JP2005285823A - Substrate transport device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a substrate transport device suitably applicable to a large glass substrate in which even a large and thin substrate is set in a substrate container and removed therefrom positively without increasing the size of the substrate container. <P>SOLUTION: In the substrate transport device for fixing/removing a glass substrate 25 to/from a cassette 22 using an arm 30, the arm 30 has side part supporting arms 31A and 31B for supporting the opposite end parts of the glass substrate 25, and a central supporting arm 32 located between the pair of side part supporting arms 31A and 31B and supporting the substantially central part of the glass substrate 25. The side part supporting arms 31A and 31B and the central supporting arm 32 has a level difference corresponding to the profile of flexure of the glass substrate 25 contained in the cassette 22. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は基板搬送装置に係り、特に大型のガラス基板に適用して好適な基板搬送装置に関する。   The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly to a substrate transfer apparatus suitable for application to a large glass substrate.

一般に、基板搬送装置を用いて搬送処理が行われる基板は種々存在するが、その一つとして液晶表示装置に用いるガラス基板がある。図１は、液晶表示装置用のガラス基板５をカセット２に収納或は取り出す基板搬送装置１を示している。この基板搬送装置１は、大略すると搬送ロボット６とアーム１０とにより構成されており、カセット２に対してガラス基板５を装着或は取り出し処理を行なう機能を奏する。   In general, there are various types of substrates that are transferred using a substrate transfer device, and one of them is a glass substrate used for a liquid crystal display device. FIG. 1 shows a substrate transfer device 1 for storing or taking out a glass substrate 5 for a liquid crystal display device in a cassette 2. The substrate transfer apparatus 1 is roughly constituted by a transfer robot 6 and an arm 10 and has a function of mounting or removing the glass substrate 5 from the cassette 2.

カセット２は、その両側壁７の内側に複数の基板支持部８が形成されている（特許文献１）。ガラス基板５は、左右一対の基板支持部８に支持されることにより、カセット２内に収納される（図３参照）。通常、ガラス基板５はこのカセット２に対し、１０枚から２０枚単位で収納される。   The cassette 2 has a plurality of substrate support portions 8 formed inside the side walls 7 (Patent Document 1). The glass substrate 5 is accommodated in the cassette 2 by being supported by the pair of left and right substrate support portions 8 (see FIG. 3). Usually, the glass substrate 5 is stored in the cassette 2 in units of 10 to 20 sheets.

このカセット２は、図１に示す例ではコンベア装置３に搭載されており、搬送ロボット６によるガラス基板５の装着及び取りだし処理が終了すると、カセット２はコンベア装置３により搬送される構成とされている。コンベア装置３の搬送先においても、図１に示したと同様の基板搬送装置１が設けられており、搬送されたカセット２からガラス基板５の装着脱処理が行われる。   The cassette 2 is mounted on the conveyor device 3 in the example shown in FIG. 1, and the cassette 2 is transported by the conveyor device 3 when the loading and unloading processing of the glass substrate 5 by the transport robot 6 is completed. Yes. A substrate transport device 1 similar to that shown in FIG. 1 is also provided at the transport destination of the conveyor device 3, and the glass substrate 5 is attached and detached from the transported cassette 2.

ここで、カセット２に収納されたガラス基板５を取り出すには、基板搬送装置１のアーム１０を基板支持部８により支持されているガラス基板５の下部に差し込んで取り出すことが一般的である（特許文献２）。図２は、従来において一般的に用いられていたアーム１０を拡大して示している。同図に示すように、アーム１０は側部支持アーム１１Ａ，１１Ｂ、及び中央支持アーム１２とを有した三叉状の構成とされている。   Here, in order to take out the glass substrate 5 stored in the cassette 2, it is general to insert the arm 10 of the substrate transport apparatus 1 into the lower part of the glass substrate 5 supported by the substrate support 8 (see FIG. Patent Document 2). FIG. 2 is an enlarged view of the arm 10 that is generally used in the past. As shown in the figure, the arm 10 has a three-pronged configuration having side support arms 11A and 11B and a central support arm 12.

この各支持アーム１１Ａ，１１Ｂ，１２は、全て同じ高さ（ガラス基板５をアーム１０に搭載する方向に対する高さであり、図中の上下方向）とされていた。即ち、各支持アーム１１Ａ，１１Ｂ，１２は、同一面にあるよう形成されていた。   Each of the support arms 11A, 11B, and 12 has the same height (the height relative to the direction in which the glass substrate 5 is mounted on the arm 10 and the vertical direction in the figure). That is, the support arms 11A, 11B, and 12 are formed to be on the same plane.

上記構成のアーム１０においてガラス基板５をカセット２から取り出す際、図１に示すように、アーム１０の側部支持アーム１１Ａ，１１Ｂはガラス基板５の両側部を支持し、中央支持アーム１２はガラス基板５の中央部を支持する。よって、従来の基板搬送装置１では、ガラス基板５をアーム１０により確実に支持することができた。
特開２０００−００７１４８号公報 特開２００２−２３１８０１号公報 When the glass substrate 5 is taken out from the cassette 2 in the arm 10 having the above-described configuration, as shown in FIG. 1, the side support arms 11A and 11B of the arm 10 support both sides of the glass substrate 5, and the center support arm 12 is made of glass. A central portion of the substrate 5 is supported. Therefore, in the conventional substrate transfer apparatus 1, the glass substrate 5 can be reliably supported by the arm 10.
JP 2000-007148 A JP 2002-231801 A

ところで、液晶表示装置は年々大型化しており、それに伴いガラス基板５も大型化する傾向にある。また、液晶表示装置の軽量化に対する市場からの要求が強く、その対応策としてガラス基板５の薄型化も進んでいる。よって、液晶用のガラス基板５は、大型化，薄型化の方向に動いている（具体例としては、縦1500mm×横1800mm、厚さ0.７mm）。   By the way, the liquid crystal display device is getting larger year by year, and the glass substrate 5 tends to be enlarged accordingly. Further, there is a strong demand from the market for weight reduction of the liquid crystal display device, and the glass substrate 5 is being made thinner as a countermeasure. Therefore, the glass substrate 5 for liquid crystal is moving in the direction of increasing the size and reducing the thickness (as a specific example, the vertical 1500 mm × the horizontal 1800 mm, the thickness 0.7 mm).

