力流体の供給を停止するとともに、前記排出回路と排出孔を開放し、前記ピストンが排出孔を閉じるまで、シリンダ室の流体を排出可能な流体制御装置に接続する。
(２) 上記(１)項において、ピストンの外周面に、排出孔を閉塞しうるＯリングを嵌合する。
(３) 上記(１)または(２)項において、排出孔をオリフィス状とする。
(４) 上記(１)〜(３)項のいずれかにおいて、流体制御装置を、供給回路に設けた常開切換弁と、排出回路に設けた常閉切換弁とからなるものとし、前記常開切換弁を閉じて、常閉切換弁を開くことにより、シリンダ室の流体を排出させるようにする。
(５) 上記(４)項において、常開切換弁および常閉切換弁を、電磁切換弁よりなるものとする。
(６) 上記(１)〜(３)項のいずれかにおいて、流体制御装置を、供給回路と並列をなす回路に設けられた常閉式電磁切換弁と、供給回路に設けられ、前記常閉式電磁切換弁より吐出する流体の圧力により作動させられる常開パイロット切換弁と、排出回路に設けられ、前記常閉式電磁切換弁より吐出する流体の圧力により作動させられる常閉パイロット切換弁とからなり、前記常閉式電磁切換弁を開くことにより、前記常閉パイロット切換弁を閉じ、かつ前記常閉パイロット切換弁を開いて、シリンダ室の流体を排出するようにする。
(７) 上記(６)項において、常閉式電磁切換弁を、流出入ポートを有する３ポート２位置切換型電磁弁とし、この電磁切換弁の一方の流出入ポートを、常開パイロット切換弁と常閉パイロット切換弁に、かつ他方の流出入ポートを、流体圧供給源に接続された常閉式手動切換弁に、それぞれ接続する。
(８) 上記(１)〜(７)項のいずれかにおいて、流体圧シリンダに、弁体が予め定めた開度まで閉弁されたことを検出する検出手段を設ける。
(９) 上記(８)項において、検出手段を、ピストンまたはピストンロッドの動きを検知するセンサと、このセンサからの信号により作動するランプ又はブザーよりなるものとする。
本発明によると、次のような効果を奏することができる。
(ａ) 請求項１記載の発明によれば、バルブ本体の弁体が全開している状態において、流体制御装置を作動させると、ピストンは排出孔を閉じる位置まで移動し、復帰手段とシリンダ室の流体圧とがバランスすることにより、その位置で停止する。従って、弁体は、予め定めた一定の開度以上に閉弁されることはないので、パイプライン等の流路を、設備の稼働に支障を来さない範囲に開いたまま、弁体の作動を確認することができる。
また、弁体を実際に動かして作動の確認テストを行いうるので、従来のように、緊急時に弁体が作動せず、流路が閉鎖されなくなる問題の発生する恐れはない。
(ｂ) 請求項２記載の発明によれば、ピストンの外周面やシリンダの内周面が摩耗するなどしても、排出孔を確実に閉塞することができる。
(ｃ) 請求項３記載の発明によれば、シリンダ室の流体は、排出孔より少しずつ排出され、シリンダ室が徐々に減圧されるので、ピストンが復帰手段により急激に移動させられて、排出孔を越えてしまうのを防止することができる。
(ｄ) 請求項４記載の発明によれば、流体制御装置の構成が単純で、操作も容易であるため、弁体の作動確認テストを、随時簡単に行うことができる。
(ｅ) 請求項５記載の発明によれば、各電磁切換弁を電気的にオン、オフしうるので、弁体の作動確認を、緊急遮断弁装置の設置現場より離れた位置から、オンラインで行うことができる。
(ｆ) 請求項６記載の発明によれば、常開式電磁切換弁をオンするだけで、それと連動して、両パイロット切換弁が自動的に作動するので、電気的に複雑な制御回路等は不要となる。
また、上記請求項５と同様、弁体の作動確認を離れた位置からオンラインで行うことができる。
