JP2008081270A - 板状物の搬送方法および板状物の搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 搬送用あるいは保管用のトレイを用いて、板状物の受け取り、受け渡しをピン支持により行う際に、板状物の裏面の損傷もしくは汚れの発生がない搬送方法、搬送装置を提供する。
【解決手段】 板状物２０を撓んだ状態でその上側に載せて保持するトレイ１０を用い、板状物２０を載せた該トレイ１０を複数積み重ねた第１の積み重ね部１の上側もしくは下側から、該トレイを１つづつ取り出し、第１のピン保持部３０にて複数のピン３１とトレイ１０とを相対的に鉛直方向に移動することで受け取り、第１のピン保持部３０に搭載されている板状物２０をロボットアーム４１、コンベア等の搬送部上に水平に搭載して受け取り、搬送する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、四角形状で、剛性があり、自重により撓む板状物の面方向を水平方向として、該板状物を受け取り、受け渡しして搬送する方法と装置に関し、特に、板状物の面方向を水平方向として、該板状物を撓ませた状態で保持し、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイを用いた場合の、板状物の受け取り、受け渡しの方法、装置に関する。
自重により撓む、平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料ないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物や、それらに処理を施した板状の処理部材を、板状物として、トレイに搭載して用いる場合には、特に有効である。

プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプパネル等のフラットパネルといった表面に機能層を備えた板状物は、その表面の機能層を損傷したり、汚したりすることなく輸送及び保管することが重要である。
従来、こういった板状物を保管、移送する際は、板状物表面を傷や破損から守るため、表面同士が接触しないように所定間隔で並列収納できる、箱形の収納容器を用いていた。 例えば、特開２００４−５９１１６号公報（特許文献１）には、限られたスペースにおいて、多くのディスプレイ用基板を、各ディスプレイ用基板同士が相互に接触することなく、効率よく輸送および保管するディスプレイ用基板収納用トレイが記載されている。
特開２００４−５９１１６号公報

このような中、近年、特に、液晶表示用のフラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、輸送、保管に対して、更に一層の、輸送効率向上による輸送コスト節減や保管場所の省スペース化が求められている。
しかしながら、上記のような収納容器による搬送では、輸送時の振動により板状物が跳ねやすく、割れや傷が発生しやすい為、薄型化が非常に困難であった。
また、板状物の跳ねをなくす為に板状物の周辺部を上から押さえてしまうと、板状物の端面付近にダスト付着や傷が発生してしまい、表面に機能層を備えた板状物である場合には品質を悪化させてしまうという問題がある。

このため、本願出願人により、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイが、特願２００６−２０７５９２（特許文献２）にて提案されている。
特願２００６−２０７５９２ このようなトレイを用いて、板状物の受け取り、受け渡しを、ピン支持により行う場合、従来は、搬送トレイからの板状物開梱作業は、一旦板状物を水平支持ピン部に載せ、ロボットにて他装置に搬送していた。 しかし、トレイと支持ピン間の板状物の受渡しの際、板状物の裏面を損傷もしくは汚してしまい、品質が悪化してしまい問題となっていた。

上記のように、最近では、表示パネル用のカラーフィルター形成基板は、より大型化の製造が求められており、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板の輸送、保管に対して、更に一層の、輸送効率向上による輸送コスト節減や保管場所の省スペース化が求められており、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイが、用いられるようになってきたが、このようなトレイを用いて、板状物の受け取り、受け渡しを、ピン支持により行う場合、トレイと支持ピン間の板状物の受渡しの際に、板状物の裏面の損傷もしくは汚れの発生があり、これが品質の悪化原因となっており、この対応が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイを、用いて、板状物の受け取り、受け渡しを、ピン支持により行う場合、トレイと支持ピン間の板状物の受渡しの際に、板状物の裏面の損傷もしくは汚れの発生がない、板状物の搬送方法、板状物の搬送装置を提供しようとするものである。

本発明の板状物の搬送方法は、四角形状で、剛性があり、自重により撓む板状物の面方向を水平方向として、該板状物を受け取り、受け渡しして搬送する方法であって、順に、板状物を撓んだ状態でその上側に載せて保持するトレイを用い、板状物を載せた該トレイを複数積み重ねた第１の積み重ね部の上側もしくは下側から、板状物を載せた該トレイを、１つづつ、取り出し、前記トレイの開口領域において、該トレイとともに板状物を撓んだ状態で、各ピンが板状物の撓み状態に対応した高さに位置制御された複数のピンにて保持する第１のピン保持部にて、複数のピンとトレイとを相対的に、少なくともどちらか一方を、鉛直方向に移動することで受け取り、板状物の撓んだ状態を保持したまま、該トレイを板状物から取りはずし、板状物のみを撓んだ状態で受け取る、第１の板状物受け取りステップと、第１のピン保持部に搭載されている板状物をロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載して受け取り、搬送する、板状物搬送ステップとを、行う、一連の板状物の受け取り処理、順に、ロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載された板状物を、各ピンが板状物の水平状態、あるいは撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンにて保持する第２のピン保持部にて、水平にして、あるいは、撓ませた状態にして受け取る、第２の板状物受け取りステップと、必要に応じて、該第２のピン保持部の各ピンを、所望の撓み状態における高さに位置制御して、第２のピン保持部にて、板状物を撓ませた状態で保持する、板状物撓み保持ステップと、板状物を撓ませた状態で第２のピン保持部にて保持しながら、該板状物がトレイに搭載した状態とする、トレイ装着ステップと、板状物とトレイとを一体として、板状物を載せたトレイを複数積み重ねた第２の積み重ね部の上側もしくは下側に積み重ねる、トレイ積み重ねステップとを、行う、一連の受け渡し処理、のいずれ一方の処理か、もしくは、両方の処理を行うことを特徴とするものである。
そして、上記の板状物の搬送方法であって、第１のピン保持部もしくは第２のピン保持部に搭載して、必要に応じて、板状物が撓んだ状態で、もしくは、水平な状態で、板状物の移動を行うことを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかの板状物の搬送方法であって、前記一連の板状物の受け取り搬送処理において、第１の板状物受け取りステップ後、第１のピン保持部の各ピンを所定の撓み状態に対応した高さから水平状態に対応した高さに位置制御して、板状物を水平に保持した状態で、板状物搬送ステップを行うことを特徴とするものである。
また、上記いずれかの板状物の搬送方法であって、前記第１の保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物と接触するもので、接触する際に板状物の面方向において可動する可動部を有するものであることを特徴とするものであり、前記可動部は、ボールベアリングに支持されて回転する回転ボールであることを特徴とするものである。
また、上記いずれか１項に記載の板状物の搬送方法であって、前記可動部の表面部の材質は、熱可塑性樹脂であることを特徴とするものである。
あるいはまた、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記第１のピン保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物を非接触に支持するもので、該少なくとも一部のピンの先端部は、気体圧により板状物を押し上げ、非接触により、板状物と近接した状態で、支持するものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの板状物の搬送方法であって、前記板状物が、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板であることを特徴とするものである。

