JP2005075666A - カーボンナノチューブの選択合成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板表面に触媒金属粒子からなる薄膜を形成し、該薄膜の触媒粒子を核として薄膜上に化学蒸着法によりカーボンナノチューブを成長させるに当たり、基板と上記薄膜の間に、カーボンナノチューブの成長を阻止するクロム層を所要パターンで介在させることにより、薄膜のクロム層非介在部のみにカーボンナノチューブを成長させる。
【選択図】 なし
Description
図1において、シリコン製の基板(1)の上面の右側半体の表面に厚さ約50nmのクロム層(2) を蒸着法により形成した。基板(1)の上面の左側半体およびクロム層(2) の表面に触媒となるFeを電子ビーム蒸着で全面に蒸着し、触媒Fe粒子からなる薄膜(3) を厚さ約5nmで形成した。こうして基板(1) と薄膜(3) の間にクロム層(2) を所要パターンで介在させた。
図3において、シリコン製の基板(1)上全面に厚さ約1μmの酸化珪素製の絶縁膜(4)を形成し、同膜(4) の上に厚さ約50nmのクロム層(2) を蒸着法により、多孔(6) パターンをなすように、形成した(図3a参照)。
実施例2において、に緩衝フッ酸溶液で貫通孔(5)の側部をエッチングし貫通孔(5)を拡大する工程(図3b参照)を省いた以外、実施例2と同じ操作を行った。
図6は従来のフィールドエミッタを示すもので、これは、シリコン製の基板(51)上に厚さ約1μmの酸化珪素製の絶縁膜(54)が設けられ、絶縁膜(54)には多数の貫通孔(55)が形成され、貫通孔(3)の内部にて基板(51) 面上にカーボンナノチューブ(57)が成長させられ、カーボンナノチューブ(57)の外側にて絶縁膜(54)上にゲート電極(52)が設けられたものである。
(2) :クロム層
(3) :触媒Fe粒子からなる薄膜
(4) :絶縁膜
(5) :貫通孔
(6) :孔
(7) :カーボンナノチューブ
Claims (2)
- 基板表面に触媒金属粒子からなる薄膜を形成し、該薄膜の触媒粒子を核として薄膜上に化学蒸着法によりカーボンナノチューブを成長させるに当たり、基板と上記薄膜の間に、カーボンナノチューブの成長を阻止するクロム層を所要パターンで介在させることにより、薄膜のクロム層非介在部のみにカーボンナノチューブを成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの選択合成方法。
- 基板表面に触媒金属粒子からなる薄膜を形成し、該薄膜の触媒粒子を核として薄膜上に化学蒸着法によりカーボンナノチューブを成長させるに当たり、基板の上に絶縁層を形成し、絶縁層の上に、カーボンナノチューブの成長を阻止するクロム層を所要マスクパターンで形成し、絶縁層の被マスク部をエッチングして貫通孔を形成することにより基板を露出させ、基板の露出部およびクロム層上に上記薄膜を形成し、上記化学蒸着報により基板露出部における薄膜にのみカーボンナノチューブを成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの選択合成方法。
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CN112028055A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-04 | 温州大学 | 一种在基片上直接分区生长碳纳米管薄膜的方法和应用 |
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