JP2008058794A - カラーフィルタ用材料、カラーフィルタ、その製造方法、これを用いた固体撮像素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】カラーフィルタを構成するカラーフィルタ用材料の改善をはかり屈折率を高めることにより、集光効率の向上を図る。
【解決手段】
本発明の固体撮像素子は、屈折率が1.9以上の無色透明の超微粒子を含有したカラーフィルタ用材料を用いて層内レンズあるいは、光導波路を構成している。
【選択図】図1
【解決手段】
本発明の固体撮像素子は、屈折率が1.9以上の無色透明の超微粒子を含有したカラーフィルタ用材料を用いて層内レンズあるいは、光導波路を構成している。
【選択図】図1
Description
本発明は、カラーフィルタ用材料、カラーフィルタ、その製造方法、これを用いた固体撮像素子およびその製造方法に関する。
近年、固体撮像素子の高精細化は進む一方であり、この高精細化に伴う感度の低下を防ぐ為に、半導体基板上の複数の光電変換領域に対応して設けられるマイクロレンズやカラーフィルタの薄型化に加え、マイクロレンズやカラーフィルタ同士の配置ピッチを極力小さくすることが求められている。そこで、集光効率の高い光学系を求めて、さまざまな構造が提案されている。
例えば、導波路をカラーフィルタで構成した固体撮像素子(特許文献1)、下凸の層内レンズをカラーフィルタで構成した固体撮像素子(特許文献2、3)が提案されている。
特許文献3の固体撮像素子の場合、受光センサ部(フォトダイオード)上に、凹部を有する層間絶縁膜を形成し、この凹部を埋め込んで、凹部の曲面により受光センサ部に入射光を集光させるために必要な曲率の凸部が形成された層内カラーフィルタを構成している。この層内カラーフィルタには、アクリル系ネガレジストに顔料を分散させたものや、ノボラック系のポジ型レジストに染料を溶解させたものが用いられており、その屈折率は1.55以上と記載されているが、せいぜい1.7程度しか得られず、十分な集光効率を得ることができなかった。
上記従来の固体撮像素子では、いずれもカラーフィルタの屈折率が小さく、集光パワーが不足し、そのために集光点がぼやけてしまい、集光効率が十分でなかった。
このように、層内上凸レンズ、層内下凸レンズ、導波路をカラーフィルタで構成しようとすると、従来のカラーフィルタ材料では、屈折率が低く十分なレンズ機能(集光効率)を発揮することができないという問題があり、十分な集光効率を得ることができず、現実的には固体撮像素子の高感度化を図ることが困難であった。
このように、層内上凸レンズ、層内下凸レンズ、導波路をカラーフィルタで構成しようとすると、従来のカラーフィルタ材料では、屈折率が低く十分なレンズ機能(集光効率)を発揮することができないという問題があり、十分な集光効率を得ることができず、現実的には固体撮像素子の高感度化を図ることが困難であった。
本発明は、前記実情に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタを構成するカラーフィルタ材料の改善をはかり屈折率を高めることにより、集光効率の向上を図ることを目的とする。
そこで本発明のカラーフィルタ用材料は、屈折率が1.9以上の超微粒子を含有している。
カラーフィルタ機能を備えた層内レンズ(または導波路)を屈折率の大きい超微粒子を含有するカラーフィルタ用材料で構成することにより、超微粒子の組成、含有率、バインダーなど、超微粒子を囲む材料の組成により、屈折率の制御は容易である。従って光学部材としての集光特性は容易に調整可能であり、集光効率の高い層内レンズ(または導波路)を提供することが可能となる。ここで屈折率1.9以上の超微粒子を用いることにより、カラーフィルタ自体の屈折率を高め、集光効率の向上を図ることができる。
カラーフィルタ機能を備えた層内レンズ(または導波路)を屈折率の大きい超微粒子を含有するカラーフィルタ用材料で構成することにより、超微粒子の組成、含有率、バインダーなど、超微粒子を囲む材料の組成により、屈折率の制御は容易である。従って光学部材としての集光特性は容易に調整可能であり、集光効率の高い層内レンズ(または導波路)を提供することが可能となる。ここで屈折率1.9以上の超微粒子を用いることにより、カラーフィルタ自体の屈折率を高め、集光効率の向上を図ることができる。
