JP4344162B2 - パターン描画装置及びパターン描画方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路製造時の露光工程で用いられるマスクレス描画装置や、あるいは露光装置で用いられるマスクを製造するために用いられるマスク描画装置にも適用できるパターン描画装置及びパターン描画方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に半導体集積回路の製造時の露光工程では、回路パターンが描かれたマスク(レチクルと呼ばれることもある。)を用いてレジストが塗布されたウエハ上に回路パターンを描画させる(パターン露光と呼ばれる。)必要があり、そのための装置は露光装置あるいは露光機と呼ばれる。ただし、マスクを用いずに回路パターンをウエハ上に直接描画する露光機もあり、これはマスクレス露光機と呼ばれている。
【0003】
一方、マスクを製造するには、マスクの基板となる石英板などの表面に、目的とする回路パターンに相当するパターン状に露光光を通過させるように遮光用のクロム膜などを付ける必要がある。このクロム膜などは、パターン露光によって形成され、そのための装置はマスク描画装置と呼ばれる。マスク描画装置の手法には、電子ビームを用いた電子ビーム描画が一般的であり、そのための装置は電子ビーム描画装置(以下、EB描画装置と示す。)と呼ばれている。
【0004】
ただし、マスク製造装置には、EB描画装置の他に、紫外域のレーザ光(以下、紫外レーザ光と略す。)を用いてパターン描画(すなわちレジストが塗布されたマスク基板に対してパターン露光)する手法に基づく装置(レーザビーム描画装置と呼ばれることがある。)も製品化されている。その装置の従来例としては、微小なミラーを二次元配列状に多数並べた反射鏡表示素子(デジタルマイクロミラーなどと呼ばれるミラーデバイス)を用いて、これに紫外レーザ光を照射し、反射光をパターン的に制御して、マスク基板上にパターン描画するものである。このレーザビーム描画装置では、回路パターンの中の一部のパターンを一括して露光できることから、処理速度が速い特徴があることが知られている。なお、これに関しては、例えば、Proceedings of SPIE, Vol.4186, PP.16-21、あるいは、USP6,428,940において示されている。
【0005】
これによると、ミラーデバイスを用いた従来のレーザビーム描画装置では、およそ100万個(約500×約2000個)のマイクロミラーを用いたミラーデバイスが用いられ、各マイクロミラーは16ミクロン前後の大きさである。これを縮小投影光学系によって、マスク基板上に1/160の大きさに縮小投影させている。その結果、1つのマイクロミラーに対応するパターンは一辺0.1ミクロン、すなわち100nmの正方形になる。ただし、マスクを描画する場合、一般に、設計上の最小寸法は1から4nmと小さく、これは最小グリッドと呼ばれる。そこで、一辺100nmのミラー投影パターンより遥かに小さいパターン形状を実現するために、投影されるパターンに照射させる光量を変化させることが行われている。例えば、前記文献によると、光量を64段階に変化させる(中間光量を利用する)ことで、最小グリッドとしては、100nmの1/64である1.56nmに対応させている。
【0006】
このように、中間光量を利用して1つのマイクロミラーの縮小投影パターンよりも小さなサイズの最小グリッドに対応させる従来手法では、ミラーデバイスにおける各マイクロミラーの偏向角度を制御し、それによって、投影されるレーザ光の強度を変化させている。なお、これに関しては、もしも最小グリッドである1.56nmごとに投影されるマイクロミラーを移動(すなわちマスク基板のスキャン)するように露光するならば、スキャンスピードが1/64に低下し、しかも、スキャン回数も64倍に増大するため、描画時間は64×64倍と極めて長くなってしまう。すなわち、中間光量を利用することが、レーザビーム描画装置において描画時間を短縮するためには不可欠であるとされている。
【0007】
【非特許文献1】
Proceedings of SPIE, Vol.4186, PP.16-21
【0008】
【特許文献1】
米国特許第6,428,940号明細書
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、中間光量を出すためにミラーの偏向角を制御する従来手法では、各マイクロミラーに印加する電圧を正確に制御する必要がある。ところが、前記のように中間光量を64段階に変化させるために、電圧を64段階に細かく分割して制御する必要があり、しかもレーザの繰返し数の2000Hzに対応する0.0005秒以下の短い時間の少なくとも数分の1の時間内に、およそ100万個ものマイクロミラーの全ての電圧を正確に制御することが困難であった。その結果、実際に印加される電圧が正確に64段階にならず、ばらつきを生じて実質的に光量は数段階しか制御できない場合があった。
【0010】
