JP2005011922A - ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板、およびこれを用いた半導体装置 - Google Patents
ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板、およびこれを用いた半導体装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】両面銅貼り基板において、互いに対向する第1面と第2面とを有するセラミック基板が、第1面に接合された第1銅板と、第2面に接合された第2銅板とを含む。更に、第2銅板が、フィンを有するヒートシンクからなる。また、セラミック基板と、第1および第2銅板とは、直接接合され、または活性金属を含むろう材を用いて接合される。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、両面銅貼り基板、およびそれを用いた半導体装置に関し、特に、フィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板、およびそれを用いた半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、パワーモジュール等に用いられる半導体装置では、窒化アルミニウム等のセラミック基板の両面に銅板が貼り付けられた両面銅貼り基板が準備され、一方の銅板上には、はんだ等の接合材により半導体チップが固定された。また、他方の銅板上には、放熱用の板状ヒートシンクがはんだ等の接合材により接合された。このように、両面銅貼り基板に対して、板状ヒートシンク等を後付けすることにより半導体装置が形成されていた(例えば、特許文献1)。
【0003】
また、半導体チップから放出された熱を迅速に放散させるために、銅板とヒートシンクとの接合材に、はんだより熱伝導率の高いアルミニウム箔を使用することも行なわれていた(例えば、特許文献2)。
【0004】
【特許文献1】
特開昭62−219546公報
【特許文献2】
特開平10−270596号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のように、従来の半導体装置では、両面銅貼り基板に対して板状ヒートシンク等を後付けするため、半導体装置の構造が複雑となるという問題があった。
また、半導体チップから放出された熱は、接合材を通ってセラミック基板の表面に設けられた銅板からセラミック基板に伝わる。更に、セラミック基板の裏面に設けられた銅板から接合材を通ってヒートシンクに伝わり、放散される。このように、多くの接合界面を通って熱が放散されるため、接合界面での熱抵抗が大きく冷却効率の向上が難しいという問題もあった。
なお、特許文献1では、板状のヒートシンクが用いられているため、放熱特性が良くなかった。
【0006】
そこで、本発明は、放熱特性に優れ、剥離等の損傷のない、フィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板、およびこれを用いた半導体装置の提供を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、両面銅貼り基板であって、互いに対向する第1面と第2面とを有するセラミック基板と、第1面に接合された第1銅板と、第2面に接合された第2銅板とを含み、第2銅板が、フィンを有するヒートシンクからなることを特徴とするヒートシンクを備えた両面銅貼り基板である。
このように、フィンを有するヒートシンクからなる第2銅板を、セラミック基板に接合して作製したヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を用いることにより、優れた放熱特性、接合信頼性を実現できる。
なお、ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板とは、セラミック基板に接合された銅板自体がヒートシンクである両面銅貼り基板をいう。
【0008】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1は、全体が100で表される、本実施の形態1にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板である。(a)は、両面銅貼り基板100を裏面から見た図であり、(b)は、(a)のI−I方向の断面図である。
【0009】
両面銅貼り基板100は、例えば、窒化アルミニウムからなるセラミック基板1を含む。セラミック基板1の材料には、窒化アルミニウムの他、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素等の材料を用いても構わない(詳細は後述する)。
セラミック基板1の表面(第1面)には、電子回路パターンを形成する銅板(第1銅板)2が接合されている。
一方、セラミック基板1の裏面(第2面)には、銅製のヒートシンク(第2銅板)3が接合されている。ヒートシンク3は、平坦な台座部4と、ここから突出した複数のフィン5からなる。フィン5は、それぞれ円柱形状で、マトリックス状に縦横に配置されている。