本発明の板状物の搬送装置は、四角形状で、剛性があり、自重により撓む板状物の面方向を水平方向として、該板状物を受け取り、受け渡しして搬送する装置であって、順に、板状物を撓んだ状態でその上側に載せて保持するトレイを用い、板状物を載せた該トレイを複数積み重ねた第１の積み重ね部の上側もしくは下側から、板状物を載せた該トレイを、１つづつ、取り出し、該トレイとともに板状物を撓んだ状態で、前記トレイの開口領域において、各ピンが板状物の撓み状態に対応した高さに位置制御された複数のピンにて保持する第１のピン保持部にて、複数のピンとトレイとを相対的に、少なくともどちらか一方を、鉛直方向に移動することで受け取り、板状物の撓んだ状態を保持したまま、該トレイを板状物から取りはずし、板状物のみを撓んだ状態で受け取る、第１の板状物受け取りステップと、第１のピン保持部に搭載されている板状物をロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載して受け取り、搬送する、板状物搬送ステップとを、一連の板状物の受け取り処理として行う、受け取り処理部、順に、ロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載された板状物を、各ピンが板状物の水平状態、あるいは撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンにて保持する第２のピン保持部にて、水平にして、あるいは、撓ませた状態にして受け取る、第２の板状物受け取りステップと、必要に応じて、該第２のピン保持部の各ピンを、所望の撓み状態における高さに位置制御して、第２のピン保持部にて、板状物を撓ませた状態で保持する、板状物撓み保持ステップと、板状物を撓ませた状態で第２のピン保持部にて保持しながら、該板状物がトレイに搭載した状態とする、トレイ装着ステップと、板状物とトレイとを一体として、板状物を載せたトレイを複数積み重ねた第２の積み重ね部の上側もしくは下側に積み重ねる、トレイ積み重ねステップとを、一連の受け渡し処理として行う、受け渡し処理部、のいずれ一方の処理部か、もしくは、両方の処理部を備えていることを特徴とするものである。
そして、上記の板状物の搬送装置であって、第１のピン保持部、第２のピン保持部は、いずれも、各ピンが、板状物の水平状態、あるいは、撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンを備えていることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの板状物の搬送装置であって、前記第１の保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物と接触するもので、接触する際に板状物の面方向において可動する可動部を有するものであることを特徴とするものであり、前記可動部は、ボールベアリングに支持されて回転する回転ボールであることを特徴とするものである。
そして、請求項１１ないし１２のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記可動部の表面部の材質は、熱可塑性樹脂であることを特徴とするものである。
あるいはまた、請求項９ないし１０のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記第１のピン保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物を非接触に支持するもので、該少なくとも一部のピンの先端部は、気体圧により板状物を押し上げ、非接触により、板状物と近接した状態で、支持するものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの板状物の搬送装置であって、前記板状物が、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板であることを特徴とするものである。

また、上記いずれかの板状物の搬送装置であって、前記トレイは、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイであることを特徴とする
そして、上記の板状物の搬送装置であって、前記トレイは、全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部と、該枠部に支持され、該枠部の枠内側領域において、前記板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部とを備えたもので、板状物保持部は、枠部の４辺の、一方の対向する２辺に沿うように前記板状物の両端を支持し、枠部の４辺の、他方の対向する２辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、前記板状物を支持するもので、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されていることを特徴とするものである。
あるいは、上記の板状物の搬送装置であって、前記トレイは、全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部と、該枠部の４辺に支持され、該枠部の枠内側領域において、前記板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部とを、備えたもので、板状物保持部は、枠部の４辺の各辺に沿ったその上面を、いずれも、下側に湾曲させており、枠部の４辺に沿うように、前記板状物の４辺部に沿ってその端部を支持し、且つ、枠部の４辺の各辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、前記板状物を撓ませた状態で支持するもので、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されていることを特徴とするものである。

（作用）
本発明の板状物の搬送方法は、このような構成にすることにより、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイを、用いて、板状物の受け取り、受け渡しを、ピン支持により行う場合、トレイと支持ピン間の板状物の受渡しの際に、板状物の裏面の損傷もしくは汚れの発生がない、板状物の搬送方法の提供を可能としている。
詳しくは、順に、板状物を撓んだ状態でその上側に載せて保持するトレイを用い、板状物を載せた該トレイを複数積み重ねた第１の積み重ね部の上側もしくは下側から、板状物を載せた該トレイを、１つづつ、取り出し、前記トレイの開口領域において、該トレイとともに板状物を撓んだ状態で、各ピンが板状物の撓み状態に対応した高さに位置制御された複数のピンにて保持する第１のピン保持部にて、複数のピンとトレイとを相対的に、少なくともどちらか一方を、鉛直方向に移動することで受け取り、板状物の撓んだ状態を保持したまま、該トレイを板状物から取りはずし、板状物のみを撓んだ状態で受け取る、第１の板状物受け取りステップと、第１のピン保持部に搭載されている板状物をロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載して受け取り、搬送する、板状物搬送ステップとを、行う、一連の板状物の受け取り処理、順に、ロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載された板状物を、各ピンが板状物の水平状態、あるいは撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンにて保持する第２のピン保持部にて、水平にして、あるいは、撓ませた状態にして受け取る、第２の板状物受け取りステップと、必要に応じて、該第２のピン保持部の各ピンを、所望の撓み状態における高さに位置制御して、第２のピン保持部にて、板状物を撓ませた状態で保持する、板状物撓み保持ステップと、板状物を撓ませた状態で第２のピン保持部にて保持しながら、該板状物がトレイに搭載した状態とする、トレイ装着ステップと、板状物とトレイとを一体として、板状物を載せたトレイを複数積み重ねた第２の積み重ね部の上側もしくは下側に積み重ねる、トレイ積み重ねステップとを、行う、一連の受け渡し処理、のいずれ一方の処理か、もしくは、両方の処理を行うことにより、これを達成している。
ここでは、第１のピン保持部もしくは第２のピン保持部に搭載し、必要に応じて、例えば、搬送として、あるいは、補助的な移動として、板状物が撓んだ状態で、もしくは、水平な状態で、板状物の移動を行う、請求項２の発明の形態が挙げられる。
また、前記一連の板状物の受け取り搬送処理において、第１の板状物受け取りステップ後、第１のピン保持部の各ピンを所定の撓み状態に対応した高さから水平状態に対応した高さに位置制御して、板状物を水平に保持した状態で、板状物搬送ステップを行う、請求項３の発明の形態とすることにより、ロボットアーム、コンベア等の搬送部による板状物の搬送を、よりスムースに、行うことを可能としている。
また、前記第１の保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物と接触するもので、接触する際に板状物の面方向において可動する可動部を有するものである、請求項４の発明の形態とすることにより、あるいは、前記第１のピン保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物を非接触に支持するもので、該少なくとも一部のピンの先端部は、気体圧により板状物を押し上げ、非接触により、板状物と近接した状態で、支持するものである、請求項７の発明の形態とすることにより、確実に、板状物の裏面の破損や汚れの発生を防止できるものとしている。
請求項４の発明の形態において、可動部としては、ボールベアリンに支持されて回転する回転ボールが挙げられる。
そして、前記可動部の表面部の材質としては、熱可塑性樹脂が、強度や、板状物の裏面の破損防止の面からは、好ましい。
また、前記板状物としては、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板が挙げられる。

