JP2005285823A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 カセット22に対してアーム30を用いてガラス基板25を装着脱する基板搬送装置であって、前記アーム30を、ガラス基板25の両端部分を支持する側部支持アーム31A,31Bと、この一対の側部支持アーム31A,31B間に位置すると共にガラス基板25の略中央部分を支持する中央支持アーム32とを有した構成とし、かつ、側部支持アーム31A,31Bと中央支持アーム32とが、カセット22に収納されたガラス基板25に発生する撓みの形状に対応した段差を有する構成とする。
【選択図】 図4
Description
基板収納容器に対してアームを用いて基板を装着脱する基板搬送装置であって、
前記アームを、前記基板の両端部分を支持する複数の側部支持アームと、前記複数の側部支持アームの間に位置すると共に前記基板の略中央部分を支持する中央部支持アームとを有した構成とし、
かつ、前記側部支持アームと前記中央部支持アームとが、前記基板収納容器に収納された前記基板に発生する撓みの形状に対応した段差を有する構成としたことを特徴とするものである。
請求項1記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームと前記中央部支持アームとを、前記基板の撓みを是正する方向に相対的に移動可能な構成としたことを特徴とするものである。
請求項2記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームを固定し、前記中央部支持アームが前記側部支持アームに対して移動するよう構成したことを特徴とするものである。
請求項2または3記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームに、前記基板の変位に伴い回転するローラを設けたことを特徴とするものである。
請求項4記載の基板搬送装置において、
前記回転ローラを駆動する駆動部を設けたことを特徴とするものである。
カセット22は、図4に示すようにコンベア装置23に搭載されており、図中矢印Y1,Y2方向に搬送される構成とされている。搬送ロボット26によるガラス基板25の装着及び取りだし処理が終了すると、カセット22はコンベア装置23により次の処理装置に向け搬送される構成とされている。コンベア装置23の搬送先においても、図4に示したと同様の基板搬送装置20が設けられており、搬送されたカセット22からガラス基板25の装着脱処理が行われる。
22 カセット
23 コンベア装置
25 ガラス基板
26 搬送ロボット
27 側壁
28 基板支持部
30,40,50 アーム
31A,31B,41A,41B,51A,51B 側部支持アーム
32,42,52 中央支持アーム
43 昇降装置
55 アーム本体
56A,56B ローラ
57 軸受
58 モータ
Claims (5)
- 基板収納容器に対してアームを用いて基板を装着脱する基板搬送装置であって、
前記アームを、前記基板の両端部分を支持する複数の側部支持アームと、前記複数の側部支持アームの間に位置すると共に前記基板の略中央部分を支持する中央部支持アームとを有した構成とし、
かつ、前記側部支持アームと前記中央部支持アームとが、前記基板収納容器に収納された前記基板に発生する撓みの形状に対応した段差を有する構成としたことを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項1記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームと前記中央部支持アームとを、前記基板の撓みを是正する方向に相対的に移動可能な構成としたことを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームを固定し、前記中央部支持アームが前記側部支持アームに対して移動するよう構成したことを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2または3記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームに、前記基板の変位に伴い回転するローラを設けたことを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項4記載の基板搬送装置において、
前記回転ローラを駆動する駆動部を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
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