JP2005019754A - 複合部品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】接着面積の狭い部品であっても、そのような部品が浮上して、その部品の電極面への封止樹脂の浸入が無い複合部品及びその製造方法を得ること。
【解決手段】本発明の一実施形態の複合部品1Aは、接着面積の狭い半導体チップCaとそれら半導体チップCaの接着面積より広い接着面積の半導体チップCbが混載されて封止樹脂6により一体的に封止されている構造の複合部品において、両半導体チップCa、Cbのそれぞれの電極パッドTa、Tbの形成面が同一平面となるように配設され、半導体チップCaは固定材5で直接被覆されており、固定材5及び半導体チップCbの外表面が封止樹脂6で覆われており、そして半導体チップCa、Cbのそれぞれの電極パッドTa、Tbが電子回路配線層10の外部接続端子12に接続されている配線回路11に接続されている。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明の一実施形態の複合部品1Aは、接着面積の狭い半導体チップCaとそれら半導体チップCaの接着面積より広い接着面積の半導体チップCbが混載されて封止樹脂6により一体的に封止されている構造の複合部品において、両半導体チップCa、Cbのそれぞれの電極パッドTa、Tbの形成面が同一平面となるように配設され、半導体チップCaは固定材5で直接被覆されており、固定材5及び半導体チップCbの外表面が封止樹脂6で覆われており、そして半導体チップCa、Cbのそれぞれの電極パッドTa、Tbが電子回路配線層10の外部接続端子12に接続されている配線回路11に接続されている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の集積電子回路が形成された半導体ウェーハから個片化された半導体チップ(いわゆるベアチップ)、抵抗器、コンデンサ、コネクタなどの部品の複数の、或いは複数種の部品が混載された複合部品及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
先ず、従来技術の複合部品及びその製造方法を説明する。なお、本明細書では、半導体チップ(ベアチップ)、抵抗器、コンデンサ、コネクタなどの部品の内、代表として半導体チップを採り上げて説明する。
【0003】
図4は従来技術の一形態の複合部品の模式的な拡大断面図、図5は図4に示した複合部品の主要な工程を断面図で示した製造工程図、そして図6は樹脂封止工程に生じる問題点を説明するための断面図である。
【0004】
図4において、符号1Bは従来技術の一形態の複合部品を指す。この複合部品1Bは、比較的接着面積の狭い半導体チップCaとその半導体チップCaの接着面積より広い接着面積の半導体チップCbが混載されて封止樹脂6により一体的に封止されている構造の複合部品であって、両半導体チップCa、Cbの電極形成面に形成されている電極パッドTa、Tbが同一平面となるように配設され、そしてそれぞれの電極パッドTa、Tbが電子配線回路層の外部接続端子に接続されている配線回路に接続された構造の複合部品である。
【0005】
このような複合部品1Bは、図5に示した工程を含む製造工程を経て製造される。その製造方法を簡単に説明すると、先ず、図5Aに示したように、フィルムの両面に粘着層が形成されている両面粘着フイルム3がその一方の前記粘着層で平坦な表面に接着されている支持基板2を用意し、その両面粘着フイルム3の他方の粘着層に、複数の比較的接着面積の狭い半導体チップCaの各電極パッドTaとその半導体チップCaの接着面積より広い接着面積の複数の半導体チップCbの各電極パッドTbとを揃えて所定の配列で搭載し、図5Bに示したように、それら半導体チップCa、Cbの外表面を封止樹脂6で封止した後、図示していないが、両面粘着フイルム3及び支持基板2を剥離して、半導体チップCa、Cbのそれぞれの電極パッドTa、Tbを露出させ、次に、それら露出した電極パッドTa、Tbと外部接続端子に接続されている電子配線回路層10とを接続し(図5C)、その後、少なくとも1個の半導体チップCaと少なくとも1個の半導体チップCbとを含めてラインLに沿ってダイシングして個片化すれば、図4に示したような1単位の複合部品1Bが完成する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、 従来技術の複合部品の製造方法においては、図5Bに示した樹脂封止成形時に、図6に示したように、封止樹脂6の流動により、例えば、接着面積の狭い半導体チップCaが浮き上がる現象が生じ、それら半導体チップCaの電極パッドTa形成面へ封止樹脂6が浸入することがあった。この封止樹脂6の侵入は、半導体チップCaと両面粘着フイルム3の粘着層との接着強度に依存しており、特に小サイズの半導体チップCaはその接着面積が狭いことから接着強度の絶対値が小さいため、半導体チップCaが浮くことに起因している。
【0007】
また、半導体チップCaと両面粘着フイルム3の粘着層との接着力を上げるために、ダイボンドの圧力を上げる、オートクレーブ{加圧脱泡装置(Auto・clave)}などで加圧処理を封止樹脂成形前に行うなどの対策があるが、ダイボンドの圧力を上げることで、半導体チップCaが両面粘着フイルム3の粘着層に入り込み、成形後の半導体チップCaと封止樹脂6との間に段差が発生し、また、オートクレーブ処理を行った場合は、マルチ半導体チップとなるような場合の対応やオートクレーブ処理後の経時変化(加圧前の状態に戻る現象)があるなどの課題がある。