また、本発明は、上記カラーフィルタ用材料において、前記超微粒子は酸化チタンの超微粒子である。
また、本発明は、上記カラーフィルタ用材料において、前記超微粒子は酸化亜鉛の超微粒子である。
また、本発明は、上記カラーフィルタ用材料において、前記超微粒子は酸化ジルコニウムの超微粒子である。
また、本発明は、上記カラーフィルタ用材料において、前記超微粒子は平均粒径100nm以下である。
また、本発明のカラーフィルタは、画素を構成する複数の光電変換領域のそれぞれに対向するように配置され、前記光電変換領域に入射する光を画素毎に集光するための集光機能を備えたカラーフィルタであって、前記カラーフィルタは、屈折率が1.9以上の超微粒子を含有している。
また、本発明は、上記カラーフィルタにおいて、前記超微粒子は酸化チタンの超微粒子である。
また、本発明は、上記カラーフィルタにおいて、前記超微粒子は酸化亜鉛の超微粒子である。
また、本発明は、上記カラーフィルタにおいて、前記超微粒子は酸化ジルコニウムの超微粒子であるものを含む。
また、本発明は、上記カラーフィルタにおいて、前記超微粒子は平均粒径100nm以下であるものを含む。
また、本発明は、画素を構成する複数の光電変換領域のそれぞれに対向するように配置され、前記光電変換領域に入射する光を画素毎に集光するための集光機能を備えたカラーフィルタの製造方法であって、屈折率が1.9以上の超微粒子を含有したカラーフィルタ用材料を用いて光電変換領域上に供給し、塗布膜を形成する工程と、前記塗布膜を所望の形状に加工する形状加工工程とを含む。
この方法によれば、集光特性に優れたカラーフィルタを兼ねた層内レンズを提供することが可能となる。
この方法によれば、集光特性に優れたカラーフィルタを兼ねた層内レンズを提供することが可能となる。
本発明のカラーフィルタによれば、集光効率の向上をはかることができる。また、カラーフィルタと光学レンズを兼ねることができ、固体撮像素子などの光電変換部における光学系の厚さを低減することができる。
すなわち、カラーフィルタを屈折率の大きい超微粒子を含有する材料で構成することにより、集光効率の高いカラーフィルタを提供することが可能となる。また、超微粒子の組成およびバインダーとの組成比を調整することにより、屈折率の制御は容易である。
さらに本発明のカラーフィルタを用いた固体撮像素子は高感度でかつシェーディングの少ないものとなっている。
すなわち、カラーフィルタを屈折率の大きい超微粒子を含有する材料で構成することにより、集光効率の高いカラーフィルタを提供することが可能となる。また、超微粒子の組成およびバインダーとの組成比を調整することにより、屈折率の制御は容易である。
さらに本発明のカラーフィルタを用いた固体撮像素子は高感度でかつシェーディングの少ないものとなっている。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
本実施の形態で説明するカラーフィルタは、例えば固体撮像素子に用いられるものである。
本実施の形態で説明するカラーフィルタは、例えば固体撮像素子に用いられるものである。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1のカラーフィルタを用いた固体撮像素子の断面図、図2は固体撮像素子の平面模式図である(図1は、図2のA−A線断面模式図)。
図1は、本発明の実施の形態1のカラーフィルタを用いた固体撮像素子の断面図、図2は固体撮像素子の平面模式図である(図1は、図2のA−A線断面模式図)。
この固体撮像素子は、カラーフィルタ用材料を、各色の顔料と、粒子サイズ10から30nm、屈折率1.9、真比重5.78の酸化チタン超微粒子(石原産業株式会社製TTO−51(A))とを、有機ポリマーに分散し、固形分中の酸化チタン超微粒子が25vol%となるように調整し、これを、光電変換部30及び電荷転送部40上を覆うパッシベーション膜71上に塗布形成し、カラーフィルタ機能を備えた層内下凸レンズ73、層内上凸レンズ74としたものである。ここでは青色フィルタとしては、Pigment Blue(PB)15:6と、Pigment Violet(PV)23を、緑色フィルタとしてPigment Green(PG)36と、Pigment Yellow(PY)150を、赤色フィルタとして、Pigment Red(PR)254と、Pigment Yellow(PY)139をそれぞれ含有させ、層内レンズにカラーフィルタ機能を持たせたことを特徴とするものである。