本発明の目的は、ミラーデバイスを用いたパターン描画装置において、各マイクロミラーに印加する電圧の中間値を用いて制御せずに、中間光量を利用できるパターン描画装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、ミラーデバイスなどの二次元配列状の光制御素子とマイクロレンズアレイを用いることで、多数のスポットの集合体から成るパターンを投影できるパターン投影装置を含み、前記パターン投影装置から基板に投影される前記パターンにおいて、前記基板を、前記多数のスポットの並びに対して斜めに移動させることで、時間的に異なる照射による前記パターンにおけるいくつかのスポットが、前記基板上で同一地点に重なるように照射させたものである。なお、ここで基板とは、本発明によってマスクレス露光機を構成する場合はウエハのことであり、マスク描画装置を構成する場合はマスク基板のことである。
【0012】
これによると、複数回の照射で一つのスポット位置を露光するようにできるので、重複させる照射回数の制御によって中間光量を出すことが可能になる。それによって、各マイクロミラーの制御電圧はONとOFFとの2段階でよく、電圧制御が困難になることはない。なお、このように基板上の同一地点への照射回数の制御で中間光量を制御できるのは、前記のようにマイクロレンズによって、スポットの直径を、スポット間隔に比べて小さくできるため、さらに基板を斜めに移動させることに起因する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
【0014】
第1の実施例を図1と図2を用いて説明する。図1は本発明の第1の実施例としてのパターン描画装置100による描画の説明図であり、図2は、パターン描画装置100を構成するパターン投影装置10の構成図である。図2に示したように、パターン投影装置10には、二次元配列状の光制御素子としてミラーデバイス6が用いられており、図2では省略して描かれているが、ここでは2048×512個(すなわち約100万個)のマイクロミラーが約16ミクロンピッチで縦横に並んでいる。ミラーデバイス6から進むレーザ光L1は、マイクロレンズアレイ7を通って小さなスポットに集光された後、ピンホール板8に与えられる。更に、ピンホール板8の穴を通して出射するレーザ光L2がレンズ9aと9bとを通過して、基板1上に投影される。レンズ9aと9bは投影光学系を構成しており、ピンホール8の位置の光学像を基板1上に投影するようになっている。この構成により、図1に示されたように、基板1におけるミラーデバイス投影領域2には、互いに離れたスポットの集合体パターンが基板1に投影される。
【0015】
本発明では、図1に示したように、縦横マトリックス状に並んだスポット3の集合体の外部輪郭を定めるミラーデバイス投影領域2は、基板1に対して、即ち、基板1の移動方向4に対して斜めに配置される。換言すれば、マトリックス状のスポット3の集合体パターンの行又は列が基板1の移動方向に対して斜めに配置されている。この状態で、パターン露光の際、基板1を移動方向4に沿って移動させる。この時、有効露光幅5内に位置するスポット3においては、複数個が基板1上で同じ場所に重なるようになる。すなわち、移動方向4の方向から基板1を眺めると、複数のスポット3が、横方向に関して同じ座標位置にある。図1では3個が同じ位置になる場合が描かれている。図1に描かれているスポット3の集合体は、1回の照射(1ショット)により形成された瞬間であるが、基板1を、スポット3の直径の半分程度の長さだけ移動させる度に、照射が行われると、これにより、基板1の全面を繋がったスポットで塗りつぶすことが可能になる。
【0016】
このような照射を行った場合、図1に示された例では、3個のスポットが基板1上で同じ位置に当たる(すなわち、露光する)ように、基板1の移動速度を調整すると、基板1における有効露光幅5内では、全てのスポットが3回重なるようにできる。本発明では、このことを利用して、基板1上への各スポットの照射回数の有・無の制御(つまり、ミラーデバイス6によって、レーザ光を基板1に向わせるか、向わせないかの2つの制御)を行うだけで、各スポット位置において、露光量を3段階(照射無しを入れると4段階)に制御できるようになる。
【0017】
ただし、実際のミラーデバイス6は、2048×512個のマイクロミラーを有するため、例えば、64個のスポットが同じ位置に照射するように並べることができ、それにより各スポットにおいて64段階に露光量を制御できる。なお、これを階調数として、例えば、基板における132×100mmの描画エリアの描画時間は、図3(a)に示した公式から算出される。なお(a)における符号の説明は(b)に示した。設計例として、(c)に示したように、ミラーデバイスの変調数(周波数)が2000Hz、基板上の最小グリッドdを1.56nmとする場合、実質的には1.56×64=100nmごとにスポットがくるように基板を移動させればよく、これによって、算出結果は(d)に示したようになり、描画時間は約12時間となる。
【0018】
これに対して、もしも中間光量を利用しないならば、描画エリア全体を最小グリッドごとにスポットがくるように基板を移動させる必要が生じ、0.132×0.100/(1.56nm^2)=5.42×10^15個の異なる位置にスポットが必要になる。これによると、2048×512個のマイクロミラーが2000Hzで動作しても、描画時間は718時間となり、中間光量を利用する場合の約60倍の時間が掛かる。