【0008】
本発明はこのような課題を解決しようとするものであって、搭載しようとする部品が小さくて接着面積の狭い部品であっても、そのような部品が浮上して、その部品の電極面への封止樹脂の浸入が無い複合部品及びその製造方法を得ることを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
それ故、前記課題を解決するために、請求項1に記載の本発明の複合部品は、比較的接着面積の狭い部品と該部品の接着面積より広い接着面積の部品が混載されて封止樹脂により一体的に封止されている構造の複合部品において、前記比較的接着面積の狭い部品はその表面が固定材で直接被覆され、そして前記固定材及び前記接着面積の広い部品の外表面が前記封止樹脂で覆われていることを特徴とする。
【0010】
請求項2に記載の複合部品は、請求項1に記載の複合部品における前記両部品の電極が同一平面上にあり、それら各電極が、電子配線回路層の外部接続端子に接続されている配線回路に接続されていることを特徴とする。
【0011】
請求項3に記載の複合部品は、比較的接着面積の狭い半導体チップとその半導体チップの接着面積より広い接着面積の半導体チップが混載されて封止樹脂により一体的に封止されている構造の複合部品において、前記両半導体チップの電極形成面が同一平面となるように配設され、前記比較的接着面積の狭い半導体チップは固定材で直接被覆され、前記固定材及び前記接着面積の広い半導体チップの外表面が前記封止樹脂で覆われており、そして前記両半導体チップの前記集積回路が外部接続端子が形成されている電子回路基板の前記外部接続端子に接続されている配線回路に接続されていることを特徴とする。
【0012】
請求項4に記載の複合部品の製造方法は、フィルムの両面に粘着層が形成されている両面粘着フイルムがその一方の前記粘着層で平坦な表面に接着されている支持基板の前記両面粘着フイルムの他方の粘着層に、複数の比較的接着面積の狭い部品の各電極とそれらの部品の接着面積より広い接着面積の複数の部品の各電極とを前記両面粘着フイルム面に揃えて所定の配列で搭載する工程と、それら搭載された接着面積の狭い部品の外表面を固定材で被覆する工程と、その固定材被覆工程後に前記複数の接着面積の広い部品の外表面と前記複数の固定材の外表面とを封止樹脂で封止する工程と、その封止工程後に前記両部品の各電極から前記両面粘着フイルム及び前記基板を剥離し、前記両部品の前記各電極を露出させる工程と、それら露出された前記各電極と外部接続端子に接続された配線回路とを接続する工程と、少なくとも1個の前記接着面積の狭い部品と少なくとも1個の前記接着面積の広い部品とを含んで1単位の複合部品として個片化する工程とを含む。
【0013】
請求項5に記載の複合電子部品の製造方法は、請求項4に記載の複合電子部品の製造方法における前記両部品が半導体チップであることを特徴とする。
【0014】
請求項6に記載の複合電子部品の製造方法は、請求項4に記載の複合部品の製造方法における前記固定材が前記各部品の電極と前記他方の粘着層との間に浸入しない粘度であることを特徴とする。
【0015】
請求項7に記載の複合電子部品の製造方法は、請求項4に記載の複合電子部品の製造方法における前記両面粘着フイルムの前記支持基板に接着される前記一方の粘着層の粘着材が自己剥離性粘着材であることを特徴とする。
【0016】
請求項8に記載の複合部品の製造方法は、請求項4に記載の複合部品の製造方法における前記両面粘着フイルムの少なくとも前記支持基板に接着される前記一方の粘着層の粘着材が低温で粘着性を顕わし、前記封止樹脂の硬化温度で硬化することを特徴とする。
【0017】
従って、請求項1に記載の本発明の複合部品によれば、接着面積の狭い部品が固定材で所定の搭載位置に固定され、そして封止樹脂が前記部品に接触することがない。
【0018】
請求項2に記載の本発明の複合部品によれば、接着面積の狭い部品の電極と接着面積の広い部品の電極とが同一平面上にあることから、前記各電極と電子回路とが正確に接続された複合部品が得られる。
【0019】
請求項3に記載の本発明の複合部品によれば、本発明を半導体チップの複合部品に適用したものであり、通常、多数の微細な電極が形成されている接着面積の狭い半導体チップの位置決めができ、かつ封止樹脂の電極形成面への浸入を防止できること、従って、前記微細な電極に電子回路が正確に接続された複合部品が得られる。
【0020】
請求項4に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、接着面積の狭い部品が予め固定材により固定されていることから樹脂封止工程における封止樹脂により移動することなく、また、前記部品の電極形成面と粘着層との間に浸入することを防止でき、各電極が露出することから電子回路を配線し易くなる。
【0021】
請求項5に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、本発明を半導体チップの複合部品の製造方法に適用したものであり、通常、多数の微細な電極が形成されている接着面積の狭い半導体チップの位置決めができ、かつ封止樹脂の電極形成面への浸入を防止できること、従って、前記微細な電極に電子回路が正確に接続することができる。
【0022】
請求項6に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、固定材が接着面積の狭い部品と粘着層との間に浸入し難くなる。
【0023】
請求項7に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、前記粘着材として自己剥離性粘着材を用いることにより前記支持基板を用意に剥離することが出来る。
【0024】
請求項8に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、封止樹脂の熱で粘着材が硬化することから前記支持基板を用意に剥離することが出来る。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて、本発明の一実施形態の複合部品及びその製造方法を説明する。
【0026】
図1は本発明の一実施形態の複合部品の概略断面図、図2は図1に示した本発明の複合部品の要部の製造工程図、そして図3は図2に示した製造工程に続く本発明の複合部品の製造工程図である。
【0027】
先ず、本発明の一実施形態の複合部品の構造を説明する。なお、本実施形態においては、半導体チップ(ベアチップ)、抵抗器、コンデンサ、コネクタなどの部品の内、代表として半導体チップを採り上げ、そして従来技術の複合部品1Bの構成要素と同一構成要素には同一の符号を付して説明する。
【0028】
図1において、符号1Aは本発明の複合部品を指す。この複合部品1Aは、比較的接着面積の狭い半導体チップCaとその半導体チップCaの接着面積より広い接着面積の半導体チップCbが混載されている。参考までに半導体チップCaと半導体チップCbの大きさの一例を挙げれば、それぞれ0.5mm2 、100mm2 程度である。両半導体チップCa、Cbの集積回路に接続されている電極パッドTa、Tbの形成面は同一平面となるように配設されている。電極パッドTa、Tb以外の周辺部分は電気絶縁層Iで被覆されている。そしてそれぞれの電極パッドTa、Tbが電子配線回路層10の外部接続端子12に接続されている配線回路11に接続されている。なお、符号13、14はそれぞれ電気絶縁層であるレジスト層を指す。
【0029】
接着面積の狭い半導体チップCaは、その外表面が固定材5で覆われている。そしてその固定材5の表面と接着面積の広い半導体チップCbの外表面とを覆うように封止樹脂で封止されている。
【0030】
本発明の複合部品1Aは以上のように半導体ウェーハからダイシングされて切り出された接着面積の狭い半導体チップCaと接着面積の広い半導体チップCbとが再配置されて混載された部品であって、外部接続端子12が別途製作された配線基板(不図示)の電極に半田付け等によって電気的に接続されるものである。
【0031】
以上の説明から明らかなように、封止樹脂6の封止、成形時に移動或いは移動しそうな接着面積の狭い半導体チップCaは、その外表面が固定材5で覆われているために、封止樹脂6が電極パッドTa形成面に浸入することがない。
【0032】
次に、図2及び図3を参照しながら、本発明の複合部品1Aの製造方法を説明する。
【0033】
図2Aの工程において、先ず、両面粘着フイルム3が平坦な表面に貼り付けられた支持基板2を用意する。両面粘着フイルム3はPETフィルムの一方の面に自己剥離性粘着材が、他方の面にはアクリル系粘着材が塗布されているもので、このような両面粘着フイルム3としては、例えば、日東電工株式会社製の「リバーアルファ(商品名)」がある。このような両面粘着フイルム3の自己剥離性粘着材層を、例えば、ガラス基板のような支持基板2の平坦な表面に向けて貼り付ける。そして両面粘着フイルム3の他方の面に均一に塗布されている前記アクリル系粘着材層上に、フリップチップボンダー4を用いて複数個の接着面積の狭い半導体チップCaと複数個の接着面積の広い半導体チップCbとを、それらの電極パッドTa、Tb形成面を両面粘着フイルム3側に向けて所定の配列でダイボンディングする。
【0034】
なお、両面粘着フイルム3としては、前記の自己剥離性粘着材として後記する封止工程において封止に用いる封止樹脂6の温度で硬化する樹脂の粘着材を用いることもできる。
【0035】
次に、図2Bに示した工程で、接着面積の狭い半導体チップCaの外表面を封止樹脂6の粘度よりやや高い粘度のエポキシ系樹脂、紫外線硬化樹脂などの固定材5を滴下などで覆い、硬化させる。
【0036】
次に、図2Cに示した封止工程で、例えば、熱硬化性樹脂などの封止樹脂6を用いて、全ての半導体チップCaを覆っている固定材5の表面と、全ての半導体チップCbの外表面を覆うように一括封止する。封止方法としては、スピンコート法や印刷法にて容易に行うことができる。又は、CDI(Cavity Direct Injectionの略)法、トランスファーモールド法などを用いることもできる。CDI法を用いた場合、接着面積の狭い半導体チップCaは、その電極パッドTa形成面が粘着材で閉鎖されており、それらの半導体チップCaの外表面は固定材5で覆われて固定されていることから封止樹脂6が電極パッドTa形成面と粘着材との間に浸入することがない。
【0037】
