JPH11129471A - インクジェット記録装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一体成形することによって接着による組立工
程を不要にしたインクジェット記録装置を提供する。 【解決手段】 インクを収容するインク供給室１２を含
む収容部１４と、この収容部１４から突出し、内部が上
記インク供給室１２と連通して該インク供給室１２から
供給されたインクを収容するインク加圧室１８になって
いる管状部１６とを、焼成により一体成形された圧電材
料の焼成体で構成し、上記管状部１６を分極処理してア
クチュエータ部２８とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像情報に応じて
インクを飛翔させ、これを記録紙に付着させて画像を記
録するインクジェット記録装置およびその製造方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、インク加圧室に収容されたインク
を電圧印加時の圧電部材の変形により加圧してノズルか
らインクを飛翔させるタイプのインクジェットヘッドが
知られている。この種のインクジェットヘッドは、通
常、ノズルを有するノズルプレート、複数のインク加圧
室や各インク加圧室にインクを供給するインク供給室な
どを形成するための部材、各インク加圧室に対応する複
数の圧電部材、インク加圧室と圧電部材とを隔てる隔
壁、および圧電部材を固定する支持部材等を接着して組
み立てることにより構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、構成部
品数および接着工程が多いほど製造コストが高くなると
ともに、組立誤差により歩留まりが低下する。また、接
着剤部分は時間の経過とともに劣化して強度が低下し、
ヘッド寿命に影響を及ぼすことになる。

【０００４】そこで、発明の目的は、一体成形すること
によって接着による組立工程を不要にしたインクジェッ
ト記録装置およびその製造方法を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、インクを収容するインク供給室を含む収容部
と、この収容部から突出し、内部が上記インク供給室と
連通して該インク供給室から供給されたインクを収容す
るインク加圧室になっている管状部とを、焼成により一
体成形された圧電材料の焼成体で構成し、上記管状部を
分極処理してアクチュエータ部としたものである。

【０００６】また、本発明のインクジェット記録装置の
製造方法は、芯材とこの芯材からそれぞれ平行に突出し
た複数のピンとからなる型材の周囲に圧電材料を含む塗
液を塗布し、乾燥後焼成して上記型材を気化させること
により、インク供給室となる上記芯材に対応した内部空
間を有する収容部と、それぞれインク加圧室となる上記
ピンに対応した各内部が上記内部空間に連通する複数の
管状部とを上記圧電材料により一体成形し、上記管状部
の内面と外面にそれぞれ設けた電極を介して分極処理し
て上記管状部にアクチュエータ部を形成するものであ
る。

【０００７】

【発明の効果】本発明のインクジェット記録装置および
その製造方法によれば、インク供給室とこれに連通する
インク加圧室とが圧電材料により一体成形された焼成体
で構成され、しかもインク加圧室を形成する管状部がア
クチュエータ部となっているので、製造過程においてア
クチュエータとなる圧電部材の機械加工や接着による組
立工程が不要となり、製造コストの低減と歩留まりの向
上を図れる。また、接着部分が存在しないので、装置の
寿命に悪影響を及ぼすこともなく信頼性が向上する。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態について説明する。図１は本発明の第１実
施形態のインクジェットヘッド（インクジェット記録装
置）１０の部分斜視図であり、図２はインクジェットヘ
ッド１０の断面図である。インクジェットヘッド１０
は、インクを収容するインク供給室１２となる内部空間
を有する収容部１４と、この収容部１４からそれぞれ平
行に突出する複数の管状部１６とからなっている。これ
ら収容部１４と管状部１６とは圧電材料（例えばＰＺ
Ｔ）により一体成形された焼成体からなる。各管状部１
６の内部は収容部１４内のインク供給室１２に連通した
インク加圧室となっており、そこから供給されたインク
がインク加圧室１８の先端まで収容されている。なお、
管状部１６の寸法は、例えば、長さ８００μｍ、外径９
０μｍ、内径４０μｍに形成してある。

