JP2005212194A - セラミックグリーンシートの製造方法、積層セラミックシートの製造方法及び圧電アクチュエータ素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 水溶性バインダーとセラミック粉末と水とを混合したセラミックスラリー組成物を支持体上に流延してグリーンシートを形成する工程と、このグリーンシートを積層する工程と、この積層体の脱バインダー工程と焼成工程とを有する積層セラミックシートの製造方法において、脱バインダー工程の前に、グリーンシートの積層体を相対湿度が45%以上55%以下の恒湿中に保持して当該積層体の吸湿量を調整する工程を設けることにより、グリーンシートの吸湿量を適正化すると同時にシート生じている皺や撓みを修復して、焼成後、密着力に優れ反り量が低減された良質のセラミックシートを得ることができる。
【選択図】 図1
Description
(2)このセラミックスラリーを、ドクターブレードで一定の厚みにキャリアフィルム上に展開する。
(3)キャリアフィルム上に展開されたセラミックスラリーを有機溶剤の揮発により乾燥し、圧電グリーンシートを製造する。
(4)このグリーンシートを所定の大きさに切断し、片面上に内部電極用金属ペーストを印刷塗布する。
(5)これらを数十枚から数百枚積み重ねてプレスで熱圧着し生積層体を作る。
(6)生積層体を400℃程度の温度に加熱して、内部に含まれる有機成分を全て熱分解する脱バインダー工程を経た後、
(7)1100℃以上の温度に再び加熱し焼結する。
(8)この焼結体は内部に多数の金属電極を含んだ圧電セラミックスであり、これを所望の寸法、形状に切断加工し、
(9)各内部電極を焼結体の側面に設けた外部電極(金属膜)により電気的に並列に接続することにより、アクチュエータを構成する。
●:90°の曲げ応力では剥がれるが、45°の曲げ応力では積層体の切断面が内部電極面とグリーンシートとの間が剥がれないで密着している。
△:45°の曲げ応力では剥がれるが、通常の持ち運びでは内部電極面とグリーンシートとの間が密着している。
×:内部電極面とグリーンシートとの間が密着せずに、容易に剥がれてしまう。
Claims (9)
- 水溶性バインダーとセラミック粉末と水とを混合したセラミックスラリー組成物を支持体上に流延してグリーンシートを形成する工程と、前記グリーンシートから前記水溶性バインダーを除去する脱バインダー工程とを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、
前記脱バインダー工程の前に、前記グリーンシートを恒湿中に保持して当該グリーンシートの吸湿量を調整する吸湿量調整工程を有する
ことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。 - 前記吸湿量調整工程における前記グリーンシートの保持湿度条件が、相対湿度45%以上55%以下である
ことを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。 - 水溶性バインダーとセラミック粉末と水とを混合したセラミックスラリー組成物を支持体上に流延してグリーンシートを形成する工程と、前記グリーンシートを積層してグリーンシート積層体を得る積層工程と、前記グリーンシート積層体の脱バインダー工程と、焼成工程とを有する積層セラミックシートの製造方法であって、
前記脱バインダー工程の前に、前記グリーンシート積層体を恒湿中に保持して当該積層体の吸湿量を調整する吸湿量調整工程を有する
ことを特徴とする積層セラミックシートの製造方法。 - 前記吸湿量調整工程における前記グリーンシート積層体の保持湿度条件が、相対湿度45%以上55%以下である
ことを特徴とする請求項3に記載の積層セラミックシートの製造方法。 - 前記吸湿量調整工程が、前記グリーンシートの積層後、熱圧着前に行われる
ことを特徴とする請求項3に記載の積層セラミックシートの製造方法。 - 前記積層工程の前には、前記グリーンシート上に内部電極を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項3に記載の積層セラミックシートの製造方法。 - 中間電極を有する圧電体でなる圧電アクチュエータ素子の製造方法であって、
前記圧電体として、水溶性バインダーとセラミック粉末と水とを混合したセラミックスラリー組成物を支持体上に流延してグリーンシートを形成した後、積層、脱バインダー、焼成を経て得られる積層セラミックシートが用いられ、
前記脱バインダー工程の前には、前記グリーンシートの積層体を恒湿中に保持して当該積層体の吸湿量を調整する吸湿量調整工程を有する
ことを特徴とする圧電アクチュエータ素子の製造方法。 - 前記吸湿量調整工程における前記積層体の保持湿度条件が、相対湿度45%以上55%以下である
ことを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータ素子の製造方法。 - 前記吸湿量調整工程が、前記積層体の層間の熱圧着前に行われる
ことを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータ素子の製造方法。
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