封止樹脂6が硬化すると、続いて図2Dに示したように、支持基板2と両面粘着フイルム3とを剥離する。この場合、支持基板6は両面粘着フイルム3の自己剥離性粘着材側に張り付いているため、自己剥離性粘着材が硬化すれば、支持基板2は容易に剥離する。その後で両面粘着フイルム3を半導体チップCa、Cbの電極パッドTa、Tb形成面及び封止樹脂6面からめくるように剥がす。このようにして半導体チップCa、Cbの各電極パッドTa、Tbが露出した、そしてそれら半導体チップCa、Cbが封止樹脂6で薄板状に固められたウェーハWaが得られる。この時、ウエハーWの電極パッドTa、Tb形成面に粘着材が残存している場合は、洗浄液、研磨などで払拭する。
【0038】
次の図3Aに示した配線工程においては、図1に示したような配線回路10をウェーハWaの半導体チップCa、Cbの電極パッドTa、Tb及び電気絶縁膜13上に形成する。例えば、下地層を無電解メッキまたはPVD(Phyical Vapor Deposition)などで形成し、この上に電気メッキによって銅配線回路11を積層する。銅は抵抗値が小さく、安定で、直接半田付けできる利点がある。層間電気絶縁層Iなどの材料は有機系高分子膜で、主に塗布法によって形成される。これらは、露光、現像して形成きれたホトレジストをマスクに用いてエッチングによって、所望の形状にパターニングされる。配線回路11んどの形成と共に、インターポーザ或いはマザーボードなどの電子機器に組み込まれる電子回路基板に接続する外部接続端子12を形成する。符号14は外部接続端子12部分を除いて被覆した電気絶縁被膜である。
【0039】
また、電子配線回路層10は、予めガラスエポキシ基板などを貼り合わせて積層して形成した電子配線回路層を貼り付けてもよい。
【0040】
図3Aの電子配線回路層10が形成されたウエハーWaの全体の厚みは、例えば、700μm程度、電子配線回路層10の厚みは20μm程度である。
【0041】
続く図3Bに示した研磨工程で、ウェーハWaの裏面である封止樹脂6層を研磨し、所望の厚みのウェーハWに仕上げる。次いで、ダイシングラインLに沿ってウェーハW及び電子配線回路層10を合わせてダイシングし、図3C(図1)に示したような複合部品1Aの一単位毎に個片化する。
【0042】
このようにして接着面積が狭いが所定の位置に正確に搭載された半導体チップCaと半導体チップCbとを含む本発明の複合部品1Aが得られる。この複合部品1Aの中にチップ型抵抗器、コンデンサ、コネクタなどの微小な部品を混載させることもできる。
【0043】
このような製造方法を採ることにより、接着面積が狭い半導体チップCaなど両面粘着フイルム3との接着強度が小さい部品についても、樹脂封止をする際の封止樹脂6の流動により両面粘着フイルム3からの剥離や、部品(半導体チップCa)表面と両面粘着フイルム3との間に封止樹脂6が浸入する現象を防止することができる。従って、樹脂封止の際のプロセス条件なども変更する必要はない。
【0044】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、外部接続端子をFan−Outできる厚みの薄いCSP(Cipe Size Package)の複合部品が得られ、樹脂封止の成形時の樹脂流動により発生する半導体チップCa、Cbの両面粘着フイルムからの剥離、浮き、また半導体チップの電極パッドTa、Tb面への封止樹脂の浸入を防止することができる。
【0045】
特に、両面粘着フイルムとの接着面積が狭く、接着強度の絶対値が小さい接着面積の狭い半導体チップについても、本発明を用いることで封止樹脂の成形圧力などの成形条件の制約範図を広げることが可能となり、ボイドの改善、その他成形に関する不具合を低減することが出来るなど、数々の優れた効果がえられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の複合部品の概略断面図で有る。
【図2】図1に示した本発明の複合部品の要部の製造工程図で有る。
【図3】図2に示した製造工程に続く本発明の複合部品の製造工程図である。
【図4】従来技術の一形態の複合部品の模式的な拡大断面図で有る。
【図5】図4に示した複合部品の主要な工程を断面図で示した製造工程図で有る。
【図6】樹脂封止工程に生じる問題点を説明するための断面図である。
【符号の説明】
1A…本発明の一実施形態の複合部品、2…支持基板、3…両面粘着フイルム、4…フリップチップボンダー、5…固定材、6…封止樹脂、10…電子配線回路層、11…配線回路、12…外部接続端子(Fan−Out)、13,14…電気絶縁層、Ca…接着面積の狭い半導体チップ、Cb…接着面積の広い半導体チップ、Ta…接着面積の狭い半導体チップCaの電極パッドTa、Tb…接着面積の広い半導体チップCbの電極パッド、I…電気絶縁層
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の集積電子回路が形成された半導体ウェーハから個片化された半導体チップ(いわゆるベアチップ)、抵抗器、コンデンサ、コネクタなどの部品の複数の、或いは複数種の部品が混載された複合部品及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
先ず、従来技術の複合部品及びその製造方法を説明する。なお、本明細書では、半導体チップ(ベアチップ)、抵抗器、コンデンサ、コネクタなどの部品の内、代表として半導体チップを採り上げて説明する。