【0019】
以上より、本発明のパターン描画装置では、中間光量を利用するため、基板を高速に描画できるだけでなく、従来のようにマイクロミラーを電圧で制御する必要もないことから、ミラーデバイスの制御手法がシンプルになり、誤動作や調整不良が生じにくく、正確に階調を出すことが可能になった。
【0020】
次に本発明のパターン描画装置における他の実施例を図4を用いて説明する。図4は、図示していない3台のパターン投影装置を有するパターン描画装置200によるパターン描画の説明図である。3台のパターン投影装置から基板20へ投影されるミラーデバイス投影領域21a、21b、21cの中では、基板20を移動させることで、有効露光領域22a、22b、22cにおいては設定した階調数に中間光量を出せるが、それ以外の領域では設定した階調数に満たない。そこで、設定した階調数以下の露光領域を互いに重なるように、3台のパターン投影装置を配置したものである。これによって、基板21を移動方向24に沿って移動させると、階調数不足領域23a、23bにおいても、2つのミラーデバイス投影領域が重なるため、設定した階調数だけスポットを重ねることが可能になる。
【0021】
ところで、以上のような多数のスポットの集合体から成るパターンを投影できるパターン投影装置10によって露光する場合の問題として、スポットが丸形である場合、多数のスポットを密接させて露光すると、図5(a)に示したように、スポット間が露光されないことから、(b)に示したように、隣接するスポットが重なるように露光する必要がある。ところが、その結果、中間光量を出さずに、全てを照射しても、スポットが重なる回数が位置によって異なるため、露光が多少不均一になる場合がある。
【0022】
そこで、スポット形状として六角形にしてもよい。これによると、図6に示すように、六角形では密接に並べる場合に、同じスポット回数で全面を埋めることが可能である。また、同じ位置に複数ショットで露光して中間光量を出す場合に、ショット数の制御が容易になる。また、六角形のスポットを実現するには、例えば、図2に示したパターン投影装置10におけるピンホール板8の穴を六角形にすればよい。なお、図6には六角形を示したが8角形でもよい。
【0023】
次に、図2に示したパターン描画装置100によって描画された基板を用いた実施例を図7を用いて説明する。図7に示したマスク描画装置300は、パターン描画装置100によって描画された大型マスク30を用いて、マスク基板31上に一般の露光装置用のマスクを描画する装置である。すなわち、通常のマスクの数倍のサイズの大型マスク30に描画されたパターンを縮小投影光学系32によって、マスク基板31に転写したものである。なお、大型マスク30は、通常のマスクよりも大きいため、自重によってたわむことを抑制するために垂直に固定されている。そこで、45度反射鏡33を用いており、これによって、大型マスク30に照射されるレーザ光L30において、大型マスク30を通過するものは、45度反射鏡33で反射して、縮小投影光学系32を通過でき、マスク基板31を照射する。
【0024】
本実施例のように、通常のマスクを描画するために用いる大型マスク30の描画に、本発明のパターン描画装置を用いたものであり、その効果としては、本発明のパターン描画装置は、前述したように、中間光量の利用によって高精度でパターン描画できるだけでなく、非常に高速にパターン描画できる。したがって大型マスク30に対しても描画時間が膨大になることはない。
【0025】
なお、ここで本発明による中間光量を利用の有無によるパターン描画時間の違いを図8を用いて説明する。中間光量を利用しない場合は、(a)に示したように、設計上の最小グリッド(d)ごとに露光のスポットを照射する必要があるため、描画面積をSとすると、スポット数は、S/d^2(回)となる。これに対して、中間光量を利用すると、(b)に示したように、スポット間隔が最小グリッド(d)の階調数(G)倍だけ広げることができる。その結果、描画面積Sにおけるスポット数は、一見して、S/(G・d)^2(個)有るように見えるが、これらのスポット全てにおいて、最高G回重なっているため、スポット総数は、S/(G・d)^2×G=S/d^2/Gとなる。すなわち、(a)に示したスポット数の1/Gになるため、描画時間は階調数で割った数だけ短縮できる。
【0026】
ところで、図2に示したパターン投影装置100におけるピンホール板8の製造法の一例を図9に示す。ここではピンホール板8に正方形の穴をレーザ光によって空ける場合を示した。図示していないエキシマレーザからのレーザ光L50は、正方形に穴の空いている金属マスク51に当たる。金属マスク51の穴を通過したレーザ光L51は、集光レンズ52を通過して、ピンホール板8に当たる。この際に、集光レンズ52は縮小投影光学系を形成しており、金属マスク51の位置の像をピンホール板8に縮小投影するようになっている。これにより、ピンホール板8に照射されるレーザ光L52は小さな正方形になり、正方形の穴が空くようになる。
