JP6273109B2 - 光干渉測定装置 - Google Patents
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Description
10・・・光射出部
20・・・光学ヘッド部
30・・・対物レンズ部
40・・・撮像部
41・・・結像レンズ
50・・・画像メモリ
60・・・演算処理部
70・・・入力部
80・・・出力部
90・・・表示部
S・・・ステージ
W・・・測定対象物(ワーク)
Claims (4)
- 光を出力する光源と、
前記光源から出力された光を参照光路と測定光路とに分岐するとともに、参照光路を経た反射光と測定光路に配置された測定対象物を経た反射光とを合成した合成波を出力するビームスプリッタと、
前記参照光路に配置され、ビームスプリッタで参照光路に分岐された光を、反射面に配された複数の微小ミラーによって反射する参照ミラーと、
前記測定光路に配置され、測定対象物が載置されるステージと、
前記参照光路および前記測定光路のいずれか一方の光路長を変化させる光路長可変手段と、
二次元に配列された複数の受光素子により前記合成波における干渉光強度の二次元の分布を示す干渉画像を撮像する撮像手段と、
を備える光干渉測定装置であって、
前記複数の微小ミラーは、前記複数の受光素子と対応して配列され、各微小ミラーによる反射光が、当該微小ミラーに対応する受光素子に入射し、
前記受光素子の受光部において、前記微小ミラーによる反射光が入射する領域の面積は、当該受光素子の受光部の面積よりも狭いことを特徴とする、光干渉測定装置。 - 前記微小ミラーは、円形に形成されることを特徴とする、請求項1に記載の光干渉測定装置。
- 前記参照ミラーの反射面における前記微小ミラーが配されていない部分は、前記ビームスプリッタからの光を吸収することを特徴とする、請求項1または2に記載の光干渉測定装置。
- 前記参照ミラーの反射面における前記微小ミラーが配されていない部分は、前記ビームスプリッタからの光を散乱することを特徴とする、請求項1または2に記載の光干渉測定装置。
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