JP2005217063A - 基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体製造装置を構成する真空搬送室の真空引き時間を短縮する。
【解決手段】 カセットが新規か否かを判定し(ステップ101)、新規の場合のみ、真空搬送室のリークチェックを行う(ステップ102)。チェックが済んだ真空搬送室へウェハを投入した後(ステップ103)、真空搬送室の真空引きを行う(ステップ104)。このステップ104では、スロー排気、メイン排気を行ない、真空搬送室が到達真空圧力になる前に、目標制御圧力の制御を行う真空引きをする。この真空引き後、真空搬送室から処理室へウェハを搬送し(ステップ105)、成膜する(ステップ106)。成膜後、ウェハを処理室から真空搬送室へ取出し(ステップ107)、真空搬送室を大気に戻した後(ステップ108)、ウェハを回収する(ステップ109)。1カセット内の全ウェハの成膜が終了するまでステップ103〜109を繰り返す。
【選択図】 図1
【解決手段】 カセットが新規か否かを判定し(ステップ101)、新規の場合のみ、真空搬送室のリークチェックを行う(ステップ102)。チェックが済んだ真空搬送室へウェハを投入した後(ステップ103)、真空搬送室の真空引きを行う(ステップ104)。このステップ104では、スロー排気、メイン排気を行ない、真空搬送室が到達真空圧力になる前に、目標制御圧力の制御を行う真空引きをする。この真空引き後、真空搬送室から処理室へウェハを搬送し(ステップ105)、成膜する(ステップ106)。成膜後、ウェハを処理室から真空搬送室へ取出し(ステップ107)、真空搬送室を大気に戻した後(ステップ108)、ウェハを回収する(ステップ109)。1カセット内の全ウェハの成膜が終了するまでステップ103〜109を繰り返す。
【選択図】 図1
Description
本発明は、真空搬送室から搬送された基板を処理室で処理する基板処理方法に係り、特に真空搬送室の真空引きを行うウェハ処理シーケンスに関するものである。
一般的に、真空搬送室と処理室とを備えた半導体製造装置を用いて基板を処理する場合、図5に示すような基板処理方法が採用されている。
図5はウェハカセットからウェハを1枚ずつ取り出して処理室で成膜する成膜方法を示す。同図に示すように、ウェハカセットから取り出したウェハを真空搬送室に投入した後(ステップ201)、真空搬送室を真空排気する(ステップ202)。真空搬送室から処理室へウェハを搬送し(ステップ203)、処理室で成膜する(ステップ204)。成膜後、処理済みウェハを処理室から真空搬送室へ取り出し(ステップ205)、真空搬送室を大気に戻した後(ステップ206)、処理済みウェハを回収する(ステップ207)。
この一連の処理を1ウェハカセット内に収容された全てのウェハ、例えば25枚について繰り返す。
この一連の処理を1ウェハカセット内に収容された全てのウェハ、例えば25枚について繰り返す。
ここで、真空搬送室を真空排気するステップ202では、真空搬送室を到達真空圧力まで真空引きし、真空の漏れ検出(リークチェック)も行っている。具体的には、図6に示すように、真空搬送室を大気圧から目標制御圧力に制御している。ここで、真空搬送室を目標制御圧力に制御するとは、真空搬送室の圧力を処理室と同じ圧力に制御することである。
目標制御圧力シーケンスを、図6(b)に示す。スロー排気した後に(ステップ81)、メイン排気を行ない(ステップ82)、到達真空圧力(1〜3Pa)まで真空引きを行なう(ステップ83)。到達真空圧力は1〜3Paである。到達真空圧力まで引けたら、リークチェックを行い、その後、ウェハを処理室へ搬送するための目標制御圧力とすべく、真空搬送室の圧力を制御する(ステップ84)。
目標制御圧力シーケンスを、図6(b)に示す。スロー排気した後に(ステップ81)、メイン排気を行ない(ステップ82)、到達真空圧力(1〜3Pa)まで真空引きを行なう(ステップ83)。到達真空圧力は1〜3Paである。到達真空圧力まで引けたら、リークチェックを行い、その後、ウェハを処理室へ搬送するための目標制御圧力とすべく、真空搬送室の圧力を制御する(ステップ84)。
図6(a)に示す排気特性例では、真空引き開始時点(大気圧)から20秒間真空搬送室をスロー排気する。スロー排気後、メイン排気に切替えて、そのままメイン排気を継続すると30秒で到達真空圧力になる。到達真空圧力到達後、自動圧力制御手段(APC)による圧力制御を行うと50秒で目標制御圧力になる。ここで、リークチェックを行うウェハ処理シーケンスでは、ステップ83で到達真空圧力まで引けた後、次の圧力制御ステップ84に進むことになる。
このように、従来のウェハ処理シーケンスでは、メイン排気の継続中に、所定時間内に到達真空圧力になるかを判断してリークチェックとし、その後、目標制御圧力の制御に切替えるという制御方法を採っていた。