【0027】
また、ピンホール板8は、図示していないXYステージ上に載せられており、それによって、図でX方向にスキャンされ、Y方向にはステップするようになっている。したがって、繰返しパルス動作を行うレーザ光L50によって、ピンホール板8に多数の正方形の穴が空くようになる。
【0028】
なお、本実施例では、穴加工にエキシマレーザを用いたが、その理由として、エキシマレーザは波長が短く、金属表面での反射率が低くなって金属板を加工しやすいだけでなく、パルス幅が10ns前後と短いため、ピンホール板8を連続的に移動しながら、レーザ照射をしても、パルス幅の時間内に移動する距離が数1nm以下と小さくできるため、正方形の穴が長く延びることがない。
【0029】
なお、利用できるレーザとしては、エキシマレーザの他に、フッ素レーザや、フェムト秒レーザなどのように金属への加工性能が良好であり、かつ繰返し動作が可能なレーザであればよい。また、上記した実施例では、基板を移動方向に対して移動させる場合について説明したが、ミラーデバイス投影領域を基板に対して斜めに移動させても良い。
【0030】
【発明の効果】
本発明のパターン描画装置によると、ミラーデバイスに対する微妙な電圧制御を行わずに階調を出せるため、高精度で高速に描画できるだけでなく、中間光量を正確に、かつ誤動作なく発生できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の説明図である。
【図2】本発明の第1の実施例におけるパターン投影装置100の構成図である。
【図3】本発明による描画時間の算出の説明図である。
【図4】本発明の第2の実施例の説明図である。
【図5】パターン描画の説明図である。
【図6】本発明によるパターン描画の説明図である。
【図7】本発明のパターン描画装置によって描画された大型マスクを用いたマスク描画装置の構成図である。
【図8】(a)及び(b)は本発明に係る中間光量を利用しない場合及び本発明に係る中間光量を利用する場合をそれぞれ示す図である。
【図9】図2に示したパターン投影装置100に使用されるピンホール板の製造法の一例を説明する図である。
【符号の説明】
1、20 基板
2、21a、21b、21c ミラーデバイス投影領域
3 スポット
4 移動方向
5 有効露光幅
6 ミラーデバイス
7 マイクロレンズアレイ
8 ピンホール板
9a、9b レンズ
10 パターン投影装置
22a、22b、22c 有効露光領域
23a、23b 階調数不足領域
30 大型マスク
31 マスク基板
32 縮小投影光学系
33 45度反射鏡
100、200 パターン描画装置
300 マスク描画装置
L1、L2、L30 レーザ光
Claims (6)
- レーザ光を所定の変調数で変調する二次元配列状の光制御素子、マイクロレンズアレイ、及びピンホール板を用い、多数のスポットの集合体から成るパターンを基板に投影するパターン投影装置と、前記基板を前記パターン投影装置に対して相対的に移動させる手段とを含み、前記レーザ光の繰り返し周波数は前記光制御素子の変調数に対応して選定されており、且つ、投影されたパターンを構成する前記多数のスポットの並びが前記基板の移動方向に対して、斜めに配置され、且つ、前記多数のスポットの斜めの配置は、時間的に異なる照射による前記パターンにおけるスポットが、階調数に応じた回数だけ、前記基板上で同一地点に重なるように、設定された状態でパターン描画を行うと共に、前記スポットの形状を前記ピンホール板の穴の形状によって調整できることを特徴とするパターン描画装置。
- 前記スポットが六角形又は八角形であることを特徴とする前記請求項1のパターン描画装置。
- 前記スポットの照射の強度が、一回の照射では中間諧調であり、前記階調数に応じた回数だけ前記基板上で同一地点に重なるように照射されたときに必要な強度となることを特徴とする請求項1のパターン描画装置。
- レーザ光を所定の変調数で変調する二次元配列状の光制御素子およびマイクロレンズアレイ、及びピンホール板を用い多数のスポットの集合体から成るパターンを前記基板に投影するパターン投影装置を用いて、マトリック状に配列されたスポットの集合体パターンと基板のいずれかを相対的に所定の移動方向に移動させることにより、前記スポットの集合体パターンを前記基板上に投影するパターン描画方法において、前記レーザ光の繰り返し周波数は前記光制御素子の変調数に対応して選定されており、前記ピンホール板の穴の形状に応じた形状を有するスポットの集合体パターンの行又は列を、時間的に異なる照射による前記パターンにおけるスポットが、階調数に応じた回数だけ、前記基板上で同一地点に重なるように、斜めにした状態で前記所定の移動方向に移動させることにより、パターン描画を行うことを特徴とするパターン描画方法。
- 前記所定の移動方向に前記基板の移動中、前記スポットの集合体パターンを構成するスポットは前記基板の同じ位置に前記階調数に応じた回数だけ複数回投影されることを特徴とする請求項4記載のパターン描画方法。
