JP2005106820A5 - - Google Patents

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Claims (10)

  1. 光沢面を有する物体(106)を走査する光学計測システム(100)において、
    物体の光沢面に向かって構造化光パターン(L)を放射するように構成され且つ適合された少なくとも1つの光源(102)と、
    光パターンが通過するように前記光源(102)と物体(106)との間に配置され、光パターンの偏光面及び偏光角のうちの少なくとも一方を変化させるように構成され且つ適合された少なくとも1つの第1の偏光子(108)と、
    物体(106)の画像を撮影するように構成され且つ適合された少なくとも1つのカメラ(124a〜124c)と、
    前記カメラ(124a〜124c)と物体(106)との間に配置され、固定された向きを有する少なくとも1つの第2の偏光子(122a〜122c)と
    を具備する光学計測システム。
  2. 光沢のある物体の表面を走査する光学計測システムにおいて、
    物体の表面に向かって構造化光パターン(L)を放射するように構成され且つ適合された少なくとも1つの光源(102)と、
    前記光源と物体との間に配置され、光ビーム(L)により規定される軸に関して回転自在である少なくとも1つの第1の偏光レンズ(108)と、
    物体の画像を撮影するような向きに配置された少なくとも1つのカメラ(124a〜124c)と、
    各々のカメラと物体との間に配置され、各々が互いに対して固定された向きを有し且つ互いに対して異なる向きを有する少なくとも1つの第2の偏光レンズ(122a〜122c)と
    を具備する光学計測システム。
  3. 前記光源(102)はレーザー源である請求項1又は2記載の光学計測システム。
  4. 前記第1の偏光子(108)は光パターン(L)により規定される軸に関して回転自在である請求項1から3のいずれか1項に記載の光学計測システム。
  5. 各光源(102)は物体に向かって少なくとも1本のレーザービーム(L)を放射するように構成され且つ適合されている請求項1から4のいずれか1項に記載の光学計測システム。
  6. 物体(106)の画像を撮影するように構成され且つ適合された複数のカメラ(124a〜124c)を更に含む請求項1から5のいずれか1項に記載の光学計測システム。
  7. 光沢面を有する物体(106)に対して光学的計測を実行する方法において、
    物体(106)に向かって光パターン(L)を放射する少なくとも1つの光源(102)と、
    前記光源(102)と物体(106)との間に動作自在に配置され、光パターン(L)の偏光面及び偏光角のうちの少なくとも一方を変化させることが可能である少なくとも1つの第1の偏光子(108)と、
    物体(106)の画像を捕捉する少なくとも1つのカメラ(124a〜124c)と、
    前記カメラ(124a〜124c)と物体(106)との間に固定配置された少なくとも1つの第2の偏光子(122a〜122c)とを含む光学計測システム(100)を設ける過程と、
    前記第1の偏光子(108)を通して物体(106)の表面に向かって光パターン(L)を放射する過程と、
    前記第1の偏光子(108)を回転させる過程と、
    前記カメラ(124a〜124c)を使用して物体(106)の少なくとも1つの画像を、画像が前記第2の偏光子(122a〜122c)を通して捕捉されるように捕捉する過程と
    から成る方法。
  8. 前記光学計測システムは複数のカメラ(124a〜124c)を含み、方法は、各々のカメラを使用して物体の複数の画像を捕捉する過程を含む請求項7記載の方法。
  9. 前記カメラ(124a〜124c)から捕捉された画像を物体の表面により発生される雑音から分離された、物体に関する所望の情報として組み合わせる過程を更に含む請求項7又は8記載の方法。
  10. 位相情報に到達するために画像空間においてレーザービーム(L)を補間する過程を更に含む請求項7から9のいずれか1項に記載の方法。
JP2004280788A 2003-09-29 2004-09-28 光沢面測定のための協調偏光 Active JP4934274B2 (ja)

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100268069A1 (en) 2009-04-16 2010-10-21 Rongguang Liang Dental surface imaging using polarized fringe projection
JP6096173B2 (ja) * 2011-04-29 2017-03-15 シーメンス・ヘルスケア・ダイアグノスティックス・インコーポレーテッドSiemens Healthcare Diagnostics Inc. 高発光光束コリメート照明装置および均一な読取フィールドの照明の方法
US9186470B2 (en) * 2012-02-08 2015-11-17 Apple Inc. Shape reflector and surface contour mapping
CN103868472B (zh) * 2013-12-23 2016-09-07 黑龙江科技大学 一种用于高反射率零件的面结构光三维测量装置与方法
DE102017213549B3 (de) 2017-08-04 2018-09-27 Ifm Electronic Gmbh Lichtschnittsensor und Verfahren zum Betreiben eines Lichtschnittsensors

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0062083B1 (de) * 1981-04-04 1985-11-27 Ibm Deutschland Gmbh Einrichtung zur Bestimmung des Polarisationszustandes eines Lichtwellenfeldes und Verwendungen der Einrichtung zu interferometrischen und holographischen Messungen
JPH04127004A (ja) * 1990-09-18 1992-04-28 Jasco Corp エリプソメータ及びその使用方法
JPH04240553A (ja) * 1991-01-24 1992-08-27 Shimadzu Corp 物体特性の評価方法
JPH05142141A (ja) * 1991-11-19 1993-06-08 Katsuya Masao 薄膜測定装置
US5625446A (en) * 1993-10-18 1997-04-29 United Technologies Corporation Optical measurement system for articles with varying surface reflectivity
US6028671A (en) * 1996-01-31 2000-02-22 General Scanning, Inc. Method and system for suppressing unwanted reflections in an optical system
AU6381500A (en) * 1999-07-27 2001-02-13 Colorado School Of Mines Parallel detecting, spectroscopic ellipsometers/polarimeters
US6597454B1 (en) 2000-05-12 2003-07-22 X-Rite, Incorporated Color measurement instrument capable of obtaining simultaneous polarized and nonpolarized data
JP2002116085A (ja) * 2000-10-05 2002-04-19 Tetsuya Hamamoto 偏光計測装置
JP2002139423A (ja) * 2000-11-01 2002-05-17 Fuji Electric Co Ltd 油膜検知装置
JP2002148186A (ja) * 2000-11-09 2002-05-22 Olympus Optical Co Ltd 偏光測定方法および装置
JP2002162344A (ja) * 2000-11-22 2002-06-07 Nec Corp 異方性薄膜評価方法および装置
US20020089747A1 (en) * 2001-01-09 2002-07-11 Hay Ranald Joseph Techniques for reducing observed glare by using polarized optical transmission & reception devices
JP4558217B2 (ja) * 2001-01-12 2010-10-06 独立行政法人理化学研究所 金属試料の特性を光学的に測定する方法及び装置
US6678057B2 (en) * 2001-12-19 2004-01-13 General Electric Company Method and device for reduction in noise in images from shiny parts
US7253901B2 (en) * 2002-01-23 2007-08-07 Kla-Tencor Technologies Corporation Laser-based cleaning device for film analysis tool

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