図３はカセット２を正面から見た図であり、上記のように大型化，薄型化したガラス基板５をカセット２に装着した状態を示している。従来のように小型で厚いガラス基板５の場合には、ガラス基板５は撓むようなことはなかった。しかしながら、大型化及び薄型化したガラス基板５では、図示されるようにガラス基板５は大きく撓んでしまう。   FIG. 3 is a view of the cassette 2 as viewed from the front, and shows a state in which the glass substrate 5 that has been enlarged and thinned as described above is mounted on the cassette 2. In the case of a small and thick glass substrate 5 as in the prior art, the glass substrate 5 did not bend. However, in the glass substrate 5 that is increased in size and thickness, the glass substrate 5 is greatly bent as illustrated.

このようにガラス基板５が撓んだ場合、同一高さの支持アーム１１Ａ，１１Ｂ，１２を有したアーム１０でガラス基板５をカセット２から取り出すためには、アーム１０を撓んだガラス基板５の最も低い位置（図３に矢印Ａで示す位置）よりも更に低い位置に差し込む必要がある。また、指し込んだ状態で、取り出そうとするガラス基板５の下に装着されているガラス基板５とアーム１０とが干渉しないようにする必要がある。   When the glass substrate 5 is bent in this way, in order to take out the glass substrate 5 from the cassette 2 by the arm 10 having the support arms 11A, 11B, and 12 having the same height, the glass substrate 5 that has been bent. Must be inserted at a position lower than the lowest position (position indicated by arrow A in FIG. 3). Further, it is necessary to prevent the glass substrate 5 mounted under the glass substrate 5 to be taken out and the arm 10 from interfering with each other.

このため、従来の基板搬送装置１を用い、大型化及び薄型化して撓みやすくなったガラス基板５を搬送しようとした場合、カセット２に収納された時の隣接するガラス基板５の間のピッチ（図３に矢印Ｈ１で示す。以下、棚板ピッチという）が広くする必要がある。このように、カセット２の棚ピッチＨ１を広げるということは、必然的にカセット２のサイズが大きくなり、カセット２を運搬するコンベア装置３、カセット２を収納するクリーンストッカ（図示せず）の大型化につながり、投資の面、建屋面積の面で問題となる。   For this reason, when it is going to convey the glass substrate 5 which became large and thin and became easy to bend using the conventional board | substrate conveyance apparatus 1, the pitch between the adjacent glass substrates 5 when accommodated in the cassette 2 ( This is indicated by an arrow H1 in Fig. 3 (hereinafter referred to as a shelf pitch). Thus, widening the shelf pitch H1 of the cassette 2 inevitably increases the size of the cassette 2, and the conveyor device 3 for transporting the cassette 2 and the large size of a clean stocker (not shown) for storing the cassette 2 are used. This is a problem in terms of investment and building area.

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、大型化及び薄型化した基板であっても基板収納容器の大型化を伴わず基板収納容器に対して確実に基板の装着脱を行ないうる基板搬送装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and even when the substrate is enlarged and thinned, the substrate can be securely attached to and detached from the substrate storage container without increasing the size of the substrate storage container. An object is to provide a substrate transfer device.

上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。   In order to solve the above-described problems, the present invention is characterized by the following measures.

請求項１記載の発明は、
基板収納容器に対してアームを用いて基板を装着脱する基板搬送装置であって、
前記アームを、前記基板の両端部分を支持する複数の側部支持アームと、前記複数の側部支持アームの間に位置すると共に前記基板の略中央部分を支持する中央部支持アームとを有した構成とし、
かつ、前記側部支持アームと前記中央部支持アームとが、前記基板収納容器に収納された前記基板に発生する撓みの形状に対応した段差を有する構成としたことを特徴とするものである。 The invention described in claim 1
A substrate transfer device that attaches / detaches a substrate to / from a substrate storage container using an arm,
The arm includes a plurality of side support arms that support both end portions of the substrate, and a center support arm that is positioned between the plurality of side support arms and supports a substantially central portion of the substrate. With configuration,
And the said side part support arm and the said center part support arm were set as the structure which has the level | step difference corresponding to the shape of the bending generate | occur | produced in the said board | substrate accommodated in the said board | substrate storage container.

上記発明によれば、基板が基板収納容器に撓みが生じた状態で収納されていたとしても、基板の両端部分を支持する複数の側部支持アームと、基板の中央部分を支持する中央部支持アームとが、基板収納容器に収納された基板に発生する撓みの形状に対応した段差を有しているため、確実に基板を基板収納容器に対して着脱することができる。   According to the above invention, even if the substrate is stored in the substrate storage container in a bent state, the plurality of side support arms that support both end portions of the substrate and the center portion support that supports the center portion of the substrate. Since the arm has a step corresponding to the shape of the flexure generated in the substrate stored in the substrate storage container, the substrate can be securely attached to and detached from the substrate storage container.

