JP2005144260A - 薄膜形成方法、デバイスの製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 インクジェット技術を用いた薄膜形成方法において、微細化や膜物性の向上に好適な膜形成方法を提供する。
【解決手段】 液滴の乾燥過程において、液滴の縁部をピニングしつつ、液滴内に温度差を与えて対流を生じさせる。この際、液滴表面における液体の流れ方向を、例えば液滴の底部外周部から頂部に向かう方向とする。これにより、液滴の縁部でランダムに積み上げられた微粒子が攪拌されて再配置され、最密充填構造を有する2次元コロイド結晶膜が形成される。
【選択図】 図1
【解決手段】 液滴の乾燥過程において、液滴の縁部をピニングしつつ、液滴内に温度差を与えて対流を生じさせる。この際、液滴表面における液体の流れ方向を、例えば液滴の底部外周部から頂部に向かう方向とする。これにより、液滴の縁部でランダムに積み上げられた微粒子が攪拌されて再配置され、最密充填構造を有する2次元コロイド結晶膜が形成される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、薄膜形成方法、デバイスの製造方法、電気光学装置の製造方法、並びに電子機器に関する。
従来の薄膜電子デバイスは半導体プロセスに立脚しており、真空プロセスを用いた薄膜作成技術が根幹となっている。この真空プロセスは、極めて微細な加工精度を有する代償として、多量のエネルギーと材料を非効率的に使用している。そこで真空プロセスに代わるものとして低エネルギーな液相プロセスが見直され始めている。
その中でもインクジェット法は、
(1)基板の大面積化が可能
(2)高解像度化が可能
(3)マスクが不要でCADデータを直接描画できる
(4)原料のロスが原理的になく、廃棄物の回収も容易
(5)フォトリソグラフィに比べて製造プロセスが短い
(6)少ない設備投資と製造装置の小型化が可能
等の理由から、液相プロセスの中でも有望視されている(例えば、特許文献1)。
特開平11−274671号公報
その中でもインクジェット法は、
(1)基板の大面積化が可能
(2)高解像度化が可能
(3)マスクが不要でCADデータを直接描画できる
(4)原料のロスが原理的になく、廃棄物の回収も容易
(5)フォトリソグラフィに比べて製造プロセスが短い
(6)少ない設備投資と製造装置の小型化が可能
等の理由から、液相プロセスの中でも有望視されている(例えば、特許文献1)。
ところで、インクジェット法によって作成される薄膜は、その成膜性が薄膜の特性に大きく影響を与える。しかし、現状のインクジェット法では、作成された薄膜中での固形分の配列等を制御することが困難であった。例えば微粒子分散インクを用いた場合、得られる薄膜は、微粒子がランダムに積み上がった薄膜である。もし微粒子の配列を規則正しく制御できれば、更なる高性能化、および新規分野への開拓の可能性が広がる。
一例を挙げると、フォトニック結晶の可能性がある。現在、次世代デバイスとして光を用いたデバイスが期待されている。フォトニック結晶と呼ばれるものは、光通信ネットワークに不可欠な光スイッチや光フィルタ等を微細化して集積し、システムを小型化する基本材料となる。
フォトニック結晶は、光の波長と同程度の間隔で並んだ微細な周期構造を持つ結晶であり、特定波長の光だけを取り出して狙った方向に送り出したり、ファイバのように光回路を作ったり、様々な用途に用いることができる。そのため、いかに簡単なプロセスで安価に、しかも所望の場所にすぐに作成できるかが、汎用性の上で重要となる。
これらの要求を満たすようなプロセスとして、インクジェット法が挙げられるが、現在そこまで配列を整えた薄膜を得るための成膜性制御技術は報告されていない。
一例を挙げると、フォトニック結晶の可能性がある。現在、次世代デバイスとして光を用いたデバイスが期待されている。フォトニック結晶と呼ばれるものは、光通信ネットワークに不可欠な光スイッチや光フィルタ等を微細化して集積し、システムを小型化する基本材料となる。
フォトニック結晶は、光の波長と同程度の間隔で並んだ微細な周期構造を持つ結晶であり、特定波長の光だけを取り出して狙った方向に送り出したり、ファイバのように光回路を作ったり、様々な用途に用いることができる。そのため、いかに簡単なプロセスで安価に、しかも所望の場所にすぐに作成できるかが、汎用性の上で重要となる。
これらの要求を満たすようなプロセスとして、インクジェット法が挙げられるが、現在そこまで配列を整えた薄膜を得るための成膜性制御技術は報告されていない。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、微細化や膜物性の向上に好適な薄膜形成方法を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、品質の向上が可能なデバイス製造方法、電気光学装置、並びに電子機器を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、品質の向上が可能なデバイス製造方法、電気光学装置、並びに電子機器を提供することにある。
上記の課題を解決するため、本発明の薄膜形成方法は、微粒子を含む液滴を基板上に配置する工程と、前記液滴を乾燥することにより前記基板上に前記微粒子からなる薄膜を形成する工程と、を含み、前記液滴の乾燥工程は、前記液滴の縁部に前記微粒子を析出又は凝集させ、且つ、該液滴の頂部と底部とに温度差を与えて対流を生じさせる工程を含むことを特徴とする。