【０００９】管状部１６の内面、すなわちインク加圧室
１８の壁面には例えばＮｉめっきからなる共通電極層２
０が形成されており、この共通電極層２０は収容部１４
の内面まで連続して形成されている。また、共通電極層
２０は、管状部１６の先端に設けた補助電極２２を介し
てアースに接続されている。さらに、共通電極層２０の
厚みを３μｍ以上に形成することで管状部１６の内部へ
のインク浸透を防止する保護膜としても機能する。一
方、管状部１６の中央領域の外周面には、例えばＮｉめ
っきからなる個別電極層２４が環状に形成されている。
各管状部１６の個別電極層２４はそれぞれ個別に駆動電
源２６に接続されている。

【００１０】高温下で個別電極層２４と共通電極層２０
間に高電圧を印加することにより、上記各電極２４、２
０が対向する管状部１６の部分２８（図２中、点線で挟
まれた部分）が分極処理されてアクチュエータ部となっ
ている。

【００１１】上記構成からなるインクジェットヘッド１
０では、駆動電源２６から個別電極層２４に画像情報に
応じてパルス電圧が印加されると、図３に一点鎖線で示
すように、アクチュエータ部２８が内側に膨らむよう瞬
時に変形し、この変形によりインク加圧室１８内のイン
クが加圧されて管状部１６の先端の開口部からインク滴
３０が飛翔する。このインク滴が図示しない記録紙上に
付着してドットを形成し、このドットの集合により画像
が記録される。

【００１２】以上に説明したように、本実施形態のイン
クジェットヘッド１０では、インク供給室１２とこれに
連通する複数のインク加圧室１８とが圧電材料により一
体成形された焼成体で構成され、かつ、インク加圧室を
形成する管状部１６がアクチュエータ部２８となってい
るので、ヘッドの製造過程においてアクチュエータとな
る圧電部材の機械加工や接着による組立工程が不要とな
り、製造コストの低減と歩留まりの向上を図れる。ま
た、接着剤部分が存在しないので、ヘッドの寿命に悪影
響を及ぼすことがなく信頼性が向上する。

【００１３】図４は上記インクジェットヘッド１０の変
形例を示したもので、個別電極層２４およびアクチュエ
ータ部２８をそれぞれ第１および第２の個別電極層２４
ａ、２４ｂと第１および第２のアクチュエータ部２８
ａ、２８ｂとに分離して形成してある。また、管状部１
６の先端にはノズルプレート３２が設けてある。これに
よれば、第１および第２の個別電極層２４ａ、２４ｂに
同時また個別にパルス電圧を印加して第１および第２の
アクチュエータ部２８ａ、２８ｂを駆動することによ
り、印加パルスの電圧値を変えることなく大きさの異な
る３種類のインク滴を吐出させることができ、インク付
着なしの場合も含めて４段階の階調表現が可能となる。

【００１４】図５は、フルライン型インクジェットヘッ
ド３８の斜視図である。フルライン型とは記録紙Ｐの搬
送方向と直交する方向の記録紙Ｐの全幅をカバーする程
度にインク吐出部が配列されたもので、本実施形態のイ
ンクジェットヘッド１０は構成が簡単であるためフルラ
イン型にするのに有利である。図５のインクジェットヘ
ッド３８は、上記インクジェットヘッド１０をヘッドケ
ース３４に収容したもので、記録紙対向部に開口するス
リット３６に臨んで上記管状部１６の先端が配列されて
いる。この場合、複数の管状部１６の周囲に例えばフル
オロシリコーン樹脂等の撥インク性の充填材を充填して
管状部１６を補強するのが好ましい。これにより、管状
部１６の先端をゴムブレードでワイピングしてクリーニ
ングする場合にも管状部１６が破損することがない。ま
た、撥インク性の充填材を使用することで管状部１６の
先端近傍にインクが残ることなくインク滓の蓄積を防止
できる。

【００１５】フルライン型インクジェットヘッド３８の
メンテナンス方法にはコムブレードでワイピングするほ
かに、図６に示すように、ラインゴムキャップ３６を装
着して図示しないポンプによりキャップ吸引すること
で、各管状部１６の先端開口部からインクを吸引してそ
の先端に付着したインク滓や埃などを除去してもよい。

