JP2005303308A - 半導体チップをフォイルから取り外す方法、及び半導体チップを実装するための装置 - Google Patents
半導体チップをフォイルから取り外す方法、及び半導体チップを実装するための装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005303308A JP2005303308A JP2005114075A JP2005114075A JP2005303308A JP 2005303308 A JP2005303308 A JP 2005303308A JP 2005114075 A JP2005114075 A JP 2005114075A JP 2005114075 A JP2005114075 A JP 2005114075A JP 2005303308 A JP2005303308 A JP 2005303308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foil
- semiconductor chip
- chip
- edge
- extruder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G07—CHECKING-DEVICES
- G07F—COIN-FREED OR LIKE APPARATUS
- G07F9/00—Details other than those peculiar to special kinds or types of apparatus
- G07F9/02—Devices for alarm or indication, e.g. when empty; Advertising arrangements in coin-freed apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V33/00—Structural combinations of lighting devices with other articles, not otherwise provided for
-
- G—PHYSICS
- G07—CHECKING-DEVICES
- G07F—COIN-FREED OR LIKE APPARATUS
- G07F11/00—Coin-freed apparatus for dispensing, or the like, discrete articles
- G07F11/02—Coin-freed apparatus for dispensing, or the like, discrete articles from non-movable magazines
- G07F11/04—Coin-freed apparatus for dispensing, or the like, discrete articles from non-movable magazines in which magazines the articles are stored one vertically above the other
- G07F11/16—Delivery means
- G07F11/165—Delivery means using xyz-picker or multi-dimensional article picking arrangements
- G07F11/1657—Delivery means using xyz-picker or multi-dimensional article picking arrangements the picking arrangements using suction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
- F21Y2115/00—Light-generating elements of semiconductor light sources
- F21Y2115/10—Light-emitting diodes [LED]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68381—Details of chemical or physical process used for separating the auxiliary support from a device or wafer
- H01L2221/68386—Separation by peeling
- H01L2221/6839—Separation by peeling using peeling wedge or knife or bar
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1121—Using vibration during delaminating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1126—Using direct fluid current against work during delaminating
- Y10T156/1132—Using vacuum directly against work during delaminating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/19—Delaminating means
- Y10T156/1922—Vibrating delaminating means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/19—Delaminating means
- Y10T156/1928—Differential fluid pressure delaminating means
- Y10T156/1944—Vacuum delaminating means [e.g., vacuum chamber, etc.]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】
半導体チップ(1)のフォイル(4)からの取り外し及び摘み上げは、フォイル(4)をチップ押出し器(6)の表面(9)から突き出している引き剥がし縁を越えて引っ張ることによって、半導体チップ(1)を少なくとも部分的にフォイル(4)から一時的に離して支持領域上のフォイル(4)に着地させるため、ウエハ・テーブル(5)をチップ押出し器(6)に対して移動させ、さらに支持領域に搬送された半導体チップ(1)をチップ把持具(7)で摘み上げることによって達成される。
【選択図】 図1
Description
1.取り外そうとする最初の半導体チップの前縁が、傾斜台の引き剥がし縁と平行かつ傾斜台の引き剥がし縁に沿って延びるまで、ウエハ・テーブルを第1の方向に移動させる。
2.取り外そうとする最初の半導体チップが、傾斜台の両長手縁に対して中央に位置するまで、ウエハ・テーブルを第2の方向に移動させる。さらに、
3.支持領域の溝を減圧し、フォイルを支持領域に向かって引き込む。