図10は液滴の一般的な乾燥過程を示す図である。液滴を乾燥する場合、一般に、その乾燥の初期段階では、液滴の縁で液体が急速に蒸発し、固形分濃度(即ち、微粒子の濃度)が上昇する傾向にある。このとき、液滴の縁における固形分濃度が飽和濃度に達すると、その縁において固形分が局所的に析出する。すると、その析出した固形分によって液滴の縁がピン止めされたような状態となり、それ以降の乾燥に伴う液滴の収縮(外径の収縮)が抑制される。以後、この現象、即ち、縁部で析出した固形分によって乾燥に伴う液滴の収縮が抑制される現象を「ピニング」と呼び、乾燥時にピニングすることなく液滴が収縮する現象を「ディピニング」と呼ぶ。一旦ピニングサイトができると、液滴内には液滴中央部からピニングサイトに向かう一方的な流れができ、微粒子は液滴縁部に集められてランダムに積み上げられた状態となる。一方、流体内に所定の温度差を与えると、流体の熱拡散だけではエネルギー輸送をまかない切れず、対流という流体の不安定化を引き起こす。
本発明は、液滴の乾燥過程において、液滴の縁部をピニングしつつ、液滴内の対流を利用して、ランダムに積み上げられた微粒子を再配置するようにしたものである。したがって、本方法によれば、2次元に配列したコロイド結晶の形成が可能となり、このような薄膜を用いることでデバイスの高性能化を実現することができる。また、本方法では結晶薄膜を形成できるため、これまで真空プロセスに頼らなければならなかった半導体成膜工程等への応用も可能となる。
ところで、本方法では、前記対流を、前記液滴の表面では該液滴の底部外周部から頂部に向かう方向、且つ、上記液滴の中央部では液滴の頂部から底部中央部に向かう方向とすることが好ましい。
これにより、液滴の縁部側に、きれいな最密充填構造の結晶膜を形成することができる。例えばこれと反対方向の対流を起こした場合には、仮に縁部に2次元の配列構造が形成されても、その配列は、液滴の底部外周部から底部中央部に向かう流れによって乱されてしまう。これに対して本方法では、微粒子は液滴縁部から順に詰まって配置されていくので、底部中央部から底部外周部への流れによって微粒子が更に縁部側に移動することはない(即ち、配列は乱されない)。
これにより、液滴の縁部側に、きれいな最密充填構造の結晶膜を形成することができる。例えばこれと反対方向の対流を起こした場合には、仮に縁部に2次元の配列構造が形成されても、その配列は、液滴の底部外周部から底部中央部に向かう流れによって乱されてしまう。これに対して本方法では、微粒子は液滴縁部から順に詰まって配置されていくので、底部中央部から底部外周部への流れによって微粒子が更に縁部側に移動することはない(即ち、配列は乱されない)。
なお、このような流れは、上記液滴に対して、その頂部が底部よりも低温となるような温度勾配を与える(即ち、液滴の頂部を底部よりも低温にする)ことによって起こすことができる。この際、液滴の頂部と底部の温度差は概ね1℃となるように制御すればよい。この程度の温度差があれば十分に対流を起こすことができる。逆に、これよりも高い温度差を与えた場合には、対流が大きすぎて縁部がディピニングしてしまう。
液滴の温度制御の方法としては以下の方法を採用することができる。
(1)液滴の配置された基板の温度を制御する方法
(2)液滴の一部にレーザを照射し、当該液滴を部分的に加熱する方法
(3)液滴の雰囲気温度を制御する方法
例えば上述の温度勾配を与える場合、上記(1)の方法では、基板を加熱して液滴の底部の温度をより高めるようにすればよい。また、(2)の方法では、レーザ光を基板に略平行に照射し、液滴の底部側を加熱するようにする。また、(3)の方法では、雰囲気温度を基板温度よりも低くして液滴の頂部をより冷やすようにすればよい。なお、(3)の方法では、ダウンフローによって液滴近傍の温度のみ制御してもよい。
(1)液滴の配置された基板の温度を制御する方法
(2)液滴の一部にレーザを照射し、当該液滴を部分的に加熱する方法
(3)液滴の雰囲気温度を制御する方法
例えば上述の温度勾配を与える場合、上記(1)の方法では、基板を加熱して液滴の底部の温度をより高めるようにすればよい。また、(2)の方法では、レーザ光を基板に略平行に照射し、液滴の底部側を加熱するようにする。また、(3)の方法では、雰囲気温度を基板温度よりも低くして液滴の頂部をより冷やすようにすればよい。なお、(3)の方法では、ダウンフローによって液滴近傍の温度のみ制御してもよい。
また、本方法では、上記液滴の温度制御を断続的に行なって、上記対流を断続的に生じさせることが望ましい。これにより、液滴内に、中央部から縁部へ向かう一方的な流れを生じさせることができる。この流れは、縁に溜まった微粒子を全て押し流す(即ち、ディピニングさせる)程の作用はなく、単にその堆積状態を一部乱す程度の小さな力しか持たないので、この流れを利用すれば、最下層側に配置された2次元の配列構造を乱すことなく、この上にランダムに積み上げられた微粒子のみを攪拌することができる。
また、本方法では、上記基板の接触角は概ね10°以上20°以下に制御することが望ましい。接触角が高すぎると、微粒子同士が重なってしまうので、単層膜を形成しにくくなる。逆に接触角が低すぎると、流れが効果的に起こせなくなり、十分な再配置ができない。