【００１６】次に、上記インクジェットヘッド１０の製
造方法について説明する。この製造方法は図７に示す一
連の工程からなり、まず、図８に示す形状の型材４０を
例えばベクトラＡ９５０（ポリプラスチック社製、充填
剤なし、融点Ｔｍ約２５０℃）を用いて公知の樹脂一体
成型により製造する（♯１）。この型材４０は直方体状
の芯材４２と、この芯材４２からそれぞれ平行に突出し
た複数のピン４４からなる。

【００１７】次に、型材４０の表面に例えばＮｉめっき
を施す（♯２）。このめっき層は後に共通電極層２０と
なる。続いて、図９に示すように、めっきを施した型材
４０を圧電材料を含む塗液（スラリ）４６に浸漬し（♯
３）、図１０に示すように型材４０の周囲に塗液を塗布
する。そして、これを乾燥させた後（♯４）、焼成炉で
焼成する（♯５）。この焼成により型材４０は気化して
完全に消失し、図１１に示すように、管状部１６の先端
部を切断して開口させることにより（♯６）、内面にＮ
ｉめっきが付着した収容部１４および複数の管状部１６
を備えた圧電材料からなる焼成体４８が得られる。イン
ク供給室１２となる収容部１４の内部空間は上記芯材４
２に対応して形成され、インク加圧室１８となる管状部
１６の内部は上記ピン４４に対応して形成される。その
後、管状部１６の外周面を部分的にマスクをした状態で
例えばＮｉめっきを施して個別電極層２４および補助電
極２２を形成する（♯７）。この際、管状部１６内にめ
っき溶液が入らないように収容部１４の開口部を蓋して
おく。そして、最後に、個別電極層２４および共通電極
層２０を介して管状部１６を分極処理してアクチュエー
タ部２８を形成し（♯８）、これによりインクジェット
ヘッド１０ができあがる。

【００１８】本実施形態では、２種類の塗液を用いてイ
ンクジェットヘッドを作製した。第１の塗液は次のよう
に製造した。まず、チタニウム酸ジルコニウム酸鉛、す
なわちＰＺＴの粒子を８００℃で１２時間仮焼処理し、
その後ボールミルで再度粉砕して粒子化し、このＰＺＴ
粒子をポリビニルブチラール（ＰＶＢ）（商品名「エレ
ックスＢ」積水化学工業社製）と分散混合し、これにＭ
ＩＢＫとトルエンを１：１の割合で混合した溶剤を加え
て、ボールミルで２０時間混練する。これらの混合比率
は、ＰＺＴ粉末２６重量％、ＰＶＢ１０重量％、混合溶
剤６４重量％とした。この第１の塗液を型材４０に塗布
し、乾燥後焼成炉にて１２００℃で１８時間焼成して製
造したものを第１実施例のインクジェットヘッドとす
る。

【００１９】他方、第２の塗液は、上記第１の塗液の場
合と同様に仮焼、粉砕したＰＺＴ粉末２２重量％、ポリ
ビニルアルコール（ＰＶＡ）（商品名「ＰＶＡ−２１
７」クラレ社製）８重量％、水７０重量％をボールミル
で混練して作製した。この第２の塗液を型材４０に塗布
し、乾燥後焼成炉にて１２５０℃で２０時間焼成して製
造したものを第２実施例のインクジェットヘッドとす
る。

【００２０】上記第１および第２実施例のインクジェッ
トヘッドに図１２（ａ）に示す波形のパルス電圧を印加
したところ、アクチュエータ部２８の内面が第１実施例
では０．６μｍ、第２実施例では０．９μｍ、内側に変
位した。また、市販の黒インクを充填してパルス印字周
期８ｋＨｚで連続印字したところ、第１および第２実施
例のインクジェットヘッドで共に良好なインク飛翔が得
られた。さらに、図１２（ｂ）に示す波形のパルス電圧
を印加した場合にもインク飛翔状態は良好であった。こ
のパルスの場合、アクチュエータ部２８が最初に外方に
膨らんで、もとの形状に戻る際に内部のインクを加圧し
てインクを飛翔させるものである。なお、図１２および
後述する図１７に示す台形波のパルス電圧は図１３〜１
６に具体的構成を示す回路で発生させることができる。

