JP2005166442A - エネルギーデバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 負極活物質薄膜の表面近傍の酸化層及び/又は負極活物質薄膜と集電体との界面近傍の酸化層を薄くする。または、該表面近傍及び該界面近傍を除く負極活物質薄膜内部の酸素濃度を低減する。これにより、イオンや電子の移動が容易になるのでサイクル特性が向上する。
【選択図】 図3
Description
まず、正極の作製方法を述べる。Li2CO3とCoCO3とを所定のモル比で混合し、大気中において900℃で加熱することによって合成してLiCoO2を得た。これを100メッシュ以下に分級して正極活物質を得た。この正極活物質100g、導電剤として炭素粉末12g、結着剤としてポリ4フッ化エチレンディスパージョン10g、及び純水を混ぜ合わせてペースト状にした。この正極活物質含有ペーストを、正極集電体としての厚さ25μmの帯状のアルミニウム箔の両面に塗布し、乾燥して正極を得た。
まず、正極の作製方法を述べる。Li2CO3とCoCO3とを所定のモル比で混合し、大気中において900℃で加熱することによって合成してLiCoO2を得た。これを100メッシュ以下に分級して正極活物質を得た。この正極活物質100g、導電剤として炭素粉末12g、結着剤としてポリ4フッ化エチレンディスパージョン10g、及び純水を混ぜ合わせてペースト状にした。この正極活物質含有ペーストを、正極集電体としての厚さ25μmの帯状のアルミニウム箔の両面に塗布し、乾燥して正極を得た。
1a・・・隔壁
1b・・・搬送室
1c・・・薄膜形成室
4・・・・マスク
5・・・・負極集電体
6・・・・薄膜
10・・・真空成膜装置
11・・・巻き出しロール
12a,12b・・・搬送ロール
13・・・キャンロール
14・・・巻き取りロール
16・・・真空ポンプ
21・・・スパッタ成膜源
23a,23b・・・ガス導入ノズル
31・・・蒸着源
32・・・補助蒸着源
35・・・遮蔽板
50・・・プラズマ処理装置
51・・・真空槽
52・・・巻き出しロール
53・・・巻き取りロール
54・・・搬送ロール
55・・・プラズマ発生装置
56・・・ガス導入管
59・・・真空ポンプ
Claims (10)
- 集電体上に直接あるいは下地層を介して、シリコンを主成分として含む負極活物質薄膜が形成されたエネルギーデバイスであって、
前記負極活物質薄膜の表面近傍における酸素濃度のピーク値をOP1、前記集電体又は前記下地層と前記負極活物質薄膜との界面近傍及び前記表面近傍を除いた前記負極活物質薄膜中の深さ方向の酸素濃度分布が略一定と見なせる部分における酸素濃度をOC、前記表面近傍において酸素濃度が{(OP1−OC)/2}+OCである位置をD1、前記位置D1の前記負極活物質薄膜の表面からの深さをT1としたとき、T1≦20nmであることを特徴とするエネルギーデバイス。 - 集電体上にシリコンを主成分として含む負極活物質薄膜が形成されたエネルギーデバイスであって、
前記集電体と前記負極活物質薄膜との界面近傍における酸素濃度のピーク値をOP2、前記集電体と前記負極活物質薄膜との界面近傍及び前記負極活物質薄膜の表面近傍を除いた前記負極活物質薄膜中の深さ方向の酸素濃度分布が略一定と見なせる部分における酸素濃度をOC、酸素濃度が前記ピーク値OP2をとる位置D2の近傍において前記位置D2を深さ方向において挟む、酸素濃度が{(OP2−OC)/2}+OCである位置をD3,D4、前記位置D3と前記位置D4との深さ方向における距離をT2としたとき、T2≦5nmであることを特徴とするエネルギーデバイス。 - 集電体上に下地層を介して、シリコンを主成分として含む負極活物質薄膜が形成されたエネルギーデバイスであって、
前記下地層と前記負極活物質薄膜との界面近傍における酸素濃度のピーク値をOP2、前記下地層と前記負極活物質薄膜との界面近傍及び前記負極活物質薄膜の表面近傍を除いた前記負極活物質薄膜中の深さ方向の酸素濃度分布が略一定と見なせる部分における酸素濃度をOC、酸素濃度が前記ピーク値OP2をとる位置D2の近傍において前記位置D2を深さ方向において挟む、酸素濃度が{(OP2−OC)/2}+OCである位置をD3,D4、前記位置D3と前記位置D4との深さ方向における距離をT2としたとき、T2≦5nmであることを特徴とするエネルギーデバイス。 - 集電体上に直接あるいは下地層を介して、シリコンを主成分として含む負極活物質薄膜が形成されたエネルギーデバイスであって、
前記集電体又は前記下地層と前記負極活物質薄膜との界面近傍及び前記負極活物質薄膜の表面近傍を除く前記負極活物質薄膜中において、深さ方向の酸素濃度分布が略一定と見なせる部分における酸素濃度をOC、深さ方向のシリコン濃度分布が略一定と見なせる部分におけるシリコン濃度をSCとしたとき、(OC/SC)×100≦0.5%であることを特徴とするエネルギーデバイス。 - 集電体上に直接あるいは下地層を介して、シリコンを主成分として含む負極活物質薄膜を形成する工程を有するエネルギーデバイスの製造方法において、前記負極活物質薄膜の表面に還元性材料を付与することを特徴とするエネルギーデバイスの製造方法。
- 前記還元性材料がTi、Zr、La、Ce、Sc、及びYから選ばれた少なくとも一種を主成分として含む請求項5に記載のエネルギーデバイスの製造方法。
- 前記還元性材料の付与が真空成膜法による請求項5に記載のエネルギーデバイスの製造方法。
- 集電体上に直接あるいは下地層を介して、還元雰囲気でシリコンを主成分として含む負極活物質薄膜を形成することを特徴とするエネルギーデバイスの製造方法。
- 集電体の表面を還元雰囲気でプラズマ処理した後に、前記プラズマ処理された前記集電体の表面にシリコンを主成分として含む負極活物質薄膜を形成することを特徴とするエネルギーデバイスの製造方法。
- 表面に下地層が形成された集電体の前記下地層の表面を還元雰囲気でプラズマ処理した後に、前記プラズマ処理された前記下地層の表面にシリコンを主成分として含む負極活物質薄膜を形成することを特徴とするエネルギーデバイスの製造方法。
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