また、本発明のデバイスの製造方法は、上述の方法により形成された薄膜を用いてデバイスを製造することを特徴とする。また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上述の方法により形成された薄膜を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする。
これらのデバイスとしては、例えば半導体素子,撮像素子,液晶素子,有機EL素子等を挙げることができる。また、電気光学装置としては液晶表示装置,有機EL表示装置,電気泳動表示装置,プラズマ表示装置等を挙げることができる。
本方法によれば、上記薄膜形成方法によって結晶膜を形成可能であることから、デバイス,電気光学装置の品質向上を図ることができる。
また、本発明の電子機器は上述の電気光学装置を備えたことを特徴とする。
これにより高品質な表示部を備えた電子機器を提供することができる。
これらのデバイスとしては、例えば半導体素子,撮像素子,液晶素子,有機EL素子等を挙げることができる。また、電気光学装置としては液晶表示装置,有機EL表示装置,電気泳動表示装置,プラズマ表示装置等を挙げることができる。
本方法によれば、上記薄膜形成方法によって結晶膜を形成可能であることから、デバイス,電気光学装置の品質向上を図ることができる。
また、本発明の電子機器は上述の電気光学装置を備えたことを特徴とする。
これにより高品質な表示部を備えた電子機器を提供することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。
[薄膜形成方法]
本発明の薄膜形成方法は、機能性材料(微粒子)を含む液体材料を液滴吐出装置によって基板上に液滴として吐出(配置)し、これを乾燥することによって膜化するものである。この際、本発明では、その乾燥過程において、液滴の縁部をピニングしつつ、液滴内に温度差を与えて対流を生じさせている。
本発明の薄膜形成方法は、機能性材料(微粒子)を含む液体材料を液滴吐出装置によって基板上に液滴として吐出(配置)し、これを乾燥することによって膜化するものである。この際、本発明では、その乾燥過程において、液滴の縁部をピニングしつつ、液滴内に温度差を与えて対流を生じさせている。
通常、液滴内には気化熱の影響により部分的に温度差が生じており、この温度差によって液滴内にはレイリー対流とマランゴニ対流という2種類の対流が生じる。レイリー対流は液滴内の局所的な密度差によって生じる浮力による対流であり、マランゴニ対流は気液界面の局所的な表面張力差によって生じる対流である。一般に液滴のサイズが大きい場合にはレイリー対流が支配的であり、液滴サイズが小さい場合にはマランゴニ対流が支配的である。本実施形態で扱う液滴吐出装置、例えばインクジェット装置では、吐出される液滴のサイズは十分小さいため、マランゴニ対流が支配的となる。したがって、本実施形態ではこのマランゴニ対流を利用して液滴内に液体の流れをつくり出すこととなる。
図1は、本発明の薄膜形成方法における乾燥過程の一例を示す模式図である。本発明では、基板上に吐出された液滴を乾燥させる場合に、常に液滴内の対流を促してディピニングさせるのではなく、所定のタイミングで一旦対流を弱めて、液滴端部をピニングさせる。このようにした場合、液滴内には中央部から縁部(ピニングサイト)に向かう一方的な流れが生じ、液滴内の固形分(微粒子)はこの縁部に集められることになる。この状態を維持した場合、縁部には、図2(a)に示すように、微粒子が一方的に集められ、無秩序に積み上がった状態で膜化されてしまう。そのため本方法では、図2(b)に示すように、縁部をピニングした状態で液滴内の温度差によって対流をつくりだし、堆積した微粒子の表層部を攪拌している。これにより、無秩序に積み上がった微粒子の再配置を促すことができる。
特に本方法では、縁部近傍における液体の流れを図2(b)の方向、即ち、液滴の表面では液滴の底部外周部から頂部に向かい、且つ、液滴の中央部側では液滴の頂部から底部中央部側に向かう方向としている。このような流れをつくった場合、液滴の縁部にランダムに積み上げられた微粒子は、この流れによってすくい上げられる形で液滴中央部に戻される。そして、液滴頂部から底部中央部に向かう流れ、及び、底部中央部から底部外周部(縁部)に向かう流れによって、再度、液滴の縁部に運ばれる。この結果、微粒子は液滴の縁部から順に詰まって配置され、きれいな最密充填構造の薄膜ができ上がる。逆に、これとは反対方向の対流を起こした場合、液滴の縁部に堆積した微粒子は、液滴の底部外周部から底部中央部に向かう流れによって再度液滴中央部に運ばれる可能性がある。この場合、仮に液滴縁部に2次元の配列構造が形成されても、その配列は上記流れによって乱されてしまう。この点、対流方向を上記方向に規定すれば、微粒子は液滴縁部から順に詰まって配置されていくので、底部中央部から底部外周部への流れによって微粒子が更に縁部側に移動することはない(即ち、配列は乱されない)。