【００２１】続いて、上記インクジェットヘッド１０を
用いてインク飛翔実験を行った。この実験では、図１７
（ａ）、（ｂ）に示す２種類のパルス電圧を印加した。
その結果を図１８のグラフに示す。なお、このグラフに
おいて、○は図１７（ａ）のパルスを印加した場合、●
は図１７（ｂ）のパルスを印加した場合のドット径を示
す。このグラフから明らかなように、いずれのパルスの
場合もドット径がほぼ直線的に増加しており、滑らかな
階調表現が可能であることが確認できた。ここで、図１
７（ｂ）のパルスの方が図１７（ａ）のパルスよりもド
ット径が総じて大きいのは、メインパルスの直前にプレ
パルスを印加してインク加圧室１８内のインクを予圧し
ておくことで、直後のメインパルスによる加圧と相俟っ
て大きなインク飛翔力が得られるためである。

【００２２】次に、別の実施形態のインクジェットヘッ
ドについて図１９〜２４を参照して説明する。図１９に
示す型材４０ａは、ピン４４ａの先端が絞り込んであ
る。この型材４０ａを用いて上述した製造方法によりイ
ンクジェットヘッドを製造すれば、図２０に示すよう
に、インク加圧室１８の先端部がテーパ状に狭くなるよ
うに形成される。これにより、同じ加圧力が作用した場
合でも上記インクジェットヘッド１０に比べてインク飛
翔速度が速くなり、インク飛翔状態が安定する。

【００２３】また、図２１に示す型材４０ｂは、インク
ジェットヘッドの外形に一致する内部空間５０を有して
いる。この型材４０ｂを用いてインクジェットヘッドを
製造する場合、まず、内部空間５０の壁面５２に外部電
極となるＮｉめっきを施してから、低粘度の圧電材料の
スラリを内部空間５０に流し込んで、壁面５２にほぼ一
定厚みの塗液層を形成する。その後、焼成により型材４
０ｂを気化させることにより、図２２に示す断面形状の
インクジェットヘッド５４が得られる。

【００２４】図２３、２４に示すインクジェットヘッド
は、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１０
とは構成および製造方法が異なる。このインクジェット
ヘッドを製造する場合、まず、複数のノズル５６を有す
るノズルプレート５８を用意する。そして、ノズルプレ
ート５８の各ノズル５６上にフォトレジストにより直方
体状の型材６０をそれぞれパターン形成する。次に、型
材６０の表面に内部電極となるＮｉめっきを施したの
ち、これら型材６０を覆うようにノズルプレート５８の
全面に圧電材料のスラリを塗布し、スタンパ成型により
型材６０の周囲にだけスラリが残るように整形する。そ
して、乾燥後焼成してフォトレジスト製型材６０を気化
させてノズル５６から逃がすことにより、図２４に示す
ようにインク加圧室となる内部空間を有する圧電部材６
２が形成される。この圧電部材６２に外部電極を形成し
て分極処理したのちパルス電圧を印加すると、圧電部材
６０の壁面が内部に収容されたインクを三方向から加圧
するように変形するため、大きなインク飛翔力が得ら
れ、インク飛翔状態が安定する。また、フォトレジスト
でインク加圧室用の型材を形成するため、インク加圧室
を高密度に配置するのが容易になる。

【００２５】上記各実施形態で用いた型材および塗液中
の樹脂には、次の材料が使用できる。プラスチック類と
して飽和ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル
樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、
エチレン−酢酸ビニル樹脂、イオン架橋オレフィン共重
合体（アイモノマー）、スチレン−ブタジェンブロック
共重合体、ポリアセタール、ポリカーボネード、塩化ビ
ニル−酢酸ビニル共重合体、セルロースエステル、ポリ
イミド、スチロール樹脂等の熱可塑性樹脂と、エポキシ
樹脂、ウレタン樹脂、ナイロン樹脂、シリコーン樹脂、
フェノール樹脂、メラニン樹脂、キシレン樹脂、アルキ
ッド樹脂、熱硬化アクリル樹脂等の熱硬化性樹脂と、ポ
リビニルカルパゾール、ポリビニルピレン、ポリビニル
アントラセン、ポリビニロール等の光導電性樹脂とがあ
り、これらは単独または組み合わせて使用することがで
きる。