4.ウエハ・テーブルを第1の方向に、通常は取り外そうとする半導体チップの長さよりも1〜2mm程度長い所定の距離だけ、移動させる。
5.チップ把持具を支持領域上に搬送された半導体チップ上にと下降させ、減圧及び所定の摘み上げ力をチップ把持具に加え、チップ把持具を上昇させる。
5A.チップ把持具を、支持領域に搬送された半導体チップ上、または半導体チップの上方にわずかな間隔を残して下降させ、針を備える針ブロックを、針がフォイルを半導体チップに向かって押し付けるまで上昇させ、ついで針ブロックとチップ把持具を同時に上昇させる。
・傾斜台の引き剥がし縁における高さの差が、通常は0.3mmであって最大0.4mmときわめて小さいため、隣接する半導体チップは、たとえそれらの縁が傾斜台を越えて移動した場合でも、損傷を受けることがない。
・半導体チップのフォイルからの取り外しを、チップ把持具によって補助する必要がないため、ボンディングの繰り返しに必要な時間が、取り外しプロセスに左右されない。
・溝を備える支持領域が、隣の半導体チップと干渉することがないため、支持領域を大きな面積に形成することができ、同じ支持領域を小さな半導体チップだけでなく大きな半導体チップにも使用することができる。
・理想的には、傾斜台の幅が半導体チップの幅に一致していることである。その場合、傾斜台は、好ましくはチップ押出し器の空洞へと挿入される交換可能な挿入物として形成され、この空洞が減圧される。
4A.ウエハ・テーブル5を、取り外そうとする半導体チップ1の長さよりも短い所定の距離だけ、第1の方向に動かす。
4B.引き剥がし縁18がもはや支持領域13よりも突き出していない状態になるまで、傾斜台16を下降させる(この状態が図14に示されている)。
4C.ウエハ・テーブル5を、次の半導体チップ1’が傾斜台16の引き剥がし縁18に到達するまで、第1の方向に動かす(この状態が図15に示されている)。
4D.傾斜台16を上昇させる。
4E.ウエハ・テーブル5を、半導体チップ1が支持領域13上の設定位置に到達するまで、第1の方向に動かす(この状態が図8に示されている)。
4DD.フォイル4が半導体チップ1から完全に取り去られるまで、あるいは所望の程度に取り去られるまで、処理工程4AA〜4CCを繰り返す。
4EE.支持領域13の減圧を解除し、次の半導体チップ1’が所定の短い距離だけ傾斜台16の引き剥がし縁18を越えて突き出すまで、ウエハ・テーブル5を第1の方向に動かし、必要があれば、半導体チップ1が支持領域13上の設定位置に到達するまで、工程4AA〜4CCを繰り返す。
・傾斜台の引き剥がし縁における高さの差が、通常は0.3mmであって最大0.4mmときわめて小さいため、隣接する半導体チップは、たとえそれらの縁が傾斜台を越えて移動した場合でも、損傷を受けることがない。
・半導体チップのフォイルからの取り外しを、チップ把持具によって補助する必要がないため、ボンディングの繰り返しに必要な時間が、取り外しプロセスに左右されない。
・溝を備える支持領域が、隣の半導体チップと干渉することがないため、支持領域を大きな面積に形成することができ、同じ支持領域を小さな半導体チップだけでなく大きな半導体チップにも使用することができる。
Claims (10)
- 半導体チップ(1)をフォイル(4)から取り外し、該半導体チップ(1)をチップ把持具(7)で前記フォイル(4)から摘み上げるための方法であって、
前記フォイル(4)がウエハ・テーブル(5)上に固定されるとともに、前記フォイル(4)の一部がチップ押出し器(6)の表面上に位置しており、
該チップ押出し器(6)が、溝(12)を備える支持領域(13)及び引き剥がし縁(18)を備える傾斜台(16)を有し、該引き剥がし縁(18)が、該チップ押出し器(6)の表面(9)よりも上方に突き出しており、
前記傾斜台(16)において、前記引き剥がし縁(18)に隣接する表面(17)が凹状であり、
・前記支持領域(13)の前記溝(12)を減圧する工程、
・前記フォイル(4)を前記傾斜台(16)の前記引き剥がし縁(18)を越えて引っ張ることによって、前記半導体チップ(1)を少なくとも部分的に前記フォイル(4)から一時的に離して、前記支持領域(13)上の前記フォイル(4)に着地させるため、前記ウエハ・テーブル(5)を前記チップ押出し器(6)に対して前記傾斜台(16)の前記引き剥がし縁(18)に直交する方向に移動させる工程、及び
・前記支持領域(13)上に搬送された前記半導体チップ(1)を、前記フォイル(4)から摘み上げる工程
を有している方法。 - 前記フォイル(4)が前記半導体チップ(1)から完全に離れる前に、前記チップ押出し器(6)の前記表面(9)に対する前記引き出し縁(18)の高さを小さくする工程
をさらに有している請求項1に記載の方法。 - 半導体チップ(1)をフォイル(4)から取り外し、該半導体チップ(1)をチップ把持具(7)で前記フォイル(4)から摘み上げるための方法であって、
前記フォイル(4)がウエハ・テーブル(5)上に固定されるとともに、前記フォイル(4)の一部がチップ押出し器(6)の表面(9)上に位置しており、
該チップ押出し器(6)が、溝(12)を備える支持領域(13)及び引き剥がし縁(18)を備える傾斜台(16)を有し、該引き剥がし縁(18)が、該チップ押出し器(6)の表面(9)よりも上方に突き出しており、
前記傾斜台(16)において、前記引き剥がし縁(18)に隣接する表面(17)が凹状であり、
・前記支持領域(13)の前記溝(12)が減圧されていない状態で、前記フォイル(4)を前記傾斜台(16)の前記引き剥がし縁(18)を越えて引っ張るため、前記ウエハ・テーブル(5)を前記チップ押出し器(6)に対して前記傾斜台(16)の前記引き剥がし縁(18)に直交する方向に、前記半導体チップ(1)の長さの一部だけ移動させる工程、
・前記ウエハ・テーブル(5)と前記チップ押出し器(6)との間の相対移動を停止させる工程、
・前記支持領域(13)の前記溝(12)を減圧する工程、及び、最後に
・前記支持領域(13)上に搬送された前記半導体チップ(1)を、前記フォイル(4)から摘み上げる工程
を繰り返して有している方法。 - 前記フォイル(4)の前記半導体チップ(1)からの取り外しを助けるため、前記傾斜台(16)に超音波振動を加える工程
をさらに有している請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。 - 半導体チップを基板上に実装するための装置であって、
・半導体チップを有するフォイル(4)を収容するためのウエハ・テーブル(5)、
・溝(12)が設けられてなる支持領域(13)を有する表面(9)と、傾斜台(16)とを備え、該傾斜台(16)の表面(17)が凹状に形成され前記表面(9)から突き出した引き剥がし縁(18)を終端としているチップ押出し器(6)、及び
・前記支持領域(13)に搬送された半導体チップ(1)を前記フォイル(4)から摘み上げて、該半導体チップ(1)を前記基板上に配置するチップ把持具
を備えており、
前記ウエハ・テーブル(5)が前記チップ押出し器(6)に対して可動である
装置。 - 前記引き剥がし縁(18)が、最大で0.4mmだけ前記チップ押出し器(6)の前記表面(9)から突き出している請求項5に記載の装置。
- 前記溝(12)が、前記引き剥がし縁(18)に直交するように延びている請求項5または6に記載の装置。