このような流れを作る場合には、液滴に対して、その頂部が底部よりも低温となるような温度勾配を与えればよい。液滴の表面に温度分布ができると、表面張力の違いによって液滴表面には熱毛管流(マランゴニ対流)と呼ばれる流れが生じる。このような流れは表面張力の小さい(温度の高い)部分から表面張力の大きい(温度の低い)部分に向かって起こるので、液滴表面に上述の流れ、即ち、液滴の底部外周部から頂部に向かう流れを形成したい場合には、液滴に対して、その頂部が底部よりも低温となるような温度勾配を与えればよい。この際、温度差は高すぎても低すぎても十分な効果は得られない。例えば、温度差が小さすぎると流れが起きにくくなり、逆に温度差が大きすぎると対流が強すぎてディピニングしてしまう。このような観点から、本例では上記温度差を概ね1℃としている。
ここで、液滴内の温度分布の制御方法としては以下の方法を用いることができる。
(1)液滴の配置された基板の温度を制御する方法
(2)液滴を部分的にレーザ加熱する方法
(3)液滴の雰囲気温度を制御する方法
上記温度勾配を与える場合、上記(1)の方法では、基板を加熱して液滴の底部の温度をより高めるようにすればよい(図3(a)参照)。また、(2)の方法では、レーザ光を基板に略平行に照射し、液滴の底部側を加熱するようにする。また、(3)の方法では、雰囲気温度を基板温度よりも低くして液滴の頂部をより冷やすようにすればよい(図3(b)参照)。なお、(3)の方法では、ダウンフローによって液滴近傍の温度のみ制御してもよい。
(1)液滴の配置された基板の温度を制御する方法
(2)液滴を部分的にレーザ加熱する方法
(3)液滴の雰囲気温度を制御する方法
上記温度勾配を与える場合、上記(1)の方法では、基板を加熱して液滴の底部の温度をより高めるようにすればよい(図3(a)参照)。また、(2)の方法では、レーザ光を基板に略平行に照射し、液滴の底部側を加熱するようにする。また、(3)の方法では、雰囲気温度を基板温度よりも低くして液滴の頂部をより冷やすようにすればよい(図3(b)参照)。なお、(3)の方法では、ダウンフローによって液滴近傍の温度のみ制御してもよい。
なお、液滴内の温度分布の状態はその溶媒の種類によって異なるため、温度制御を行なう場合には、その溶媒の特性(特に沸点)に応じて基板の加熱温度等を最適に設定する。例えば溶媒の沸点が低い(例えば150℃未満)場合には、基板の熱が液滴の頂上部まで伝わらない内に蒸発が進行し続けてしまうため、液滴頂部が最も冷たくなる。逆に溶媒の沸点が高い(例えば150℃以上)場合には、乾燥がゆっくり進むので、基板の熱が液滴頂上部まで十分に伝わり易くなり、液滴の温度は液滴内で略均一化されるか、縁部の方で冷たくなる。このため、高沸点溶媒を用いた液滴では、液滴内に自然に生じる流れ(即ち、液滴の頂部から液滴外周部へ底部外周部から頂部へ向かう流れ)を打ち消して、更にその方向を逆転可能な程度の温度勾配を与えるか、液滴内に自然に生じる対流が停止した後に温度勾配を与える必要がある。
また、本方法では上述の温度制御を断続的に行なって、液滴内に断続的な対流を生じさせている。温度制御を継続して行なった場合、液滴内には以下の一連の流れ、即ち、液体の表面張力差に起因した液滴表面での液体の流れと、この液体の流れを補うように液滴中央部に生じる液体の流れが対になって生じる(マランゴニ対流)。これに対して、本方法のように温度制御を断続的に行なった場合には、液滴内の流れは定常的な流れになる前に止まってしまう。つまり、液滴内には、対の流れではなく、液滴中央部から縁部へ向かう一方的な流れが生じることとなる。この流れは、縁に溜まった微粒子を全て押し流す(即ち、ディピニングさせる)程の作用はなく、単にその堆積状態を一部乱す程度の小さな力しか持たない。このため、上記流れを利用すれば、最下層側に形成された2次元の配列構造を乱すことなく、この上にランダムに積み上げられた微粒子のみをすくい上げる(再配置する)ことが可能となる。例えば上記(1)の温度制御を行なう場合には、基板上に液滴を着弾後、液滴を少しだけ温めてあげて、すぐに放冷(若しくは冷やす)という動作を行なう。この際、基板加熱は液滴内にマランゴニ対流が起きていない状態で行なう。具体的には、マランゴニ対流が起きない液滴を使うか、対流が止まってから基板加熱を行なうようにする。
また、本方法では良好な対流状態をつくり出すために、液滴の配置される基板の接触角を最適に設定している。すなわち、接触角が大きすぎると、微粒子同士が重なってしまうので、単層膜を形成しにくくなり、逆に接触角が小さすぎると駅膜の厚みが薄くなって十分な対流が起こせなくなる。このような観点から、本例では基板の接触角を概ね10°以上20°以下としている。なお、基板の接触角は、例えば基板表面を親液化することにより小さくなり、基板表面を撥液化することにより大きくなる。したがって、本例では液体材料に合わせて、親液化又は撥液化のための処理条件を最適に設定することになる。
以上説明したように、本例の薄膜形成方法によれば、図5に示すような最密充填構造の2次元コロイド結晶膜を形成することが可能となる。このため、このような薄膜を用いることで、デバイスの高性能化を実現することができる。例えば、触媒微粒子の薄膜を形成する場合、本方法ではこの薄膜を単層膜化して表面積を広げることができるので、より高い触媒機能が得られるようになる。
また、本方法によれば、従来の真空プロセスを用いた薄膜形成方法を置き換えることも可能であり、これにより、簡単且つ安価にデバイスを製造することができるようになる。具体的には、本方法を用いることで、フォトニック結晶等の光デバイスを安価に提供できるようになる。
