JP2005257290A - 半導体集積回路のテスト方法およびテスト回路 - Google Patents

半導体集積回路のテスト方法およびテスト回路 Download PDF

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Abstract

【課題】BISTとスキャンテストを併用する半導体集積回路において、BIST設計対象回路とスキャンテスト設計対象回路とのインタフェース部分の十分な故障検出を可能にし、かつテストパターンの自動生成を可能にする。
【解決手段】BIST回路110とスキャンテスト設計対象回路120をともに有する半導体集積回路において、スキャンテスト設計対象回路120とのインタフェースとなるBIST回路110の入出力端子部にバウンダリスキャン回路101を形成し、スキャンテスト設計対象回路120のスキャンテスト時にバウンダリスキャン回路101がスキャンチェーンの一部として機能するように制御することで、BIST回路110とスキャンテスト設計対象回路120とのインタフェース部分をATPGで自動発生したテストパターンを用いてテストする。
【選択図】 図1

Description

本発明は半導体集積回路のテスト容易化技術に係り、特に、BISTとスキャンテストを併用する半導体集積回路において、BISTを適用するBIST回路とスキャンテストを適用するスキャンテスト回路とのインタフェース部分の十分な故障検出を可能にする半導体集積回路のテスト方法およびテスト回路に関する。
近年の半導体集積回路設計においては、CPU等の多くの機能ブロックIPコアを用いてシステムを実現させる手法が主流となってきている。これらの大規模な半導体集積回路のテスト容易化手法として、BIST、フルスキャンテスト、アイソレーションテストなどが用いられている。
半導体集積回路のテスト回路設計においては、内部の回路構成等に応じて、どのテスト方法が最適であるかを都度検討して設計しているが、それぞれのテスト手法に得失があり、高い故障検出率を確保しながらテスト時間を短縮しテストコストを削減することは重要な課題であった。
その解決策としてロジックBISTなどの手法も提案され、いくつかの技術が商品化されているが、半導体集積回路の回路構成によっては十分なテストを行うことが困難な場合もあり、特にクロックが複雑な回路等においては、半導体集積回路全体をロジックBISTのみでテストすることは必ずしも賢明ではないと思われる。
そのため、最近の大規模な半導体集積回路では、BISTとスキャンテストを併用し、複雑な順序回路に対してはスキャンテストを用いて高い故障検出率を確保し、規則構造のマクロブロックやマイクロ制御部等に対してはBIST方式を用いてテスト時間の短縮を図るものが増えてきている。
しかしながら、BISTとスキャンテストの併用においては、BIST回路とスキャンテスト回路のインタフェース部分はATPG等による接続テストを行うことができず、故障検出できない部分が発生するため、実動作テストパターンによりインタフェース部の接続確認が必要となるという問題があった。
これに対して、従来、BIST回路からスキャンテスト回路に新たなパスを設けてテストパターンを供給することにより、BIST回路側からインタフェース部分の故障検出を行う方法が提案されている。この方法によれば、インタフェース部分に対して少ない回路追加でBISTを行うことができるため、テストパターン発生コストとテスト時間を削減することができるとしている(例えば、特許文献1参照)。
特開平6−201782号公報
しかしながら、上記従来の方法はインタフェース部分の回路をBIST手法でテストするものであり、前述したように回路構成によってはBIST手法では必ずしも十分な故障検出率を確保することができないという問題がある。
本発明は、BISTとスキャンテストを併用する半導体集積回路において、BIST回路とスキャンテスト回路とのインタフェース部分の十分な故障検出を可能にし、かつテストパターンの自動生成が可能な半導体集積回路のテスト方法およびテスト回路を提供することを目的とする。
本発明の半導体集積回路のテスト方法は、自己診断機能を有するテスト対象回路(以下、BIST回路)とスキャンテスト設計対象回路とを有する半導体集積回路のテスト方法であって、前記スキャンテスト設計対象回路のスキャンテスト時に、前記スキャンテスト設計対象回路とのインタフェースとなる前記BIST回路の入出力端子部に備えたバウンダリスキャン回路をスキャンチェーンの一部として機能させる。
上記構成によれば、バウンダリスキャン回路をスキャンチェーンの一部として機能させることで、BIST回路とスキャンテスト回路とのインタフェース部分をスキャンテスト方式によりテストできるため、ATPGで自動発生したテストパターンを用いて容易に検証することが可能となり、半導体集積回路のテスト時間の短縮と故障検出率向上の効果が得られる。
本発明の半導体集積回路のテスト回路は、BIST回路とスキャンテスト設計対象回路をともに有する半導体集積回路のテスト回路であって、スキャンテスト設計対象回路とのインタフェースとなるBIST回路の入出力端子部に付加されたバウンダリスキャン回路と、スキャンテスト設計対象回路のスキャンテスト時に前記バウンダリスキャン回路をスキャンチェーンの一部として機能させる制御回路とを備える。
上記構成によれば、バウンダリスキャン回路をスキャンチェーンの一部として機能させ、BIST回路とスキャンテスト回路とのインタフェース部分をスキャンテスト方式によりテストできるため、ATPGで自動発生したテストパターンを用いて容易に検証することが可能となり、半導体集積回路のテスト時間の短縮と故障検出率向上の効果が得られる。
本発明の半導体集積回路のテスト回路において、前記バウンダリスキャン回路は前記BIST回路の内部または前記BIST回路の周囲に形成される。
本発明によれば、BISTとスキャンテストを併用する半導体集積回路において、BIST回路とスキャンテスト回路とのインタフェース部分をATPGで自動発生したテストパターンを用いてスキャンテスト方式により容易に検証することが可能となり、半導体集積回路のテスト時間を短縮することができる。また、故障検出率の向上効果が得られることで開発期間を短縮することができる。
以下、本発明の最良の実施形態について図面を参照しながら説明する。本発明は、BIST回路の内部あるいは周辺に形成されたバウンダリスキャンチェーンを活用し、BIST設計対象回路とスキャンテスト設計対象回路とのインタフェース部分の高い故障検出を確保するものである。なお、以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号を付し、同一部分については重複した説明を省略する。
図1は本発明の一実施の形態に係る半導体集積回路のテスト回路の構成を示すブロック図である。図1において、半導体集回路内部には、BISTを適用するBIST設計対象回路110と、スキャンテストを適用するスキャン設計対象回路120とが回路ブロックとして混在し、それぞれに入出力端子103を備えている。
