JP2005079238A - 液浸用溶液及び液浸露光機システム - Google Patents
液浸用溶液及び液浸露光機システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005079238A JP2005079238A JP2003306015A JP2003306015A JP2005079238A JP 2005079238 A JP2005079238 A JP 2005079238A JP 2003306015 A JP2003306015 A JP 2003306015A JP 2003306015 A JP2003306015 A JP 2003306015A JP 2005079238 A JP2005079238 A JP 2005079238A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- immersion
- solution
- optical system
- projection optical
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70341—Details of immersion lithography aspects, e.g. exposure media or control of immersion liquid supply
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Lenses (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】 露光ビームでマスクRを照明し、投影光学系PLを介して前記マスクRのパターンを基板W上に転写する液浸型投影露光装置の前記基板Wの表面と前記投影光学系PLの前記基板W側の蛍石により形成された光学素子4との間に介在する液浸用溶液がフッ素イオンまたはフッ化物イオンを含む。
【選択図】 図1
Description
ここで、図1に示すようにDは光学素子4の先端部の直径(m)、vはXYステージ10の移動速度(m/s)、dは投影光学系PLの作動距離(ワーキング・ディスタンス)(m)である。XYステージ10をステップ移動するときの速度vは、主制御系14により設定されるものであり、D及びdは予め入力されているため、(1)式に基づいて液浸用溶液7の供給量Vi、及び回収量Voを調整することで、図4の光学素子4とウエハWとの間には液浸用溶液7が常時満たされる。
ここで、DSYは光学素子32の先端部32AのX方向の長さ(m)である。これによって走査露光中においても光学素子32とウエハWとの間を液浸用溶液7により安定に満たすことができる。
ここで、DSXは光学素子32の先端部32AのY方向の長さ(m)である。第1の実施の形態と同様に、Y方向にステップ移動させる際にもウエハWの移動速度vに応じて液浸用溶液7の供給量を調整することにより、光学素子32とウエハWとの間を液浸用溶液7により満たし続けることができる。
PL…投影光学系
W…ウエハ
1…照明光学系
4、32、105…光学素子
5…液体供給装置
6…液体回収装置
7…液浸用溶液
9…Zステージ
10…XYステージ
14…主制御系
21,22…供給管
21a〜21c,22a〜22c…排出ノズル
23,24…回収管
23a,23b,24a,24b…流入ノズル
40,41,44,45…フィルタ
42,43,46,47…イオン交換部材
Claims (9)
- 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系を介して前記マスクのパターンを基板上に転写する液浸型投影露光装置の前記基板の表面と前記投影光学系の前記基板側の蛍石により形成された光学素子との間に介在するフッ素イオンまたはフッ化物イオンを含むことを特徴とする液浸用溶液。
- PHが6以下であることを特徴とする請求項1記載の液浸用溶液。
- 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系を介して前記マスクのパターンを基板上に転写する液浸型投影露光装置の前記基板の表面と前記投影光学系の前記基板側の蛍石により形成された光学素子との間に介在するアンモニウムイオンを含むことを特徴とする液浸用溶液。
- PHが8以上であることを特徴とする請求項3記載の液浸用溶液。
- 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系を介して前記マスクのパターンを基板上に転写する液浸型投影露光装置の前記基板の表面と前記投影光学系の前記基板側の蛍石により形成された光学素子との間に介在する緩衝溶液により構成されることを特徴とする液浸用溶液。
- 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系を介して前記マスクのパターンを基板上に転写し、前記基板の表面と前記投影光学系の前記基板側の光学素子との間に液浸用溶液を介在させた液浸露光機システムにおいて、
前記基板の表面と前記投影光学系の前記基板側の光学素子との間の前記液浸用溶液を循環させる循環系を備え、該循環系内にイオン交換部材を設置したことを特徴とする液浸露光機システム。 - 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系を介して前記マスクのパターンを基板上に転写し、前記基板の表面と前記投影光学系の前記基板側の光学素子との間に液浸用溶液を介在させた液浸露光機システムにおいて、
前記基板の表面と前記投影光学系の前記基板側の光学素子との間の前記液浸用溶液を循環させる循環系を備え、該循環系内にフィルタを設置したことを特徴とする液浸露光機システム。 - 前記フィルタは、メンブレンフィルタ、濾紙、活性炭フィルタ、中空糸フィルタ、限外濾過フィルタの中の少なくとも1つにより構成されることを特徴とする請求項7記載の液浸露光機システム。
- 前記フィルタは、フィルタ孔径が1μm以下であることを特徴とする請求項7または請求項8記載の液浸露光機システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003306015A JP4168880B2 (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | 液浸用溶液 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003306015A JP4168880B2 (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | 液浸用溶液 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005079238A true JP2005079238A (ja) | 2005-03-24 |
JP2005079238A5 JP2005079238A5 (ja) | 2005-12-15 |
JP4168880B2 JP4168880B2 (ja) | 2008-10-22 |
Family
ID=34409203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003306015A Expired - Fee Related JP4168880B2 (ja) | 2003-08-29 | 2003-08-29 | 液浸用溶液 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4168880B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005078773A1 (ja) * | 2004-02-18 | 2005-08-25 | Nikon Corporation | 結像光学系、露光装置、および露光方法 |
WO2006115268A1 (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-02 | Mitsui Chemicals, Inc. | 液浸式露光用液体、液浸式露光用液体の精製方法および液浸式露光方法 |
JP2006337953A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | バリア膜形成用材料及びそれを用いたパターン形成方法 |
WO2006137410A1 (ja) * | 2005-06-21 | 2006-12-28 | Nikon Corporation | 露光装置及び露光方法、メンテナンス方法、並びにデバイス製造方法 |
JP2007288187A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US7459264B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-12-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Device manufacturing method |
JP2010074187A (ja) * | 2005-04-05 | 2010-04-02 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US7924400B2 (en) | 2005-09-26 | 2011-04-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Method for measuring liquid immersion lithography soluble fraction in organic film |
JP2011238959A (ja) * | 2003-12-15 | 2011-11-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | 液浸リソグラフィー用投影対物レンズ |
JP2011254092A (ja) * | 2003-08-29 | 2011-12-15 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ投影装置およびリソグラフィ投影方法 |