また、本方法によれば、従来の真空プロセスを用いた薄膜形成方法を置き換えることも可能であり、これにより、簡単且つ安価にデバイスを製造することができるようになる。具体的には、本方法を用いることで、フォトニック結晶等の光デバイスを安価に提供できるようになる。
[実施例]
次に、上述した本発明の薄膜形成方法の実施例について説明する。
本例では、NMP(n-methyl-1-2-pirolidinone)にポリスチレン微粒子(粒径φ=1.5μm)を0.1wt%分散させた液体材料を用意し、これをマイクロピペットでSi基板上(接触角11°)に2μl滴下した。NMPは高沸点溶媒であるため、滴下直後には気化熱の影響でマランゴニ対流が生じる。しかし、この対流は、液滴内の温度が均一化されるに従って弱まり、数分で停止する。本実施例では、このマランゴニ対流が停止した後、基板の熱処理を行なった。
具体的には、基板を60℃のホットプレート上に2秒〜10秒ほど載せ、その後すぐにホットプレートからはずして放冷した。すると液滴内の流れは定常的な対流になる前に止まった。そして、この流れによって液滴の縁部側が攪拌され、最終的には、ピニングされた位置に沿ってリング状の乾燥膜が得られた。顕微鏡観察により、この乾燥膜には平坦な2次元結晶構造が形成されていることがわかった。
次に、上述した本発明の薄膜形成方法の実施例について説明する。
本例では、NMP(n-methyl-1-2-pirolidinone)にポリスチレン微粒子(粒径φ=1.5μm)を0.1wt%分散させた液体材料を用意し、これをマイクロピペットでSi基板上(接触角11°)に2μl滴下した。NMPは高沸点溶媒であるため、滴下直後には気化熱の影響でマランゴニ対流が生じる。しかし、この対流は、液滴内の温度が均一化されるに従って弱まり、数分で停止する。本実施例では、このマランゴニ対流が停止した後、基板の熱処理を行なった。
具体的には、基板を60℃のホットプレート上に2秒〜10秒ほど載せ、その後すぐにホットプレートからはずして放冷した。すると液滴内の流れは定常的な対流になる前に止まった。そして、この流れによって液滴の縁部側が攪拌され、最終的には、ピニングされた位置に沿ってリング状の乾燥膜が得られた。顕微鏡観察により、この乾燥膜には平坦な2次元結晶構造が形成されていることがわかった。
[膜形成装置]
次に、本発明の薄膜形成方法に用いて好適な膜形成装置について説明する。
図6において、膜形成装置10は、ベース112と、ベース112上に設けられ、基板20を支持する基板ステージ22と、ベース112と基板ステージ22との間に介在し、基板ステージ22を移動可能に支持する第1移動装置(移動装置)114と、基板ステージ22に支持されている基板20に対して処理液体を吐出可能な液体吐出ヘッド21と、液体吐出ヘッド21を移動可能に支持する第2移動装置116と、液体吐出ヘッド21の液滴の吐出動作を制御する制御装置23とを備えている。更に、膜形成装置10は、ベース112上に設けられている重量測定装置としての電子天秤(不図示)と、キャッピングユニット25と、クリーニングユニット24とを有している。また、第1移動装置114及び第2移動装置116を含む膜形成装置10の動作は、制御装置23によって制御される。
次に、本発明の薄膜形成方法に用いて好適な膜形成装置について説明する。
図6において、膜形成装置10は、ベース112と、ベース112上に設けられ、基板20を支持する基板ステージ22と、ベース112と基板ステージ22との間に介在し、基板ステージ22を移動可能に支持する第1移動装置(移動装置)114と、基板ステージ22に支持されている基板20に対して処理液体を吐出可能な液体吐出ヘッド21と、液体吐出ヘッド21を移動可能に支持する第2移動装置116と、液体吐出ヘッド21の液滴の吐出動作を制御する制御装置23とを備えている。更に、膜形成装置10は、ベース112上に設けられている重量測定装置としての電子天秤(不図示)と、キャッピングユニット25と、クリーニングユニット24とを有している。また、第1移動装置114及び第2移動装置116を含む膜形成装置10の動作は、制御装置23によって制御される。
第1移動装置114はベース112の上に設置されており、Y方向に沿って位置決めされている。第2移動装置116は、支柱16A,16Aを用いてベース112に対して立てて取り付けられており、ベース112の後部12Aにおいて取り付けられている。第2移動装置116のX方向(第2の方向)は、第1移動装置114のY方向(第1の方向)と直交する方向である。ここで、Y方向はベース112の前部12Bと後部12A方向に沿った方向である。これに対してX方向はベース112の左右方向に沿った方向であり、各々水平である。また、Z方向はX方向及びY方向に垂直な方向である。
第1移動装置114は、例えばリニアモータによって構成され、ガイドレール140,140と、このガイドレール140に沿って移動可能に設けられているスライダー142とを備えている。このリニアモータ形式の第1移動装置114のスライダー142は、ガイドレール140に沿ってY方向に移動して位置決め可能である。
また、スライダー142はZ軸回り(θZ)用のモータ144を備えている。このモータ144は、例えばダイレクトドライブモータであり、モータ144のロータは基板ステージ22に固定されている。これにより、モータ144に通電することでロータと基板ステージ22とは、θZ方向に沿って回転して基板ステージ22をインデックス(回転割り出し)することができる。すなわち、第1移動装置114は、基板ステージ22をY方向(第1の方向)及びθZ方向に移動可能である。