製造に際しては、以下のような方法がとられる。
まず、カラーフィルタ用材料の組成としては、感光性を持たせたフォトリソ型組成でもよいし、また非感光性の熱硬化性型の物でもよい。本実施の形態においては後者のものを調整した。このカラーフィルタ用材料の固形分組成は、顔料、分散剤、分散樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、および酸化チタンからなる。
まず、カラーフィルタ用材料の組成としては、感光性を持たせたフォトリソ型組成でもよいし、また非感光性の熱硬化性型の物でもよい。本実施の形態においては後者のものを調整した。このカラーフィルタ用材料の固形分組成は、顔料、分散剤、分散樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、および酸化チタンからなる。
調整の手順としては、まず、顔料と酸化チタンを分散剤、分散樹脂、及び溶剤と共に微分散し、その後、溶剤に溶かした熱硬化性エポキシ樹脂と、粘度調整のための希釈溶剤を添加し、均一になるように攪拌し、最後にろ過して完成させた。
なお、カラーフィルタ用材料としては、必要に応じて各種界面活性剤を添加することもできる。界面活性剤の添加により、塗布ムラを抑制することができ、塗布性の向上をはかることができる。また、フォトリソ型のカラーフィルタ用材料の場合は残渣の発生を抑制することができることから現像性の向上を図ることができる。さらには、分散安定性の向上をはかることができる。
なお、カラーフィルタ用材料としては、必要に応じて各種界面活性剤を添加することもできる。界面活性剤の添加により、塗布ムラを抑制することができ、塗布性の向上をはかることができる。また、フォトリソ型のカラーフィルタ用材料の場合は残渣の発生を抑制することができることから現像性の向上を図ることができる。さらには、分散安定性の向上をはかることができる。
カラーフィルタの形成は以下のようにして行われる。
まず、遮光膜71上に、遮光膜71、及びフォトダイオード部を覆うようにBPSGからなる絶縁膜72を形成した。この絶縁膜はリフロー膜として機能するもので、電荷転送電極3を覆うことによって該電荷転送電極3間のフォトダイオードに凹部を形成したものである。凹部は、絶縁膜72がリフロー処理されることにより、層内下凸レンズ形成のための所定の曲率となるように調整加工したものである。
まず、遮光膜71上に、遮光膜71、及びフォトダイオード部を覆うようにBPSGからなる絶縁膜72を形成した。この絶縁膜はリフロー膜として機能するもので、電荷転送電極3を覆うことによって該電荷転送電極3間のフォトダイオードに凹部を形成したものである。凹部は、絶縁膜72がリフロー処理されることにより、層内下凸レンズ形成のための所定の曲率となるように調整加工したものである。
そしてこの上に、第1色目のカラーフィルタ用材料を所定の厚みとなるように、塗布・乾燥し、220℃5分程度熱硬化した後、さらにレジスト膜を塗布しフォトリソグラフィにより所定のパターンを形成した。そのレジストパターンをマスクとしてエッチングすることで、カラーフィルタを所定の画素部のみに残した。
続いてこの上に、第2色目のカラーフィルタ用材料を、塗布・乾燥し、220℃5分程度熱硬化した後、CMPにより第1色と同じ厚みとなるように平坦化するとともに第1色目のカラーフィルタ上のレジスト膜も除去した。
さらにフォトリソグラフィにより、第1色のカラーフィルタ上および第2色のカラーフィルタを形成すべき領域の画素上を被覆するようにレジストパターンを残し、このレジストパターンをマスクとして第2色のカラーフィルタ材料をエッチングする。
そして最後に第3色のカラーフィルタ用材料を塗布・乾燥し、220℃5分程度熱硬化した後、CMPにより3色のカラーフィルタの膜厚が同一となるように揃えると同時に第1及び第2色のカラーフィルタ上のレジストパターンを除去した。
この後レジスト膜を所定の厚みに塗布し、パターニングした後メルトさせて上凸レンズ形状を形成した。そしてエッチバックにより、このレンズ形状をカラーフィルタに転写し、図1に示したような下凸レンズ、及び上凸レンズ形状の層内レンズを兼ねたカラーフィルタを形成した。