上述したように、従来のリークチェックを行う真空搬送室の真空引きのウェハ処理シーケンスでは、真空搬送室をスロー排気してからメイン排気するようにし、そのメイン排気中に到達真空圧力にしてから、目標制御圧力の制御に切替えるという手法を採っていた。
しかしこの手法では、真空搬送室を真空引きするたびに、真空搬送室のリークチェックを行うために、真空搬送室を目標制御圧力に制御するまでの時間、すなわち真空排気室の真空引き時間がかかりすぎるという問題があった。特に、真空搬送室に投入される基板の枚数が1枚ないし数枚の枚葉式である場合、真空搬送室の真空引きの時間が、基板の処理枚数に効いてくるため、大きな問題になっていた。
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、真空搬送室の真空引き時間を短縮することが可能な基板処理方法を提供することにある。
第1の発明は、真空搬送室を真空引きした後、前記真空搬送室を介して処理室へ基板を搬送して基板処理工程を行う基板処理方法において、前記基板処理工程を2回以上行う前に、真空引きした真空搬送室の真空の漏れ検出を行うことを特徴とする基板処理方法である。
2回以上の基板処理工程を行う前に真空搬送室の真空の漏れ検出を行うようにしたので、基板処理工程を1回行うごとに真空の漏れ検出を行うものと比べて、真空搬送室の真空引きに要する時間を短縮することができる。
第2の発明は、真空搬送室を真空引きした後、前記真空搬送室を介して処理室へ基板を搬送して基板処理工程を行う基板処理方法において、前記真空引きにより前記真空搬送室の圧力が到達真空圧力になる前に目標制御圧力となるように制御して、前記真空搬送室から前記処理室へ前記基板を搬送するまでの前記真空搬送室の真空引きの時間を短縮することを特徴とする基板処理方法である。
真空搬送室の圧力が到達真空圧力になる前に目標制御圧力となるように制御するので、真空搬送室の圧力が到達真空圧力になった後に目標制御圧力となるように制御するものと比べて、真空搬送室の真空引きの時間が短縮されるので、基板の処理枚数が向上する。
真空搬送室の圧力が到達真空圧力になる前に目標制御圧力となるように制御するので、真空搬送室の圧力が到達真空圧力になった後に目標制御圧力となるように制御するものと比べて、真空搬送室の真空引きの時間が短縮されるので、基板の処理枚数が向上する。
本発明によれば、真空引きした真空搬送室の真空の漏れ検出を毎回行なわないので、真空搬送室の真空引き時間を短縮することができる。したがって、ウェハの処理枚数を向上できる。
以下に本発明の実施の形態を説明する。
図3は、本発明の基板処理方法を実施するための半導体製造装置の概略平面図である。
図3に示されているように、半導体製造装置は、真空状態などの大気圧未満の圧力(負圧)に耐えるロードロックチャンバ構造に構成された真空搬送室20を備えている。真空搬送室20には負圧下でウェハWを搬送する真空ロボット25が設置されている。真空搬送室20には、ウェハに所望の処理を行う処理室10が連結されており、これは負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。真空搬送室20には、略大気圧下で用いられる大気搬送室40が連結されている。大気搬送室40にはウェハWを搬送する大気ロボット45が設置されている。大気搬送室40の右側にはノッチまたはオリフラ合わせ装置46が設置されている。大気搬送室40には、ウェハカセット60に収納されたウェハWを大気搬送室40に対して搬入搬出するためのロードポート50が設けられ、ウェハ出し入れを可能にしている。
図3は、本発明の基板処理方法を実施するための半導体製造装置の概略平面図である。
図3に示されているように、半導体製造装置は、真空状態などの大気圧未満の圧力(負圧)に耐えるロードロックチャンバ構造に構成された真空搬送室20を備えている。真空搬送室20には負圧下でウェハWを搬送する真空ロボット25が設置されている。真空搬送室20には、ウェハに所望の処理を行う処理室10が連結されており、これは負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。真空搬送室20には、略大気圧下で用いられる大気搬送室40が連結されている。大気搬送室40にはウェハWを搬送する大気ロボット45が設置されている。大気搬送室40の右側にはノッチまたはオリフラ合わせ装置46が設置されている。大気搬送室40には、ウェハカセット60に収納されたウェハWを大気搬送室40に対して搬入搬出するためのロードポート50が設けられ、ウェハ出し入れを可能にしている。
次に上述した半導体製造装置を使用した処理工程を説明する。