基板ステージ22は基板20を保持し、所定の位置に位置決めするものである。また、基板ステージ22は不図示の吸着保持装置を有しており、吸着保持装置が作動することにより、基板ステージ22の穴46Aを通して基板20を基板ステージ22の上に吸着して保持する。
第2移動装置116はリニアモータによって構成され、支柱16A,16Aに固定されたコラム16Bと、このコラム16Bに支持されているガイドレール62Aと、ガイドレール62Aに沿ってX方向に移動可能に支持されているスライダー160とを備えている。スライダー160はガイドレール62Aに沿ってX方向に移動して位置決め可能であり、液体吐出ヘッド21はスライダー160に取り付けられている。
液体吐出ヘッド21は、揺動位置決め装置としてのモータ62,64,67,68を有している。モータ62を作動すれば、液体吐出ヘッド21は、Z軸に沿って上下動して位置決め可能である。このZ軸はX軸とY軸に対して各々直交する方向(上下方向)である。モータ64を作動すると、液体吐出ヘッド21は、Y軸回りのβ方向に沿って揺動して位置決め可能である。モータ67を作動すると、液体吐出ヘッド21は、X軸回りのγ方向に揺動して位置決め可能である。モータ68を作動すると、液体吐出ヘッド21は、Z軸回りのα方向に揺動して位置決め可能である。すなわち、第2移動装置116は、液体吐出ヘッド21をX方向(第1の方向)及びZ方向に移動可能に支持するとともに、この液体吐出ヘッド21をθX方向、θY方向、θZ方向に移動可能に支持する。
このように、図6の液体吐出ヘッド21は、スライダー160において、Z軸方向に直線移動して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置決め可能であり、液体吐出ヘッド21の液滴吐出面11Pは、基板ステージ22側の基板20に対して正確に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。なお、液体吐出ヘッド21の液滴吐出面11Pには液滴を吐出する複数のノズルが設けられている。
液体吐出ヘッド21は、いわゆる液体吐出方式(液滴吐出方式)により、液体材料(レジスト)をノズルから吐出するものである。液体吐出方式としては、圧電体素子としてのピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピエゾ方式、液体材料を加熱し発生した泡(バブル)により液体材料を吐出させる方式等、公知の種々の技術を適用できる。このうち、ピエゾ方式は、液体材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないという利点を有する。なお、本例では、上記ピエゾ方式を用いる。
図7は、ピエゾ方式による液体材料の吐出原理を説明するための図である。図7において、液体材料を収容する液室31に隣接してピエゾ素子32が設置されている。液室31には、液体材料を収容する材料タンクを含む液体材料供給系34を介して液体材料が供給される。ピエゾ素子32は駆動回路33に接続されており、この駆動回路33を介してピエゾ素子32に電圧が印加される。ピエゾ素子32を変形させることにより、液室31が変形し、ノズル30から液体材料が吐出される。このとき、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子32の歪み量が制御され、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子32の歪み速度が制御される。すなわち、液体吐出ヘッド21では、ピエゾ素子32への印加電圧の制御により、ノズル30からの液体材料の吐出の制御が行われる。
図6に戻り、電子天秤(不図示)は、液体吐出ヘッド21のノズルから吐出された液滴の一滴の重量を測定して管理するために、例えば、液体吐出ヘッド21のノズルから、5000滴分の液滴を受ける。電子天秤は、この5000滴の液滴の重量を5000の数字で割ることにより、一滴の液滴の重量を正確に測定することができる。この液滴の測定量に基づいて、液体吐出ヘッド21から吐出する液滴の量を最適にコントロールすることができる。
クリーニングユニット24は、液体吐出ヘッド21のノズル等のクリーニングをデバイス製造工程中や待機時に定期的にあるいは随時に行なうことができる。キャッピングユニット25は、液体吐出ヘッド21の液滴吐出面11Pが乾燥しないようにするために、デバイスを製造しない待機時にこの液滴吐出面11Pにキャップをかぶせるものである。
液体吐出ヘッド21が第2移動装置116によりX方向に移動することで、液体吐出ヘッド21を電子天秤、クリーニングユニット24あるいはキャッピングユニット25の上部に選択的に位置決めさせることができる。つまり、デバイス製造作業の途中であっても、液体吐出ヘッド21をたとえば電子天秤側に移動すれば、液滴の重量を測定できる。また液体吐出ヘッド21をクリーニングユニット24上に移動すれば、液体吐出ヘッド21のクリーニングを行なうことができる。液体吐出ヘッド21をキャッピングユニット25の上に移動すれば、液体吐出ヘッド21の液滴吐出面11Pにキャップを取り付けて乾燥を防止する。