そしてこの上層に、有機膜からなる平坦化膜75を形成し、この上層にマイクロレンズ60を形成する。
そしてこの上層に、有機膜からなる平坦化膜75を形成し、この上層にマイクロレンズ60を形成する。
このように、本実施の形態の固体撮像素子は、図1に示すように、フォトダイオード30の上方には、中間層70を介して、各フォトダイオード30それぞれに対応するように赤色のカラーフィルタ機能を備えた層内下凸レンズ73および層内上凸レンズ74と、(緑色のカラーフィルタ機能を備えた層内下凸レンズおよび層内上凸レンズと、青色のカラーフィルタ機能を備えた層内下凸レンズおよび層内上凸レンズと)が、配列して形成され、この上層に平坦化膜75を介して、マイクロレンズ60が形成される。
他は通例の構造をなすものであるが、n型のシリコン基板1表面部に光電変換部であるフォトダイオード30が配列形成され、各フォトダイオード30で発生した信号電荷を列方向(図3中のY方向)に転送するための電荷転送部40が、列方向に配設された複数のフォトダイオード30からなる複数のフォトダイオード列の間を蛇行して形成される。そして、奇数列のフォトダイオード列が、偶数列のフォトダイオード列に対して、列方向に配列されるフォトダイオード30の配列ピッチの略1/2列方向にずれるように形成されている。
電荷転送部40は、複数のフォトダイオード列の各々に対応してシリコン基板1表面部の列方向に形成された複数本の電荷転送チャネル33と、電荷転送チャネル33の上層に形成された電荷転送電極3(第1層電極3a、第2層電極3b)と、フォトダイオード30で発生した電荷を電荷転送チャネル33に読み出すための電荷読み出し領域34とを含む。電荷転送電極3は、行方向に配設された複数のフォトダイオード30からなる複数のフォトダイオード行の間を全体として行方向(図3中のX方向)に延在する蛇行形状となっている。ここで電荷転送電極3は第1層電極上に電極間絶縁膜を介して第2層電極を形成したのちCMPにより平坦化して単層電極構造としたものであるが、単層電極構造に限らず、第1層電極の一部を第2層電極が覆うように形成した二層電極構造であっても良い。
図1に示すように、シリコン基板1の表面にはpウェル層1Pが形成され、pウェル層1P内に、pn接合を形成するn領域30bが形成されると共に表面にp領域30aが形成され、フォトダイオード30を構成しており、このフォトダイオード30で発生した信号電荷は、n領域30bに蓄積される。
そしてこのフォトダイオード30の右方には、少し離間してn領域からなる電荷転送チャネル33が形成される。n領域30bと電荷転送チャネル33の間のpウェル層1Pに電荷読み出し領域34が形成される。
シリコン基板1表面にはゲート酸化膜2が形成され、電荷読み出し領域34と電荷転送チャネル33の上には、ゲート酸化膜2を介して、第1の電極3aと第2の電極3bが形成される。第1の電極3aと第2の電極3bの間は電極間絶縁膜5が形成されている。垂直転送チャネル33の右側にはp+領域からなるチャネルストップ32が設けられ、隣接するフォトダイオード30との分離がなされている。
電荷転送電極3の上層には酸化シリコン膜などの絶縁膜6、反射防止層7が形成され、更にその上に中間層70が形成される。中間層70のうち、71は遮光膜、72はBPSG(borophospho silicate glass)からなる絶縁膜であり、73、74は本実施の形態の特徴である、層内下凸レンズおよび層内上凸レンズである。遮光膜71は、フォトダイオード30の開口部分を除いて設けられる。中間層70上方には、平坦化膜75を介してマイクロレンズ60が設けられる。
本実施の形態の固体撮像素子は、フォトダイオード30で発生した信号電荷がn領域30bに蓄積され、ここに蓄積された信号電荷が、電荷転送チャネル33によって列方向に転送され、転送された信号電荷が図示しない水平電荷転送路(HCCD)によって行方向に転送され、転送された信号電荷に応じた色信号が図示しないアンプから出力されるように構成されている。すなわちシリコン基板1上に、光電変換部、電荷転送部、HCCD、及びアンプを含む領域である固体撮像素子部と、固体撮像素子の周辺回路(PAD部等)が形成される領域である周辺回路部とが形成されて固体撮像素子を構成している。
製造に際しては、層内下凸レンズおよび層内上凸レンズを形成するためのカラーフィルタ用材料を用いることを特徴とし、他は通例の方法で形成することができるため、ここでは説明を省略する。