- 前記傾斜台(16)の前記凹状の表面(17)が、長手軸が前記引き剥がし縁(18)と平行に延びている円柱の表面である請求項5〜7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記引き剥がし縁(18)の高さを調節するための手段をさらに備えている請求項5〜8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記傾斜台(16)に超音波振動を加えるため、超音波振動子(27)をさらに備えている請求項5〜9のいずれか一項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP04101498.6 | 2004-04-13 | ||
EP04101498 | 2004-04-13 | ||
EP04103054 | 2004-06-29 | ||
EP04103054.5 | 2004-06-29 | ||
EP04106169A EP1587138B1 (de) | 2004-04-13 | 2004-11-29 | Einrichtung für die Montage von Halbleiterchips und Verfahren zum Ablösen eines Halbleiterchips von einer Folie |
EP04106169.8 | 2004-11-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005303308A true JP2005303308A (ja) | 2005-10-27 |
JP4712424B2 JP4712424B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=34929964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005114075A Expired - Fee Related JP4712424B2 (ja) | 2004-04-13 | 2005-04-12 | 半導体チップをフォイルから取り外す方法、及び半導体チップを実装するための装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7238593B2 (ja) |
EP (1) | EP1587138B1 (ja) |
JP (1) | JP4712424B2 (ja) |
KR (1) | KR101143227B1 (ja) |
MY (1) | MY139253A (ja) |
SG (1) | SG116586A1 (ja) |
TW (1) | TWI254346B (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010171426A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Esec Ag | 金型排出装置 |
JP2012508460A (ja) * | 2008-11-12 | 2012-04-05 | エセック アーゲー | フォイルからの半導体チップの剥離及び取外し方法 |
JP2012182330A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | ダイピックアップ装置 |
JP2013065712A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | ダイボンダ及びボンディング方法 |
JP2013065731A (ja) * | 2011-09-19 | 2013-04-11 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | ダイボンダ及びボンディング方法 |
US8430961B2 (en) | 2007-09-07 | 2013-04-30 | Applied Materials, Inc. | Source gas flow path control in PECVD system to control a by-product film deposition on inside chamber |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009064938A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Shinkawa Ltd | 半導体ダイのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
WO2009056469A1 (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | Oerlikon Assembly Equipment Ag, Steinhausen | Foil perforating needle for detaching a small die from a foil |
TWI427713B (zh) * | 2008-10-23 | 2014-02-21 | Gallant Prec Machining Co Ltd | 晶片與膠膜分離方法與晶片取出方法 |
MY150953A (en) * | 2008-11-05 | 2014-03-31 | Esec Ag | Die-ejector |
JP4397429B1 (ja) * | 2009-03-05 | 2010-01-13 | 株式会社新川 | 半導体ダイのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
US8141612B2 (en) * | 2009-04-02 | 2012-03-27 | Asm Assembly Automation Ltd | Device for thin die detachment and pick-up |
JP6023724B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2016-11-09 | ブランソン・ウルトラソニックス・コーポレーション | 積層体を分離するための方法および装置 |
JP2015065367A (ja) * | 2013-09-26 | 2015-04-09 | 株式会社テセック | 剥離装置およびピックアップシステム |
US20160167948A1 (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-16 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Vent Attachment System For Micro-Electromechanical Systems |
IT201600105300A1 (it) * | 2016-10-19 | 2018-04-19 | Manz Italy Srl | Metodo e apparato di lavorazione |