また、請求項２記載の発明は、
請求項１記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームと前記中央部支持アームとを、前記基板の撓みを是正する方向に相対的に移動可能な構成としたことを特徴とするものである。 The invention according to claim 2
The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein
The side support arm and the center support arm are configured to be relatively movable in a direction to correct the deflection of the substrate.

上記発明によれば、側部支持アームと中央部支持アームとを基板の撓みを是正する方向に相対的に移動可能な構成としたため、撓みの生じた基板をアーム上で撓みのない状態に変形させることができる。   According to the above invention, since the side support arm and the central support arm are configured to be relatively movable in the direction of correcting the bending of the substrate, the substrate on which the bending has occurred is deformed to a state without bending on the arm. Can be made.

また、請求項３記載の発明は、
請求項２記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームを固定し、前記中央部支持アームが前記側部支持アームに対して移動するよう構成したことを特徴とするものである。 The invention according to claim 3
The substrate transfer apparatus according to claim 2, wherein
The side support arm is fixed, and the center support arm moves with respect to the side support arm.

上記発明によれば、中央部支持アームが固定した側部支持アームに対して移動する構成としたため、中央部支持アームを側部支持アームと面一となるよう移動させることにより基板の撓みを是正することが可能となる。   According to the above invention, since the central support arm moves relative to the fixed side support arm, the central support arm is moved to be flush with the side support arm, thereby correcting the bending of the substrate. It becomes possible to do.

また、請求項４記載の発明は、
請求項２または３記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームに、前記基板の変位に伴い回転するローラを設けたことを特徴とするものである。 The invention according to claim 4
In the board | substrate conveyance apparatus of Claim 2 or 3,
The side support arm is provided with a roller that rotates as the substrate is displaced.

上記発明によれば、側部支持アームに基板の変位に伴い回転するローラを設けたことにより、撓みを是正するために基板が変位する際、基板と側部支持アームとが擦れる（摺動する）ことを防止でき、基板に摺動に伴い傷が発生することを防止できる。   According to the above invention, by providing the side support arm with the roller that rotates with the displacement of the substrate, the substrate and the side support arm rub (slide) when the substrate is displaced to correct the deflection. ), And it is possible to prevent the substrate from being damaged due to sliding.

また、請求項５記載の発明は、
請求項４記載の基板搬送装置において、
前記回転ローラを駆動する駆動部を設けたことを特徴とするものである。 The invention according to claim 5
The substrate transfer apparatus according to claim 4, wherein
A drive unit for driving the rotating roller is provided.

上記発明によれば、回転ローラを駆動する駆動部を設けたことにより、より確実に基板と側部支持アームとが擦れる（摺動する）ことを防止できる。   According to the above invention, by providing the driving unit that drives the rotating roller, it is possible to prevent the substrate and the side support arm from being rubbed (slid) more reliably.

上述の如く本発明によれば、基板が基板収納容器に撓みが生じた状態で収納されていたとしても、確実に基板を基板収納容器に対して着脱することができると共に、基板の撓みを是正することも可能となる。   As described above, according to the present invention, even if the substrate is stored in a state where the substrate storage container is bent, the substrate can be reliably attached to and detached from the substrate storage container, and the substrate is corrected for bending. It is also possible to do.

次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。   Next, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

図４は、本発明の第１実施例である基板搬送装置２０を示している。本発明に係る基板搬送装置２０は、種々の基板に対して適用することが可能であるが、以下説明する実施例では液晶表示装置に用いるガラス基板５を搬送する基板搬送装置２０を例に挙げて説明するものとする。   FIG. 4 shows a substrate transfer apparatus 20 according to the first embodiment of the present invention. The substrate transport apparatus 20 according to the present invention can be applied to various substrates. In the embodiments described below, the substrate transport apparatus 20 that transports the glass substrate 5 used in the liquid crystal display device is taken as an example. Shall be explained.

基板搬送装置２０は、大略すると搬送ロボット２６とアーム３０とにより構成されている。搬送ロボット２６は、アーム３０を図中矢印Ｚ１，Ｚ２方向及びＸ１，Ｘ２方向に移動する。この搬送ロボット２６の動作により、アーム３０はガラス基板２５をカセット２２（基板収納容器）に対して装着或は取り出し処理を行なう。   The substrate transfer device 20 is generally composed of a transfer robot 26 and an arm 30. The transfer robot 26 moves the arm 30 in the directions of arrows Z1, Z2 and X1, X2 in the drawing. By the operation of the transfer robot 26, the arm 30 performs a process of mounting or removing the glass substrate 25 on the cassette 22 (substrate housing container).

カセット２２は、その両側壁２７の内側に複数の基板支持部２８が形成されている。ガラス基板２５は、左右一対の基板支持部２８に支持されることにより、カセット２２内に収納される。通常、ガラス基板２５はこのカセット２２に対し、１０枚から２０枚単位で収納される。   The cassette 22 has a plurality of substrate support portions 28 formed inside the side walls 27 thereof. The glass substrate 25 is accommodated in the cassette 22 by being supported by a pair of left and right substrate support portions 28. Usually, the glass substrate 25 is stored in the cassette 22 in units of 10 to 20 sheets.

前記したように、液晶表示装置の大型化及び軽量化に伴い、これに用いるガラス基板２５も大型化及び薄型化する傾向にある（具体例としては、縦1500mm×横1800mm、厚さ0.７mm）。このようにガラス基板２５が大型化及び薄型化すると撓みやすくなり、よって両端を基板支持部２８により支持された状態でガラス基板２５がカセット２２に収納された場合、ガラス基板２５は図６に示されるように撓んでしまうことは前述した通りである。この際、ガラス基板２５は、下に凸となる湾曲形状に大きく撓んでしまう
カセット２２は、図４に示すようにコンベア装置２３に搭載されており、図中矢印Ｙ１，Ｙ２方向に搬送される構成とされている。搬送ロボット２６によるガラス基板２５の装着及び取りだし処理が終了すると、カセット２２はコンベア装置２３により次の処理装置に向け搬送される構成とされている。コンベア装置２３の搬送先においても、図４に示したと同様の基板搬送装置２０が設けられており、搬送されたカセット２２からガラス基板２５の装着脱処理が行われる。 As described above, along with the increase in size and weight of the liquid crystal display device, the glass substrate 25 used for the liquid crystal display device tends to be increased in size and thickness (specific examples are 1500 mm long × 1800 mm wide, 0.7 mm thick). ). Thus, when the glass substrate 25 is enlarged and thinned, it becomes easy to bend. Therefore, when the glass substrate 25 is accommodated in the cassette 22 with both ends supported by the substrate support portion 28, the glass substrate 25 is shown in FIG. As described above, it is bent as described above. At this time, the glass substrate 25 is greatly bent into a downwardly convex curved shape. The cassette 22 is mounted on the conveyor device 23 as shown in FIG. 4 and is conveyed in the directions of arrows Y1 and Y2 in the figure. It is configured. When the loading and unloading processing of the glass substrate 25 by the transport robot 26 is completed, the cassette 22 is transported by the conveyor device 23 toward the next processing device. Also at the transfer destination of the conveyor device 23, a substrate transfer device 20 similar to that shown in FIG. 4 is provided, and the glass substrate 25 is loaded and unloaded from the transferred cassette 22.

図５は、アーム３０を拡大して示す図である。アーム３０は、図５における右側に位置する側部支持アーム３１Ａと、左側に位置する側部支持アーム３１Ｂと、そして一対の側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂの中央に位置する中央支持アーム３２とにより構成されている。従って、アーム３０によりガラス基板２５を支持する際、側部支持アーム３１Ａはガラス基板２５の右側を支持し、側部支持アーム３１Ｂはガラス基板２５の左側を支持し、そして中央支持アーム３２はガラス基板２５の中央を支持する。   FIG. 5 is an enlarged view of the arm 30. The arm 30 includes a side support arm 31A located on the right side in FIG. 5, a side support arm 31B located on the left side, and a center support arm 32 located in the center of the pair of side support arms 31A and 31B. It is configured. Therefore, when the glass substrate 25 is supported by the arm 30, the side support arm 31A supports the right side of the glass substrate 25, the side support arm 31B supports the left side of the glass substrate 25, and the center support arm 32 is made of glass. The center of the substrate 25 is supported.

上記の構成において、本実施例に係るアーム３０は、更に側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂと中央部支持アーム３２とが図中矢印Ｚ１，Ｚ２方向に段差を有するよう構成されている。具体的には、側部支持アーム３１Ａ，３１ＢはＺ１，Ｚ２方向の高さが等しく、よって同一平面にあるよう構成さているのに対し、中央支持アーム３２は側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂに対して図中矢印ΔＨで示す寸法（以下、段差量という）だけＺ２方向、即ち下方向にずれた位置に配設されている。   In the above configuration, the arm 30 according to the present embodiment is further configured such that the side support arms 31A and 31B and the center support arm 32 have steps in the directions of arrows Z1 and Z2 in the drawing. Specifically, the side support arms 31A and 31B have the same height in the Z1 and Z2 directions, and are thus configured to be in the same plane, while the center support arm 32 is relative to the side support arms 31A and 31B. In the figure, they are arranged at a position shifted in the Z2 direction, that is, in the downward direction by a dimension indicated by an arrow ΔH (hereinafter referred to as a step amount).

この段差量ΔＨは、カセット２２に収納されたガラス基板２５に発生する撓みの形状に対応して設定されている。即ち、図６に示されるように、ガラス基板２５の取り出しのためにアーム３０をカセット２２に差し込んだ際、中央支持アーム３２はガラス基板２５の最下部位置（図６に矢印Ａで示す位置）と当接し、かつ、側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂは、最下部位置Ａより左右離間した位置であり、ガラス基板２５が撓んでいるために最下部位置Ａよりも上方（Ｚ１方向）に位置したガラス基板２５の側部位置（図６に矢印Ｂで示す位置）と当接するよう構成されている。   This step amount ΔH is set in accordance with the shape of the bending that occurs in the glass substrate 25 housed in the cassette 22. That is, as shown in FIG. 6, when the arm 30 is inserted into the cassette 22 for taking out the glass substrate 25, the central support arm 32 is at the lowest position of the glass substrate 25 (position indicated by arrow A in FIG. 6). And the side support arms 31A, 31B are positions left and right away from the lowermost position A, and are positioned above the lowermost position A (Z1 direction) because the glass substrate 25 is bent. It is comprised so that it may contact | abut with the side part position (position shown by arrow B in FIG. 6) of the glass substrate 25. FIG.

上記構成とすることにより、ガラス基板２５が撓んでいても、アーム３０を構成する全ての支持アーム３１Ａ，３１Ｂ，３２によりガラス基板２５を支持することが可能となる。即ち、従来のように全ての支持アーム１１Ａ，１１Ｂ，１２が同一高さであったアーム１０では、図３に示すようにアーム１０をカセット２に差し込んだ場合、中央支持アーム１２のみがガラス基板５と当接してこれを支持するが、側部支持アーム１１Ａ，１１Ｂはガラス基板５から離間していた。   With the above configuration, even when the glass substrate 25 is bent, the glass substrate 25 can be supported by all the support arms 31 </ b> A, 31 </ b> B, and 32 that constitute the arm 30. That is, in the arm 10 in which all the support arms 11A, 11B, and 12 have the same height as in the prior art, when the arm 10 is inserted into the cassette 2 as shown in FIG. 3, only the center support arm 12 has the glass substrate. The side support arms 11 </ b> A and 11 </ b> B are separated from the glass substrate 5.

