JP2005150492A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光を受光して電荷に変換する受光センサ部1と、前記受光センサ部1に入射光を集光させるためのマイクロレンズ6と、前記受光センサ部1と前記マイクロレンズ6との間に配された層間絶縁膜2および保護膜4とを備えるとともに、前記層間絶縁膜2および前記保護膜4が互いに異なる屈折率の光透過材料からなる固体撮像素子において、前記層間絶縁膜2と前記保護膜4との界面が前記受光センサ部1と前記マイクロレンズ6との平面位置のずれ量に応じた傾斜を有するように、当該固体撮像素子を構成する。
【選択図】図1
Description
図3は二画素共有構造のCMOSセンサの回路構成例を示す回路図であり、図4はその平面構成例を示す平面図である。図4に示すように、二画素共有構造のCMOSセンサでは、マトリクス状に二次元配列(ただし図例では1×4列)された各画素領域10に、受光センサ部11と、これに対応するゲート電極12とが設けられているが、互いに隣接する二つの受光センサ部11で一つの信号読出回路(ただし不図示)を共用するように構成されている。なお、画素領域10の外郭部分付近には、ゲート電極12や信号読出回路等を駆動するためのアルミ(AL)配線13が配設されている。
なお、ここでは、層間絶縁膜2と保護膜4との界面における傾斜を、レジストパターンをマスクにした等方性エッチングにより所望形状に削って形成する場合を例に挙げたが、それ以外にも、例えば成膜の異方性を利用して各層の層間絶縁膜2の形成材料を所望形状に堆積させて形成することも考えられる。すなわち、層間絶縁膜2と保護膜4との界面における傾斜については、その形成手順が特に限定されることはなく、種々の公知技術を用いて形成することができる。
Claims (2)
- 光を受光して電荷に変換する受光センサ部と、前記受光センサ部に入射光を集光させるためのマイクロレンズと、前記受光センサ部と前記マイクロレンズとの間に配された層間絶縁膜および保護膜とを備えるとともに、前記層間絶縁膜および前記保護膜が互いに異なる屈折率の光透過材料からなる固体撮像素子であって、
前記層間絶縁膜と前記保護膜との界面が、前記受光センサ部と前記マイクロレンズとの平面位置のずれ量に応じた傾斜を有している
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 光を受光して電荷に変換する複数の受光センサ部と、
前記複数の受光センサ部のそれぞれに入射光を集光させるために各受光センサ部に対応して配設された複数のマイクロレンズと、
前記複数の受光センサ部と前記複数のマイクロレンズとの間に配された、互いに異なる屈折率の光透過材料からなる層間絶縁膜および保護膜と、
前記受光センサ部からの電荷の読み出しを行う読み出しゲートとを備えるとともに、
前記複数の受光センサ部のうちの隣接配置された二つが、一つの前記読み出しゲートを共用するように構成された固体撮像素子であって、
前記層間絶縁膜と前記保護膜との界面が、該界面の位置に対応する前記受光センサ部と前記マイクロレンズとの平面位置のずれ量に応じた傾斜を有している
ことを特徴とする固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003387465A JP4311171B2 (ja) | 2003-11-18 | 2003-11-18 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003387465A JP4311171B2 (ja) | 2003-11-18 | 2003-11-18 | 固体撮像素子 |
Publications (2)
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JP2005150492A true JP2005150492A (ja) | 2005-06-09 |
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Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP4311171B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007081015A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
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US7812874B2 (en) | 2005-10-21 | 2010-10-12 | Sony Corporation | Solid-state imaging apparatus and camera |
US7884397B2 (en) | 2005-09-27 | 2011-02-08 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Solid-state image sensor and method for producing the same |
US8274586B2 (en) | 2008-06-17 | 2012-09-25 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same |
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US7812874B2 (en) | 2005-10-21 | 2010-10-12 | Sony Corporation | Solid-state imaging apparatus and camera |
US8159584B2 (en) | 2005-10-21 | 2012-04-17 | Sony Corporation | Solid-state imaging apparatus and camera |
US8169520B2 (en) | 2005-10-21 | 2012-05-01 | Sony Corporation | Solid-state imaging apparatus and camera |
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US8274586B2 (en) | 2008-06-17 | 2012-09-25 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same |
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JP4311171B2 (ja) | 2009-08-12 |
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