つまり、これら電子天秤、クリーニングユニット24、およびキャッピングユニット25は、ベース112上の後端側で、液体吐出ヘッド21の移動経路直下に、基板ステージ22と離間して配置されている。基板ステージ22に対する基板20の給材作業及び排材作業はベース112の前端側で行われるため、これら電子天秤、クリーニングユニット24あるいはキャッピングユニット25により作業に支障を来すことはない。
図6に示すように、基板ステージ22のうち、基板20を支持する以外の部分には、液体吐出ヘッド21が液滴を捨打ち或いは試し打ち(予備吐出)するための予備吐出エリア(予備吐出領域)152が、クリーニングユニット24と分離して設けられている。この予備吐出エリア152は、図6に示すように、基板ステージ22の後端部側においてX方向に沿って設けられている。この予備吐出エリア152は、基板ステージ22に固着され、上方に開口する断面凹字状の受け部材と、受け部材の凹部に交換自在に設置されて、吐出された液滴を吸収する吸収材とから構成されている。
[電気光学装置]
次に、本発明のデバイスについて説明する。ここでは、このデバイスとして電気光学装置、特に液晶表示装置を例に挙げて説明する。
図8は、本発明の膜形成方法を用いて製造されたカラーフィルタを搭載した液晶表示装置の構成を例示する斜視図である。
本実施形態に係る液晶表示装置400は、液晶駆動用IC(図示略)、配線類(図示略)、光源470、支持体(図示略)などの付帯要素が装着されている。
液晶表示装置400の構成を簡単に説明する。液晶表示装置400は、互いに対向するように配置された、カラーフィルタ460、及びガラス基板414と、これらの間に挟持された図示略の液晶層と、カラーフィルタ460の上面側(観察者側)に付設された偏光板416と、ガラス基板414の下面側に付設された図示略の偏光板とを主体として構成されている。カラーフィルタ460は透明なガラスからなる基板461を具備し、観察者側に設けられた基板であり、ガラス基板414はその反対側に設けられる透明な基板である。
次に、本発明のデバイスについて説明する。ここでは、このデバイスとして電気光学装置、特に液晶表示装置を例に挙げて説明する。
図8は、本発明の膜形成方法を用いて製造されたカラーフィルタを搭載した液晶表示装置の構成を例示する斜視図である。
本実施形態に係る液晶表示装置400は、液晶駆動用IC(図示略)、配線類(図示略)、光源470、支持体(図示略)などの付帯要素が装着されている。
液晶表示装置400の構成を簡単に説明する。液晶表示装置400は、互いに対向するように配置された、カラーフィルタ460、及びガラス基板414と、これらの間に挟持された図示略の液晶層と、カラーフィルタ460の上面側(観察者側)に付設された偏光板416と、ガラス基板414の下面側に付設された図示略の偏光板とを主体として構成されている。カラーフィルタ460は透明なガラスからなる基板461を具備し、観察者側に設けられた基板であり、ガラス基板414はその反対側に設けられる透明な基板である。
基板461の下側には、黒色感光性樹脂膜からなる隔壁462と、着色部463、及びオーバーコート層464が順次形成され、さらにオーバーコート層464の下側に駆動用の電極418が形成されている。なお、実際の液晶装置においては、電極418を覆って液晶層側と、ガラス基板414側の後述する電極432上に、配向膜が設けられるが、図示、及び説明を省略する。
カラーフィルタ460の液晶層側に形成された液晶駆動用の電極418は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料を、オーバーコート層464の全面に形成させたものである。
カラーフィルタ460の液晶層側に形成された液晶駆動用の電極418は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料を、オーバーコート層464の全面に形成させたものである。
ガラス基板414上には、絶縁層425が形成され、この絶縁層425の上には、スイッチング素子としてのTFT(Thin Film Transistor)と、画素電極432とが形成されている。
ガラス基板414上に形成された絶縁層425上には、マトリクス状に走査線451と、信号線452とが形成され、走査線451と信号線452とに囲まれた領域毎に画素電極432が設けられている。各画素電極432のコーナー部分と走査線451と信号線452との間部分にはTFTが組み込まれており、走査線451と信号線452に対する信号の印加によってTFTはオン、又はオフの状態となって画素電極432への通電が制御される。
ガラス基板414上に形成された絶縁層425上には、マトリクス状に走査線451と、信号線452とが形成され、走査線451と信号線452とに囲まれた領域毎に画素電極432が設けられている。各画素電極432のコーナー部分と走査線451と信号線452との間部分にはTFTが組み込まれており、走査線451と信号線452に対する信号の印加によってTFTはオン、又はオフの状態となって画素電極432への通電が制御される。
本例の電気光学装置は、本発明の薄膜形成方法により形成されたカラーフィルタを備えているため、高精細な表示が可能となる。
[電子機器]
次に、本発明の電子機器について説明する。