このため、側部支持アーム１１Ａ，１１Ｂは、これから取り出そうとするガラス基板５の下に位置するガラス基板５と近接してしまい、下に位置するガラス基板５との干渉を防止するために棚板ピッチＨ１を大きく取る必要があった。   For this reason, the side support arms 11A and 11B are close to the glass substrate 5 positioned below the glass substrate 5 to be taken out, and the shelf board is used to prevent interference with the glass substrate 5 positioned below. It was necessary to increase the pitch H1.

しかしながら本実施例のように側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂと中央部支持アーム３２とが図中矢印Ｚ１，Ｚ２方向に段差を有するよう構成することにより、ガラス基板２５がカセット２２に撓みが生じた状態で収納されていたとしても、各支持アーム３１Ａ，３１Ｂ，３２は、全てガラス基板２５と当接してこれを指示するため、確実にガラス基板２５をカセット２２に対して着脱することができる。   However, the side support arms 31A and 31B and the center support arm 32 are configured to have a step in the directions of arrows Z1 and Z2 in the drawing as in this embodiment, so that the glass substrate 25 is bent in the cassette 22. Even if the support arms 31A, 31B, and 32 are stored in a state, all the support arms 31A, 31B, and 32 are in contact with the glass substrate 25 and indicate this, so that the glass substrate 25 can be securely attached to and detached from the cassette 22.

また、側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂは中央支持アーム３２に対して上方（Ｚ１方向）の位置にあるため、これから取り出そうとするガラス基板２５の下に位置するガラス基板２５に対し、側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂを離間させることができる。即ち、これから取り出そうとするガラス基板２５の下に位置するガラス基板２５に対し、側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂは離間した構成となる。   Further, since the side support arms 31A and 31B are positioned above (in the Z1 direction) with respect to the center support arm 32, the side support arms with respect to the glass substrate 25 positioned below the glass substrate 25 to be taken out. 31A and 31B can be separated. That is, the side support arms 31A and 31B are separated from the glass substrate 25 positioned below the glass substrate 25 to be taken out.

よって本実施例によれば、棚板ピッチ（図６に矢印Ｈ２で示す）を従来（図３参照）に比べて小さくすることができる。これにより、カセット２２のサイズを小さくすることが可能となり、これに伴いカセット２２を運搬するコンベア装置２３、及びカセット２２を収納するクリーンストッカ（図示せず）の小型化を図ることができ、投資の面、建屋面積の面で有利となる。   Therefore, according to the present embodiment, the shelf board pitch (indicated by the arrow H2 in FIG. 6) can be made smaller than the conventional one (see FIG. 3). Accordingly, the size of the cassette 22 can be reduced, and accordingly, the conveyor device 23 for transporting the cassette 22 and the clean stocker (not shown) for storing the cassette 22 can be reduced in size and investment. This is advantageous in terms of building area.

図７及び図８は、本発明の第２実施例である基板搬送装置に設けられるアーム４０を拡大して示している。本実施例及び後述する第３実施例においては、第１実施例に係る基板搬送装置２０に対してアーム４０，５０の構成が異なるのみであり、他の構成とは同一である。このため、第３実施例以降の説明に用いる図７乃至図１１ではアーム４０，５０のみを示し他の構成の図示及び説明は省略するものとする。   7 and 8 are enlarged views of the arm 40 provided in the substrate transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention. In the present embodiment and a third embodiment to be described later, only the configuration of the arms 40 and 50 is different from the substrate transfer apparatus 20 according to the first embodiment, and the other configurations are the same. For this reason, only the arms 40 and 50 are shown in FIGS. 7 to 11 used for the description of the third and subsequent embodiments, and the illustration and description of the other configurations are omitted.

前記した第１実施例に係る基板搬送装置２０に設けられていたアーム３０は、側部支持アーム３１Ａ，３１Ｂ及び中央支持アーム３２が一体的に形成された状態で固定されおり、互いに移動する構成とはされていなかった。これに対して本実施例に係る基板搬送装置に設けられたアーム４０は、側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂと中央部支持アーム４２とを相対的に移動可能な構成したことを特徴としている。   The arm 30 provided in the substrate transfer apparatus 20 according to the first embodiment is fixed in a state where the side support arms 31A and 31B and the central support arm 32 are integrally formed, and moves relative to each other. It was not. On the other hand, the arm 40 provided in the substrate transfer apparatus according to the present embodiment is characterized in that the side support arms 41A and 41B and the center support arm 42 can be relatively moved.

具体的には、本実施例では側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂは固定されており、この固定された側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂに対して中央支持アーム４２が移動可能な構成されている。また、中央支持アーム４２の移動方向は、カセット２２からガラス基板２５を撓んだ状態で取り出した後、このガラス基板２５の撓みを是正する方向（図中、矢印Ｚ１方向）に設定されている。   Specifically, in this embodiment, the side support arms 41A and 41B are fixed, and the central support arm 42 is configured to be movable with respect to the fixed side support arms 41A and 41B. Further, the moving direction of the central support arm 42 is set to a direction (direction of arrow Z1 in the figure) for correcting the bending of the glass substrate 25 after the glass substrate 25 is taken out from the cassette 22 in a bent state. .