WO2019195805A1 (en) * | 2018-04-06 | 2019-10-10 | Sunpower Corporation | Systems for laser assisted metallization of substrates |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001118862A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-04-27 | Nec Machinery Corp | ペレットピックアップ装置 |
JP2003163186A (ja) * | 2002-10-16 | 2003-06-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体チップ製造方法 |
WO2003071848A1 (en) * | 2002-02-15 | 2003-08-28 | Motorola, Inc. | Process and apparatus for disengaging semiconductor die from an adhesive film |
JP2005328054A (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-24 | Asm Assembly Automation Ltd | 半導体チップの分離装置及び分離方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE200834C (ja) | ||||
US4778326A (en) | 1983-05-24 | 1988-10-18 | Vichem Corporation | Method and means for handling semiconductor and similar electronic devices |
JPS60114205A (ja) * | 1983-11-25 | 1985-06-20 | ワイケイケイ株式会社 | 隠しスライドファスナ−チェ−ンのスペ−ス形成方法及び装置 |
US4921564A (en) | 1988-05-23 | 1990-05-01 | Semiconductor Equipment Corp. | Method and apparatus for removing circuit chips from wafer handling tape |
CA2031776A1 (en) * | 1989-12-08 | 1991-06-09 | Masanori Nishiguchi | Pickup method and the pickup apparatus for chip-type part |
JPH04320046A (ja) | 1991-04-18 | 1992-11-10 | Fujitsu Ltd | 半導体チップのピックアップ装置 |
KR100278137B1 (ko) * | 1997-09-04 | 2001-01-15 | 가나이 쓰도무 | 반도체소자의 탑재방법 및 그 시스템, 반도체소자 분리장치 및ic카드의 제조방법 |
US6039833A (en) * | 1998-03-04 | 2000-03-21 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for component pickup |
US5966903A (en) * | 1998-05-27 | 1999-10-19 | Lucent Technologies Inc. | High speed flip-chip dispensing |
JP4021614B2 (ja) * | 2000-12-11 | 2007-12-12 | 株式会社東芝 | 半導体素子のピックアップ用治具、半導体素子のピックアップ装置、半導体素子のピックアップ方法、半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
JP4482243B2 (ja) | 2001-03-13 | 2010-06-16 | 株式会社新川 | ダイのピックアップ方法及びピックアップ装置 |
JP3789802B2 (ja) * | 2001-10-19 | 2006-06-28 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
TW200414992A (en) | 2002-11-29 | 2004-08-16 | Esec Trading Sa | Method for picking semiconductor chips from a foil |
US6896762B2 (en) * | 2002-12-18 | 2005-05-24 | Industrial Technology Research Institute | Separation method for object and glue membrane |
US20050274457A1 (en) * | 2004-05-28 | 2005-12-15 | Asm Assembly Automation Ltd. | Peeling device for chip detachment |
US7238258B2 (en) * | 2005-04-22 | 2007-07-03 | Stats Chippac Ltd. | System for peeling semiconductor chips from tape |
-
2004
- 2004-11-29 EP EP04106169A patent/EP1587138B1/de not_active Not-in-force
-
2005
- 2005-03-23 SG SG200501843A patent/SG116586A1/en unknown
- 2005-04-01 TW TW094110487A patent/TWI254346B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-04-07 MY MYPI20051561A patent/MY139253A/en unknown
- 2005-04-08 US US11/101,750 patent/US7238593B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-12 JP JP2005114075A patent/JP4712424B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-12 KR KR1020050030505A patent/KR101143227B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-05-23 US US11/805,661 patent/US7719125B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001118862A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-04-27 | Nec Machinery Corp | ペレットピックアップ装置 |