未処理のウェハWを収納したウェハカセット60は、ロードポート50上に工程内搬送装置(図示せず)から受け渡されて載置される。大気搬送室40に設置された大気ロボット45は、ウェハカセット60からウェハWをピックアップし、真空搬送室20に搬入する。真空搬送室20が予め設定された圧力値に減圧されると、真空搬送室20、処理室10が連通される。続いて、真空搬送室20の真空ロボット25はウェハWを真空搬送室20から処理室10に搬入する。そして、処理室10内に処理ガスが供給され、所望の処理がウェハWに行われる。処理室10で前記処理が完了すると、処理済みのウェハWは真空搬送室20の真空ロボット25によって真空搬送室20に搬出される。そして、真空ロボット25は処理室10から搬出したウェハWを真空搬送室20へ搬入する。
真空ロボット25は準備された新規のウェハWを処理室10へ前述した作動によって搬送する。処理室10では、再度、処理室10内に処理ガスが供給され、所望の処理がウェハWに行われる。前記ロードロック室30内が略大気圧に戻されると、大気搬送室40の大気ロボット45は、真空搬送室20の処理済みのウェハWをピックアップして大気搬送室40に搬出し、大気搬送室40を介してロードポート50上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。以上の動作が繰り返されることにより、ウェハが、順次処理されて行く。
未処理のウェハWを収納したウェハカセット60は、ロードポート50上に工程内搬送装置(図示せず)から受け渡されて載置される。大気搬送室40に設置された大気ロボット45は、ウェハカセット60からウェハWをピックアップし、真空搬送室20に搬入する。真空搬送室20が予め設定された圧力値に減圧されると、真空搬送室20、処理室10が連通される。続いて、真空搬送室20の真空ロボット25はウェハWを真空搬送室20から処理室10に搬入する。そして、処理室10内に処理ガスが供給され、所望の処理がウェハWに行われる。処理室10で前記処理が完了すると、処理済みのウェハWは真空搬送室20の真空ロボット25によって真空搬送室20に搬出される。そして、真空ロボット25は処理室10から搬出したウェハWを真空搬送室20へ搬入する。
真空ロボット25は準備された新規のウェハWを処理室10へ前述した作動によって搬送する。処理室10では、再度、処理室10内に処理ガスが供給され、所望の処理がウェハWに行われる。前記ロードロック室30内が略大気圧に戻されると、大気搬送室40の大気ロボット45は、真空搬送室20の処理済みのウェハWをピックアップして大気搬送室40に搬出し、大気搬送室40を介してロードポート50上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。以上の動作が繰り返されることにより、ウェハが、順次処理されて行く。
図4に、上述した真空搬送室20のガス導入・排気系の詳細図を示す。
真空ロボット25が設けられた真空搬送室20の一側に、パージガス導入ライン21が接続され、他側に排気ライン22が接続される。
真空ロボット25が設けられた真空搬送室20の一側に、パージガス導入ライン21が接続され、他側に排気ライン22が接続される。
パージガス導入ライン21には、流量制御手段(MFC)23とガス導入バルブ24とが設けられる。ガス導入バルブ24を開いたときに、流量制御手段23によって流量制御された流量のパージガスが真空搬送室20に供給されるようになっている。
排気ライン22は、メインライン18とサブライン19とから構成される。メインライン18には、APC28と排気バルブ29とが設けられる。サブライン19は、APC28と排気バルブ29とをバイパスするようにメインライン18に設けられる。サブライン19には、流量制御弁26とサブバルブ27とが設けられる。
真空搬送室20では、常時は、パージガス導入ライン21からパージガスを真空搬送室20に供給しつつ、排気ライン22から排気している。パージガスとして例えば窒素ガスN2を流している。
ここで、真空搬送室20へ真空ロボット25によってウェハWをロードした後に、真空搬送室20を真空排気するには、まずサブライン19を通じてスロー排気を行い、つぎにメインライン18を通じてメイン排気を行う。スロー排気では、ガス導入バルブ24を閉じて、パージガス導入ライン21からN2ガスの供給を止め、サブバルブ27を開けて流量制御手段26で排気流量を制御した状態で、真空搬送室20を低速で真空排気する。これによって、真空搬送室20の内部の圧力変動が抑制され、気流の発生が抑制され、ウェーハWの破損が防止され、パーティクルの発生が抑制される。スロー排気によって、真空搬送室20の内部の圧力が所定の圧力まで低下すると、スロー排気に代わってメイン排気が実行される。メイン排気では、ガス導入バルブ24を開いてパージガス導入ライン21からのN2ガスの供給をしながら、メインバルブ29を開けて、APC28により真空搬送室20内の圧力を自動調整しつつ、真空搬送室20を高速で真空排気する。これによって、真空搬送室20の内部を目標制御圧力に制御する。この目標制御圧力は、搬送圧力にもよるが、例えば100Paである。