本発明の板状物の搬送装置は、このような構成にすることにより、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイを、用いて、板状物の受け取り、およびまたは、受け渡しを、ピン支持により行う場合、トレイと支持ピン間の板状物の受け取り、およびまたは、受渡しの際に、板状物の裏面の損傷もしくは汚れの発生がない、板状物の搬送装置の提供を可能としている。
尚、ここで、Ａ、およびまたは、Ｂとは、Ａだけの場合、Ｂだけの場合、ＡとＢの両方の場合を含むことを意味する。

第１のピン保持部、第２のピン保持部としては、いずれも、各ピンが、板状物の水平状態、あるいは、撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンを備えている形態のものが挙げられる。
これにより、受け取り、受け渡し、搬送において、板状物の水平状態、あるいは、所定撓み状態に対応して各ピンの高さを位置制御することができる。
各ピンの位置制御の駆動方法としては空圧駆動が挙げられるが、これ以外の駆動方法でも良い。
特に、前記第１の保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物と接触するもので、接触する際に板状物の面方向において可動する可動部を有するものであることにより、板状物とピン先端との接触により、板状物の裏面に損傷の発生を防止できる。
前記可動部としては、ボールベアリンに支持されて回転する回転ボールが挙げられ、前記可動部の表面部の材質としては、熱可塑性樹脂が挙げられる。
また、前記第１のピン保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物を非接触に支持するもので、該少なくとも一部のピンの先端部は、気体圧により板状物を押し上げ、非接触により、板状物と近接した状態で、支持するものであることにより、板状物の裏面に損傷の発生を防止できる。
前記板状物が、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板である場合には、有効である。

前記トレイとしては、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイが挙げられる。
具体的には、前記トレイとしては、全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部と、該枠部に支持され、該枠部の枠内側領域において、前記板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部とを備えたもので、板状物保持部は、枠部の４辺の、一方の対向する２辺に沿うように前記板状物の両端を支持し、枠部の４辺の、他方の対向する２辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、前記板状物を支持するもので、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されている形態や、全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部と、該枠部の４辺に支持され、該枠部の枠内側領域において、前記板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部とを、備えたもので、板状物保持部は、枠部の４辺の各辺に沿ったその上面を、いずれも、下側に湾曲させており、枠部の４辺に沿うように、前記板状物の４辺部に沿ってその端部を支持し、且つ、枠部の４辺の各辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、前記板状物を撓ませた状態で支持するもので、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されている形態が挙げられる。

更に説明しておくが、単位の板状物をトレイで保持した場合、枠部に対して、板状物と板状物保持部は、板状物が撓んだ状態で、所定の位置関係の形状となるため、このような単位の板状物を保持したトレイを、枠部にて、面接触して重ねても、板状物同士は、枠の厚み分だけ、間隔を維持できるものとなる。
そして、各トレイの板状物は同じように撓み、そのピッチ間隔は枠部の厚さを保つ。

本発明は、上記のように、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイを、用いて、板状物の受け取り、受け渡しを、ピン支持により行う場合、トレイと支持ピン間の板状物の受渡しの際に、板状物の裏面の損傷もしくは汚れの発生がない、板状物の搬送方法、板状物の搬送装置の提供を可能とした。
特に、機能部をその一面側に有する表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板を板状物として、板状物を撓んだ状態で保持するトレイを用いて、板状物の一方の面、例えば機能部を設けた面を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管を、簡単に、且つ、効率的にでき、且つ、より、確実に品質にも対応できるものとした。

本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）〜図１（ｆ）は本発明の板状物の搬送方法の実施の形態例における板状物の受け取り搬送処理の流れを示した概略図で、図２（ａ）〜図２（ｅ）は本発明の板状物の搬送方法の実施の形態例における板状物の受け渡し搬送処理の流れを示した概略図で、図３（ａ）〜図３（ｃ）は撓んでトレイに保持された板状物を複数のピンにて水平に保持する場合のピンの動きを説明するための図で、図３（ｄ）はピンの先端部の１例を示した図で、図４（ａ）〜図４（ｃ）はそれぞれ複数のピンによる保持と撓み状態を説明するための図で、図５（ａ）〜図５（ｄ）は従来の板状物の受け取り搬送処理の流れを示した概略図で、図５（ａ１）〜図５（ｄ１）は従来の板状物の受け渡し搬送処理の流れを示した概略図で、図６（ａ１）〜図６（ａ４）は従来の撓んでトレイに保持された板状物を複数のピンにて水平に保持する場合のピンの動きを説明するための図で、図６（ｂ１）〜図６（ｂ４）は従来の複数のピンにて水平に保持された板状物を撓んでトレイに保持する場合のピンの動きを説明するための図で、図７（ａ）は板状物を撓んだ状態で保持するトレイの１例の概略構成図で、図７（ａ）〜図７（ｆ）は板状物を撓んだ状態で保持する該トレイの積み重ねを説明するための図で、図８（ａ）は板状物を撓んだ状態で保持するトレイのさらに別の１例の概略構成図で、図８（ａ）〜図８（ｄ）は板状物を撓んだ状態で保持する該トレイの積み重ねを説明するための図で、図９（ａ）〜図９（ｅ）は従来の板状物を水平の保持するトレイの積み重ねを説明するための図で、図１０（ａ）〜図１０（ｄ）はピンによる撓んだ状態での支持から水平状態の支持への切り替えを説明するための断面図ある。
尚、図１〜図３、図５、図６中、太い矢印は処理の進行方向を示している。
また、図３（ａ）〜図３（ｃ）は図１（ｂ）〜図１（ｃ）に示す処理における１断面に相当する図である。
また、図６中、点線は水平方向を示している。
また、図７（ｅ）、図７（ｆ）、図９（ｄ）、図９（ｅ）は、分かり易くするため、各トレイの枠部を離れた状態で示しているが、トレイを重ねた際には、枠部同士が面接触する。
図１〜図９中、１、１Ａは積み重ね部（第１の積み重ね部とも言う）、２、２Ａは積み重ね部（第２の積み重ね部とも言う）、１０、１０Ａはトレイ、２０は板状物、３０はピン保持部（第１のピン保持部とも言う）、３０ａはピン保持部（第２のピン保持部とも言う）、３０Ａはピン保持部、３１、３１ａ〜３１ｆはピン、３２は可動部（ボールとも言う）、３３は固定部、３４は先端固定部、３５は軸、３６は軸スライド固定部、４０はロボット、４１はロボットアーム、１１０はトレイ、１２０は枠部、１３０は板状物保持部、１３０ａ〜１３０ｄは支持部（保持部とも言う）、１４０は板状物、２１０はトレイ、２２０は枠部、２３０は板状物保持部、２３０ａ〜２３０ｄは支持部（保持部とも言う）、２４０は板状物、３１０はトレイ、３２０が枠部、３３０は底部（支持部）、３４０は板状物である。