(ｇ) 請求項７記載の発明によれば、１つの流体制御装置により、弁体の作動確認を、緊急遮断弁装置より離れた位置からのオンラインと、その設置現場での手動操作との両方で行うことができる。
(ｈ) 請求項８記載の発明によれば、弁体が正常に作動するか否かを、検出手段により容易に確認することができる。
(ｉ) 請求項９記載の発明によれば、弁体が正常に作動するか否かを、緊急遮断弁装置より離れた遠隔地からでも、ランプ又はブザーにより容易に確認することができる。
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の緊急遮断弁装置を、一部を縦断して示す正面図、図２は、エアシリンダを横断して示す平面図である。
緊急遮断弁装置は、内部にボール形の弁体（図示略）が収容された公知のバルブ本体(１)と、バルブ本体(１)を駆動するエアシリンダ(２)と、後記するバルブ本体(１)の作動確認用の流体制御装置(27)とを備えている。
バルブ本体(１)は、プラント等のパイプライン(３)の途中に接続され、弁体に結合された弁軸(４)は、弁ケース(５)の上端より上方に突出している。
バルブ本体(１)の上端と、エアシリンダ(２)の中間部下面とは、弁軸(４)を囲むヨーク(６)により結合されている。
エアシリンダ(２)は、単動式のエアシリンダよりなり、左方のスプリングケース(７)と、右方の加圧シリンダ(８)と、それらの対向端間に連結されたギヤケース(９)との内部には、ピストンロッド(10)が左右方向に移動自在に収容されている。
ピストンロッド(10)の右端には、加圧シリンダ(８)内をその内面に沿って摺動するピストン(11)が取付けられている。
ピストンロッド(10)の左端部は、左方のスプリングケース(７)の右端の側板(7a)を摺動自在に貫通しており、その左端に固着されたばね受板(12)と、スプリングケース(７)の左端の側板(7b)との間には、圧縮コイルばね(13)が縮設されている。
ピストンロッド(10)におけるギヤケース(９)内に位置する部分の前面には、ラック(14)が軸方向に所要の長さに亘って形成されている。
ギヤケース(９)の前方に膨出する内部には、弁軸(４)と同軸をなす駆動軸(15)が、回動可能に上下に貫通して支持され、この駆動軸(15)には、上記ラック(14)と噛合するセクタギヤ(16)が嵌着されている。
駆動軸(15)の下端部は、コネクタ(17)を介して、弁軸(４)の上端部に連結されている。
ギヤケース(９)の前面には、左右２個のストッパボルト(18)(18)が取付けられ、それらの先端にセクタギヤ(16)の円周方向の両側端が当接することにより、その平面視時計方向と反時計方向への最大回動量が規制されるようになっている。
すなわち、図２の実線で示すように、ピストン(11)がピストンロッド(10)と共に左方に移動し、ラック(14)と噛合しているセクタギヤ(16)が反時計方向に回転して左方のストッパボルト(18)に当接したとき、バルブ本体(１)内の弁体が全開し、同じく２点鎖線で示すように、ピストン(11)が右方に移動して、セクタギヤ(16)が時計方向に回転し、右方のストッパボルト(18)に当接したとき、弁体が全閉されるようになっている。
加圧シリンダ(８)の周壁の側端部には、圧縮空気の給気孔(19)が穿設され、この給気孔(19)は、流体の供給回路であるエアパイプ(20)を介して、エアタンク等の圧縮空気供給源に接続されている。
また、加圧シリンダ(８)の周壁の左方寄り、すなわち左限まで移動してバルブ本体(１)の弁体を全開しているピストン(11)の停止位置よりもやや右方には、排出孔であるオリフィス状の排気孔(21)が穿設され、この排気孔(21)は、排出回路である排気パイプ(22)を介して、後記する電磁切換弁(30)に接続されている。
上記排気孔(21)は、ピストン(11)が右方に移動した際、その外周面により閉じられるようになっている。すなわち、図３に拡大して示すように、ピストン(11)の外周面の環状溝(11a)に嵌め込まれたＯリング(23)が、排気孔(21)の内方の開口端まで摺動したとき閉塞されるようになっている。
ギヤケース(９)の中央部の後面に穿設されためねじ孔(24)には、近接スイッチ等よりなるセンサ(25)が取付けられ、このセンサ(25)は、ピストンロッド(10)におけるラック(14)形成部付近の後面に突設された作動突片(26)と対向したとき、作動するようになっている。
図４及び図５は、上記緊急遮断弁装置とその制御系の概略図を示すもので、バルブ本体(１)の作動を確認する手段は、上記加圧シリンダ(８)の排気孔(21)と、センサ(25)と、バルブ本体(１)の作動確認テスト時に、加圧シリンダ(８)内への圧縮空気の供給と排出を制御する流体制御装置(27)とからなっている。
流体制御装置(27)は、圧縮空気供給源(28)に接続された２ポート２位置切換型の常開式第１電磁切換弁(29)と、排気孔(21)の排気パイプ(22)に接続された２ポート２位置切換型の常閉式第２電磁切換弁(30)とよりなっている。
第１電磁切換弁(29)の吐出ポートは、緊急遮断信号によりオンさせられる３ポート２位置切換型の緊急遮断用電磁切換弁(31)に接続され、この電磁切換弁(31)は、給気孔(19)のエアパイプ(20)に接続されている。
図４に示す通常状態では、第１電磁切換弁(29)がオフとなり、緊急遮断用電磁切換弁(31)がオンされて、空気供給側に切換えられるとともに、第２電磁切換弁(30)がオフとなって、排気孔(21)からの空気の流出が遮断されている。
従って、圧縮空気供給源(28)の空気は、電磁切換弁(29)(31)を介して加圧シリンダ(８)内に供給され、ピストン(11)を左限まで移動する。
これにより、バルブ本体(１)の弁体は、セクタギヤ(16)の回転駆動力により、全開されている。
この状態で緊急遮断信号が発せられると、電磁切換弁(31)がオフとなり、空気排出側に切換わることにより、空気の供給が停止され、かつ同時に加圧シリンダ(８)内の空気が電磁切換弁(31)の吐出ポートより外部に排出される。
その結果、ピストン(11)は、圧縮コイルばね(13)の付勢力により、右限まで移動させられ、バルブ本体(１)の弁体は、セクタギヤ(16)の回動力により全閉される。
バルブ本体(１)の弁体が全開している状態で、それが正常に作動するか否かの確認を行う際には、図５に示すように、流体制御装置(27)を作動させる。
すなわち、第１、第２電磁切換弁(29)(30)を共にオンさせ、圧縮空気供給源(28)の空気の供給を停止させるとともに、排気孔(21)を、第２電磁切換弁(30)を介して大気開放する。
すると、加圧シリンダ(８)内の圧縮空気が排気孔(21)より徐々に排出されて減圧されることにより、ピストン(11)は、圧力コイルばね(13)の付勢力により少しずつ右方に移動させられる。
ピストン(11)のＯリング(23)が、図３に示すように、排気孔(21)の穿設部に達すると、排気孔(21)はＯリング(23)により閉塞され、空気の排出が停止される。これにより、圧縮コイルばね(13)の付勢力と加圧シリンダ(８)内の空気圧とがバランスし、ピストン(11)及びピストンロッド(10)の右方への移動が自動的に停止される。
これにより、セクタギヤ(16)は、予め定めた量だけ回動し、その回動量に相当する分だけ、バルブ本体(１)の弁体が閉じられる。この際の弁体の開度は、プラントへの流体の流通量に支障のないように、例えば全開に対し、２０〜３０％とするのがよい。
弁体が正常に作動した際には、センサ(25)が、ピストンロッド(10)に突設した作動突片(26)により作動させられるため、センサ(25)に例えばパイロットランプ(32)を接続してこれを点灯させるようにすれば、弁体が作動したか否かを容易に確認することができる。