このようにして層内下凸レンズおよび層内上凸レンズを形成した固体撮像素子の全厚みを測定した結果、光学層全体が1μm程度薄くなり、感度が10%向上していることがわかった。
なお、比較例を図5に示す。ここで用いたカラーフィルタ50は酸化チタン微粒子を含有しない従来のカラーフィルタである。上凸レンズ73N、下凸レンズ74Nは窒化シリコン膜などの無機膜で形成されている。上記感度の評価はこの比較例を基準としたものである。さらに別の比較例として、図1とまったく同じ断面形状で、上凸レンズ、下凸レンズの両層内レンズを酸化チタンを含まない従来のカラーフィルタで形成したものがあるが、その構成では層内レンズの集光能力がほとんど無いために、図5に示す比較例の固体撮像素子の半分以下の感度しかない。
なお前記実施の形態1では、超微粒子としてルチル型酸化チタンを用いたが、このほか、アナターゼ型酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムのほか、窒化珪素、三酸化二アンチモン、チタン酸バリウムなども適用可能である。また、これらのうちから複数種含有していてもよい。また無色透明の超微粒子を用いることにより、透過性を阻むことなく所望の屈折率とフィルタ特性を得ることが可能となる。屈折率の高さと、非着色、透明性、および安価であることから酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなどが望ましい。
(実施の形態2)
次にこの固体撮像素子の変形例について説明する。
前記実施の形態1では、図3に示すように、層内下凸レンズ及び層内上凸レンズの両方をカラーフィルタ用材料で構成したが、本実施の形態では、層内下凸レンズ76は窒化シリコン膜で形成し、層内上凸レンズ74は前記実施の形態1で用いたのと同様、酸化チタン超微粒子を含むカラーフィルタ用材料で形成したことを特徴とする。
他は前記実施の形態1の固体撮像素子と同様に形成されている。
次にこの固体撮像素子の変形例について説明する。
前記実施の形態1では、図3に示すように、層内下凸レンズ及び層内上凸レンズの両方をカラーフィルタ用材料で構成したが、本実施の形態では、層内下凸レンズ76は窒化シリコン膜で形成し、層内上凸レンズ74は前記実施の形態1で用いたのと同様、酸化チタン超微粒子を含むカラーフィルタ用材料で形成したことを特徴とする。
他は前記実施の形態1の固体撮像素子と同様に形成されている。
この構成によれば、カラーフィルタ機能を持たず酸化チタン超微粒子も含有しない層内上凸レンズを用いた固体撮像素子に比べて、感度が7%程度向上した。
(実施の形態3)
次にこの固体撮像素子の別の変形例について説明する。
前記実施の形態1では、層内レンズにカラーフィルタ機能を持たせた例について説明したが、本実施の形態では図4に示すように、光導波路を屈折率1.9の酸化亜鉛超微粒子を含むカラーフィルタ用材料で構成し、カラーフィルタ機能を備えた光導波路10を構成したことを特徴とする。この屈折率1.9の酸化亜鉛超微粒子を含むカラーフィルタ用材料で構成された光導波路10を囲む領域は、BPSG膜(屈折率1.45)からなる層間絶縁膜72で構成されているため、容易に光導波路構造を形成することが可能となる。
他は通例の光導波路構造の固体撮像素子と同様に形成されている。また前記実施の形態1,2と共通の部位には同一符号を付した。
次にこの固体撮像素子の別の変形例について説明する。
前記実施の形態1では、層内レンズにカラーフィルタ機能を持たせた例について説明したが、本実施の形態では図4に示すように、光導波路を屈折率1.9の酸化亜鉛超微粒子を含むカラーフィルタ用材料で構成し、カラーフィルタ機能を備えた光導波路10を構成したことを特徴とする。この屈折率1.9の酸化亜鉛超微粒子を含むカラーフィルタ用材料で構成された光導波路10を囲む領域は、BPSG膜(屈折率1.45)からなる層間絶縁膜72で構成されているため、容易に光導波路構造を形成することが可能となる。
他は通例の光導波路構造の固体撮像素子と同様に形成されている。また前記実施の形態1,2と共通の部位には同一符号を付した。
この構成によれば、カラーフィルタ機能を持たず酸化亜鉛超微粒子も含有しない光導波路構造の固体撮像素子に比べて、感度が10%程度向上した。