KR101119813B1 (ko) | 2003-12-15 | 2012-03-06 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 장치, 노광 장치, 및 노광 방법 |
-
2003
- 2003-08-29 JP JP2003306015A patent/JP4168880B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9581914B2 (en) | 2003-08-29 | 2017-02-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8953144B2 (en) | 2003-08-29 | 2015-02-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2011254092A (ja) * | 2003-08-29 | 2011-12-15 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ投影装置およびリソグラフィ投影方法 |
JP2011238959A (ja) * | 2003-12-15 | 2011-11-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | 液浸リソグラフィー用投影対物レンズ |
KR101119813B1 (ko) | 2003-12-15 | 2012-03-06 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 장치, 노광 장치, 및 노광 방법 |
WO2005078773A1 (ja) * | 2004-02-18 | 2005-08-25 | Nikon Corporation | 結像光学系、露光装置、および露光方法 |
US7459264B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-12-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Device manufacturing method |
US8976334B2 (en) | 2005-04-05 | 2015-03-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10495984B2 (en) | 2005-04-05 | 2019-12-03 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10209629B2 (en) | 2005-04-05 | 2019-02-19 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9857695B2 (en) | 2005-04-05 | 2018-01-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2010074187A (ja) * | 2005-04-05 | 2010-04-02 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US9429853B2 (en) | 2005-04-05 | 2016-08-30 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8988651B2 (en) | 2005-04-05 | 2015-03-24 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
WO2006115268A1 (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-02 | Mitsui Chemicals, Inc. | 液浸式露光用液体、液浸式露光用液体の精製方法および液浸式露光方法 |
JPWO2006115268A1 (ja) * | 2005-04-26 | 2008-12-18 | 三井化学株式会社 | 液浸式露光用液体、液浸式露光用液体の精製方法および液浸式露光方法 |
JP4616884B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2011-01-19 | 三井化学株式会社 | 液浸式露光用液体、液浸式露光用液体の精製方法および液浸式露光方法 |
JP2006337953A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | バリア膜形成用材料及びそれを用いたパターン形成方法 |
JP4589809B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2010-12-01 | パナソニック株式会社 | バリア膜形成用材料及びそれを用いたパターン形成方法 |
JP5045437B2 (ja) * | 2005-06-21 | 2012-10-10 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
WO2006137410A1 (ja) * | 2005-06-21 | 2006-12-28 | Nikon Corporation | 露光装置及び露光方法、メンテナンス方法、並びにデバイス製造方法 |
US7924400B2 (en) | 2005-09-26 | 2011-04-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Method for measuring liquid immersion lithography soluble fraction in organic film |
JP2007288187A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4168880B2 (ja) | 2008-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4179283B2 (ja) | 光学素子及びその光学素子を用いた投影露光装置 | |
JP4362867B2 (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP5516791B2 (ja) | 露光装置、露光方法、並びにデバイス製造方法 | |
WO2005031823A1 (ja) | 液浸型レンズ系及び投影露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP4784513B2 (ja) | メンテナンス方法、メンテナンス機器、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
US7215410B2 (en) | Exposure apparatus | |
JP4816769B2 (ja) | 光学素子及び露光装置 | |
JP4572896B2 (ja) | 露光装置及びデバイスの製造方法 | |
WO1999049504A1 (fr) | Procede et systeme d'exposition par projection | |
US20070024832A1 (en) | Exposure apparatus and method for producing device | |
JP2001168027A (ja) | リソグラフィ装置 | |
JP4168880B2 (ja) | 液浸用溶液 | |
JP2006202825A (ja) | 液浸型露光装置 | |
JP4720106B2 (ja) | 露光方法、並びにデバイス製造方法 | |
JP2007115730A (ja) | 露光装置 | |
JP4591093B2 (ja) | 走査型露光方法 | |
JP2009009954A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2007012832A (ja) | 露光装置 | |
KR20070017954A (ko) | 액침형 렌즈계 및 투영노광장치, 그리고 디바이스 제조방법 | |
JP2006332639A (ja) | 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051019 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051028 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070508 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070515 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070710 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070711 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080715 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080728 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4168880 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140815 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140815 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140815 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |