JP2005238347A - 流路部材及び流路装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板1と、該絶縁基板1に内蔵された流路11と、該流路11の形状を変化させて流量を増減するアクチュエータ3と、を具備してなることを特徴とする流路部材。
【選択図】図1
Description
1a・・・配線側基板
1b・・・流路側基板
3・・・アクチュエータ
9・・・圧電素子保護層
11・・・流路
31・・・流路装置
33・・・連結部材
35・・・ポンプ
37・・・流量測定器
Claims (12)
- 絶縁基板と、該絶縁基板に内蔵された流路と、圧電素子の電歪作用によって該流路の形状を変化させて流量を増減するアクチュエータと、を具備してなることを特徴とする流路部材。
- 流路の壁面にアクチュエータが配置されていることを特徴とする請求項1に記載の流路部材。
- 流路と圧電素子との間に圧電素子保護層が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の流路部材。
- 異なる流体を流通させる複数の流路を備えるとともに、前記複数の流路が合流し、前記の異なる流体を混合させる混合場を具備してなることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれかに記載の流路部材。
- 複数の流路のそれぞれに、該流路の形状を変化させて流量を増減するアクチュエータが設けられたことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれかに記載の流路部材。
- 流路を挟持するように、複数のアクチュエータが配置されてなることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれかに記載の流路部材。
- 絶縁基板が、少なくとも樹脂を含有してなることを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれかに記載の流路部材。
- 絶縁基板を構成する樹脂が熱可塑性樹脂であることを特徴とする請求項7に記載の流路部材。
- 絶縁基板がセラミックスを主成分とすることを請求項1乃至6のうちいずれかに記載の流路部材。
- 配線回路が金、銀、銅、アルミニウムの少なくとも1種を含む低抵抗金属からなることを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれかに記載の流路部材。
- 請求項1乃至10のうちいずれかに記載の流路部材に連結部材を介してポンプが接続されてなることを特徴とする流路装置。
- 請求項1乃至10のうちいずれかに記載の流路部材に連結部材を介して流量測定器が接続されてなることを特徴とする流路装置。
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