はじめに、本発明の板状物の搬送方法の実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例の板状物の搬送方法は、四角形状で、剛性があり、自重により撓む板状物の面方向を水平方向として、該板状物を受け取り、受け渡しして搬送する方法で、図１に示すように、順に、板状物２０を撓んだ状態でその上側に載せて保持するトレイ１０を用い、板状物２０を載せた該トレイ１０を複数積み重ねた第１の積み重ね部１の上側から、板状物２０を載せた該トレイ１０を、１つづつ、取り出し、前記トレイの開口領域において、トレイ１０とともに板状物２０を撓んだ状態で、各ピン３１が板状物２０の撓み状態に対応した高さに位置制御された複数のピン３１にて保持する第１のピン保持部３０にて、複数のピンとトレイとを相対的に鉛直方向に移動することで受け取り、板状物１０の撓んだ状態を保持したまま、トレイ１０を板状物２０から取りはずし、板状物２０のみを撓んだ状態で受け取る、第１の板状物受け取りステップと、第１のピン保持部３０に搭載されている板状物２０をロボットアーム４１の上に水平に搭載して受け取り、搬送する、ロボットアーム搬送ステップとを、行う、一連の板状物の受け取り処理を有するものである。
尚、第１の積み重ね部１から板状物２０を撓んだ状態でその上側に載せて保持するトレイ１０を取り出す際には、全体を持ち上げる、もしくは、最下段以外のトレイを持ち上げるなどの方法をとることで、下側から板状物を載せたトレイを１つづつ取り出してもよい。
また、本例では、ピン３１による板状物２０の受け取り完了後、板状物２０の搬送の下流への受け渡しをロボット４０にて行っているが、例えば、ピン３１の下側にコンベア（図示していない）を配置し、ピン３１による板状物２０の受け取り完了後、コンベアで下流への受け渡しを行ってもよい。
そしてまた、図２に示すように、順に、ロボットアーム４１の上に水平に搭載された板状物２０を、各ピン３１が板状物の水平状態、あるいは撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンにて保持する第２のピン保持部３０ａにて、水平にして、あるいは、撓ませた状態にして受け取る、第２の板状物受け取りステップと、必要に応じて、該第２のピン保持部３０ａの各ピンを、所望の撓み状態における高さに位置制御して、第２のピン保持部３０ａにて、板状物２０を撓ませた状態で保持する、板状物撓み保持ステップと、板状物２０を撓ませた状態で第２のピン保持部３０ａにて保持しながら、板状物２０がトレイ１０に搭載した状態とする、トレイ装着ステップと、板状物２０とトレイ１０とを一体として、板状物２０を載せたトレイ１０を複数積み重ねた第２の積み重ね部２の上側に積み重ねる、トレイ積み重ねステップとを、行う、一連の受け渡し処理を有するものである。
尚、板状物２０を載せたトレイ１０を複数積み重ねた第２の積み重ね部２の下側に積み重ねる際には、持ち上げたトレイ全体の下に重ねる、もしくは、持ち上げたトレイ全体の下にあるトレイ台座に重ねるなどの方法をとることで、下側から板状物を載せたトレイを１つづつ受け渡してもよい。
また、本例では、ロボットアーム４１の上に水平に搭載された板状物２０をピン３１に受け渡しているが、例えば、水平に搭載された板状物２０が載ったコンベアの下にピン３１および第２のピン保持部３０ａを配置し、板状物２０をピン３１にて受け渡してもよい。
板状物２０としては、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板が挙げられるが、これらには限定はされない。

本例における板状物の受け取り処理を、更に、図１に基づいて説明する。
先ず、図７（ａ）に示すトレイ１１０や図８（ａ）に示すトレイ２１０をトレイ１０として、板状物２０を撓んだ状態で載置したトレイ１０を複数積み重ねた、第１の積み重ね部１を用意しておく。（図１（ａ））
次いで、第１の積み重ね部１の上側から、板状物２０を撓んだ状態で載置したトレイ１０を、１つづつ、所定の保持具にて保持して取り出し、前記トレイの開口領域において、トレイ１０とともに板状物２０を撓んだ状態で、各ピン３１が板状物２０の撓み状態に対応した高さに位置制御された複数のピン３１にて保持する第１のピン保持部３０にて受け取り（図１（ｂ））、板状物１０の撓んだ状態を保持したまま、トレイ１０を板状物２０から取りはずし、板状物２０のみを撓んだ状態で受け取る。（図１（ｃ））
図１（ａ）の第１の積み重ね部１からの板状物を載置したトレイの取り出しは、特に限定されないが、例えば、枠部の辺部にそって吸着部を備えた形態のものや、ロボットアームを用いて行う形態がある。
ロボットアームを用いて行う形態の場合、例えば、トレイとしては、枠部にそってその外側に突き出た搬送用支持部（図示していない）を、トレイの対向する２辺部に沿い設けて形態のものを用い、ロボットアームにて搬送用支持部を支持して、トレイを持ち上げる。
また、ここでは先に述べたように、複数のピン３１はいずれも接触して板状物２０を支持して受け取るものであるが、これに限定はされない。
例えば、前記複数のピン３１の少なくとも一部は、板状物２０を非接触にて支持して受け取るもので、該少なくとも一部のピンの先端部は、気体圧により板状物２０を押し上げ、非接触により、板状物と近接した状態で、支持する形態も挙げられる。
次いで、第１のピン保持部３０に搭載されている板状物２０を、撓んだ状態のまま（図１（ｄ））、あるいは、水平の状態にして（図１（ｅ））、ロボットアーム４１の上に水平に搭載して受け取り（図１（ｆ））、搬送する。
ここで、撓んでトレイに保持された板状物を複数のピンにて水平に保持するのは、ロボットアーム４１の受け取りが容易であるからであり、水平にするため、図３（ｂ）、図３（ｃ）に示す点線矢印の方向にピンを移動させるが、この際に、ピンの上側先頭と板状物の裏面との接触箇所にこすれによる傷つきが発生することがあり、これを防止できるように、例えば、図３（ｄ）に示すような、ピンの上側先頭に図示されていない小さなボールベアリングにより支持された回転可能なボール３２を可動部として設け、その表面材質を熱可塑性樹脂としている。
さらに、熱可塑性樹脂の中でも、特に超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷ−ＰＥ）、ナイロン６６やナイロン６１０といったポリアミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）やポリイミドが望ましい。
尚、図３（ａ）の撓みにそった各ピンの高さから、水平にするには、図３（ｂ）に示すように、ピン３１ａ、３１ｃを相対的に下方に下げる、もしくは、図３（ｃ）に示すように、相対的にピン３２ｂを上方に上げる。
また、撓んでトレイに保持された板状物を複数のピンにて水平に保持するのは、上記方法以外にも、ピンを鉛直方向だけでなく、水平方向または回転方向に動かすことで行ってもよい。
例えば、図１０（ａ）に示すように所定の撓み状態で撓んでトレイ１０に支持された板状物２０に、接触する面にほぼ直交する方向にピン３１ｄ〜３１ｆを傾けて配し、各ピンを、鉛直方向、あるいは鉛直方向と水平方向移動させることにより、それぞれ、トレイ１０に近づけて前記所定の撓み撓状態を維持しながら接触させ（図１０（ｂ））、更に、トレイ１０側を、ピン３１ｄ〜３１ｆ側から、鉛直方向、相対的に下げて、ピン３１ｄ〜３１ｆ側のみで前記所定の撓み撓状態を維持しながら板状物２２０を支持した（図１０（ｃ））後、傾きを制御しながら各ピンを回転移動、鉛直方向移動、水平方向移動させて、板状物２０を支持する全ピンを、鉛直方向、且つ、各ピンの先端位置が水平に揃うようにする。（図１０（ｄ））
このようにして、ピン１０による板状物２０の支持において、板状物２２０が撓んだ状態の支持から、水平の状態の支持に切り替えることができる。
このようにして、第１の積み重ね部１から板状物２０を受け取る、受け取り処理が行われる。