US6561743B1 (en) * | 1999-11-09 | 2003-05-13 | Nec Machinery Corporation | Pellet picking method and pellet picking apparatus |
WO2003071848A1 (en) * | 2002-02-15 | 2003-08-28 | Motorola, Inc. | Process and apparatus for disengaging semiconductor die from an adhesive film |
JP2003163186A (ja) * | 2002-10-16 | 2003-06-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体チップ製造方法 |
JP2005328054A (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-24 | Asm Assembly Automation Ltd | 半導体チップの分離装置及び分離方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8430961B2 (en) | 2007-09-07 | 2013-04-30 | Applied Materials, Inc. | Source gas flow path control in PECVD system to control a by-product film deposition on inside chamber |
JP2012508460A (ja) * | 2008-11-12 | 2012-04-05 | エセック アーゲー | フォイルからの半導体チップの剥離及び取外し方法 |
JP2010171426A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Esec Ag | 金型排出装置 |
JP2012182330A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | ダイピックアップ装置 |
JP2013065712A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | ダイボンダ及びボンディング方法 |
JP2013065731A (ja) * | 2011-09-19 | 2013-04-11 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | ダイボンダ及びボンディング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4712424B2 (ja) | 2011-06-29 |
EP1587138B1 (de) | 2007-05-30 |
EP1587138A2 (de) | 2005-10-19 |
EP1587138A3 (de) | 2006-07-12 |
US20050224965A1 (en) | 2005-10-13 |
SG116586A1 (en) | 2005-11-28 |
US7719125B2 (en) | 2010-05-18 |
US7238593B2 (en) | 2007-07-03 |
TW200537584A (en) | 2005-11-16 |
KR20060045639A (ko) | 2006-05-17 |
MY139253A (en) | 2009-09-30 |
KR101143227B1 (ko) | 2012-05-18 |
TWI254346B (en) | 2006-05-01 |
US20070228539A1 (en) | 2007-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4712424B2 (ja) | 半導体チップをフォイルから取り外す方法、及び半導体チップを実装するための装置 | |
KR101405768B1 (ko) | 반도체장치의 제조방법 | |
JP4515326B2 (ja) | 半導体チップの分離装置及び分離方法 | |
KR101135903B1 (ko) | 박형 다이 분리 및 픽업 장치 | |
EP1601005A2 (en) | Peeling device for chip detachment | |
EP2296168A1 (en) | Tool for picking a planar object from a supply station | |
JP2008034709A (ja) | 半導体ウエハへの粘着テープ貼付け方法および半導体ウエハからの保護テープ剥離方法 | |
CN101529575A (zh) | 芯片的拾取方法及拾取装置 | |
JP2005175384A (ja) | 保護テープの貼付方法及び剥離方法 | |
JP2008034710A (ja) | 半導体ウエハへの粘着テープ貼付け方法および半導体ウエハからの保護テープ剥離方法 | |
JP2004221469A (ja) | 粘着テープ貼付け方法およびその装置 | |
US20100077590A1 (en) | Die pickup method | |
JP4549172B2 (ja) | ウエハマウント方法およびこれを用いたウエハマウント装置 | |
US8715457B2 (en) | Method for detaching and removing a semiconductor chip from a foil | |
US20100038031A1 (en) | Pick-up apparatus for semiconductor chips and pick-up method for semiconductor chips using the same | |
JP2002353296A (ja) | ウェハの保護テープ剥離装置およびウェハのマウント装置 | |
JP2003118859A (ja) | 可撓性板状体の取出装置および取出方法 | |
JP2022164638A (ja) | 空気放出による粘着テープからのダイの取り外し | |
JP2004241685A (ja) | ペレット搬送装置、ペレットボンディング方法およびペレットボンディング装置 | |
JP4134774B2 (ja) | 電子部品供給方法 | |
JP2005116588A (ja) | チップ部品の製造方法 | |
JP2010040657A (ja) | チップ剥離装置およびチップ剥離方法 | |
JP7377654B2 (ja) | ダイボンディング装置、剥離ユニット、コレットおよび半導体装置の製造方法 | |
CN113782478A (zh) | 粘合片粘贴方法、粘合片粘贴装置和半导体产品的制造方法 | |
JP2006086347A (ja) | チップの実装方法及び実装装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110323 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |