JP2005116807A - 基板保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 制御手段32が各半導体ウェハ22の配置状態を示すマッピング情報に基づいて、連動モータ32を制御し、リンク機構31によって第2および第3保持体30b,30cを連動させる。これによって各保持体30は、複数の半導体ウェハ22をそれぞれ保持可能な位置に変位する。変位した各保持体30は、上下方向Zに並んで配置される半導体ウェハ22の間に進入し、半導体ウェハ22を保持する。各保持体30は、複数の半導体ウェハ22を保持するにあたって、その各半導体ウェハ22の配置状態に応じた位置に調整されており、各半導体ウェハ22の配置状態が変動する場合であっても、確実に複数の半導体ウェハ22を同時に保持することができる。
【選択図】 図1
Description
各保持体を並列方向に連動させ、各保持体の並列方向の間隔を変化させる連動機構と、
各保持体を少なくとも並列方向に変位駆動する駆動手段と、
並列方向に並んで配置される各基板の配置状態を示すマッピング情報に基づいて、各基板を保持可能な位置に各保持体を変位させるように駆動手段を制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板保持装置である。
駆動手段は、伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮方向へ変位駆動し、
制御手段は、マッピング情報に基づいて、各保持体の並列方向の変位だけでは各基板が保持できない場合、伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮させて、この保持体で基板を保持した後、他の保持体で他の基板を保持可能な位置に他の保持体を変位させるように駆動手段を制御することを特徴とする。
伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮方向へ変位駆動する駆動手段と、
並列方向に並んで配置される各基板の配置状態を示すマッピング情報に基づいて、各保持体によって各基板を保持できない場合、伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮させて、この保持体で基板を保持するように駆動手段を制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板保持装置である。
駆動手段は、各リンク部材のうち少なくといずれか1つを角変位駆動することを特徴とする。
複数のリンク部材が角変位自在に連結されて構成され、各保持体を並列方向に連動させ、各保持体の並列方向の間隔を変化させるリンク機構であって、
並列方向中央の保持体以外の各保持体に一端部がそれぞれ角変位自在に結合される複数の従動リンク部材と、
各従動リンク部材の他端部が角変位自在に結合されるとともに並列方向中央の保持体に結合され、並列方向中央の保持体を通過して並列方向に垂直に延びる基準角変位軸線まわりに角変位自在に設けられる駆動リンク部材とを有するリンク機構と、
前記駆動リンク部材を基準角変位軸線まわりに角変位駆動する駆動手段と、
各基板を保持可能な位置に各保持体を変位させるように駆動手段を制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板保持装置である。
基板保持装置を移動させる移動装置とを含むことを特徴とする基板搬送装置である。
各基板の配置状態を示すマッピング情報を取得するマッピング情報取得工程と、
マッピング情報に基づいて、各保持体の並列方向の保持体のピッチを算出するピッチ算出工程と、
算出された保持体ピッチに基づいて各保持体を並列方向へ変位して、各保持体によって、各基板を保持する保持工程とを含むことを特徴とする基板保持方法である。
各基板の配置状態を示すマッピング情報を取得するマッピング情報取得工程と、
マッピング情報に基づいて、各保持体によって各基板を保持できない場合、伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮させて、この保持体で基板を保持し、各保持体によって各基板を保持可能な状態にする少数保持工程と、
マッピング情報に基づいて、各保持体によって各基板を保持する複数保持工程とを含むことを特徴とする基板保持方法である。
22 半導体ウェハ
28 ロボット
30 保持体
30a 第1保持体
30b 第2保持体
30c 第3保持体
31 リンク機構
32 連動モータ
34 制御手段
37,38 移動機構
39,40 変位モータ
41 ブレード
46 第1移動体
48 第2移動体
60 マッピング手段
Claims (11)
- 予め定める並列方向に並んで配置され、並列方向へ変位自在に設けられ、基板を保持する複数の保持体と、
各保持体を並列方向に連動させ、各保持体の並列方向の間隔を変化させる連動機構と、
各保持体を少なくとも並列方向に変位駆動する駆動手段と、