本例における板状物の受け渡し処理を、更に、図２に基づいて説明する。
先ず、ロボットアーム４１の上に水平に搭載された板状物２０（図２（ａ））を、各ピン４１が板状物の水平状態、あるいは撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンにて保持する第２のピン保持部３０ａにて、水平にして（図２（ｂ））、あるいは、撓ませた状態にして（図２（ｃ））、受け取る。
水平にして受け取る場合には、各ピン４１を板状物の水平状態に対応した高さに位置制御して行い、また、撓ませた状態にして受け取る場合には、各ピン４１を板状物の所望に撓ませた状態に対応した高さに位置制御して行う。
板状物２０が水平の状態の場合には、第２のピン保持部３０ａの各ピン３１を、所望の撓み状態における高さに位置制御して、第２のピン保持部３０ａにて、板状物２０を撓ませた状態で保持する。
次いで、板状物２０を撓ませた状態で第２のピン保持部３０ａにて保持しながら、板状物２０がトレイ１０に搭載した状態とする。（図２（ｄ））
ここでは、トレイ１０を所定の保持具により搬送して、下側から板状物２０に沿うようにして、板状物２０がトレイ１０に搭載した状態とする。
次いで、板状物２０とトレイ１０とを一体として、板状物２０を載せたトレイ１０を複数積み重ねた第２の積み重ね部２の上側に積み重ねる。（図２（ｅ））
図２（ｅ）の第２の積み重ね部１への板状物を載置したトレイの積み重ねは、特に限定されないが、例えば、枠部の辺部にそって吸着部を備えた形態のものや、ロボットアームを用いて行う形態がある。
ロボットアームを用いて行う形態の場合、先に述べたように、トレイとしては、枠部にそってその外側に突き出た搬送用支持部（図示していない）を、トレイの対向する２辺部に沿い設けた形態のものを用い、ロボットアームにて搬送用支持部を支持して、トレイを持ち上げる。
このようにして、第２の積み重ね部２へ板状物２０を受け渡す、受け渡し処理が行われる。
尚、第２のピン保持部３０ａも、基本的に第１のピン保持部３０と同様で、ピンの上側先端は、ボールベアリング支持により回転可能なボール３２を可動部として設け、その表面材質を熱可塑性樹脂としている。

ここで、トレイ１０と、板状物を載置したトレイの積み重ねについて説明しておく。
トレイ１０としては、例えば、図７（ａ）に示すような、第１の例の板状物用のトレイ（以下板状物用トレイとも言う）１１０を用いる。
第１の例の板状物用トレイ１１０は、四角形状で剛性のある板状物１４０の面方向を水平方向として、板状物１４０を、その上側に載せて保持するトレイ１１０で、且つ、板状物１４０を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイで、全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい四角状の枠部１２０と、枠部１２０に支持され、枠部１２０の枠内側領域において、板状物１４０を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部１３０とを備えたものである。
板状物保持部１３０は、板状物１４０に接して支持する支持部１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃ、１３０ｄよりなり、支持部１３０ｂ、１３０ｄにより、枠部１２０の４辺の、一方の対向する２辺に沿うように、板状物１４０の両端を支持し、支持部１３０ａ、１３０ｃにより、枠部の４辺の、他方の対向する２辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、板状物１４０を支持するものである。
板状物保持部１３０を、保持される板状物１４０の撓みに沿うように湾曲させているが、本例では、その湾曲形状を、板状物の自重による該湾曲方向のたわみ形状に近い形状とし、各支持部１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃ、１３０ｄが板状物１４０に沿うようにしている。
枠部１２０は、トレイ１１０を複数重ねる際の重なり部であり、トレイ１１０を複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されているが、特に、本例では、枠部１２０の４辺は、いずれも、その表裏面をフラットとし、各辺の表面同士、裏面同士は、それぞれ、一平面上に位置する。
また、第１の例においては、板状物保持部１３０は、保持される板状物１４０の周縁部分のみに配されて、板状物１４０の周縁部分を支持するものであり、保持される板状物４０の内部領域に対応する領域は開口となっている。
第１の例のトレイ１１０は、このような構成にすることにより、板状物１４０を撓んだ状態でき、板状物の一方の面、例えば機能部を設けた面を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管が簡単にできる。
板状物保持部１３０はここでは図示していないが、板状物１４０に沿う形状で、板状物保持部１３０の厚さは、枠部１２０の厚さより薄いことが必要で、多少の撓みのバラツキや振動を考慮して、枠部１２０の厚さより十分に薄いことが好ましい。
尚、枠部１２０としては、強度が大きく、軽量な材料が好ましく、例えば、アルミニウム等が挙げられる。
また、板状物保持部１３０の各支持部１３０ａ〜１３０ｄも、強度が大きく、軽量な材料であることが好ましく、例えば、アルミニウムを基材として、板状物１４０と接触する部分にクッション材を設けておく形態が好ましい。

板状物１４０をこのようなトレイ１１０で保持した場合、枠部１２０に対して、板状物１２０と板状物保持部１３０は、板状物１２０が撓んだ状態で、所定の位置関係の形状となるため、このような単位の板状物１４０を保持したトレイ１１０を、枠部１２０にて、面接触して重ねても、板状物同士は、枠の厚み分だけ、間隔を維持できるものとなる。
このようにして、板状物を積み重ねたものが、図１（ａ）に示す第１の積み重ね部１や、図２（ｅ）に示す第２の積み重ね部２に相当するものである。
尚、このようにしてトレイを重ねた状態とする場合、即ち、第１の積み重ね部１や第２の積み重ね部２を形成する場合には、ここでは図示していないが、例えば、枠部１２０の形状に合い、また内側開いた形状の専用の台座、あるいは、トレイの枠部１２０に相当する形状のものを台座として用いる。

