JP4049109B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサ100の概略断面構成を示す図であり、図2は、図1中の丸で囲んだA部の拡大断面図である。
図3は、本発明の第2実施形態に係る圧力センサ110の概略断面構成を示す図であり、図4は、図3中の丸で囲んだB部の拡大断面図である。上記実施形態との相違点を中心に述べることにする。
なお、受圧部としては、上記したダイアフラムに限定されるものではなく、凹部の開口部から導入される圧力媒体の圧力を受圧可能であるものならばよい。
14…受圧部としてのダイアフラム、14a…排水穴としての貫通穴、
15…凹部の開口部としてのリングウェルド(環状部材)。
Claims (2)
- 下部に凹部(13、15)を有するハウジング(10)と、
前記凹部(13、15)内に設置され圧力を受圧する受圧部(14)とを備え、
前記凹部(13、15)の開口部(15)から圧力媒体が導入され、この圧力媒体による圧力を前記受圧部(14)が受圧するようになっており、前記凹部(13、15)を有する前記ハウジング(10)の下部側を地方向に向け、前記ハウジング(10)の上部側を天方向に向けて配置された状態で使用される圧力センサにおいて、
前記凹部(13、15)の壁面のうち前記受圧部(14)よりも前記凹部(13、15)の開口部(15)側の部位には、前記凹部(13、15)内に溜まる水を前記凹部(13、15)から排出するための排水穴(14a)が前記使用状態における前記天地方向に対して斜めに設けられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記凹部(13、15)の開口部は、前記ハウジング(10)に取り付けられた環状部材(15)により構成されており、
前記環状部材(15)と前記ハウジング(10)との間に前記受圧部としてのダイアフラム(14)が挟持されており、
前記排水穴(14a)は、前記環状部材(15)の内周面から外周面へと前記環状部材(15)を貫通する穴であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5541106B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2014-07-09 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
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