このため、アーム４０には昇降装置４３が設けられており、この昇降装置４３により中央支持アーム４２が側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂに対してＺ１，Ｚ２方向に移動する構成とされている。この昇降装置４３としては、例えばエアシリンダ等を適用することが可能である。   Therefore, the arm 40 is provided with an elevating device 43, and the elevating device 43 moves the central support arm 42 in the Z1 and Z2 directions with respect to the side support arms 41A and 41B. As the lifting device 43, for example, an air cylinder or the like can be applied.

続いて、上記構成のアーム４０の動作について説明する。   Next, the operation of the arm 40 having the above configuration will be described.

図７に示すように、カセット２２からガラス基板２５を取り出すときには、中央支持アーム４２は側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂの位置に対してＺ２方向（下方）に移動した位置にあり、よって第１実施例で説明したアーム３０と同様に段差を有した構成とされている（図３参照）。本実施例においても、側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂと中央支持アーム４２との間の段差量は、カセット２２に収納されたガラス基板２５に発生する撓みの形状に対応して設定されている。従って、本実施例においてもカセット２２の小型化を図ることができると共に、確実にカセット２２からガラス基板２５を取り出すことができる。   As shown in FIG. 7, when the glass substrate 25 is taken out from the cassette 22, the central support arm 42 is in a position moved in the Z2 direction (downward) with respect to the positions of the side support arms 41A and 41B, and thus the first implementation. It is set as the structure which has the level | step difference similarly to the arm 30 demonstrated in the example (refer FIG. 3). Also in the present embodiment, the level difference between the side support arms 41 </ b> A and 41 </ b> B and the central support arm 42 is set in accordance with the shape of the deflection generated in the glass substrate 25 stored in the cassette 22. Therefore, in this embodiment, the cassette 22 can be downsized and the glass substrate 25 can be reliably taken out from the cassette 22.

しかしながら、このように撓んだ状態でガラス基板２５をカセット２２から取り出しても、処理装置に装着する場合にはガラス基板２５を水平な状態（撓みのない状態）にする必要がある。このため、本実施例のアーム４０では、昇降装置４３を設けて中央支持アーム４２を側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂに対してＺ１，Ｚ２方向に移動可能な構成としている。   However, even if the glass substrate 25 is taken out from the cassette 22 in such a bent state, the glass substrate 25 needs to be in a horizontal state (a state without bending) when it is mounted on the processing apparatus. For this reason, in the arm 40 of the present embodiment, the lifting / lowering device 43 is provided so that the central support arm 42 can be moved in the Z1 and Z2 directions with respect to the side support arms 41A and 41B.

そこで、ガラス基板２５をカセット２２から取り出した状態、即ちガラス基板２５に撓みが生じている状態でアーム４０に支持されている状態からガラス基板２５の撓みを是正する（水平状態とする）には、昇降装置４３を駆動して中央支持アーム４２をＺ１方向に移動させる。これにより、ガラス基板２５の中央部分は中央支持アーム４２のＺ１方向に移動に伴いＺ１方向に付勢され、中央支持アーム４２が側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂと同じ高さ（同一面）となるまで移動することによりガラス基板２５の撓みは是正される（図７及び図９（Ａ）参照）。このように、基板搬送装置２０においてガラス基板２５に発生している撓みを是正できる構成とすることにより、基板搬送装置からガラス基板２５を受け渡される処理装置側に撓み是正のための機構を設ける必要を無くすることができる。   Therefore, in order to correct the deflection of the glass substrate 25 from the state in which the glass substrate 25 is taken out from the cassette 22, that is, the state in which the glass substrate 25 is bent and supported by the arm 40 (to make it horizontal). Then, the lifting / lowering device 43 is driven to move the central support arm 42 in the Z1 direction. Thereby, the central part of the glass substrate 25 is urged in the Z1 direction as the central support arm 42 moves in the Z1 direction, and the central support arm 42 has the same height (same surface) as the side support arms 41A and 41B. The deflection of the glass substrate 25 is corrected by moving to (see FIGS. 7 and 9A). In this way, by adopting a configuration capable of correcting the bending generated in the glass substrate 25 in the substrate transfer apparatus 20, a mechanism for correcting the bending is provided on the processing apparatus side that delivers the glass substrate 25 from the substrate transfer apparatus. The need can be eliminated.

図１０は、本発明の第３実施例である基板搬送装置に設けられるアーム５０を拡大して示している。本実施例に係る基板搬送装置に設けられるアーム５０は、図７乃至図９を用いて説明した第２に対し、側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂにローラ５６Ａ，５６Ｂを設けたことを特徴としている。但し、中央支持アーム５２は、図中矢印Ｚ１，Ｚ２方向に移動可能な構成とされており、よってガラス基板２５に発生している撓みを是正できる構成とされている。   FIG. 10 shows an enlarged view of the arm 50 provided in the substrate transfer apparatus according to the third embodiment of the present invention. The arm 50 provided in the substrate transfer apparatus according to the present embodiment is characterized in that rollers 56A and 56B are provided on the side support arms 51A and 51B in contrast to the second described with reference to FIGS. . However, the central support arm 52 is configured to be movable in the directions of arrows Z1 and Z2 in the drawing, and is thus configured to correct the bending generated in the glass substrate 25.

ところで、第２実施例の構成によれば、上記のようにガラス基板２５に発生している撓みを是正できるものの、ガラス基板２５が中央支持アーム４２の上昇により変位する際、ガラス基板２５は側部支持アーム４１Ａ，４１Ｂ上を滑るため、ガラス基板２５の背面側に傷が付くおそれがある。そこで本実施例に係る基板搬送装置のアーム５０は、中央支持アーム５２の移動時にガラス基板２５に傷が発生するのを防止するため、側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂにローラ５６Ａ，ローラ５６Ｂを設けた構成としている。以下、アーム５０の詳細構成について説明する。   By the way, according to the configuration of the second embodiment, although it is possible to correct the bending generated in the glass substrate 25 as described above, when the glass substrate 25 is displaced by the rising of the central support arm 42, the glass substrate 25 Since it slides on the part support arms 41A and 41B, the back side of the glass substrate 25 may be damaged. Therefore, the arm 50 of the substrate transport apparatus according to this embodiment is provided with rollers 56A and 56B on the side support arms 51A and 51B in order to prevent the glass substrate 25 from being damaged when the center support arm 52 is moved. It has a configuration. Hereinafter, a detailed configuration of the arm 50 will be described.

中央支持アーム５２は、幅50mm，厚さ10mmのカーボン製である。この中央支持アーム５２は、第２実施例と同様に、昇降装置４３により図中矢印Ｚ１，Ｚ２方向に移動可能な構成とされている。また、両端の側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂは焼き入れ鋼を用い、その形状は断面円形の棒形状とされている。本実施例では、この側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂはアーム本体５５（アーム５０の搬送ロボット２６に取り付けられる部位）に対して固定された構成とされている。ガラス基板２５と直接接触するローラ５６Ａ，５６Ｂは、側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂに設けられた回転玉軸受の外側にフッ素樹脂を付設した構成とされている。   The central support arm 52 is made of carbon having a width of 50 mm and a thickness of 10 mm. The central support arm 52 is configured to be movable in the directions of arrows Z1 and Z2 in the figure by the lifting device 43 as in the second embodiment. Further, the side support arms 51A and 51B at both ends are made of hardened steel, and the shape thereof is a bar shape having a circular cross section. In the present embodiment, the side support arms 51A and 51B are configured to be fixed to the arm main body 55 (the part attached to the transfer robot 26 of the arm 50). The rollers 56A and 56B that are in direct contact with the glass substrate 25 have a configuration in which a fluororesin is attached to the outside of the rotating ball bearings provided on the side support arms 51A and 51B.

よって、ローラ５６Ａ，５６Ｂは側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂに対し回転自在な構成となり、よって中央支持アーム５２が上昇することによりガラス基板２５が変位した場合、ローラ５６Ａ，ローラ５６Ｂはこの変位に伴い回転する。このように、ローラ５６Ａ，ローラ５６Ｂがガラス基板２５の変位に伴い回転することにより、ローラ５６Ａ，ローラ５６Ｂとガラス基板２５との間に擦れ（摺動）が発生することがなくなり、ガラス基板２５に傷が付くことを防止することができる。   Therefore, the rollers 56A and 56B are configured to be rotatable with respect to the side support arms 51A and 51B. Therefore, when the glass substrate 25 is displaced due to the rise of the central support arm 52, the rollers 56A and 56B are accompanied by this displacement. Rotate. As described above, the rollers 56A and 56B rotate with the displacement of the glass substrate 25, so that rubbing (sliding) does not occur between the rollers 56A and 56B and the glass substrate 25. Can be prevented from being damaged.

図１１は、図１０に示した第３実施例に係るアーム５０の変形例を示している。図１０に示した第３実施例に係るアーム５０は、側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂをアーム本体５５に対して固定し、この側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂに対してローラ５６Ａ，５６Ｂを回転自在な構成とし、これによりガラス基板２５に傷が付くことを防止する構成とした。   FIG. 11 shows a modification of the arm 50 according to the third embodiment shown in FIG. In the arm 50 according to the third embodiment shown in FIG. 10, the side support arms 51A and 51B are fixed to the arm body 55, and the rollers 56A and 56B are rotatable with respect to the side support arms 51A and 51B. Thus, the glass substrate 25 is prevented from being damaged.

これに対して本変形例では、ローラ５６Ａ，５６Ｂを側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂに固定すると共に、軸受５７を用いて側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂをアーム本体５５に回転自在に軸承させた構成としている。   On the other hand, in this modification, the rollers 56A and 56B are fixed to the side support arms 51A and 51B, and the side support arms 51A and 51B are rotatably supported by the arm body 55 using the bearings 57. It is said.

更に、側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂは、モータ５８（駆動手段）によりガラス基板２５の変位に対応して回転する構成とされている。この際、ローラ５６Ａ，５６Ｂの回転速度は、ガラス基板２５の形状等により求められる撓み量に基づき予め演算されている。このように、モータ５８を用いて回転ローラ５６Ａ，５６Ｂを積極的に回転させる構成とすることにより、更に確実にガラス基板２５と側部支持アーム５１Ａ，５１Ｂとの間に擦れ（摺動）が発生することを防止できる。   Further, the side support arms 51A and 51B are configured to rotate in response to the displacement of the glass substrate 25 by a motor 58 (driving means). At this time, the rotational speeds of the rollers 56A and 56B are calculated in advance based on the amount of deflection determined by the shape of the glass substrate 25 and the like. As described above, by using the motor 58 to positively rotate the rotation rollers 56A and 56B, the glass substrate 25 and the side support arms 51A and 51B are more reliably rubbed (slided). It can be prevented from occurring.