更に、第１の例の板状物用トレイ１１０を用いた場合の板状物１４０の搭載と板状物１４０を搭載したトレイ１１０の積層を、図７（ａ）〜図７（ｆ）に基づいて簡単に説明する。
先ず、上記の第１の例の板状物用トレイ１１０を用意し（図７（ａ））、板状物１４０を、その周縁部分が各支持部１３０ａ〜１３０ｄに載るようにして、板状物保持部１３０の上に載せると、板状物１４０は、支持部１３０ｂ、１３０ｄにより、枠部１２０の４辺の、一方の対向する２辺に沿うように、その両端を支持され、また、支持部１３０ａ、１３０ｃにより、これに沿った状態で、枠部の４辺の、他方の対向する２辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて支持される。（図７（ｂ）〜図７（ｃ））
このようにして、トレイ１１０に板状物１４０が撓んだ状態で搭載される。
次いで、このように、図７（ｃ）に示す板状物１４０が搭載されたトレイ同士を、２つ重ね（図７（ｅ））、更にそれに図７（ｃ）に示す板状物１４０が搭載されたトレイを重ねて（図７ｆ））、３つが重なった状態とする。
枠同士が面接触して積層される。
このようにして、順次積層する。
あるいは、図７（ｃ）に示す板状物１４０が搭載されたトレイの上側に、板状物１４０が搭載されていない同じトレイを載せ、更にその上に、同様に、板状物１４０を、その周縁部分が各支持部１３０ａ〜１３０ｄに載るようにして、板状物保持部１３０の上に載せて、板状物１４０が搭載されたトレイ同士を２つ重ねたものを得る。（図７（ｅ））
更に、この上に、板状物１４０が搭載されていない同じトレイを載せ、更にその上に、同様に、板状物１４０を、その周縁部分が各支持部１３０ａ〜１３０ｄに載るようにして、板状物保持部１３０の上に載せて、板状物１４０が搭載されたトレイ同士を３つ重ねたものを得る。（図７（ｆ））
このようにして、順次積層する。

トレイ１０としては、例えば、図８（ａ）に示すような、第２の例の板状物用のトレイ（以下板状物用トレイとも言う）２１０を用いる。
第２の板状物用トレイ２１０も、第１の例の板状物用トレイ１１０と同様、四角形状で剛性のある板状物２４０の面方向を水平方向として、板状物２４０を、その上側に載せて保持するトレイ２１０で、且つ、板状物２４０を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイであり、全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい四角状の枠部２２０と、枠部２２０の４辺に支持され、枠部２２０の枠内側領域において、板状物２４０を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部２３０とを備えたものである。
第２の板状物用トレイ２１０においては、板状物保持部２３０は、枠部２２０の４辺に沿う４つの支持部２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄよりなり、枠部２２０の４辺の各辺に沿ったその上面を、いずれも、下側に湾曲させており、枠部２２０の４辺に沿うように、前記板状物２４０の４辺部に沿ってその端部を支持し、且つ、枠部２２０の４辺の各辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、板状物２４０を撓ませた状態で支持するものである。
板状物保持部２３０を、保持される板状物２４０の撓みに沿うように湾曲させているが、例えば、図示していないが、その湾曲形状を、板状物２４０の対角に配する２つのコーナー部のみを支持したときの、板状物の自重による撓み形状に近い形状とし、板状物２４０に沿うように湾曲させ、各支持部２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄが板状物２４０に沿って板状物２４０を支持するようにしている。
枠部２２０は、トレイ２１０を複数重ねる際の重なり部であり、トレイ２１０を複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されているが、特に、本例においては、枠部２２０の４辺の各辺は、いずれも、板状物保持部３０の各辺に沿う湾曲にそった形状である。
また、板状物保持部２３０は、保持される板状物２４０の周縁部分のみに配されて、板状物２４０の周縁部分を支持するものであり、保持される板状物２４０の内部領域に対応する領域は開口となっている。
各部の材質については、第１の例の板状物用トレイ１１０と同様のものが用いられる。

更に、第２の例の板状物用トレイ２１０を用いた場合の板状物２４０の搭載と板状物２４０を搭載したトレイ２１０の積層を、図８（ａ）〜図８（ｄ）に基づいて簡単に説明しておく。
第２の例の板状物用トレイ２１０を用意し（図８（ａ））、板状物２４０を、その周縁部分が各支持部２３０ａ〜２３０ｄに載るようにして、板状物保持部２３０の上に載せると、板状物２４０は、４つの支持部２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄにより、枠部２２０の４辺の４辺に沿うように、その各辺の端が支持され、且つ、枠部２２０の４辺の各辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませた状態で支持される。（図８（ｂ）〜図８（ｃ））
このようにして、トレイ２１０に板状物２４０が撓んだ状態で搭載される。
次いで、このように、図８（ｃ）に示す板状物２４０が搭載されたトレイ同士を、その枠部２２０を互いに面接触させて、順次、重ねる。（図８（ｄ））
このように、 枠部同士を面接触して板状物を載置したトレイの積層が行われる。
この場合も、実際には、図示していない台座の上に重ねていき、搬送等が行われる。

ここで、従来のトレイの１例による板状物の搭載と積層とを、図９に基づいて簡単に説明しておく。
図９（ａ）に示すように、重なり部となる枠部３２０と、板状物を搭載する底部（支持部）３３０とからなり、底部（支持部）３３０は枠部に固定され、枠部３２０の枠内側領域全体を覆う強固な板状のものであり、その上に板状物を水平にして搭載しても板状物の自重により撓むことがないものである。
この従来のトレイの場合、例えば、水平にした状態で底部３３０に板状物を搭載してたものを、順次、枠部で重ねて（図９（ａ）〜図９（ｃ））、板状物を搭載したトレイを２つ重ね（図９（ｄ））、３つ重ね（図９（ｅ））としていく。
このようにして、所望の重ね数を得るが、この従来のトレイにおいては、板状物は、ただ底部に搭載されただけの状態で、運搬等の振動でズレて、機能面が接触したり、端部がコスレて破損したり、ゴミが発生することがあり、品質的に問題が発生することがあった。
これに対し、上記、第１の例の板状物用トレイ１１０、第２の例の板状物用トレイ２１０においては、いずれも、鉛直方向下側に撓んだ状態で搭載するため、搬送等における振動による板状物の浮き上がりを低減することができ、そのような品質的問題を無くすことができる。