なお、銅板2、ヒートシンク3の材料には、銅の他、Cu−Cr、Cu−Mo、Cu−W等の銅を主成分とする材料を用いても構わない。
【0010】
両面銅貼り基板100では、銅板2、ヒートシンク3の台座部4が、ろう材(図示せず)を用いてセラミック基板1の両面に接合されている。ろう材には、例えば活性金属であるTiを含むAg−Cuろう材が用いられる。
なお、ろう材として、活性金属であるTi、Zr、Hf、V、Nb、Taのうち少なくとも1つの元素を含有するAg−Cuろう材を用いても構わない。
【0011】
このように、ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100では、従来の構造(特許文献1参照)のようにはんだ等の接合材を用いることなく、セラミック基板1と銅板2等とを直接接合するため、半導体装置の構造を簡単できる。また、接合界面を少なくして、熱抵抗を小さくすることもできる。更に、フィンを備えたヒートシンク3を用いるため、放熱特性も向上する。
【0012】
次に、ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100の製造方法について簡単に説明する。
まず、50mm角、厚さ3mmの銅板を準備する。続いて、この銅板を機械加工して、複数の円柱形状のフィン5を備えたヒートシンクを形成する。フィン5の直径は2mm、高さは2.7mmである。台座部の厚さは0.3mmとなる。また、フィン5は、3mmのピッチでマトリックス状に縦横に配置される。即ち、隣接するフィン5の隙間は、1mmとなる。
【0013】
次に、窒化アルミニウムからなるセラミック基板1を準備する。セラミック基板1は、50mm角で、厚さ0.635mmである。
【0014】
次に、セラミック基板1の両面に、活性金属であるTiを含むAg−Cuろう材を置き、50mm角、厚さ0.3mmの銅板2と、ヒートシンク3をそれぞれ載置する。かかる状態で、例えば真空中で850℃程度に加熱し、セラミック基板1と、銅板2およびヒートシンク3とをそれぞれ接合する。このように、活性金属を含むろう材を用いることにより、接合界面でのぬれ性が良好となり、界面での熱抵抗を小さくできる。
以上の工程で、本実施の形態1にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100が完成する。
【0015】
次に、本実施の形態1にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100と、従来構造のヒートシンク付き両面銅貼り基板との、放熱特性、接合信頼性について比較する。
図2は、全体が150で表される、従来構造のヒートシンク付き両面銅貼り基板の断面図であり、上記特許文献1に記載された構造である。
【0016】
ヒートシンク付き両面銅貼り基板150では、50mm角、厚さ0.635mmの窒化アルミニウムからなるセラミック基板51の両面に、50mm角、厚さ0.3mmの銅板52、53がそれぞれ接合されている。接合方法は、本実施の形態1にかかる両面銅貼り基板100の場合と同じである。
更に、銅板53の上には、50mm角、厚さ3mmの、板状のヒートシンク55が、Sn−Pbはんだからなる接合材54で後付けされている。
【0017】
放熱特性の評価は、銅板2、52の中央に、15mm角の発熱体(図示せず)をグリスで接着し、この発熱体を約10Wで発熱させたときの、銅板2、52とグリスとの界面での温度を測定し、この測定温度と周囲温度との温度差から熱抵抗を算出して行なった。
また、接合信頼性の評価は、室温から125℃まで加熱したときの、セラミック基板1、51の反り量を計測して行なった。反り量は、セラミック基板の隅部の、加熱前後における、セラミック基板の法線方向の変位量で表した。
更に、室温→125℃→室温を1サイクルとする温度サイクルを、100回ずつ500回まで加えたときの銅板−セラミック基板間の剥離、セラミック基板やはんだ層の亀裂を外部から観察した。これらの、比較実験の結果を表1に示す。
なお、かかる評価方法は、以下の実施の形態においても同様である。
【0018】
【表1】
【0019】
表1からわかるように、本発明にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100では、比較例に比較して、熱抵抗が約2分の1と小さくなっており、放熱特性に優れていることがわかる。
また、反り量も、比較例に比べて6割程度と小さくなっている。
更に、比較例では、100回の温度サイクルを加えた時点ではんだ層の亀裂が生じたのに対し、本発明では500回の温度サイクル後においても、剥離や亀裂が生じていない。
【0020】
このように、本実施の形態1にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100は、従来の構造に比較して熱抵抗が小さく放熱特性に優れ、かつ、反り量が小さく剥離や亀裂が発生せず接合信頼性に優れることがわかる。
【0021】
実施の形態2.
本実施の形態2では、セラミック基板1の両側に、銅板2をそれぞれ接合した両面銅貼り基板を用いて、銅板2とセラミック基板1との厚さの、最適な比率を求める。
セラミック基板1には、50mm角、厚さ0.635mmの窒化アルミニウムの基板を用いた。セラミック基板1の両面には、上記実施の形態1と同じ方法で、Tiを含むAg−Cuろう材を用いて銅板2を接合した。銅板2は、約50mm角、厚さXmm(X=0.064、0.127、0.191、0.318、0.445、0.635、0.953、1.270、1.588、1.905mm)とした。セラミック基板1の両側の銅板2の厚さは同じ厚さとした。
【0022】
かかる両面銅貼り基板を用いて、以下のような方法で、放熱特性、接合信頼性の評価を行なった。
放熱特性については、熱伝導率で評価した。具体的には、セラミック基板1の厚さ方向の熱伝導率をレーザフラッシュ法により測定した。
また、接合信頼性については、室温→125℃→室温を1サイクルとし、この温度サイクルを100回ずつ500回まで加えたときの、銅板−セラミック基板間の剥離やセラミック基板の亀裂を外観から観察して行なった。表2に評価結果を示す。
【0023】
【表2】
【0024】
表2からわかるように、全ての両面銅貼り基板の熱伝導率は、窒化アルミニウムからなるセラミック基板の熱伝導率(170W/mK)より高くなっており、放熱特性としては十分である。
また、剥離や亀裂については、全ての両面銅貼り基板において、300回の熱サイクルまでは剥離や亀裂が発生していない。一方、厚さ比率(銅板の厚さ/基板の厚さ)が0.1、0.2、2.5、3の場合は、400回や500回の熱サイクルで剥離や亀裂が発生している。即ち、厚さ比率が0.3以上で、2以下の場合のみ剥離や亀裂が発生していない。
以上のことから、銅板の厚さとセラミック基板の厚さとの厚さ比率(銅板の厚さ/基板の厚さ)が0.3以上で、2以下の場合に、放熱特性、接合信頼性の双方に優れた両面銅貼り基板が得られることがわかる。
【0025】
実施の形態3.
図3は、本実施の形態3にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100の断面図であり、構成は実施の形態1と同様となっている。図3中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
本実施の形態3では、セラミック基板1の厚さをt1、銅板2の厚さをt2、ヒートシンク3の台座部4の厚さをt3、フィンの高さをt4として、以下のような6種類のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100を準備する。ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の作製方法は、実施の形態1と同様である。
【0026】
6種類のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100において、セラミック基板1は、50mm角で、厚さt1は、0.635mmで一定とする。また、銅板2の厚さt2も、0.3mmで一定とする。
ヒートシンク3は、厚さ3mmの銅板を機械加工して作製する。従って、台座部4の膜厚t3とフィン5の厚さt4との和は常に3mmである。フィン4は、直径2mmの円柱形状とし、3mmの間隔(ピッチ)で、マトリックス状に縦横に配置される。隣接するフィン5の隙間は1mmとなる。
ここでは、フィンの厚さ(高さ)t4は、2.4、2.6、2.7、2.8、2.85、2.9mmの6種類となるようにする。この場合、対応する台座部4の厚さt3は、0.6、0.4、0.3、0.2、0.15、0.1mmである。
セラミック基板1と、銅板2およびヒートシンク3とは、実施の形態1と同様、活性金属であるTiを含むAg−Cuろう材で接合されている。
【0027】
上記実施の形態1と同様の評価方法で、6種類のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板に対して、放熱特性、接合信頼性の評価を行なった。表3に評価結果を示す。
【0028】
【表3】
【0029】
表3からわかるように、No.11〜No.16の試料で、熱抵抗は1.9〜2.4℃/Wとなり、表1に示した従来構造の両面銅貼り基板(図2参照)の熱抵抗(4.2℃/W)よりも小さくなっている。また、剥離や亀裂が発生するまでの温度サイクル数は、従来構造の場合(100回)よりも長くなっている。特に、t2/t3が1以上で、2以下のNo.13〜No.15の試料では、温度サイクルによる剥離や亀裂が発生しておらず、反り量も−70〜122μmと小さくなっている。
このように、t2/t3を1以上で、2以下とすることにより、放熱特性、接合信頼性に優れた両面銅貼り基板が得られることがわかる。
【0030】
実施の形態4.
実施の形態4では、銅板の厚さ/セラミック基板の厚さ(t2/t1)が0.3以上で、2以下となるように、銅板の厚さt2を0.2、0.5、1.2mmの3種類とする(t2は0.635mmで一定とする)。更に、それぞれの銅板の厚さt2に対して台座部の厚さt3を変えて、ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を作製した。そして、それぞれの両面銅貼り基板について、熱抵抗、反り量、温度サイクルを加えたときの剥離や亀裂の有無について評価し、放熱特性、接合信頼性の評価を行なった。
なお、他の構造は、上記実施の形態4(図3)と同じ構造である。
【0031】
図4は、銅板の厚さt2を0.2、0.5、1.2mmとしたときの、t2とt3との厚さ比率(t2/t3)と、セラミック基板の反り量との関係を示す。本実施の形態4では、t2/t1を0.3以上、2以下としているため、かかる条件下では、t2/t3が1以上、2以下の範囲内で、基板の反り量が0となる点が存在する。また、t2/t3が1以上、2以下であれば、反り量も最大で約160μmと小さいことがわかる。
また、これらのヒートシンクを備えたセラミック基板の熱抵抗は、1.7〜2.5℃/Wと十分に小さい値である。更に、これらのヒートシンクを備えたセラミック基板には、温度サイクルによる剥離や亀裂は発生していない。
【0032】
このように、t2/t1が0.3以上、2以下で、かつt2/t3が1以上、2以下とすることにより、熱抵抗が小さく、また反り量が小さくて剥離や亀裂がない、放熱特性、接合信頼性に優れた両面銅貼り基板が得られることがわかる。
【0033】
ここで、ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板に半導体チップを搭載した場合、半導体チップとヒートシンクを備えた両面銅貼り基板との熱膨張係数が近いほうが、耐熱疲労性に優れる。即ち、半導体チップやセラミック基板に比較して熱膨張係数の大きな銅の部分の膜厚比率は小さい方が好ましい。
従って、t2/t1を0.3以上、0.5以下に限定することにより、半導体チップとヒートシンクを備えた両面銅貼り基板との熱膨張係数がより近くなり、耐熱疲労性を更に向上させることができる。
【0034】
また、図4において、t2/t1が0.3以上、0.5以下の条件を満たすのは、t2=0.2mm(□)とt2=0.2mm(▽)の場合であるが、これらの場合に、t2/t3を1.3以上、2以下に限定することにより、更にセラミック基板の反り量を小さくできる。
【0035】
従って、膜厚t1、t2、t3において、好適には、t2/t1が0.3以上、2以下、かつt2/t3が1以上、2以下であり、更に好適には、t2/t1が0.3以上、0.5以下で、かつt2/t3が1.3以上、2以下である。
【0036】
実施の形態5.
実施の形態5では、フィンの高さ(厚さ)、フィンの間隔を変えたヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を作製し、反り量について評価した。
【0037】
まず、フィンの高さ(厚さ)の影響を評価するために、フィンの高さを変えた5種類のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を準備した。ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の作製方法は、実施の形態1と同様である。
かかる5種類のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板において、セラミック基板は、50mm角で、厚さt1は、0.635mmで一定とする。また、銅板の厚さt2も、0.3mmで一定とする。
ヒートシンクは、台座部の厚さt3を0.3mmで一定とし、フィンの高さ(厚さ)t4を0.7、1.7、2.7、3.7、4.7mmの5種類とした。従って、台座部とフィンとを含むヒートシンクの厚さは、それぞれ1、2、3、4、5mmとなる。
また、フィンは、直径2mmの円柱形状とし、3mmの間隔(ピッチ)で、マトリックス状に縦横に配置される。隣接するフィンの隙間は1mmである。
【0038】
図5は、フィンの高さ(厚さ)とセラミック基板の反り量との関係である。図5から、フィンの高さが0.7mmから4.7mmまでの範囲内では、セラミック基板の反り量は、フィンの高さによらず略一定である。
【0039】
次に、フィン同士の間隔の影響を評価するために、フィンの隙間を変えた6種類のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を準備した。ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の作製方法は、実施の形態1と同様である。
かかる6種類のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板において、セラミック基板は、50mm角で、厚さt1は、0.635mmで一定とする。また、銅板の厚さt2も、0.3mmで一定とする。
ヒートシンクは、フィンの高さ(厚さ)t4が2.7mm、台座部の厚さが0.3mmでそれぞれ一定であり、ヒートシンクの厚さは3.0mmとなる。
また、フィンは、マトリックス状に縦横に配置されるが、フィンの隙間(隣接するフィンの間の距離)は、縦横方向に、それぞれ0.5、1、2、4、6mmの5種類とする。
【0040】
図6は、フィン隙間とセラミック基板の反り量との関係である。図6中、フィン隙間0mmの点は、フィンの無い、厚さ3.0mmの板状ヒートシンクを用いた場合の参考点である。
図6より、フィンの無い板状ヒートシンク(参考点)では、反り量が大きく約300μmとなっている。一方、フィンを設けることにより、反り量が、フィンの無い場合の2分の1以下に低減されている。また、評価した範囲内では、フィンの間隔が大きくなるほど、セラミック基板の反り量も小さくなっている。
【0041】
以上のように、評価した範囲内では、フィンの高さや隙間によらず、セラミック基板の反り量を十分に低減でき、接合信頼性が向上する。特に、フィンを設けることにより、フィンを設けない構造に比較して、セラミック基板の反り量を大幅に低減できる。
【0042】
実施の形態6.
本実施の形態では、図1の構造で、セラミック基板の材料を変えたヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を作製し、熱抵抗、反り量、温度サイクルを加えた場合の剥離や亀裂について評価した。
セラミック基板の材料としては、窒化アルミニウムのほかに、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素の3種類を用いた。
評価条件や評価方法は、実施の形態1と同様である。
【0043】
評価の結果、いずれの材料を用いた場合も、セラミック基板の反り量は100〜130μmと小さく、熱抵抗も1.9〜2.6℃/Wと小さかった。また、温度サイクルを加えることによる剥離や亀裂も発生しなかった。
このように、セラミック基板の材料として、窒化アルミニウムに代えて、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素を用いても、放熱特性および接合信頼性に優れたヒートシンクを備えた両面銅貼り基板が得られることがわかる。
【0044】
実施の形態7.