【００２６】その他、液晶ポリマー等のエンジアプラス
チック類でもよいし、プラスチック類と粉末、ウィスカ
ーとの混合物でもよい。また、感光性樹脂、厚膜用フォ
トレジスト樹脂等も使用でき、ベークライト・フッ素系
樹脂、ガラス・エポキシ樹脂（エポキシ中にガラスフィ
ラー混入）も使用できる。

【００２７】これら型材に用いられる材料は、その融点
Ｔｍが約５００℃以下であることが好ましい。この条件
は、次に述べる２つの実験に基づくものである。まず、
融点Ｔｍが約５１５℃の感光性ガラス材料（ＨＯＹＡ感
光性ガラス ＰＥＧ３）を型材用金型に加圧射出して、
紫外線を照射しながら金型から型材４０を取り外して照
射を継続して硬化させる。そして、この型材４０をオー
ブンにて３００℃で１時間加熱して結晶化処理を行って
安定化させる。その後、型材４０により上記第１実施例
と同様の塗液および製造方法でインクジェットヘッドを
焼結形成した。このインクジェットヘッドを調べたとこ
ろ、型材４０の融点Ｔｍが高いために焼結温度ではその
素材が完全に昇華しておらず、インク加圧室やインク供
給室の内面に付着して残っていた。そのため、インクの
詰まりや流路抵抗にばらつきが生じてインク飛翔状態が
不安定であった。これに対し、融点Ｔｍが約４６０℃の
ポリイミド系樹脂（感光性ポリイミド樹脂：プロビミド
７０２０、富士フィルムオーリン社製）を用いて型材４
０を形成し、同様の塗液および製造方法でインクジェッ
トヘッドを製造して調べたところ、型材は完全に昇華し
てなくなっており、良好なインク飛翔が得られた。これ
ら２つの実験結果から、型材に用いる材料の融点は約５
００℃以下であることが好ましいことが確認できた。

【００２８】次に、上記各実施形態のインクジェットヘ
ッドの製造に用いられる圧電材料としては、次のものが
使用できる。圧電結晶としては、水晶ＳｉＯ₂、ロッシ
ェル塩（ＮａＫＣ₄Ｈ₄Ｏ₆・４Ｈ₂Ｏ）、酒石酸エチレン
ディアミン（ＥＤＴ．Ｃ₆Ｈ_{1 4}Ｎ₂Ｏ₆）、酒石酸カリウ
ム（ＤＫＴ．Ｋ₂Ｃ₄Ｈ₄Ｏ₆・1/2Ｈ₂Ｏ）、第２リン酸ア
ンモニウム（ＡＤＰ：ＮＨ₄Ｈ₂ＰＯ₄）、ペロブスカイ
ト系結晶としてＣａＴｉＯ₃、ＢａＴｉＯ₃、ＰＬＺＴ、
タングステンブロンズ系結晶としてＮａｘＷＯ₃、ニオ
ブ酸バリウムナトリウム（Ｂａ₂ＮａＮｂ₅Ｏ₁₅）、ニオ
ブ酸カリウム鉛（Ｐｂ₂ＫＮｂ₅Ｏ₁₅）、ニオブ酸リチウ
ム（ＬｉＮｂＯ₃）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａ
Ｏ₃）がある。また、塩素酸ソーダ（ＮａＣｌｌ₃）、電
気石、閃亜鉛鉱（ＺｎＳ）、硫酸リチウム（ＬｉＳＯ₄
Ｈ₂Ｏ）、メタガリウム酸リチウム（ＬｉＧａＯ₂）、ヨ
ウ素酸リチウム（ＬｉｌＯ₃）、硫酸グルシン（ＴＧ
Ｓ）、ゲルマニウム酸ビスマス（Ｂｉ₁₂ＧｅＯ₂₀）、ゲ
ルマニウム酸リチウム（ＬｉＧｅＯ₃）、チタニウム酸
バリウム・ゲルマニウム（Ｂａ₂Ｇｅ₂ＴｉＯ₈）等の結
晶が使用できる。圧電半導体としては、ウルツ鉱Ｂｅ
Ｏ、ＺｎＯ、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＡｌＮがある。圧電セ
ラミックスとしては、チタニウム酸バリウム（ＢａＴｉ
Ｏ₃）、チタニウム酸ジルコニウム酸鉛（ＰｂＴｉＯ₃・
ＰｂＺｒＯ₃）、チタニウム酸鉛（ＰｂＴｉＯ₃）、ニオ
ブ酸バリウム酸鉛（（Ｂａ−Ｐｂ）Ｎｂ₂Ｏ₆）がある。
なお、上述したように上記圧電結晶、圧電性半導体、圧
電セラミックス材料の粉をプラスチック類に分散して塗
布用スラリー（泥しょう）として用いる。