尚、上記した各実施例では、ガラス基板２５の一方の側部に１本の側部支持アーム３１Ａ，４１Ａ，５１Ａを設け、ガラス基板２５の他方の側部に１本の側部支持アーム３１Ｂ，４１Ｂ，５１Ｂを設け、ガラス基板２５の中央部に１本の中央支持アーム３２，４２，５２を設けた構成とした。しかしながら、各支持アームの配設本数はこれに限定されものではなく、左右の両側部にそれぞれ複数の側部支持アームを設けた構成としても、また中央部に複数の中央支持アームを設けた構成としてもよい。   In each of the above embodiments, one side support arm 31A, 41A, 51A is provided on one side of the glass substrate 25, and one side support arm 31B is provided on the other side of the glass substrate 25. , 41B, 51B, and one central support arm 32, 42, 52 provided at the center of the glass substrate 25. However, the number of support arms to be arranged is not limited to this, and a configuration in which a plurality of side support arms are provided on both the left and right sides, and a configuration in which a plurality of center support arms are provided in the center portion. It is good.

図１は、従来の一例である基板搬送装置を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a conventional substrate transfer apparatus. 図２は、従来の一例である基板搬送装置に設けられたアームを拡大して示す斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view showing an arm provided in a conventional substrate transfer apparatus. 図３は、従来の基板搬送装置で発生していた問題点を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a problem that has occurred in a conventional substrate transfer apparatus. 図４は、本発明の第１実施例である基板搬送装置を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention. 図５は、本発明の第１実施例である基板搬送装置に設けられたアームを拡大して示す斜視図である。FIG. 5 is an enlarged perspective view showing an arm provided in the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention. 図６は、本発明の第１実施例である基板搬送装置によりガラス基板が装着脱されるカセットを示す正面図である。FIG. 6 is a front view showing a cassette to / from which a glass substrate is attached / detached by the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention. 図７は、本発明の第２実施例である基板搬送装置に設けられたアームを拡大して示しており、中央支持アームが降下した状態を示す斜視図である。FIG. 7 is an enlarged view of an arm provided in the substrate transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention, and is a perspective view showing a state where the central support arm is lowered. 図８は、本発明の第２実施例である基板搬送装置に設けられたアームを拡大して示しており、中央支持アームが上昇した状態を示す斜視図である。FIG. 8 is an enlarged view of the arm provided in the substrate transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention, and is a perspective view showing a state where the central support arm is raised. 図９は、本発明の第２実施例である基板搬送装置に設けられたアームの動作を説明するための斜視図である。FIG. 9 is a perspective view for explaining the operation of the arm provided in the substrate transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention. 図１０は、本発明の第３実施例である基板搬送装置に設けられたアームを拡大して示す斜視図である。FIG. 10 is an enlarged perspective view showing an arm provided in the substrate transfer apparatus according to the third embodiment of the present invention. 図１１は、本発明の第３実施例である基板搬送装置の変形例を説明するための断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view for explaining a modification of the substrate transfer apparatus according to the third embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

２０ 基板搬送装置
２２ カセット
２３ コンベア装置
２５ ガラス基板
２６ 搬送ロボット
２７ 側壁
２８ 基板支持部
３０，４０，５０ アーム
３１Ａ，３１Ｂ，４１Ａ，４１Ｂ，５１Ａ，５１Ｂ 側部支持アーム
３２，４２，５２ 中央支持アーム
４３ 昇降装置
５５ アーム本体
５６Ａ，５６Ｂ ローラ
５７ 軸受
５８ モータ
20 Substrate transfer device 22 Cassette 23 Conveyor device 25 Glass substrate 26 Transfer robot 27 Side wall 28 Substrate support part 30, 40, 50 Arm 31A, 31B, 41A, 41B, 51A, 51B Side support arm 32, 42, 52 Central support arm 43 Lifting device 55 Arm body 56A, 56B Roller 57 Bearing 58 Motor

Claims (5)

基板収納容器に対してアームを用いて基板を装着脱する基板搬送装置であって、
前記アームを、前記基板の両端部分を支持する複数の側部支持アームと、前記複数の側部支持アームの間に位置すると共に前記基板の略中央部分を支持する中央部支持アームとを有した構成とし、
かつ、前記側部支持アームと前記中央部支持アームとが、前記基板収納容器に収納された前記基板に発生する撓みの形状に対応した段差を有する構成としたことを特徴とする基板搬送装置。 A substrate transfer device that attaches / detaches a substrate to / from a substrate storage container using an arm,
The arm includes a plurality of side support arms that support both end portions of the substrate, and a center support arm that is positioned between the plurality of side support arms and supports a substantially central portion of the substrate. With configuration,
And the board | substrate conveyance apparatus characterized by having the level | step difference corresponding to the shape of the bending generate | occur | produced in the said board | substrate accommodated in the said substrate storage container in the said side part support arm and the said center part support arm. 請求項１記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームと前記中央部支持アームとを、前記基板の撓みを是正する方向に相対的に移動可能な構成としたことを特徴とする基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein
The substrate transport apparatus, wherein the side support arm and the center support arm are configured to be relatively movable in a direction to correct the deflection of the substrate. 請求項２記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームを固定し、前記中央部支持アームが前記側部支持アームに対して移動するよう構成したことを特徴とする基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 2, wherein
The substrate transfer apparatus, wherein the side support arm is fixed and the center support arm moves with respect to the side support arm. 請求項２または３記載の基板搬送装置において、
前記側部支持アームに、前記基板の変位に伴い回転するローラを設けたことを特徴とする基板搬送装置。 In the board | substrate conveyance apparatus of Claim 2 or 3,
A substrate transfer apparatus, wherein the side support arm is provided with a roller that rotates as the substrate is displaced. 請求項４記載の基板搬送装置において、
前記回転ローラを駆動する駆動部を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
The substrate transfer apparatus according to claim 4, wherein
A substrate transfer apparatus comprising a drive unit for driving the rotating roller.
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