またセンサ(25)を設ける代わりに、中間シリンダ(９)の上方に突出している駆動軸(15)の回動を目視により直接確認してもよい。
流体制御装置(27)に、第１、第２電磁切換弁(29)(30)を用い、かつ作動の確認をセンサ(25)により行うと、弁体の作動確認テストを、緊急遮断弁装置の設置現場から離れた場所でオンラインにより行いうる利点があるが、設置現場で弁体の作動確認テストを行う際には、第１、第２電磁切換弁(29)(30)の代わりに、それらと同じ２ポート２位置切換型の手動切換弁を用いてもよい。
図６は、緊急遮断弁装置の弁体の作動確認テストを、設置現場と、遠隔地からのオンラインとの両方で行いうるようにした流体制御装置(33)を備える変形例である。
流体制御装置(33)は、圧縮空気供給源(28)に並列状に接続された流出入ポートを有する３ポート２位置切換型の常閉式電磁切換弁(34)と、その一方の流出入ポートと圧縮空気供給源(28)とに接続された３ポート２位置切換型の常閉式手動切換弁(35)と、常閉式電磁切換弁(34)の他方の流出入ポートに並列に接続され、電磁切換弁(34)よりの吐出空気圧により作動させられる常開式のパイロット切換弁(36)、及び常閉式のパイロット切換弁(37)とからなっている。
一方のパイロット切換弁(36)は、圧縮空気供給源(28)と、上記と同様の緊急遮断用電磁切換弁(31)とに接続され、他方のパイロット切換弁(37)は、排気孔(21)に排気パイプ(22)を介して接続されている。
図６に示す通常状態では、流体制御装置(33)の電磁切換弁(34)はオフされているとともに、手動切換弁(35)も非操作状態にあるので、両切換弁(34)(35)には、圧縮空気供給源(28)より空気が供給されない。従って、一方のパイロット切換弁(36)は開弁し、他方のパイロット切換弁(37)は閉弁して、加圧シリンダ(８)の排気孔(21)に接続された排気パイプ(22)を閉じている。
また、通常状態では、緊急遮断用電磁切換弁(31)はオンされて開弁されているため、圧縮空気はパイロット切換弁(36)を介して加圧シリンダ(８)内に供給される。
その結果、上記と同様、ピストン(11)が左限まで移動されて、バルブ本体(１)の弁体は全開されている。
この状態で、緊急遮断信号が電磁切換弁(31)に発せられると、この切換弁(31)がオフとなって、加圧シリンダ(８)内の空気を排出し、ピストン(11)が右限に移動することにより、バルブ本体(１)の弁体は全閉される。
弁体が、全開しているとき、その動作を遠隔地からオンラインで確認するには、図７に示すように、流体制御装置(33)の電磁切換弁(34)をオンとすればよい。
すると、常閉式手動切換弁(35)に接続されたポートが閉じられるとともに、それまで閉じていたポートが開くことにより、圧縮空気供給源(28)の空気の圧力が、電磁切換弁(34)を介して、両パイロット切換弁(36)(37)に同時に作用し、一方のパイロット切換弁(36)を閉弁するとともに、他方のパイロット切換弁(37)を開弁する。
これにより、加圧シリンダ(８)への空気の供給が停止されるとともに、排気孔(21)が開放され、シリンダ(８)内の空気が、パイロット切換弁(37)の吐出ポートより徐々に排出される。
その結果、上記と同様に、ピストン(11)は、そのＯリング(23)が排気孔(21)を閉塞するまで右方に移動し、その移動量だけ、ピストンロッド(10)のラック(14)と噛合しているセクタギヤ(16)が回動させられることにより、バルブ本体(１)の弁体が若干閉じられる。
弁体が正常に作動したか否かは、上記と同様、センサ(25)が作動突片(26)を検知し、その信号により、パイロットラップ(32)が点灯することにより、確認することができる。