【0003】
図4は従来技術の一形態の複合部品の模式的な拡大断面図、図5は図4に示した複合部品の主要な工程を断面図で示した製造工程図、そして図6は樹脂封止工程に生じる問題点を説明するための断面図である。
【0004】
図4において、符号1Bは従来技術の一形態の複合部品を指す。この複合部品1Bは、比較的接着面積の狭い半導体チップCaとその半導体チップCaの接着面積より広い接着面積の半導体チップCbが混載されて封止樹脂6により一体的に封止されている構造の複合部品であって、両半導体チップCa、Cbの電極形成面に形成されている電極パッドTa、Tbが同一平面となるように配設され、そしてそれぞれの電極パッドTa、Tbが電子配線回路層の外部接続端子に接続されている配線回路に接続された構造の複合部品である。
【0005】
このような複合部品1Bは、図5に示した工程を含む製造工程を経て製造される。その製造方法を簡単に説明すると、先ず、図5Aに示したように、フィルムの両面に粘着層が形成されている両面粘着フイルム3がその一方の前記粘着層で平坦な表面に接着されている支持基板2を用意し、その両面粘着フイルム3の他方の粘着層に、複数の比較的接着面積の狭い半導体チップCaの各電極パッドTaとその半導体チップCaの接着面積より広い接着面積の複数の半導体チップCbの各電極パッドTbとを揃えて所定の配列で搭載し、図5Bに示したように、それら半導体チップCa、Cbの外表面を封止樹脂6で封止した後、図示していないが、両面粘着フイルム3及び支持基板2を剥離して、半導体チップCa、Cbのそれぞれの電極パッドTa、Tbを露出させ、次に、それら露出した電極パッドTa、Tbと外部接続端子に接続されている電子配線回路層10とを接続し(図5C)、その後、少なくとも1個の半導体チップCaと少なくとも1個の半導体チップCbとを含めてラインLに沿ってダイシングして個片化すれば、図4に示したような1単位の複合部品1Bが完成する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、 従来技術の複合部品の製造方法においては、図5Bに示した樹脂封止成形時に、図6に示したように、封止樹脂6の流動により、例えば、接着面積の狭い半導体チップCaが浮き上がる現象が生じ、それら半導体チップCaの電極パッドTa形成面へ封止樹脂6が浸入することがあった。この封止樹脂6の侵入は、半導体チップCaと両面粘着フイルム3の粘着層との接着強度に依存しており、特に小サイズの半導体チップCaはその接着面積が狭いことから接着強度の絶対値が小さいため、半導体チップCaが浮くことに起因している。
【0007】
また、半導体チップCaと両面粘着フイルム3の粘着層との接着力を上げるために、ダイボンドの圧力を上げる、オートクレーブ{加圧脱泡装置(Auto・clave)}などで加圧処理を封止樹脂成形前に行うなどの対策があるが、ダイボンドの圧力を上げることで、半導体チップCaが両面粘着フイルム3の粘着層に入り込み、成形後の半導体チップCaと封止樹脂6との間に段差が発生し、また、オートクレーブ処理を行った場合は、マルチ半導体チップとなるような場合の対応やオートクレーブ処理後の経時変化(加圧前の状態に戻る現象)があるなどの課題がある。
【0008】
本発明はこのような課題を解決しようとするものであって、搭載しようとする部品が小さくて接着面積の狭い部品であっても、そのような部品が浮上して、その部品の電極面への封止樹脂の浸入が無い複合部品及びその製造方法を得ることを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
それ故、前記課題を解決するために、請求項1に記載の本発明の複合部品は、比較的接着面積の狭い部品と該部品の接着面積より広い接着面積の部品が混載されて封止樹脂により一体的に封止されている構造の複合部品において、前記比較的接着面積の狭い部品はその表面が固定材で直接被覆され、そして前記固定材及び前記接着面積の広い部品の外表面が前記封止樹脂で覆われていることを特徴とする。
【0010】
請求項2に記載の複合部品は、請求項1に記載の複合部品における前記両部品の電極が同一平面上にあり、それら各電極が、電子配線回路層の外部接続端子に接続されている配線回路に接続されていることを特徴とする。
【0011】
請求項3に記載の複合部品は、比較的接着面積の狭い半導体チップとその半導体チップの接着面積より広い接着面積の半導体チップが混載されて封止樹脂により一体的に封止されている構造の複合部品において、前記両半導体チップの電極形成面が同一平面となるように配設され、前記比較的接着面積の狭い半導体チップは固定材で直接被覆され、前記固定材及び前記接着面積の広い半導体チップの外表面が前記封止樹脂で覆われており、そして前記両半導体チップの前記集積回路が外部接続端子が形成されている電子回路基板の前記外部接続端子に接続されている配線回路に接続されていることを特徴とする。
【0012】