本実施の形態では、図1に示した構造で、フィンの形状を変えたヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を作製し、熱抵抗、反り量、温度サイクルを加えた場合の剥離や亀裂について評価した。
【0045】
図7は、全体が200で表される、円錐形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板である、(a)は裏面図、(b)は(a)をVII−VII方向に見た断面図である。図7中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
セラミック基板1は50mm角で、厚さt1は0.635mm、銅板2は50mm角で、厚さt2は0.3mm、ヒートシンク3の台座部4の厚さt3は0.3mmである。セラミック基板1と銅板2およびヒートシンク3との接合にはAg−Cuろう材を用いる。なお、かかる寸法、構造は、図8〜11に示すヒートシンクを備えた両面銅貼り基板300、400、500、600においても同様である。
ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板200では、円錐形状のフィン25の高さ(厚さ)t4は2.7mm、根元部分の直径は2mmとなっている。また、フィン25のピッチは3mmであり、隣接するフィン25の根元部分での隙間は1mmである。
【0046】
図8は、全体が300で表される、角柱形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板である。(a)は裏面図、(b)は(a)をVIII−VIII方向に見た断面図である。図8中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板300では、角柱形状のフィン35は、2mm角で、高さ(厚さ)t4は2.7mmとなっている。また、隣接するフィン35の間の、縦横方向の隙間は、それぞれ1mmである。
【0047】
図9は、全体が400で表される、角錐形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板である。(a)は裏面図、(b)は(a)をIX−IX方向に見た断面図である。図9中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板400では、角錐形状のフィン45は、根元部分が2mm角で、高さ(厚さ)t4は2.7mmとなっている。また、隣接するフィン35の間の、縦横方向の隙間は、それぞれ1mmである。
【0048】
図10は、全体が500で表される、ストライプ形状(板状)のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板である。(a)は裏面図、(b)は(a)をX−X方向に見た断面図である。図10中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板500では、ストライプ形状(板状)のフィン56は、50mm(長手方向)×2mm(幅方向)であり、厚さt4は2.7mmとなっている。また、隣接するフィン56の隙間は、それぞれ1mmである。
【0049】
図11は、全体が600で表される、円柱形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板である。(a)は裏面図、(b)は(a)をXI−XI方向に見た断面図である。図11中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板600では、厚さ(高さ)t4が2.7mm、直径が2mmの、円柱形状のフィン65を、千鳥状に配列した。千鳥状の配列とは、図11(a)に示すように、図1に示すマトリックス状配置において、隣接する列の間で、縦方向に2分の1ピッチずつフィンの位置をずらした配置をいう。フィン同士の隙間は、縦方向で1mm、横方向で2mmとなる。
【0050】
これら5種類のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板200、300、400、500、600について、反り量、熱抵抗、温度サイクルを加えたときの剥離や亀裂の有無について同様に評価した。
【0051】
その結果、ストライプ形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板500の場合、熱抵抗は2.2℃/Wで、円柱形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板200とほぼ同じであった。一方、反り量については、フィンが延びた方向(縦方向)と、それに垂直な方向(横方向)とで、反り量が異なっており、温度サイクルを500回加えることにより、セラミック基板1とヒートシンク3との間に剥離が発生した。これはストライプ形状のフィンの場合、縦方向と横方向でフィン寸法が異なるためである。
【0052】
円錐形状、角柱形状、角錘形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板200、300、400の場合、反り量は全て122μm、熱抵抗は2.0℃/Wと、円柱形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板100の場合の反り量、熱抵抗とほぼ同じであった。また、縦方向、横方向で反り量は同じであり、温度サイクルを加えたことによる剥離や亀裂も発生しなかった。
【0053】
千鳥状に配置した円柱形状のフィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板600の場合も、熱抵抗は1.9℃/W、反り量は124μmで、縦横方向で反り量は同じであった。また、温度サイクルを加えることによる剥離や亀裂も発生しなかった。
【0054】
このように、フィン形状が円柱、円錐、角柱、角錐のような突起状フィンを有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板200、300、400、600では、フィンの配列によらず、優れた放熱特性が得られるとともに、特に、優れた接合信頼性を得ることができる。
【0055】
実施の形態8.