並列方向に並んで配置される各基板の配置状態を示すマッピング情報に基づいて、各基板を保持可能な位置に各保持体を変位させるように駆動手段を制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板保持装置。 - 各保持体のうち少なくとも1つは、並列方向に交差する伸縮方向へ変位可能に設けられ、
駆動手段は、伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮方向へ変位駆動し、
制御手段は、マッピング情報に基づいて、各保持体の並列方向の変位だけでは各基板が保持できない場合、伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮させて、この保持体で基板を保持した後、他の保持体で他の基板を保持可能な位置に他の保持体を変位させるように駆動手段を制御することを特徴とする請求項1記載の基板保持装置。 - 予め定める並列方向に並んで配置され、基板を保持する複数の保持体であって、少なくとも1つは、並列方向に交差する伸縮方向へ変位可能に設けられる複数の保持体と、
伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮方向へ変位駆動する駆動手段と、
並列方向に並んで配置される各基板の配置状態を示すマッピング情報に基づいて、各保持体によって各基板を保持できない場合、伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮させて、この保持体で基板を保持するように駆動手段を制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板保持装置。 - 並列方向に並んで配置される基板の配置状態を検出するマッピング手段をさらに含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板保持装置。
- 連動機構は、複数のリンク部材が角変位自在に連結されて構成され、各保持体を並列方向に連動させ、各保持体の並列方向の間隔を変化させるリンク機構であって、
駆動手段は、各リンク部材のうち少なくといずれか1つを角変位駆動することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板保持装置。 - 予め定める並列方向に並び、その並列方向へ変位自在に設けられて基板を保持する3つ以上の奇数個の保持体と、
複数のリンク部材が角変位自在に連結されて構成され、各保持体を並列方向に連動させ、各保持体の並列方向の間隔を変化させるリンク機構であって、
並列方向中央の保持体以外の各保持体に一端部がそれぞれ角変位自在に結合される複数の従動リンク部材と、
各従動リンク部材の他端部が角変位自在に結合されるとともに並列方向中央の保持体に結合され、並列方向中央の保持体を通過して並列方向に垂直に延びる基準角変位軸線まわりに角変位自在に設けられる駆動リンク部材とを有するリンク機構と、
前記駆動リンク部材を基準角変位軸線まわりに角変位駆動する駆動手段と、
各基板を保持可能な位置に各保持体を変位させるように駆動手段を制御する制御手段とを含むことを特徴とする基板保持装置。 - 基準角変位軸線に垂直な平面に沿って延びる第1直線に沿って、従動リンク部材の一端部が等間隔に一列に並び、基準角変位軸線に垂直な平面に沿って延びる第2直線に沿って、各従動リンク部材の他端部と基準角変位軸線とが等間隔に一列に並ぶことを特徴とする請求項6記載の基板保持装置。
- 保持体が予め定める搬送方向に移動して基板に近接する場合、各従動リンク部材および駆動リンク部材は、搬送方向下流側で搬送方向に垂直な平面に沿って配置されることを特徴とする請求項6または7記載の基板保持装置。
- 請求項1〜8のいずれかの基板保持装置と、
基板保持装置を移動させる移動装置とを含むことを特徴とする基板搬送装置。 - 予め定める並列方向に並んで配置されて並列方向へ変位自在に設けられる複数の保持体によって、並列方向に並ぶ基板を複数同時に保持する基板保持方法であって、
各基板の配置状態を示すマッピング情報を取得するマッピング情報取得工程と、
マッピング情報に基づいて、各保持体の並列方向の保持体のピッチを算出するピッチ算出工程と、
算出された保持体ピッチに基づいて各保持体を並列方向へ変位して、各保持体によって、各基板を保持する保持工程とを含むことを特徴とする基板保持方法。 - 予め定める並列方向に並んで配置されて少なくとも1つは、並列方向に交差する伸縮方向へ変位可能に設けられる複数の保持体によって、並列方向に並ぶ基板を複数同時に保持する基板保持方法であって、
各基板の配置状態を示すマッピング情報を取得するマッピング情報取得工程と、
マッピング情報に基づいて、各保持体によって各基板を保持できない場合、伸縮方向へ変位可能な保持体を伸縮させて、この保持体で基板を保持し、各保持体によって各基板を保持可能な状態にする少数保持工程と、
マッピング情報に基づいて、各保持体によって各基板を保持する複数保持工程とを含むことを特徴とする基板保持方法。
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