請求項4に記載の複合部品の製造方法は、フィルムの両面に粘着層が形成されている両面粘着フイルムがその一方の前記粘着層で平坦な表面に接着されている支持基板の前記両面粘着フイルムの他方の粘着層に、複数の比較的接着面積の狭い部品の各電極とそれらの部品の接着面積より広い接着面積の複数の部品の各電極とを前記両面粘着フイルム面に揃えて所定の配列で搭載する工程と、それら搭載された接着面積の狭い部品の外表面を固定材で被覆する工程と、その固定材被覆工程後に前記複数の接着面積の広い部品の外表面と前記複数の固定材の外表面とを封止樹脂で封止する工程と、その封止工程後に前記両部品の各電極から前記両面粘着フイルム及び前記基板を剥離し、前記両部品の前記各電極を露出させる工程と、それら露出された前記各電極と外部接続端子に接続された配線回路とを接続する工程と、少なくとも1個の前記接着面積の狭い部品と少なくとも1個の前記接着面積の広い部品とを含んで1単位の複合部品として個片化する工程とを含む。
【0013】
請求項5に記載の複合電子部品の製造方法は、請求項4に記載の複合電子部品の製造方法における前記両部品が半導体チップであることを特徴とする。
【0014】
請求項6に記載の複合電子部品の製造方法は、請求項4に記載の複合部品の製造方法における前記固定材が前記各部品の電極と前記他方の粘着層との間に浸入しない粘度であることを特徴とする。
【0015】
請求項7に記載の複合電子部品の製造方法は、請求項4に記載の複合電子部品の製造方法における前記両面粘着フイルムの前記支持基板に接着される前記一方の粘着層の粘着材が自己剥離性粘着材であることを特徴とする。
【0016】
請求項8に記載の複合部品の製造方法は、請求項4に記載の複合部品の製造方法における前記両面粘着フイルムの少なくとも前記支持基板に接着される前記一方の粘着層の粘着材が低温で粘着性を顕わし、前記封止樹脂の硬化温度で硬化することを特徴とする。
【0017】
従って、請求項1に記載の本発明の複合部品によれば、接着面積の狭い部品が固定材で所定の搭載位置に固定され、そして封止樹脂が前記部品に接触することがない。
【0018】
請求項2に記載の本発明の複合部品によれば、接着面積の狭い部品の電極と接着面積の広い部品の電極とが同一平面上にあることから、前記各電極と電子回路とが正確に接続された複合部品が得られる。
【0019】
請求項3に記載の本発明の複合部品によれば、本発明を半導体チップの複合部品に適用したものであり、通常、多数の微細な電極が形成されている接着面積の狭い半導体チップの位置決めができ、かつ封止樹脂の電極形成面への浸入を防止できること、従って、前記微細な電極に電子回路が正確に接続された複合部品が得られる。
【0020】
請求項4に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、接着面積の狭い部品が予め固定材により固定されていることから樹脂封止工程における封止樹脂により移動することなく、また、前記部品の電極形成面と粘着層との間に浸入することを防止でき、各電極が露出することから電子回路を配線し易くなる。
【0021】
請求項5に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、本発明を半導体チップの複合部品の製造方法に適用したものであり、通常、多数の微細な電極が形成されている接着面積の狭い半導体チップの位置決めができ、かつ封止樹脂の電極形成面への浸入を防止できること、従って、前記微細な電極に電子回路が正確に接続することができる。
【0022】
請求項6に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、固定材が接着面積の狭い部品と粘着層との間に浸入し難くなる。
【0023】
請求項7に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、前記粘着材として自己剥離性粘着材を用いることにより前記支持基板を用意に剥離することが出来る。
【0024】
請求項8に記載の本発明の複合部品の製造方法によれば、封止樹脂の熱で粘着材が硬化することから前記支持基板を用意に剥離することが出来る。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて、本発明の一実施形態の複合部品及びその製造方法を説明する。
【0026】
図1は本発明の一実施形態の複合部品の概略断面図、図2は図1に示した本発明の複合部品の要部の製造工程図、そして図3は図2に示した製造工程に続く本発明の複合部品の製造工程図である。
【0027】
先ず、本発明の一実施形態の複合部品の構造を説明する。なお、本実施形態においては、半導体チップ(ベアチップ)、抵抗器、コンデンサ、コネクタなどの部品の内、代表として半導体チップを採り上げ、そして従来技術の複合部品1Bの構成要素と同一構成要素には同一の符号を付して説明する。
【0028】
図1において、符号1Aは本発明の複合部品を指す。この複合部品1Aは、比較的接着面積の狭い半導体チップCaとその半導体チップCaの接着面積より広い接着面積の半導体チップCbが混載されている。参考までに半導体チップCaと半導体チップCbの大きさの一例を挙げれば、それぞれ0.5mm2 、100mm2 程度である。両半導体チップCa、Cbの集積回路に接続されている電極パッドTa、Tbの形成面は同一平面となるように配設されている。電極パッドTa、Tb以外の周辺部分は電気絶縁層Iで被覆されている。そしてそれぞれの電極パッドTa、Tbが電子配線回路層10の外部接続端子12に接続されている配線回路11に接続されている。なお、符号13、14はそれぞれ電気絶縁層であるレジスト層を指す。
