JP2018534574A - 圧力センサのためのセンサ素子 - Google Patents
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Abstract
Description
センサ膜であって、センサ膜に所定数のピエゾ抵抗器が配置されており、ピエゾ抵抗器が、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるように回路に配置されているセンサ膜と;
少なくとも2つの温度測定素子であって、温度測定素子によってピエゾ抵抗器の位置においてセンサ膜の温度が測定可能となるようにセンサ膜に対して配置されており、測定された温度を用いた計算により、温度勾配に基づいてピエゾ抵抗器の回路に生じた電圧が補正可能である温度測定素子とを備える圧力センサのためのセンサ素子によって解決される。
センサ膜を設けるステップ;
所定数のピエゾ抵抗器を設け、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるように回路のセンサ膜にピエゾ抵抗器を配置するステップ;及び
少なくとも2つの温度測定素子を設け、温度測定素子によってピエゾ抵抗器の位置においてセンサ膜の温度が測定可能となるように少なくとも2つの温度測定素子をセンサ膜に対して配置し、測定された温度を用いた計算により、温度勾配に基づいてピエゾ抵抗器の回路に生じた電圧を補正するステップを備える方法によって解決される。
Claims (13)
- 圧力センサのためのセンサ素子(100)において:
センサ膜(10)であって、該センサ膜(10)に所定数の圧電抵抗器(R1〜Rn)が配置されており、該圧電抵抗器(R1〜Rn)が、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるようにブリッジ回路(特に6頁17〜22行)に配置されているセンサ膜(10)と;
少なくとも2つの温度測定素子(T1〜Tn)であって、該温度測定素子(T1〜Tn)によって前記圧電抵抗器(R1〜Rn)の位置において前記センサ膜(10)の温度が測定可能となるようにセンサ膜(10)に対して配置されており、
前記温度測定素子によって前記センサ膜における温度勾配が決定され、(5頁20〜23行)前記圧電抵抗器(R1〜Rn)のブリッジ回路に温度勾配に基づいて生じたブリッジ回路のブリッジ電圧の誤差が、決定された温度勾配を用いて計算により補正される(特に5頁12〜25行、7頁16〜19行)
圧力センサのためのセンサ素子(100)。 - 請求項1に記載のセンサ素子(100)において、
少なくとも1つの前記温度測定素子(T1〜Tn)が前記センサ膜(10)に配置されているセンサ素子(100)。 - 請求項1に記載のセンサ素子(100)において、
少なくとも1つの前記温度測定素子(T1〜Tn)が前記センサ膜(10)に隣接して配置されているセンサ素子(100)。 - 請求項1または2に記載のセンサ素子(100)において、
前記温度測定素子(T1〜Tn)が前記センサ膜(10)のそれぞれのコーナ範囲に配置されているセンサ素子(100)。 - 請求項4に記載のセンサ素子(100)において、
それぞれの前記圧電抵抗器(R1〜Rn)に、所定の間隔をおいてそれぞれ1つの前記温度測定素子(T1〜Tn)が配置されているセンサ素子(100)。 - 請求項1から5までのいずれか1項に記載のセンサ素子(100)において、
2つの前記温度測定素子(T1,T2)が前記センサ膜(10)の温度勾配に沿って配置されているセンサ素子(100)。 - 請求項1から6までのいずれか一項に記載のセンサ素子(100)において、
前記温度測定素子(T1〜Tn)が感温性のダイオードであるセンサ素子(100)。(6頁20,21行) - 請求項1から6までのいずれか一項に記載のセンサ素子(100)において、
前記温度測定素子(T1〜Tn)が感温性の抵抗器であるセンサ素子(100)。(6頁20,21行) - 請求項1から8までのいずれか一項に記載のセンサ素子(100)を備えるセンサ装置(200)。
- 圧力センサのためのセンサ素子(100)を製造する方法であって、次のステップ:
センサ膜(10)を設けるステップ;
所定数の圧電抵抗器(R1〜Rn)を設け、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるように前記圧電抵抗器(R1〜Rn)をブリッジ回路(特に6頁17〜22行)のセンサ膜(10)に配置するステップ;および
少なくとも2つの温度測定素子(T1〜Tn)を設け、該温度測定素子(T1〜Tn)によって前記圧電抵抗器(R1〜Rn)の位置において前記センサ膜(10)の温度が測定可能となるように少なくとも2つの温度測定素子(T1〜Tn)をセンサ膜(10)に対して配置し、前記温度測定素子によって前記センサ膜における温度勾配を決定し、(5頁20〜23行)前記圧電抵抗器(R1〜Rn)のブリッジ回路に、温度勾配に基づいて生じたブリッジ電圧の誤差を、決定された温度勾配を用いて計算により補正するステップを備える(5頁12〜25行〜7ページ16〜19行)圧力センサのためのセンサ素子(100)を製造する方法。 - 請求項10に記載の方法において、
前記温度測定素子(T1〜Tn)として感温性のダイオードまたは感温性の抵抗器を用いる方法。(5頁20,21行) - 請求項10または11に記載の方法において、
前記温度測定素子(T1〜Tn)によって前記圧電抵抗器(R1〜R4)の位置において温度が測定可能となるように、前記温度測定素子(T1〜Tn)を前記センサ膜(10)に配置するか、またはセンサ膜(10)に隣接して配置する方法。 - 圧力センサを備えるセンサ装置(200)において請求項1から8までのいずれか一項に記載のセンサ素子(100)を使用する使用法。
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