又、本実施の形態では、フォトダイオードがハニカム状に配設された構成の固体撮像素子について説明したが、これに限定されることなく、複数のフォトダイオードが正方格子状に配設された構成の固体撮像素子にも本発明を適用可能である。
この構成によれば、光学層を薄膜化でき、高感度化を達成できるので、携帯端末などの電子機器における固体撮像素子として有用である。
1 n型シリコン基板
2 ゲート酸化膜
3a 第1層電極
3b 第2層電極
5 電極間絶縁膜
6 絶縁膜
7 反射防止層
50 カラーフィルタ
60 マイクロレンズ
61 平坦化膜
71 遮光膜
72 絶縁(BPSG)膜
73 層内下凸レンズ
74 層内上凸レンズ
75 平坦化膜
2 ゲート酸化膜
3a 第1層電極
3b 第2層電極
5 電極間絶縁膜
6 絶縁膜
7 反射防止層
50 カラーフィルタ
60 マイクロレンズ
61 平坦化膜
71 遮光膜
72 絶縁(BPSG)膜
73 層内下凸レンズ
74 層内上凸レンズ
75 平坦化膜
Claims (14)
- 屈折率が1.9以上の超微粒子を含有したカラーフィルタ用材料。
- 請求項1に記載のカラーフィルタ用材料であって、
前記超微粒子は酸化チタンの超微粒子であるカラーフィルタ用材料。 - 請求項1に記載のカラーフィルタ用材料であって、
前記超微粒子は酸化亜鉛の超微粒子であるカラーフィルタ用材料。 - 請求項1に記載のカラーフィルタ用材料であって、
前記超微粒子は酸化ジルコニウムの超微粒子であるカラーフィルタ用材料。 - 請求項1に記載のカラーフィルタ用材料であって、
前記超微粒子は平均粒径100nm以下であるカラーフィルタ用材料。 - 画素を構成する複数の光電変換領域のそれぞれに対向するように配置され、前記光電変換領域に入射する光を画素毎に集光するための集光機能を備えたカラーフィルタであって、
前記カラーフィルタは、屈折率が1.9以上の超微粒子を含有したカラーフィルタ。 - 請求項6に記載のカラーフィルタであって、
前記超微粒子は酸化チタンの超微粒子であるカラーフィルタ。 - 請求項6に記載のカラーフィルタであって、
前記超微粒子は酸化亜鉛の超微粒子であるカラーフィルタ。 - 請求項6に記載のカラーフィルタであって、
前記超微粒子は酸化ジルコニウムの超微粒子であるカラーフィルタ。 - 請求項6に記載のカラーフィルタであって、
前記超微粒子は平均粒径100nm以下であるカラーフィルタ。 - 画素を構成する複数の光電変換領域のそれぞれに対向するように配置され、前記光電変換領域に入射する光を画素毎に集光するための集光機能を備えたカラーフィルタの製造方法であって、
所望の色の染料または顔料と、屈折率が1.9以上の超微粒子とを含有したカラーフィルタ用材料用い、
前記カラーフィルタ用材料を光電変換領域上に供給し、塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜を所望の形状に加工する形状加工工程と、
を含むカラーフィルタの製造方法。 - 請求項6乃至10のいずれかに記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子であって、
画素を構成する複数の光電変換領域を備えた光電変換部と、前記光電変換部で生起された電荷を転送する電荷転送部とを具備し、
前記光電変換領域に対応して層内レンズを具備しており、
前記層内レンズが、前記カラーフィルタで構成された固体撮像素子。 - 請求項6乃至10のいずれかに記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子であって、
画素を構成する複数の光電変換領域を備えた光電変換部と、前記光電変換部で生起された電荷を転送する電荷転送部とを具備し、
前記光電変換領域に対応して導波路を具備しており、
前記導波路が、前記カラーフィルタで構成された固体撮像素子。 - 画素を構成する複数の光電変換領域を備えた光電変換部と、前記光電変換部で生起された電荷を転送する電荷転送部とを備えた素子部を形成する工程と、
前記光電変換部上にカラーフィルタを形成する工程とを含み、
前記カラーフィルタを形成する工程が、
屈折率が1.9以上の超微粒子を含有したカラーフィルタ用材料を用いて形成する工程を含む固体撮像素子の製造方法。
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