【0029】
接着面積の狭い半導体チップCaは、その外表面が固定材5で覆われている。そしてその固定材5の表面と接着面積の広い半導体チップCbの外表面とを覆うように封止樹脂で封止されている。
【0030】
本発明の複合部品1Aは以上のように半導体ウェーハからダイシングされて切り出された接着面積の狭い半導体チップCaと接着面積の広い半導体チップCbとが再配置されて混載された部品であって、外部接続端子12が別途製作された配線基板(不図示)の電極に半田付け等によって電気的に接続されるものである。
【0031】
以上の説明から明らかなように、封止樹脂6の封止、成形時に移動或いは移動しそうな接着面積の狭い半導体チップCaは、その外表面が固定材5で覆われているために、封止樹脂6が電極パッドTa形成面に浸入することがない。
【0032】
次に、図2及び図3を参照しながら、本発明の複合部品1Aの製造方法を説明する。
【0033】
図2Aの工程において、先ず、両面粘着フイルム3が平坦な表面に貼り付けられた支持基板2を用意する。両面粘着フイルム3はPETフィルムの一方の面に自己剥離性粘着材が、他方の面にはアクリル系粘着材が塗布されているもので、このような両面粘着フイルム3としては、例えば、日東電工株式会社製の「リバーアルファ(商品名)」がある。このような両面粘着フイルム3の自己剥離性粘着材層を、例えば、ガラス基板のような支持基板2の平坦な表面に向けて貼り付ける。そして両面粘着フイルム3の他方の面に均一に塗布されている前記アクリル系粘着材層上に、フリップチップボンダー4を用いて複数個の接着面積の狭い半導体チップCaと複数個の接着面積の広い半導体チップCbとを、それらの電極パッドTa、Tb形成面を両面粘着フイルム3側に向けて所定の配列でダイボンディングする。
【0034】
なお、両面粘着フイルム3としては、前記の自己剥離性粘着材として後記する封止工程において封止に用いる封止樹脂6の温度で硬化する樹脂の粘着材を用いることもできる。
【0035】
次に、図2Bに示した工程で、接着面積の狭い半導体チップCaの外表面を封止樹脂6の粘度よりやや高い粘度のエポキシ系樹脂、紫外線硬化樹脂などの固定材5を滴下などで覆い、硬化させる。
【0036】
次に、図2Cに示した封止工程で、例えば、熱硬化性樹脂などの封止樹脂6を用いて、全ての半導体チップCaを覆っている固定材5の表面と、全ての半導体チップCbの外表面を覆うように一括封止する。封止方法としては、スピンコート法や印刷法にて容易に行うことができる。又は、CDI(Cavity Direct Injectionの略)法、トランスファーモールド法などを用いることもできる。CDI法を用いた場合、接着面積の狭い半導体チップCaは、その電極パッドTa形成面が粘着材で閉鎖されており、それらの半導体チップCaの外表面は固定材5で覆われて固定されていることから封止樹脂6が電極パッドTa形成面と粘着材との間に浸入することがない。
【0037】
封止樹脂6が硬化すると、続いて図2Dに示したように、支持基板2と両面粘着フイルム3とを剥離する。この場合、支持基板6は両面粘着フイルム3の自己剥離性粘着材側に張り付いているため、自己剥離性粘着材が硬化すれば、支持基板2は容易に剥離する。その後で両面粘着フイルム3を半導体チップCa、Cbの電極パッドTa、Tb形成面及び封止樹脂6面からめくるように剥がす。このようにして半導体チップCa、Cbの各電極パッドTa、Tbが露出した、そしてそれら半導体チップCa、Cbが封止樹脂6で薄板状に固められたウェーハWaが得られる。この時、ウエハーWの電極パッドTa、Tb形成面に粘着材が残存している場合は、洗浄液、研磨などで払拭する。
【0038】
次の図3Aに示した配線工程においては、図1に示したような配線回路10をウェーハWaの半導体チップCa、Cbの電極パッドTa、Tb及び電気絶縁膜13上に形成する。例えば、下地層を無電解メッキまたはPVD(Phyical Vapor Deposition)などで形成し、この上に電気メッキによって銅配線回路11を積層する。銅は抵抗値が小さく、安定で、直接半田付けできる利点がある。層間電気絶縁層Iなどの材料は有機系高分子膜で、主に塗布法によって形成される。これらは、露光、現像して形成きれたホトレジストをマスクに用いてエッチングによって、所望の形状にパターニングされる。配線回路11んどの形成と共に、インターポーザ或いはマザーボードなどの電子機器に組み込まれる電子回路基板に接続する外部接続端子12を形成する。符号14は外部接続端子12部分を除いて被覆した電気絶縁被膜である。
【0039】
また、電子配線回路層10は、予めガラスエポキシ基板などを貼り合わせて積層して形成した電子配線回路層を貼り付けてもよい。
【0040】
図3Aの電子配線回路層10が形成されたウエハーWaの全体の厚みは、例えば、700μm程度、電子配線回路層10の厚みは20μm程度である。
【0041】
続く図3Bに示した研磨工程で、ウェーハWaの裏面である封止樹脂6層を研磨し、所望の厚みのウェーハWに仕上げる。次いで、ダイシングラインLに沿ってウェーハW及び電子配線回路層10を合わせてダイシングし、図3C(図1)に示したような複合部品1Aの一単位毎に個片化する。
【0042】
