JP2005228556A - 電子放出素子を用いた光電変換装置および撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 撮像装置1は、一方の主面にて入射光を受ける光電変換膜23と、前記光電変換膜23の他方の主面に離間対向する電子放出面を有して複数の電子放出素子45,45,…を含む電界放出層21と、前記電界放出層21の裏面側に形成され且つ前記複数の電子放出素子45,45,…の各々の裏面電極42に駆動信号を供給する複数の素子駆動回路31,31,…を含む駆動層30とを備える。
【選択図】 図4
Description
10A,10B 真空容器
11 透光性基板
20,20A,20B 素子基板
21 電界放出層
22 メッシュ電極
23 光電変換膜
24 透光性導電膜
25 ボンディングワイヤ
30 駆動層
31 素子駆動回路
32 周辺駆動回路
41 電子供給層
42 下部電極層(裏面電極)
44 上部電極層
45 電子放出素子
Claims (13)
- 電子放出素子を用いた光電変換装置であって、
一方の主面にて入射光を受ける光電変換膜と、
前記光電変換膜の他方の主面に離間対向する電子放出面を有し、複数の電子放出素子を含む電界放出層と、
前記電界放出層の裏面側に形成され且つ前記複数の電子放出素子の各々の裏面電極に駆動信号を供給する複数の素子駆動回路を含む駆動層と、
を含むことを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。 - 請求項1記載の光電変換装置であって、
前記電界放出層は、少なくとも前記光電変換膜と前記複数の素子駆動回路との間に介在する電極層を有し、前記電子放出素子は、前記電極層と前記裏面電極との間の電位差に応じて電子ビームを放出することを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。 - 請求項2記載の光電変換装置であって、
前記電界放出層は、半導体からなる電子供給層と、前記電子供給層上に形成されている絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され前記電極層を構成する金属薄膜電極と、を有し、
前記絶縁膜および前記金属薄膜電極は、各電子放出領域に近づくに従って漸次減少する膜厚を有することを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。 - 請求項1から請求項3のうちのいずれか1項に記載の光電変換装置であって、
前記素子駆動回路は、単数または複数の前記電子放出素子を一単位として有する表示セル毎に形成されており、前記複数の電子放出素子を各前記表示セル毎に点順次で駆動することを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。 - 請求項1から請求項4のうちのいずれか1項に記載の光電変換装置であって、前記複数の素子駆動回路の各々は、前記駆動信号を供給するアクティブ素子を含むことを特徴とする光電変換装置。
- 請求項5記載の光電変換装置であって、前記駆動層は、前記アクティブ素子に制御信号を供給する周辺駆動回路をさらに含むことを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。
- 請求項1から請求項6のうちのいずれか1項に記載の光電変換装置であって、前記駆動層は、単結晶基板の主面上に形成されていることを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。
- 請求項7記載の光電変換装置であって、
前記単結晶基板上に設けられた電極端子と外部とを電気的に接続するボンディングワイヤをさらに備え、
前記ボンディングワイヤのうち前記光電変換膜に最も近い部位が、当該部位と前記光電変換膜との間で放電を起こさない位置に配置されることを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。 - 請求項8記載の光電変換装置であって、
前記ボンディングワイヤは弧状に配置され、前記ボンディングワイヤの先端部と前記光電変換膜の裏面との間の当該裏面に対する垂直方向の距離が、放電を起こさない所定間隔に設定されていることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項7記載の光電変換装置であって、
前記光電変換膜と前記電子放出素子との間に配設され前記電子放出素子から放出された余剰電子を除去するメッシュ電極と、
前記単結晶基板上に設けられた電極端子と外部とを電気的に接続するボンディングワイヤと、をさらに備え、
前記ボンディングワイヤのうち前記メッシュ電極に最も近い部位が、当該部位と前記メッシュ電極との間に放電を起こさない位置に配置されることを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。 - 請求項10記載の光電変換装置であって、
前記ボンディングワイヤは弧状に配置され、前記ボンディングワイヤの先端部と前記メッシュ電極の裏面との間の当該裏面に対する垂直方向の距離が、放電を起こさない所定間隔に設定されていることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1から請求項6のうちのいずれか1項に記載の光電変換装置であって、前記駆動層は、ガラス基板の主面上に形成されていることを特徴とする電子放出素子を用いた光電変換装置。
- 請求項1から請求項12のうちのいずれか1項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換膜から映像信号を取り出して出力する出力回路と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
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