上述した流量制御手段23、26、各種バルブ24、27、29及びAPC28は、コントローラ70によって制御される。
図1はウェハカセット60から取り出したウェハを1枚ずつ処理室10で成膜する成膜方法を示す。同図に示すように、最初にウェハカセットが新規カセットか否かを判定する(ステップ101)。ウェハカセット60が新規カセットである場合、真空搬送室20のリークチェックを行う(ステップ102)。真空搬送室20のリークチェックは次のように行なわれる。
(1)所定の時間以下で到達真空度以下になるかを計測する。または、
(2)到達真空圧力は1〜3Pa程度で、排気バルブ29とパージガス導入バルブ24とを閉じ、15分間経過後の圧力上昇値を測定する。または
(3)前記(1)、(2)のリークチェック方法を組合わせて行なう。
リークチェックに問題がなければ、ステップ101でウェハカセット60が新規カセットでないと判定された場合と同様に、次のウェハ投入ステップ103に進む。このステップ103では、ウェハカセット60から取り出したウェハWを、真空搬送室20に投入する。ウェハWの投入後、真空搬送室20を真空排気する(ステップ104)。ステップ102でリークチェックを行なっているので、この真空引きステップ104ではリークチェックを行なわない。即ち、到達真空圧力にせず、直接制御圧力にしている。
(1)所定の時間以下で到達真空度以下になるかを計測する。または、
(2)到達真空圧力は1〜3Pa程度で、排気バルブ29とパージガス導入バルブ24とを閉じ、15分間経過後の圧力上昇値を測定する。または
(3)前記(1)、(2)のリークチェック方法を組合わせて行なう。
リークチェックに問題がなければ、ステップ101でウェハカセット60が新規カセットでないと判定された場合と同様に、次のウェハ投入ステップ103に進む。このステップ103では、ウェハカセット60から取り出したウェハWを、真空搬送室20に投入する。ウェハWの投入後、真空搬送室20を真空排気する(ステップ104)。ステップ102でリークチェックを行なっているので、この真空引きステップ104ではリークチェックを行なわない。即ち、到達真空圧力にせず、直接制御圧力にしている。
真空搬送室20の排気終了後、真空搬送室20から処理室10へウェハWを搬送し(ステップ105)、処理室10で成膜する(ステップ106)。成膜後、処理済みウェハWを処理室10から真空搬送室20へ取り出し(ステップ107)、真空搬送室20を大気に戻した後(ステップ108)、処理済みウェハWを回収する(ステップ109)。そして、1ウェハカセット60内のウェハWの全てについて処理が終了したか否か判定し、否であれば、1カセット60内に収容された全てのウェハWの成膜が終了するまで上記ステップ103〜ステップ109を繰り返す。1ウェハカセット60内のウェハが25枚であれば、25回繰り返す。ウェハWの全てが終了したのであれば、最初のステップ101に戻る。
ここで、真空搬送室20を真空排気する真空引きステップ104では、リークチェックを行なわない。具体的には、図2に示すように、真空引きする真空搬送室20の圧力が、到達真空圧力(1〜3Pa)に達する前に、目標制御圧力となるように先行制御している。そのシーケンスを、図2(b)に示す。スロー排気した(ステップ91)後に、メイン排気を行なう(ステップ92)。メイン排気を継続するが、到達真空圧力に至る前に、ウェハWを処理室10へ搬送するための真空搬送室20の圧力制御をAPC28で行なって、真空搬送室20を目標制御圧力に制御する(ステップ93)。
そのときの真空搬送室20の排気特性例を図2(a)に示す。真空引き開始時点(大気圧)から20秒間真空搬送室をスロー排気する。スロー排気後、メイン排気に切替えて目標制御圧力の圧力制御を行う。この圧力制御の内容は、図示例では、メイン排気開始から5秒間でAPC28による圧力調整を始め、さらに5秒間で圧力の安定待ちをして、目標制御圧力を得ている。したがって、真空引き開始時点からたった30秒で真空搬送室20の圧力を目標制御圧力とすることができる。
さて、前述した真空搬送室20の真空引きステップ104では、真空搬送室20の到達真空圧力をチェックしていないので、真空搬送室20で真空漏れがあった場合、その真空漏れを、繰り返しステップ103〜ステップ109中では発見することができない。