BIST設計対象回路110においては、BIST回路102の内部あるいは周辺に入出力端子部のデータをスキャンできるようにバウンダリスキャンチェーン101が構成されている。また、スキャン設計対象回路120においては、組合せ回路104をスキャンテストするためにスキャンチェーン105が構成されている。
スキャンテストを行う際には、BIST設計対象回路110内に構成されたバウンダリスキャンチェーン101もスキャンチェーンの一部として扱い、ATPGにてテストパターン生成処理を行う。これにより、BIST回路とスキャンテスト回路のインタフェース部分についても接続確認を行うことができる。
図2は、バウンダリスキャンチェーン101を構成するバウンダリスキャンセル回路203が、スキャンテスト設計対象回路とのインタフェース部分となるBIST設計対象回路の入出力端子に付加されている様子を示す図である。201はバウンダリスキャンチェーン101を制御するテストアクセスポート(TAP)コントローラである。
すなわち、BIST設計対象回路からスキャンテスト設計対象回路内の組合せ回路104への入力207、あるいはスキャンテスト設計対象回路内の組合せ回路104からBIST設計対象回路への出力207がバウンダリスキャンセル回路203を介して接続されている。スキャンテストにおいては、バウンダリスキャンセル回路203から構成されるバウンダリスキャンチェーン101を一つのスキャンチェーンとして扱う。
このように、BIST回路とスキャンテスト回路のインタフェース部分をバウンダリスキャンチェーンを活用してスキャンテスト手法によりテストするため、十分な故障検出が可能になり、かつATPGによるテストパターンの自動生成が可能なことにより、テストパターン発生コストとテスト時間を削減することができる
バウンダリスキャンチェーン101は、BIST設計対象回路110の内部ではなく外部に形成することもできる。図3はバウンダリスキャンチェーン101をBIST設計対象回路110の外部の入出力端子周辺に置くように構成した例である。この場合も、スキャンテストにおいてバウンダリスキャンチェーン101を一つのスキャンチェーンとして扱う点は図2と同様であり、その動作や効果も同様である。
バウンダリスキャンセル回路203はバウンダリスキャンテストの国際標準規格IEEE1149.1に規定されるセルタイプのいずれの回路であっても良いが、その具体的な構成例を図4の回路図に示す。図4において、フリップフロップ回路408のデータ入力部に2段カスケード接続されたデータ入力選択回路405、406を備えてスキャンセルが構成されている。
データ入力選択回路405は、入力データ/スキャンキャプチャデータ切替え信号402により、入力データ401またはフリップフロップ回路408の保持データを出力データ407として出力する。データ入力切替え回路406は、スキャンデータ入力切替え信号404により、スキャンチェーンを構成した場合のスキャンデータ入力403またはデータ入力選択回路405の出力を選択する。
フリップフロップ回路408とデータ入力選択回路406を組み合わせた構成をスキャンセルとして使用し、これを縦続接続することによりバウンダリスキャンチェーン101を構成することができ、スキャンテスト手法によるテストを実施することで、BIST回路とスキャンテスト設計対象回路間の接続を容易に確認することができる。
このように構成されたバウンダリスキャンセル回路203を、BIST設計対象回路からスキャンテスト設計対象回路内の組合せ回路への入力207に適用したものが図5に示す回路図である。バウンダリスキャンセル回路203からなるスキャンチェーンにおいて順次データシフトし、キャプチャ動作時にBIST回路からスキャンテスト設計対象回路内の組合せ回路へデータを供給することができる。
同様に、このように構成されたバウンダリスキャンセル回路203を、スキャンテスト設計対象回路内の組合せ回路からBIST設計対象回路への入力207に適用したものが図6の回路図である。バウンダリスキャンセル回路203からなるスキャンチェーンにおいて順次データシフトし、キャプチャ動作時にスキャンテスト設計対象回路内の組合せ回路からBIST回路へデータを供給することができる。
図7はBIST回路の内部あるいは周辺に形成されたバウンダリスキャンチェーンの全体構成を示す回路図である。図7において、バウンダリスキャンセル回路203が前段の出力データ407から後段のスキャンデータ入力403へと縦続接続され、スキャン入力端子703からスキャン出力端子704へのバウンダリスキャンチェーンが形成される。701はBIST時の入力データ、702はスキャン入力切替え端子である。
さらに、BIST設計対象回路の外部において、スキャンテスト時に使用するクロックを供給するためのクロック選択回路をスキャンイネーブルの制御とともに設けることにより、スキャンテスト設計対象回路内のスキャンチェーンと同等の機能を有する回路が構成される。
このようにして、BIST設計対象回路とスキャンテスト設計対象回路とのインタフェース部分がバウンダリスキャンチェーンを介して接続され、このバウンダリスキャンチェーンをスキャンチェーンの一つとして扱うことにより、スキャン設計対象回路のATPG処理の自動発生テストパターンを用いてインタフェース部分の確認が可能となる。
本発明の半導体集積回路のテスト方法およびテスト回路は、BISTとスキャンテストを併用する半導体集積回路において、BIST回路とスキャンテスト回路とのインタフェース部分をATPGで自動発生したテストパターンを用いてスキャンテスト方式により容易に検証することが可能となり、半導体集積回路のテスト時間が短縮できるという効果を有し、BISTとスキャンテストを併用する半導体集積回路において、BISTを適用するBIST回路とスキャンテストを適用するスキャンテスト回路とのインタフェース部分の十分な故障検出を可能にする半導体集積回路のテスト方法およびテスト回路等として有用である。
本発明の一実施の形態に係る半導体集積回路のテスト回路の構成を示すブロック図。 バウンダリスキャンセル回路がBIST設計対象回路のインタフェース部分となる入出力端子に付加されている様子を示す図。 バウンダリスキャンチェーンをBIST設計対象回路の外部で入出力端子周辺に置くように構成した例を示す図。 バウンダリスキャンセル回路の具体的な構成例を示す回路図。 バウンダリスキャンセル回路のインタフェースへの適用を示す回路図。 バウンダリスキャンセル回路のインタフェースへの適用を示す回路図。 バウンダリスキャンチェーンの全体構成を示す回路図。
符号の説明
101 バウンダリスキャンチェーン
102 BIST回路
103 入出力端子
104 スキャンテスト設計対象回路内の組合せ回路
105 スキャンチェーン
110 BIST設計対象回路
120 スキャンテスト設計対象回路
201 テストアクセスポート(TAP)コントローラ
203 バウンダリスキャンセル回路
207 入出力信号
401 入力データ
402 入力データ/スキャンキャプチャデータ切替え信号
403 スキャンデータ入力
404 スキャンデータ入力切替え信号
405、406 データ入力選択回路
407 出力データ
408 フリップフロップ回路
701 BIST時の入力データ
702 スキャン入力切替え端子
703 スキャン入力端子
704 スキャン出力端子

Claims (4)

  1. 自己診断機能を有するテスト対象回路(以下、BIST回路)とスキャンテスト設計対象回路とを有する半導体集積回路のテスト方法であって、
    前記スキャンテスト設計対象回路のスキャンテスト時に、前記スキャンテスト設計対象回路とのインタフェースとなる前記BIST回路の入出力端子部に備えたバウンダリスキャン回路をスキャンチェーンの一部として機能させる半導体集積回路のテスト方法。
  2. 自己診断機能を有するテスト対象回路(以下、BIST回路)とスキャンテスト設計対象回路とを有する半導体集積回路のテスト回路であって、
    前記スキャンテスト設計対象回路とのインタフェースとなる前記BIST回路の入出力端子部に付加されたバウンダリスキャン回路と、
    前記スキャンテスト設計対象回路のスキャンテスト時に前記バウンダリスキャン回路をスキャンチェーンの一部として機能させる制御回路と、
    を備える半導体集積回路のテスト回路。
  3. 前記バウンダリスキャン回路は前記BIST回路の内部に形成される請求項2記載の半導体集積回路のテスト回路。
  4. 前記バウンダリスキャン回路は前記BIST回路の周囲に形成される請求項2記載の半導体集積回路のテスト回路。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016091134A (ja) * 2014-10-31 2016-05-23 株式会社メガチップス 半導体装置、及び半導体装置の信頼性テスト方法

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