このようにして接着面積が狭いが所定の位置に正確に搭載された半導体チップCaと半導体チップCbとを含む本発明の複合部品1Aが得られる。この複合部品1Aの中にチップ型抵抗器、コンデンサ、コネクタなどの微小な部品を混載させることもできる。
【0043】
このような製造方法を採ることにより、接着面積が狭い半導体チップCaなど両面粘着フイルム3との接着強度が小さい部品についても、樹脂封止をする際の封止樹脂6の流動により両面粘着フイルム3からの剥離や、部品(半導体チップCa)表面と両面粘着フイルム3との間に封止樹脂6が浸入する現象を防止することができる。従って、樹脂封止の際のプロセス条件なども変更する必要はない。
【0044】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、外部接続端子をFan−Outできる厚みの薄いCSP(Cipe Size Package)の複合部品が得られ、樹脂封止の成形時の樹脂流動により発生する半導体チップCa、Cbの両面粘着フイルムからの剥離、浮き、また半導体チップの電極パッドTa、Tb面への封止樹脂の浸入を防止することができる。
【0045】
特に、両面粘着フイルムとの接着面積が狭く、接着強度の絶対値が小さい接着面積の狭い半導体チップについても、本発明を用いることで封止樹脂の成形圧力などの成形条件の制約範図を広げることが可能となり、ボイドの改善、その他成形に関する不具合を低減することが出来るなど、数々の優れた効果がえられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の複合部品の概略断面図で有る。
【図2】図1に示した本発明の複合部品の要部の製造工程図で有る。
【図3】図2に示した製造工程に続く本発明の複合部品の製造工程図である。
【図4】従来技術の一形態の複合部品の模式的な拡大断面図で有る。
【図5】図4に示した複合部品の主要な工程を断面図で示した製造工程図で有る。
【図6】樹脂封止工程に生じる問題点を説明するための断面図である。
【符号の説明】
1A…本発明の一実施形態の複合部品、2…支持基板、3…両面粘着フイルム、4…フリップチップボンダー、5…固定材、6…封止樹脂、10…電子配線回路層、11…配線回路、12…外部接続端子(Fan−Out)、13,14…電気絶縁層、Ca…接着面積の狭い半導体チップ、Cb…接着面積の広い半導体チップ、Ta…接着面積の狭い半導体チップCaの電極パッドTa、Tb…接着面積の広い半導体チップCbの電極パッド、I…電気絶縁層
Claims (8)
- 比較的接着面積の狭い部品と該部品の接着面積より広い接着面積の部品が混載されて封止樹脂により一体的に封止されている構造の複合部品において、
前記比較的接着面積の狭い部品は固定材で直接被覆され、そして前記固定材及び前記接着面積の広い部品の外表面が前記封止樹脂で覆われていることを特徴とする複合部品。 - 前記両部品の電極が同一平面上にあり、それら各電極が、電子配線回路層の外部接続端子に接続されている配線回路に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の複合部品。
- 比較的接着面積の狭い半導体チップと該半導体チップの接着面積より広い接着面積の半導体チップが混載されて封止樹脂により一体的に封止されている構造の複合部品において、
前記両半導体チップの電極形成面が同一平面となるように配設され、前記比較的接着面積の狭い半導体チップは固定材で直接被覆され、前記固定材及び前記接着面積の広い半導体チップの外表面が前記封止樹脂で覆われており、そして前記両半導体チップの前記集積回路が電子回路配線層の外部接続端子に接続されている配線回路に接続されていることを特徴とする複合部品。 - フィルムの両面に粘着層が形成されている両面粘着フイルムがその一方の前記粘着層で平坦な表面に接着されている支持基板の前記両面粘着フイルムの他方の粘着層に、複数の比較的接着面積の狭い部品の各電極と該部品の接着面積より広い接着面積の複数の部品の各電極とを前記両面粘着フイルム面に揃えて所定の配列で搭載する工程と、
該搭載された接着面積の狭い部品の外表面を固定材で被覆する工程と、
該固定材被覆工程後に前記複数の接着面積の広い部品の外表面と前記複数の固定材の外表面とを封止樹脂で封止する工程と、
該封止工程後に前記両部品の各電極から前記両面粘着フイルム及び前記基板を剥離し、前記両部品の前記各電極を露出させる工程と、
該露出された前記各電極と外部接続端子に接続された配線回路とを接続する工程と、
少なくとも1個の前記接着面積の狭い部品と少なくとも1個の前記接着面積の広い部品とを含んで1単位の複合部品として個片化する工程とを含む複合部品の製造方法。 - 前記両部品が半導体チップであることを特徴とする請求項4に記載の複合電子部品の製造方法。
- 前記固定材は前記各部品の電極と前記他方の粘着層との間に浸入しない粘度であることを特徴とする請求項4に記載の複合部品の製造方法。
- 前記両面粘着フイルムの前記支持基板に接着される前記一方の粘着層の粘着材は自己剥離性粘着材であることを特徴とする請求項4に記載の複合電子部品の製造方法。
- 前記両面粘着フイルムの少なくとも前記支持基板に接着される前記一方の粘着層の粘着材は低温で粘着性を顕わし、前記封止樹脂の硬化温度で硬化することを特徴とする請求項4に記載の複合部品の製造方法。
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