緊急遮断弁装置の作動確認を、その設置現場で手動により行うには、図８に示すように、流体制御装置(33)の電磁切換弁(34)をオフとし、それへの圧縮空気供給源(28)の空気の流入を停止した状態で、手動切換弁(35)を開弁側に操作すればよい。
すると、圧縮空気供給源(28)の空気の圧力が、手動切換弁(35)と、その吐出ポートに接続した電磁切換弁(34)を介して、両パイロット切換弁(36)(37)に作用することから、上記オンラインによる作動確認時と同じ作用により、バルブ本体(１)の弁体の作動を現場で確認することができる。
以上説明したように、上記実施形態の緊急遮断弁装置においては、バルブ本体(１)の弁体が正常に作動するか否かの確認テストを、プラント等の稼働に支障を来さない一定の開度まで弁体を閉じさせることにより行うようにしているため、プラント等の設備を停止させる必要はなく、その稼働率を向上させることができる。
また、バルブ本体(１)の弁体を開閉駆動するエアシリンダ(２)における加圧シリンダ(８)の周壁の適所に排気孔(８)を設け、これを、流体制御装置(27)(33)の切換弁(30)(34)(35)等を作動させて開放することにより、加圧シリンダ(８)内の空気を一部排出して減圧し、ピストン(11)を、それにより排気孔(21)が閉じられる位置まで右方（閉弁方向）に移動させるという簡単な手段で、バルブ本体(１)の弁体が実際に作動するか否かを確認することができる。従って、従来のように、緊急時に弁体が作動せず流路を閉鎖できなくなる恐れはない。
しかも、弁体の作動確認中において、万一緊急遮断信号が発せられた際でも、電磁切換弁(31)がオフとなり、加圧シリンダ(８)内の空気を排出して弁体を強制的に全閉するので、安全である。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
上記実施形態では、ピストン(11)の外周面に嵌合したＯリング(23)により排気孔(21)を閉塞するようにしたが、ピストン(11)を長寸とした際などには、その外周面で閉塞するようにしてもよい。
弁体が作動したか否かの確認は、セクタギヤ(16)や駆動軸(15)の回動をセンサにより検出して行うこともできる。また、パイロットランプ(32)の代わりにブザーを用いてもよい。
図６に示す流体制御装置(33)において、例えば遠隔地のみで弁体の作動を確認する際には、手動切換弁(35)を、また設置現場のみで弁体の作動を確認する際には、電磁切換弁(34)を、それぞれ省略することもある。
エアシリンダ(２)は、左右のピストンをピストンロッドで連結するとともに、弁軸(４)の駆動機構をスカッチ及びヨーク式としたダブルピストン型の単動式エアシリンダにも適用することができる。
また、バルブ本体(１)は、流路と直交する方向に移動する仕切弁やダイヤフラム式の弁体を有するものを使用することもできる。この際には、弁軸をピストン(11)に直接連結すればよい。
本発明の緊急遮断弁装置を、エアシリンダを縦断して示す正面図である。 同じくエアシリンダを横断して示す平面図である。 ピストンと排気孔との関係の詳細を示す拡大断面図である。 緊急遮断弁装置と流体制御装置との概略図である。 同じく、流体制御装置を作動させて弁体の作動確認を行った際の概略図である。 流体制御装置の変形例を適用した概略図である。 同じく、電磁切換弁を作動させて弁体の作動確認を行った際の概略図である。 同じく、手動切換弁を操作して弁体の作動確認を行った際の概略図である。
符号の説明
(１)バルブ本体
(２)エアシリンダ
(３)パイプライン
(４)弁軸
(５)弁ケース
(６)ヨーク
(７)スプリングケース
(7a)(7b)側板
(８)加圧シリング
(９)ギヤケース
(10)ピストンロッド
(11)ピストン