【００２９】最後に、上記各実施形態のインクジェット
ヘッドで用いた水性インクおよび非水系インクの具体的
組成例を図２５、２６にそれぞれ示す。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態のインクジェットヘッドの部分
斜視図。

【図２】 図１に示すインクジェットヘッドの断面図。

【図３】 インク飛翔時のインクジェットヘッドの断面
図。

【図４】 アクチュエータ部を分割したインクジェット
ヘッドの変形例を示す断面図。

【図５】 フルライン型インクジェットヘッドの斜視
図。

【図６】 フルライン型インクジェットヘッドをキャッ
プ吸引するときの状態を示す斜視図。

【図７】 インクジェットヘッドの製造工程図。

【図８】 型材の斜視図。

【図９】 型材を塗液槽に浸漬する工程を示す図。

【図１０】 型材に塗液を塗布した状態を示す側面図。

【図１１】 焼成により型材を気化させた後に残った圧
電材料からなるヘッド部材の側面図。

【図１２】 （ａ）、（ｂ）は共に、インクジェットヘ
ッドの個別電極に印加するパスル電圧を示す波形図。

【図１３】 個別電極に印加するパスル電圧を発生させ
る回路図。

【図１４】 図１３の回路の一部の具体的構成を示す回
路図。

【図１５】 図１３の回路の一部の具体的構成を示す回
路図。

【図１６】 図１３の回路の一部の具体的構成を示す回
路図。

【図１７】 （ａ）、（ｂ）は共に、インク飛翔実験に
用いたパスル電圧の波形図。

【図１８】 インク飛翔実験における印加電圧と付着ド
ット径の関係を示すグラフ。

【図１９】 型材の変形例を示す側面図。

【図２０】 図１９の型材を用いて製造したインクジェ
ットヘッドの部分断面図。

【図２１】 型材の別の変形例を示す断面図。

【図２２】 図２１の型材を用いて製造したインクジェ
ットヘッドの断面図。

【図２３】 別の実施形態のインクジェットヘッドの製
造過程を示す平面図および断面図。

【図２４】 別の実施形態のインクジェットヘッドの平
面図および断面図。

【図２５】 水性インクの具体的組成例を示す図表。

【図２６】 非水系インクの具体的組成例を示す図表。

【符号の説明】 １０…インクジェットヘッド（インクジェット記録装
置）、１２…インク供給室、１４…収容部、１６…管状
部、１８…インク加圧室、２０…共通電極、２４…個別
電極、２８…アクチュエータ部、４８…焼成体。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを収容するインク供給室を含む収
   容部と、この収容部から突出し、内部が上記インク供給
   室と連通して該インク供給室から供給されたインクを収
   容するインク加圧室になっている管状部とを、焼成によ
   り一体成形された圧電材料の焼成体で構成し、上記管状
   部を分極処理してアクチュエータ部としたインクジェッ
   ト記録装置。
2. 【請求項２】 芯材とこの芯材からそれぞれ平行に突出
   した複数のピンとからなる型材の周囲に圧電材料を含む
   塗液を塗布し、乾燥後焼成して上記型材を気化させるこ
   とにより、インク供給室となる上記芯材に対応した内部
   空間を有する収容部と、それぞれインク加圧室となる上
   記ピンに対応した各内部が上記内部空間に連通する複数
   の管状部とを上記圧電材料により一体成形し、上記管状
   部の内面と外面にそれぞれ設けた電極を介して分極処理
   して上記管状部にアクチュエータ部を形成するインクジ
   ェット記録装置の製造方法。