JP2005175179A - セラミックチャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミックチャック1は、ウエハーWと接触する表面層2、および基体部6を備えている。表面層2と基体部6とが一体焼結によって形成されており、表面層2の気孔率が基体部4の気孔率より大きく、表面層2の気孔率が1%以上、10%以下である。また、基体部6を構成するセラミックが、SiCを67%以上含む。
【選択図】図1
Description
図1に示す真空チャック1を製造した。基体部4用として、純度99.9%(Fe 480ppm,
Ti 170ppm, Cr 60ppm, Ni 140ppm, Na <1ppm, K <1ppm)、平均粒径0.2μmのβ型SiC粉に、焼結助剤として純度98%以上、平均粒径0.8μmの炭化ホウ素粉2%添加し、有機バインダーと混合、造粒の上、φ302mmの金型に充填し、圧力10Mpaにてプレスし、基体部6を成形した。実施例5においては、更に純度99.9%以上のAlN粉を20wt%配合している。
<1ppm, Ni <1ppm, Na<1ppm, K <1ppm、平均粒径1.3μm)と純度99.5%以上、平均粒径0.8μmの炭化ホウ素粉、平均粒径0.3μmのカーボン粉を有機バインダーと混合、造粒したものを、基体部6のプレス成形体上に充填し、圧力8Mpaにて再度プレスし、表面層2を成形した。
図2に概略的に示す静電チャック1A
を製造した。基体部6用のSiC粉はα型のSiC粉を用いた。平均粒径は1.5μm、純度は99.9wt%以上(Fe 13ppm, Ti 3ppm, Cr
1ppm, Ni 2ppm, Na<1ppm, K <1ppm)である。これに焼結助剤として純度99%以上、平均粒径0.6μmの窒化ホウ素粉4%添加し、有機バインダーと混合、造粒の上、φ302mmの金型に充填し、圧力10Mpaにてプレスした。実施例8においては、実施例5と同様に、更に純度99.9%以上のAlN粉を20wt%配合している。
<1ppm, Ni <1ppm, Na<1ppm, K <1ppm、平均粒径1.3μm)と純度99.5%以上、平均粒径0.8μmの炭化ホウ素粉、平均粒径0.3μmのカーボン粉を有機バインダーと混合、造粒したものを、基体部用のプレス成形体上に充填し、圧力8Mpaにて再度プレスし、表面層を成形してハイブリッド成形体を得た。
Claims (9)
- ウエハーと接触する表面層、および基体部を備えているセラミックチャックであって、
前記表面層と前記基体部とが一体焼結によって形成されており、前記表面層の気孔率が前記基体部の気孔率より大きく、前記表面層の気孔率が1%以上、10%以下であることを特徴とする、セラミックチャック。 - 前記表面層を構成するセラミックスおよび前記基体部を構成するセラミックスが、SiCを67%以上含むことを特徴とする、請求項1記載のセラミックチャック。
- 前記表面層の室温における体積抵抗率が1×109Ω・cm以下であることを特徴とする、請求項1または2記載のセラミックチャック。
- 前記表面層を構成するセラミックスにおけるアルカリ元素と遷移元素成分の合計量が50ppm以下であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載のセラミックチャック。
- 前記表面層の厚さが0.5mm以上であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載のセラミックチャック。
- 前記表面層の厚さが前記セラミックチャックの厚さの25%以下であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載のセラミックチャック。
- 真空チャックまたは静電チャックであることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載のセラミックチャック。
- ヒータエレメントを備えていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一つの請求項に記載のセラミックチャック。
- 高周波発生用電極を備えていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載のセラミックチャック。
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