本実施の形態8では、図1に示した構造で、セラミック基板1と、銅板2およびヒートシンク3との接合を、他の接合方法を用いて行なったヒートシンクを備えた両面銅貼り基板に対して、熱抵抗、反り量、温度サイクルを加えた場合の剥離や亀裂について評価した。
具体的には、窒化アルミニウムのセラミック基板1と、銅板2および銅製のヒートシンク3との接合方法として、ろう材を用いる代わりに、セラミック基板3を銅板2とヒートシンク3とで挟み、窒素雰囲気で銅の融点直下まで加熱する方法を用いた。加熱温度は約1070℃で、保持時間は約2〜3時間とした。かかる方法を用いることにより、セラミック基板1と、銅板2およびヒートシンク3とを、直接接合できる。
なお、セラミック基板1、銅板2、ヒートシンク3の寸法は、実施の形態1で作製したヒートシンクを備えた両面銅貼り基板と同じである。
【0056】
かかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の、反り量、熱抵抗、温度サイクルによる剥離や亀裂について同様に評価した。その結果、反り量は125μmと小さく、熱抵抗も1.8℃/Wと小さかった。また、温度サイクルによる剥離や亀裂も発生しなかった。
このようにセラミック基板1と、銅板2およびヒートシンク3とを直接接合した場合も、活性金属を含むろう材を用いた場合と同様に、優れた放熱特性、接合信頼性を有するヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を得ることができる。
【0057】
実施の形態9.
図12は、全体が700で表される、本実施の形態にかかる半導体装置である。(a)は上面図、(b)は(a)をXII−XII方向に見た断面図である。図12中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
【0058】
半導体装置は、セラミック基板1と、これに接合された銅板およびヒートシンク3からなるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を含む。銅板は、選択的にエッチングされて、配線やパッド等の所定の回路パターン12に加工されている。
回路パターン12上には、Sn−Pbはんだ等の接合材7で、半導体チップ6が接合されている。半導体チップ6の電極と回路パターン12のパッドとは、アルミニウム等の金属ワイヤ8で電気的に接続されている。
【0059】
かかる半導体装置700について、実施の形態1と同様に、セラミック基板の反り量、温度サイクルを加えた場合の剥離や亀裂の発生について評価した。
この結果、反り量は132μmと小さく、温度サイクルによる剥離や亀裂は発生しなかった。このように、本発明にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板を用いて半導体装置を作製することにより、放熱特性、接合信頼性に優れた半導体装置を得ることができる。
【0060】
実施の形態10.
図13は、全体が800で表される、本実施の形態にかかる半導体装置の断面図であり、図13中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
本実施の形態にかかる半導体装置800では、実施の形態1で作製したヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の銅板2の上に、半導体チップ等の発熱体9がグリス(図示せず)で接着されている。更に、ヒートシンク3が銅製ケース10の中に入るように、ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板が銅製ケース10に取り付けられている。かかる状態で銅製ケース10中に水を流すことにより、ヒートシンク3が水冷できる。
【0061】
ここでは、銅製ケース10中に、毎分1リットルの量の水を流した状態で、熱抵抗を測定した。その結果、熱抵抗は0.15℃/Wと、空冷の場合に比較して非常に小さくなった。このように、ヒートシンク3を水冷することにより、空冷の場合よりも更に熱抵抗が小さくなり、優れた放熱特性を得ることができる。
【0062】
なお、本実施の形態にかかる半導体装置800では、半導体チップとして、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)のようなパワーデバイスを使用することにより、特に大きな効果を得ることができる。
【0063】
実施の形態11.