図９（ａ）に示す、水平にして保持する従来のトレイ３１０を用いた場合は、板状物２０を載置したトレイ１０Ａを水平にして積み重ねるが、図５（ａ）〜図５（ｄ）に示すように、基本的には、本例の場合と同様にして、板状物を水平の状態で受け取り処理を行い、また、図５（ａ１）〜図５（ｄ１）に示すように、本例の場合と同様にして、板状物を水平の状態で受け渡し処理を行う。
尚、図９（ａ）に示すトレイは明示していないが、ピン操作ができるようになっている。

図７（ａ）や図８（ａ）に示すトレイの場合、従来は、図６（ａ１）〜図６（ａ４）に一断面を示すように、トレイ１０（図７の１１０、図８の２１０に相当）からピン保持部のピン３１への板状物２０の受け取りを、ピン３１を水平な状態で行い、また、図６（ｂ１）〜図６（ｂ４）に一断面を示すように、ピン保持部のピン３１からトレイ１０（図７の１３０、図８の２３０に相当）への受け渡しを、ピン３１を水平な状態で行っていた。 このため、受け取り、受け渡しの際に、板状物２０とトレイ１０の板状物保持部（図７の１３０、図８の２３０に相当）とがこすれ、汚れもしくは傷などといった品質不良の発生原因となっていた。
図１に示す本例の一連の受け取り処理では、このような板状物２０とトレイ１０の板状物保持部とのこすれを発生しない。

尚、図４（ａ）、図４（ｂ）に示すような、板状物の撓み具合で、ピン保持部に載置する場合もあるが、これらの撓み具合については、図示しないが、上記の第１の板状物用トレイ１１０において、例えば、支持部１３０ａ、１３０ｃ（図７参照）の下方向の湾曲を合わせ、更に、そのような湾曲形状の帯状の支持部を支持部１３０ｂ、１３０ｄに跨るように配した、第１の板状物用トレイの変形例（図示していない）で対応できる。
また、図４（ｃ）に示すような、板状物の撓み具合で、ピン保持部に載置する場合もあるが、この撓み具合については、第２の板状物用トレイ２１０で対応できる。

本発明の板状物の搬送装置の形態例としては、図１に示す一連の受け取り処理を行う、受け取り処理部と、図１に示す一連の受け渡し処理を行う、受け渡し処理部の、いずれか一、方あるいは、両方の処理部を備えたものが挙げられる。
トレイ、板状物を載置したトレイの積み重ね部、ピン保持部、については、上記で説明したものが適用でき、これら各部については、説明を省く。
第１の積み重ね部（図１（ａ）の１に相当）から板状物を載置したトレイへ取り出す、取り出し部、あるいは、板状物を載置したトレイから第２の積み重ね部２へ受け渡す、受け渡し部としては、特に限定されないが、例えば、枠部の辺部にそって吸着部を備えた形態のものや、ロボットアームを用いて行う形態がある。
ロボットアームを用いて行う形態の場合、トレイとしては、枠部にそってその外側に突き出た搬送用支持部（図示していない）を、トレイの対向する２辺部に沿い設けた形態のものを用い、ロボットアームで搬送用支持部を支持し、持ち上げる。

図１（ａ）〜図１（ｆ）は本発明の板状物の搬送方法の実施の形態例における板状物の受け取り搬送処理の流れを示した概略図である。 図２（ａ）〜図２（ｅ）は本発明の板状物の搬送方法の実施の形態例における板状物の受け渡し搬送処理の流れを示した概略図である。 図３（ａ）〜図３（ｃ）は撓んでトレイに保持された板状物を複数のピンにて水平に保持する場合のピンの動きを説明するための図で、図３（ｄ）はピンの先端部の１例を示した図である。 図４（ａ）〜図４（ｃ）はそれぞれ複数のピンによる保持と撓み状態を説明するための図である。 図５（ａ）〜図５（ｄ）は従来の板状物の受け取り搬送処理の流れを示した概略図で、図５（ａ１）〜図５（ｄ１）は従来の板状物の受け渡し搬送処理の流れを示した概略図である。 図６（ａ１）〜図６（ａ４）は従来の撓んでトレイに保持された板状物を複数のピンにて水平に保持する場合のピンの動きを説明するための図で、図６（ｂ１）〜図６（ｂ４）は従来の複数のピンにて水平に保持された板状物を撓んでトレイに保持する場合のピンの動きを説明するための図である。 図７（ａ）は板状物を撓んだ状態で保持するトレイの１例の概略構成図で、図７（ａ）〜図７（ｆ）は板状物を撓んだ状態で保持する該トレイの積み重ねを説明するための図である。 図８（ａ）は板状物を撓んだ状態で保持するトレイのさらに別の１例の概略構成図で、図８（ａ）〜図８（ｄ）は板状物を撓んだ状態で保持する該トレイの積み重ねを説明するための図である。 図９（ａ）〜図９（ｅ）は従来の板状物を水平の保持するトレイの積み重ねを説明するための図である。 図１０（ａ）〜図１０（ｄ）はピンによる撓んだ状態での支持から水平状態の支持への切り替えを説明するための断面図ある。

符号の説明

１、１Ａ 積み重ね部（第１の積み重ね部とも言う）
２、２Ａ 積み重ね部（第２の積み重ね部とも言う）
１０、１０Ａ トレイ
２０ 板状物
３０ ピン保持部（第１のピン保持部とも言う）
３０ａ ピン保持部（第２のピン保持部とも言う）
３０Ａ ピン保持部
３１、３１ａ〜３１ｆ ピン
３３２ 可動部（ボールとも言う）
３３ 固定部
３４ 先端固定部
３５ 軸
３６ 軸スライド固定部
４０ ロボット
４１ ロボットアーム
１１０ トレイ
１２０ 枠部
１３０ 板状物保持部
１３０ａ〜１３０ｄ 支持部（保持部とも言う）
１４０ 板状物
２１０ トレイ
２２０ 枠部
２３０ 板状物保持部
２３０ａ〜２３０ｄ 支持部（保持部とも言う）
２４０ 板状物
３１０ トレイ
３２０ 枠部
３３０ 底部（支持部）
３４０ 板状物

Claims (18)