図9は、上記液晶表示装置を用いた電子機器の一例たる携帯電話機の構成を例示する斜視図である。同図において、携帯電話機92は複数の操作ボタン921のほか、受話口922、送話口923とともに、上述した液晶表示装置400を備えるものである。
本例の電子機器は、表示部に上述の電気光学装置を備えているので、高精細な表示が可能となる。
次に、本発明の電子機器について説明する。
図9は、上記液晶表示装置を用いた電子機器の一例たる携帯電話機の構成を例示する斜視図である。同図において、携帯電話機92は複数の操作ボタン921のほか、受話口922、送話口923とともに、上述した液晶表示装置400を備えるものである。
本例の電子機器は、表示部に上述の電気光学装置を備えているので、高精細な表示が可能となる。
なお、液滴吐出装置の用途は、電気光学装置に用いられるカラーフィルタのパターニングに限定されず、次のような様々な膜パターンの形成に用いることができる。例えば、有機EL(エレクトロルミネセンス)表示パネルに含まれる有機EL層や、正孔注入層などの薄膜形成に用いることができる。有機EL層を形成する場合には、例えばポリチオフェン系の導電性高分子などの有機EL材料を含む液滴を、基板上に形成された隔壁により仕切られる領域に向けて吐出し、液滴をその領域に配置する。このように配置された液体材料が乾燥することにより、有機EL層が形成される。
また、その他の液滴吐出装置の用途としては、プラズマディスプレイに含まれる透明電極の補助配線や、IC(integrated circuit)カードなどに含まれるアンテナなどのデバイスの形成などがある。具体的には、テトラデカンなどの有機溶液に、銀微粒子などの導電性微粒子を混合した分散液を液滴吐出装置を用いてパターニングした後、液体成分が乾燥すると、金属薄膜層が形成される。
上記以外にも、液滴吐出装置は、例えば、立体造形に用いられる熱硬化樹脂や、紫外線硬化樹脂などの他、マイクロレンズアレイ材料、また、DNA(deoxyribonucleic acid)やたんぱく質といった生体物質などの様々な材料の配置にも用いることが可能である。
また、電子機器としては、携帯電話機の他にも、コンピュータや、プロジェクタ、デジタルカメラ、ムービーカメラ、PDA(Personal Digital Assistant)、車載機器、複写機、オーディオ機器などが挙げられる。
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
20…基板、92・・・電子機器、400・・・電気光学装置(デバイス)
Claims (12)
- 微粒子を含む液滴を基板上に配置する工程と、
前記液滴を乾燥することにより前記基板上に前記微粒子からなる薄膜を形成する工程と、を含み、
前記液滴の乾燥工程は、前記液滴の縁部に前記微粒子を析出又は凝集させ、且つ、該液滴の頂部と底部とに温度差を与えて対流を生じさせる工程を含むことを特徴とする、薄膜形成方法。 - 前記液滴に温度差を与える温度制御を断続的に行なって、前記対流を断続的に生じさせることを特徴とする、請求項1記載の薄膜形成方法。
- 前記対流を、前記液滴の表面では該液滴の底部外周部から頂部に向かう方向、且つ、上記液滴の中央部では液滴の頂部から底部中央部に向かう方向に生じさせることを特徴とする、請求項1又は2記載の薄膜形成方法。
- 前記液滴の頂部を底部よりも低温にすることにより該液滴内に前記対流の方向を生じさせることを特徴とする、請求項3記載の薄膜形成方法。
- 前記温度制御が基板温度を制御することにより行なわれることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかの項に記載の薄膜形成方法。
- 前記温度制御がレーザを前記液滴の一部に照射することにより行なわれることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかの項に記載の薄膜形成方法。
- 前記温度制御が前記基板を加熱することにより行なわれることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかの項に記載の薄膜形成方法。
- 前記液滴の頂部と底部の温度差が概ね1℃となるように制御することを特徴とする、請求項3〜7のいずれかの項に記載の薄膜形成方法。
- 前記基板の接触角を概ね10°以上20°以下に制御することを特徴とする、請求項1〜8のいずれかの項に記載の薄膜形成方法。
- 請求項1〜9のいずれかの項に記載の方法により形成された薄膜を用いてデバイスを製造することを特徴とする、デバイスの製造方法。
- 請求項1〜9のいずれかの項に記載の方法により形成された薄膜を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする、電気光学装置の製造方法。
- 請求項11記載の方法により製造された電気光学装置を備えたことを特徴とする、電子機器。
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-
2003
- 2003-11-12 JP JP2003382525A patent/JP2005144260A/ja not_active Withdrawn
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