図14は、全体が900で表される、本実施の形態にかかる半導体装置の断面図であり、図14中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
半導体装置900では、実施の形態1のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板(図1参照)を準備し、銅板2の上に、半導体チップ等の発熱体9を樹脂で接着する。更に、銅板2をエポキシ樹脂等の樹脂11で覆い、半導体チップのような発熱体9を樹脂封止する。
【0064】
このような半導体装置900に対して、熱抵抗を測定し、また反り量、温度サイクルを加えたときの剥離や亀裂について評価した。その結果、熱抵抗は1.9℃/W、反り量も120μmとなり、樹脂封止をしない場合と比べて殆ど変わらない値となった。
このように、本実施の形態にかかる半導体装置900では、発熱体9を樹脂封止しても熱抵抗を小さくでき、優れた放熱特性を得ることができる。
【0065】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板では、優れた放熱特性、接合信頼性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の、(a)裏面図、および(b)断面図である。
【図2】従来構造のヒートシンク付き両面銅貼り基板の断面図である。
【図3】本発明の実施の形態3にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の断面図である。
【図4】t2とt3との厚さ比率(t2/t3)と、セラミック基板の反り量との関係である。
【図5】フィン高さと、セラミック基板の反り量との関係である。
【図6】フィン隙間と、セラミック基板の反り量との関係である。
【図7】本発明の実施の形態7にかかるヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の、(a)裏面図、および(b)断面図である。
【図8】本発明の実施の形態7にかかる他のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の、(a)裏面図、および(b)断面図である。
【図9】本発明の実施の形態7にかかる他のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の、(a)裏面図、および(b)断面図である。
【図10】本発明の実施の形態7にかかる他のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の、(a)裏面図、および(b)断面図である。
【図11】本発明の実施の形態7にかかる他のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板の、(a)裏面図、および(b)断面図である。
【図12】本発明の実施の形態9にかかる半導体装置の、(a)上面図、および(b)断面図である。
【図13】本発明の実施の形態10にかかる半導体装置の断面図である。
【図14】本発明の実施の形態11にかかる半導体装置の断面図である。
【符号の説明】
1 セラミック基板、2 銅板、3 ヒートシンク、4 台座部、5 フィン、100 ヒートシンクを備えた両面銅貼り基板。
Claims (9)
- 両面銅貼り基板であって、
互いに対向する第1面と第2面とを有するセラミック基板と、
該第1面に接合された第1銅板と、
該第2面に接合された第2銅板とを含み、
該第2銅板が、フィンを有するヒートシンクからなることを特徴とするヒートシンクを備えた両面銅貼り基板。 - 上記セラミック基板、上記第1銅板、上記第2銅板の台座部およびフィンの、該セラミック基板の法線方向の厚さを、それぞれ、t1、t2、t3、およびt4とした場合、以下の式(1)および(2)、
0.3≦t2/t1≦2 (式1)
1≦t2/t3≦2 (式2)
が成立することを特徴とする請求項1に記載のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板。 - 上記セラミック基板、上記第1銅板、上記第2銅板の台座部およびフィンの、該セラミック基板の法線方向の厚みを、それぞれ、t1、t2、t3、およびt4とした場合、以下の式(3)および(4)、
0.3≦t2/t1≦0.5 (式3)
1.3≦t2/t3≦2 (式4)
が成立することを特徴とする請求項1に記載のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板。 - 上記セラミック基板が、窒化アルミニウム、アルミナ、窒化ケイ素、および炭化ケイ素からなる群から選択される材料からなることを特徴とする請求項1に記載のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板。
- フィンの形状が、円柱、円錐、角柱、および角錐からなる群から選択される一つの形状であることを特徴とする請求項1に記載のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板。
- 上記セラミック基板と、上記第1および第2銅板とが、活性金属を含むろう材により接合されたことを特徴とする請求項1に記載のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板。
- 上記セラミック基板と、上記第1および第2銅板とが、直接接合されたことを特徴とする請求項1に記載のヒートシンクを備えた両面銅貼り基板。
- 請求項1〜7のいずれかに記載されたヒートシンクを備えた両面銅貼り基板と、
該両面銅貼り基板に含まれる第1銅板上に載置された半導体素子とを含むことを特徴とする半導体装置。 - 上記第1銅板が回路パターンに加工されており、該回路パターンと、上記半導体素子の電極とが電気的に接続されたことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
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