1. 四角形状で、剛性があり、自重により撓む板状物の面方向を水平方向として、該板状物を受け取り、受け渡しして搬送する方法であって、順に、板状物を撓んだ状態でその上側に載せて保持するトレイを用い、板状物を載せた該トレイを複数積み重ねた第１の積み重ね部の上側もしくは下側から、板状物を載せた該トレイを、１つづつ、取り出し、前記トレイの開口領域において、該トレイとともに板状物を撓んだ状態で、各ピンが板状物の撓み状態に対応した高さに位置制御された複数のピンにて保持する第１のピン保持部にて、複数のピンとトレイとを相対的に、少なくともどちらか一方を、鉛直方向に移動することで受け取り、板状物の撓んだ状態を保持したまま、該トレイを板状物から取りはずし、板状物のみを撓んだ状態で受け取る、第１の板状物受け取りステップと、第１のピン保持部に搭載されている板状物をロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載して受け取り、搬送する、板状物搬送ステップとを、行う、一連の板状物の受け取り処理、順に、ロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載された板状物を、各ピンが板状物の水平状態、あるいは撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンにて保持する第２のピン保持部にて、水平にして、あるいは、撓ませた状態にして受け取る、第２の板状物受け取りステップと、必要に応じて、該第２のピン保持部の各ピンを、所望の撓み状態における高さに位置制御して、第２のピン保持部にて、板状物を撓ませた状態で保持する、板状物撓み保持ステップと、板状物を撓ませた状態で第２のピン保持部にて保持しながら、該板状物がトレイに搭載した状態とする、トレイ装着ステップと、板状物とトレイとを一体として、板状物を載せたトレイを複数積み重ねた第２の積み重ね部の上側もしくは下側に積み重ねる、トレイ積み重ねステップとを、行う、一連の受け渡し処理、のいずれ一方の処理か、もしくは、両方の処理を行うことを特徴とする板状物の搬送方法。
2. 請求項１に記載の板状物の搬送方法であって、第１のピン保持部もしくは第２のピン保持部に搭載して、必要に応じて、板状物が撓んだ状態で、もしくは、水平な状態で、板状物の移動を行うことを特徴とする板状物の搬送方法。
3. 請求項１ないし２のいずれか１項に記載の板状物の搬送方法であって、前記一連の板状物の受け取り搬送処理において、第１の板状物受け取りステップ後、第１のピン保持部の各ピンを所定の撓み状態に対応した高さから水平状態に対応した高さに位置制御して、板状物を水平に保持した状態で、板状物搬送ステップを行うことを特徴とする板状物の搬送方法。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載の板状物の搬送方法であって、前記第１の保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物と接触するもので、接触する際に板状物の面方向において可動する可動部を有するものであることを特徴とする板状物の搬送方法。
5. 請求項４に記載の板状物の搬送方法であって、前記可動部は、ボールベアリングに支持されて回転する回転ボールであることを特徴とする板状物の搬送方法。
6. 請求項４ないし５のいずれか１項に記載の板状物の搬送方法であって、前記可動部の表面部の材質は、熱可塑性樹脂であることを特徴とする板状物の搬送方法。
7. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記第１のピン保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物を非接触に支持するもので、該少なくとも一部のピンの先端部は、気体圧により板状物を押し上げ、非接触により、板状物と近接した状態で、支持するものであることを特徴とする板状物の搬送方法。
8. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の板状物の搬送方法であって、前記板状物が、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板であることを特徴とする板状物の搬送方法。
9. 四角形状で、剛性があり、自重により撓む板状物の面方向を水平方向として、該板状物を受け取り、受け渡しして搬送する装置であって、順に、板状物を撓んだ状態でその上側に載せて保持するトレイを用い、板状物を載せた該トレイを複数積み重ねた第１の積み重ね部の上側もしくは下側から、板状物を載せた該トレイを、１つづつ、取り出し、該トレイとともに板状物を撓んだ状態で、前記トレイの開口領域において、各ピンが板状物の撓み状態に対応した高さに位置制御された複数のピンにて保持する第１のピン保持部にて、複数のピンとトレイとを相対的に、少なくともどちらか一方を、鉛直方向に移動することで受け取り、板状物の撓んだ状態を保持したまま、該トレイを板状物から取りはずし、板状物のみを撓んだ状態で受け取る、第１の板状物受け取りステップと、第１のピン保持部に搭載されている板状物をロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載して受け取り、搬送する、板状物搬送ステップとを、一連の板状物の受け取り処理として行う、受け取り処理部、順に、ロボットアーム、コンベア等の搬送部上に水平に搭載された板状物を、各ピンが板状物の水平状態、あるいは撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンにて保持する第２のピン保持部にて、水平にして、あるいは、撓ませた状態にして受け取る、第２の板状物受け取りステップと、必要に応じて、該第２のピン保持部の各ピンを、所望の撓み状態における高さに位置制御して、第２のピン保持部にて、板状物を撓ませた状態で保持する、板状物撓み保持ステップと、板状物を撓ませた状態で第２のピン保持部にて保持しながら、該板状物がトレイに搭載した状態とする、トレイ装着ステップと、板状物とトレイとを一体として、板状物を載せたトレイを複数積み重ねた第２の積み重ね部の上側もしくは下側に積み重ねる、トレイ積み重ねステップとを、一連の受け渡し処理として行う、受け渡し処理部、のいずれ一方の処理部か、もしくは、両方の処理部を備えていることを特徴とする板状物の搬送装置。
10. 請求項９に記載の板状物の搬送装置であって、第１のピン保持部、第２のピン保持部は、いずれも、各ピンが、板状物の水平状態、あるいは、撓み状態に対応した高さに位置制御できる複数のピンを備えていることを特徴とする板状物の搬送装置。
11. 請求項９ないし１０のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記第１の保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物と接触するもので、接触する際に板状物の面方向において可動する可動部を有するものであることを特徴とする板状物の搬送装置。
12. 請求項１１に記載の板状物の搬送装置であって、前記可動部は、ボールベアリングに支持されて回転する回転ボールであることを特徴とする板状物の搬送装置。
13. 請求項１１ないし１２のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記可動部の表面部の材質は、熱可塑性樹脂であることを特徴とする板状物の搬送装置。
14. 請求項９ないし１０のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記第１のピン保持部の、あるいは、前記第２の保持部の、少なくとも一部のピンの先端部は、板状物を非接触に支持するもので、該少なくとも一部のピンの先端部は、気体圧により板状物を押し上げ、非接触により、板状物と近接した状態で、支持するものであることを特徴とする板状物の搬送装置。
15. 請求項９ないし１４のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記板状物が、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、該カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板であることを特徴とする板状物の搬送装置。
16. 請求項９ないし１５のいずれか１項に記載の板状物の搬送装置であって、前記トレイは、四角形状で剛性のある板状物の面方向を水平方向として、該板状物を、その上側に載せて保持するトレイで、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用あるいは保管用のトレイであることを特徴とする板状物の搬送装置。
17. 請求項１６に記載の板状物の搬送装置であって、前記トレイは、全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部と、該枠部に支持され、該枠部の枠内側領域において、前記板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部とを備えたもので、板状物保持部は、枠部の４辺の、一方の対向する２辺に沿うように前記板状物の両端を支持し、枠部の４辺の、他方の対向する２辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、前記板状物を支持するもので、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されていることを特徴とする板状物の搬送装置。
18. 請求項１６に記載の板状物の搬送装置であって、前記トレイは、全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部と、該枠部の４辺に支持され、該枠部の枠内側領域において、前記板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部とを、備えたもので、板状物保持部は、枠部の４辺の各辺に沿ったその上面を、いずれも、下側に湾曲させており、枠部の４辺に沿うように、前記板状物の４辺部に沿ってその端部を支持し、且つ、枠部の４辺の各辺に沿う方向に、鉛直方向下側に撓ませて、前記板状物を撓ませた状態で支持するもので、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されていることを特徴とする板状物の搬送装置。