そこで、本実施の形態では、前述したように、例えば1カセット分のウェハ(25枚)を処理する前に、ステップ102として、真空搬送室20のリークチェックイベントを設けている。これにより、全体のウェハ処理時間は毎回リークチェックを行なうよりも大幅に短縮することができる。
なお、実施の形態では、リークチェックの間隔を1カセット分としたが、リークチェックの間隔は1カセット分に限らず、少なくとも2回以上の所定回数毎に実施すると効果がある。
そこで、本実施の形態では、前述したように、例えば1カセット分のウェハ(25枚)を処理する前に、ステップ102として、真空搬送室20のリークチェックイベントを設けている。これにより、全体のウェハ処理時間は毎回リークチェックを行なうよりも大幅に短縮することができる。
なお、実施の形態では、リークチェックの間隔を1カセット分としたが、リークチェックの間隔は1カセット分に限らず、少なくとも2回以上の所定回数毎に実施すると効果がある。
また、実施の形態によれば、図2(b)のシーケンスのように、スロー排気、メイン排気を行ない、到達真空圧力になる前に、直接、目標制御圧力の制御をするという方法をとっている。これにより、真空搬送室20を排気して目標制御圧力に制御するまでにかかる時間を、リークチェックを行なわないウェハ処理シーケンスでは、従来の50秒から、30秒に短縮することができる。また、リークチェックを行うウェハ処理シーケンスでは、従来の15分50秒から、たったの30秒に短縮することができる。このように真空搬送室の真空引き時間を短縮することにより、ウェハの処理枚数を向上することができる。
なお、本発明の真空搬送室の真空引きは、真空搬送のシーケンスであるため、ウェハ上に成膜する膜種は限定されず、どの膜種にも対応可能である。
10 処理室
20 真空搬送室
25 真空ロボット
W ウェハ(基板)
20 真空搬送室
25 真空ロボット
W ウェハ(基板)
Claims (1)
- 真空搬送室を真空引きした後、前記真空搬送室を介して処理室へ基板を搬送して基板処理工程を行う基板処理方法において、
前記基板処理工程を2回以上行う前に、真空引きした真空搬送室の真空の漏れ検出を行うことを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004020362A JP2005217063A (ja) | 2004-01-28 | 2004-01-28 | 基板処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004020362A JP2005217063A (ja) | 2004-01-28 | 2004-01-28 | 基板処理方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005217063A true JP2005217063A (ja) | 2005-08-11 |
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ID=34904303
Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10679874B2 (en) | 2017-08-30 | 2020-06-09 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Light irradiation type heat treatment apparatus and heat treatment method |
CN115261797A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-11-01 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种腔室漏率检测方法 |
-
2004
- 2004-01-28 JP JP2004020362A patent/JP2005217063A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115261797A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-11-01 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种腔室漏率检测方法 |
CN115261797B (zh) * | 2022-08-31 | 2023-11-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种腔室漏率检测方法 |
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