(11a)環状溝
(12)ばね受板
(13)圧縮コイルばね（復帰手段）
(14)ラック
(15)駆動軸
(16)セクタギヤ
(17)コネクタ
(18)ストッパボルト
(19)給気孔
(20)エアパイプ（供給回路）
(21)排気孔（排出孔）
(22)排気パイプ（排出回路）
(23)Ｏリング
(24)めねじ孔
(25)センサ
(26)作動突片
(27)流体制御装置
(28)圧縮空気供給源
(29)常開式第１電磁切換弁
(30)常閉式第２電磁切換弁
(31)緊急遮断用電磁切換弁
(32)パイロットランプ
(33)流体制御装置
(34)常閉式電磁切換弁
(35)常閉式手動切換弁
(36)常開式パイロット切換弁
(37)常閉式パイロット切換弁

Claims (9)

  1. パイプライン等に接続されたバルブ本体と、このバルブ本体内の弁体の弁軸に連係されたピストンを有する単動式流体圧シリンダとを備え、通常時には、前記ピストンの側方のシリンダ室に圧力流体を供給し、ピストンを復帰手段に抗して一側方に押動させることにより、前記弁体を全開し、かつ緊急時には、前記シリンダ室の圧力流体を排出して、前記ピストンを他側方に移動させることにより、前記弁体を全閉するようにした緊急遮断弁装置において、
    前記流体圧シリンダにおけるシリンダ室の周壁に、流体の排出孔を、前記ピストンが弁体を全開している位置から閉弁方向に移動し、弁体が予め定めた一定の開度となったとき、ピストンの外周面により閉塞されるようにして設け、かつ前記シリンダ室に圧力流体を供給する供給回路と、前記排出孔に接続した排出回路とを、シリンダ室への圧力流体の供給を停止するとともに、前記排出回路と排出孔を開放し、前記ピストンが排出孔を閉じるまで、シリンダ室の流体を排出可能な流体制御装置に接続したことを特徴とする緊急遮断弁装置。
  2. ピストンの外周面に、排出孔を閉塞しうるＯリングを嵌合してなる請求項１記載の緊急遮断弁装置。
  3. 排出孔をオリフィス状とした請求項１または２記載の緊急遮断弁装置。
  4. 流体制御装置を、供給回路に設けた常開切換弁と、排出回路に設けた常閉切換弁とからなるものとし、前記常開切換弁を閉じて、常閉切換弁を開くことにより、シリンダ室の流体を排出させるようにした請求項１〜３のいずれかに記載の緊急遮断弁装置。
  5. 常開切換弁および常閉切換弁を、電磁切換弁よりなるものとした請求項４記載の緊急遮断弁装置。
  6. 流体制御装置を、供給回路と並列をなす回路に設けられた常閉式電磁切換弁と、供給回路に設けられ、前記常閉式電磁切換弁より吐出する流体の圧力により作動させられる常開パイロット切換弁と、排出回路に設けられ、前記常閉式電磁切換弁より吐出する流体の圧力により作動させられる常閉パイロット切換弁とからなり、前記常閉式電磁切換弁を開くことにより、前記常開パイロット切換弁を閉じ、かつ前記常閉パイロット切換弁を開いて、シリンダ室の流体を排出するようにした請求項１〜３のいずれかに記載の緊急遮断弁装置。
  7. 常閉式電磁切換弁を、流出入ポートを有する３ポート２位置切換型電磁弁とし、この電磁切換弁の一方の流出入ポートを、常開パイロット切換弁と常閉パイロット切換弁に、かつ他方の流出入ポートを、流体圧供給源に接続された常閉式手動切換弁に、それぞれ接続した請求項６記載の緊急遮断弁装置。
  8. 流体圧シリンダに、弁体が予め定めた開度まで閉弁されたことを検出する検出手段を設けた請求項１〜７のいずれかに記載の緊急遮断弁装置。
  9. 検出手段を、ピストンまたはピストンロッドの動きを検知するセンサと、このセンサからの信号により作動するランプ又はブザーよりなるものとした請求項８記載の緊急遮断弁装置。
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