- 前記基板の同じ位置に複数回投影されるスポットを与える光学制御素子はオン、オフ制御されることを特徴とする請求項5記載のパターン描画方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003107776A JP4344162B2 (ja) | 2003-04-11 | 2003-04-11 | パターン描画装置及びパターン描画方法 |
US10/552,731 US7663734B2 (en) | 2003-04-11 | 2004-04-09 | Pattern writing system and pattern writing method |
PCT/JP2004/005134 WO2004095549A1 (ja) | 2003-04-11 | 2004-04-09 | パターン描画装置及びパターン描画方法 |
TW093109909A TWI356973B (en) | 2003-04-11 | 2004-04-09 | Pattern drawing apparatus and pattern drawing meth |
EP04726740A EP1662552A1 (en) | 2003-04-11 | 2004-04-09 | Pattern plotting device and pattern plotting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003107776A JP4344162B2 (ja) | 2003-04-11 | 2003-04-11 | パターン描画装置及びパターン描画方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004319581A JP2004319581A (ja) | 2004-11-11 |
JP4344162B2 true JP4344162B2 (ja) | 2009-10-14 |
Family
ID=33469517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003107776A Expired - Lifetime JP4344162B2 (ja) | 2003-04-11 | 2003-04-11 | パターン描画装置及びパターン描画方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4344162B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4541010B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2010-09-08 | 財団法人国際科学振興財団 | パターン露光装置および二次元光像発生装置 |
JP4686753B2 (ja) * | 2004-12-14 | 2011-05-25 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 露光方法及び露光装置 |
JP4638826B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2011-02-23 | 富士フイルム株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
JP2007025394A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Fujifilm Holdings Corp | パターン形成方法 |
KR101648542B1 (ko) * | 2010-06-04 | 2016-08-16 | 가부시키가이샤 씽크. 라보라토리 | 레이저 노광 방법 및 제품 |
CN106707691B (zh) * | 2015-07-15 | 2018-10-16 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 曝光装置及方法 |
JP7309759B2 (ja) * | 2018-06-19 | 2023-07-18 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | 描画点を露光するための方法および装置 |
-
2003
- 2003-04-11 JP JP2003107776A patent/JP4344162B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004319581A (ja) | 2004-11-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060309 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070426 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090218 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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